CN100350645C - 一种有机el显示器制造装置和一种有机el显示器制造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 54
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 172
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 162
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims description 15
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 14
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 13
- 230000027756 respiratory electron transport chain Effects 0.000 claims description 12
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 11
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 11
- 239000005394 sealing glass Substances 0.000 abstract description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 20
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K59/871—Self-supporting sealing arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
本发明涉及一种有机EL显示器制造装置和方法,该装置包括:薄膜形成装置,用于在真空或惰性气体内,对脆性基底的每个部分,在脆性基底上形成一个正电极层、一个空穴传输层、一个有机发光层、一个电子传输层、和一个负电极层,其中该脆性基底的每个部分将要成为一个分离的有机EL显示器;和密封装置,用于在真空或惰性气体内,提供一个密封元件,用于在气密条件下密封用于每个部分的在脆性基底上形成的各个层,和划线装置,用于在该将要成为一个分离的有机EL显示器的脆性基底的部分所对应的预定部分区域中形成脆性基底上的划线。
Description
技术领域
本发明涉及一种有机EL显示器制造装置和一种有机EL显示器制造方法,用于制造一种有机EL显示器,该显示器具有在一个玻璃基底上形成的有机发光层被一个密封元件密封的结构。
背景技术
有机EL(电致发光)显示器相比于作为目前平板显示器的主流产品的液晶显示器具有很多优点,并且作为预计未来将取代液晶显示器的新一代平板显示器正在受到越来越多的关注。
图6是表示一个典型的有机EL显示器的通常结构的透视图。
有机EL显示器1具有一个透明玻璃基底2。在玻璃基底2上,以预定间隔的条纹形式,由透明导电材料,例如ITO或类似物形成有多个正电极层3。在玻璃基底2之上,当施加DC电压时提供空穴的空穴传输层4,包含极少量作为掺杂剂的有机色素的有机发光层5,和当施加DC电压时提供电子的电子传输层6,被顺序的形成在每个正电极层3上。在最顶层,即电子传输层6上,由导电材料以预定间隔的条纹形式形成多个负电极层7,使得负电极层7的条纹沿垂直于正电极层3延伸的方向而延伸。
在玻璃基底2上的每个正电极层3都被连接到一个DC电源8的正端。在最顶层中的每个负电极层7都被连接到DC电源8的负端。
在具有上述结构的有机EL显示器中,当DC电源8在正电极层3和负电极层7之间施加DC电压时,空穴从施加有DC电压的正电极层3上的空穴传输层4被注入到有机发光层5中,而电子从施加有DC电压的负电极层7下的电子传输层6被注入到有机发光层5中。在分别被空穴传输层4和电子传输层6注入空穴和电子的有机发光层5中,空穴和电子被重新结合。再结合所产生的能量被有机发光层5中包含的有机色素所吸收,从而发射出光。从有机发光层5发射出的光被顺序的传送到空穴传输层4,正电极层3,和玻璃基底2,并从玻璃基底2的背面输出(图6中的底面)。
在有机EL显示器1中,玻璃基底2上的多个正电极层3和最顶层中的多个负电极层7以直角相交叉。DC电压通过TFT或类似物被控制施加在每个交叉点上,从而由光所产生的图像可被形成在玻璃基底2的外部,而每个交叉点都形成了一个显示单元。
在有机EL显示器1中,形成在空穴传输层4上的有机发光层5极易受潮。因此,当有机发光层5被曝露在环境空气中时,会形成被称为暗斑的黑点,这会导致光学图像故障,从而不能显示图像。因此,在真空腔内或是充满惰性气体的腔体内执行对各个层的薄膜形成步骤之后,在得到的分层结构之上提供一个密封盖9,如图7所示,同时保持该分层结构远离环境空气,从而该有机发光层5与环境空气相绝缘。通过这种设置,避免了潮湿而引起的暗斑。
图8示出了用于制造有机EL显示器的有机EL制造装置的通常结构。
有机EL制造装置10具有:薄膜形成腔11,在其中执行薄膜形成步骤以在玻璃基底2上形成包括有机发光层5及类似物的若干层;和密封腔12,其中在薄膜形成步骤在玻璃基底2上形成分层结构之后,在玻璃基底2上还设置有密封盖9。薄膜形成腔11和密封腔12通过连接通道13相互连接。
薄膜形成腔11具有输送室110,在输送室中心设有一个输送机扑110a。在输送室110周围的径向位置处,薄膜形成腔11以预定的间隔包含有,与玻璃基底2一起存放的基底存放室111;预处理室112,其中在薄膜形成之前在玻璃基底2上执行例如净化等预处理;和多个沉积室113到116,其中分别形成有正电极层3,空穴传输层4,有机发光层5,电子传输层6和负电极层7。在薄膜形成腔11中心的输送室110和基底存放室111,预处理室112,沉积室113到116的每一个之间,分别设置有阀门111a到116a,用于通过阀门111a到116a的打开和关闭来控制气流状态。在基底存放室111的外端,设有阀门111b,用于保持基底存放室111内的压力,从而使当玻璃基底2被置于基底存放室111中时,该压力等于大气压力。在输送室110和连接通道13之间设有阀门13a,用于在已形成有薄膜的玻璃基底2被输送到密封腔12中时,允许各个空间之间的气体交换。
密封腔12具有输送室120,在输送室120的中心设有输送机扑120a。在输送室120周围的径向位置处,密封腔12以预定的间隔包含有,检验室121,其中形成在玻璃基底2上的包括有机发光层5及类似物的各个层的状态被检验;密封盖固定室122,其中设置有密封盖9,用于覆盖形成在玻璃基底2上的多个层;与密封盖9一起存放的盖存放室123;输出室124,具有密封盖9的玻璃基底2从该输出室被取出有机EL显示器制造装置10;和预备室125,126。在密封腔12中心的输送室120和检验室121,密封盖固定室122,盖存放室123,预备室125和126,以及输出室124的每一个之间,都设置有阀门121a到126a分别用于通过阀门121a到126a的打开和关闭来控制气流状态。盖存放室123设置有一个阀门123b,用于保持盖存放室123内的压力,从而当密封盖9被送至盖存放室123中时,该压力等于大气压力。输出室124设置有一个阀门124b,用于保持输出室124内的压力,从而使当设有密封盖9的玻璃基底2被从有机EL显示器制造装置10中取出时,该压力等于大气压力。
并且,薄膜形成腔11的各个室110到116,连接通道13,和密封腔12的各个室120到126都设有一个供气管和一个排气管(未示出)。通过这些管路,可以调节每个室,从而使每个室都按所需的气压被充进所需的气体。
在利用有机EL制造装置10来制造有机EL显示器的情况下,玻璃基底2通过输送室110的输送机扑110a从基底存放室111被传送到预处理室112,并进行预定的预处理。然后,玻璃基底2被传送到沉积室113到116,其中顺序地分别形成有正电极层3,空穴传输层4,有机发光层5,电子传输层6,和负电极层7。在这些层的形成过程中,在输送室110和各个室111到116之间设置的阀门111a到116a被打开和关闭,同时通过供气管和排气管(未示出)而执行预定气体的引进和排出,从而每个室的气压被适当的调整。这种处理是在玻璃基底2并不与环境空气相接触的方式下进行的。
在薄膜形成腔11中形成各个层之后,玻璃基底2通过连接通道13在气密条件下被传输到密封腔12。在密封腔12中,玻璃基底2被输送室120的输送机扑120a输送到检验室121,并进行预定的检验。然后,玻璃基底2被传送到密封盖固定室122,而盖存放室123的密封盖9被设置在玻璃基底2上的预定位置处。
设有密封盖9的玻璃基底2被从输出室124中取出,用于制造有机EL显示器,其中玻璃基底2的各个层,包括有机发光层5及类似物,都处于密封的条件下。
若有极少量的湿气被包含在有机EL显示器的有机发光层5中,则湿气会引起暗斑的产生。因此,薄膜形成步骤是在不包含潮气的腔体内执行的,而密封盖9的设置正是为了覆盖各个层从而这些层不会被暴露在环境空气中,即潮气不会被引入到有机发光层5。在密封盖9将要接触玻璃基底2的接触表面上涂敷UV可固化粘接剂,通过对UV可固化粘接剂用透过玻璃基底2的UV光线照射而将密封盖9固定在玻璃基底2上。
如上所述,有机EL显示器必须在无潮气的条件下制造。为了提高有机EL显示器的大规模生产率,要使用很大面积的玻璃基底,而薄膜形成步骤是同时对许多有机EL显示器执行的。对每个有机EL显示器都设置密封盖,从而,在很大的玻璃基底上要对其上形成的每一个有机EL显示器都形成划线(scribe)。然后,沿着划线施加弯矩,使这许多有机EL显示器被分离,从而在同一时刻可制造许多有机EL显示器。
然而,这种方法中,若划线被形成在玻璃基底2设有密封盖9的同一表面,则由于密封盖9的出现,就很难在密封盖9附近的位置处形成划线。这种情况下,划线就必须被形成在远离密封盖9预定距离的位置处。
或者,若划线被形成在玻璃基底2设有密封盖9的相反表面,则由于密封盖9从玻璃基底2上升了一定的高度,就难于稳定的支持玻璃基底2。因此很难可靠地形成划线。并且,由于密封盖9的接触表面存在固化后的粘接剂,其中该接触表面与玻璃基底2形成有划线的相反侧表面相接触,玻璃基底2的分离(断裂)方向与划线所标的方向不一定相同,因此,由于粘接剂的影响不能得到理想的分离表面。
并且,在此方法中,密封盖必须被精确地设置在玻璃基底2上将要成为分离有机EL显示器区域的各个部分上。从而,很难实现对密封盖的关于密封盖附加位置的精确校准。
本发明就是考虑到上述问题而提出的,而本发明的目的是提供一种有机EL显示器制造装置和一种有机EL显示器制造方法,其中密封元件依照多分层结构的校准被很容易地附加在玻璃基底上,其中该多分层结构包括形成在玻璃基底上的有机发光层及类似物。
发明内容
为了解决上述问题,本发明的有机EL显示器制造装置包括:薄膜形成装置,用于在真空或惰性气体内,对脆性基底的每个部分,在脆性基底上形成一个正电极层、一个空穴传输层、一个有机发光层、一个电子传输层、和一个负电极层,其中该脆性基底的每个部分将要成为一个分离的有机EL显示器;和密封装置,用于在真空或惰性气体内,提供一个密封元件,用于在气密条件下密封用于每个部分的在脆性基底上形成的各个层,其中在设置密封元件之前,划线被形成在脆性基底上的预定部分区域中,该预定部分区域对应于该将要成为一个分离的有机EL显示器的脆性基底的部分,并且该密封元件具有多个凹陷部分,用于覆盖将要成为分离有机EL显示器的脆性基底的部分上形成的各个层。
在本发明的上述有机EL显示器制造装置中,最好还包括划线装置,用于在真空或惰性气体内,形成脆性基底上的划线,其中各个层由薄膜形成装置形成在脆性基底上的预定部分区域中,该预定部分区域对应于将要成为一个分离有机EL显示器的脆性基底的部分。
在本发明的上述有机EL显示器制造装置中,最好该密封元件是单片板的形式,在单片板上按照划线装置形成的划线的位置而预先形成划线。
并且,本发明的有机EL显示器制造方法包括:薄膜形成步骤,用于在真空或惰性气体内,对脆性基底的每个部分,在脆性基底上形成一个正电极层、一个空穴传输层、一个有机发光层、一个电子传输层、和一个负电极层,其中该脆性基底的每个部分将要成为一个分离的有机EL显示器;和密封元件附加步骤,用于在真空或惰性气体内,附加一个密封元件,用于在气密条件下密封用于每个部分的在脆性基底上形成的各个层,其中在密封元件附加步骤之前,划线被形成在脆性基底上的预定部分区域中,该预定部分区域对应于该将要成为一个分离的有机EL显示器的脆性基底的部分,并且该密封元件具有多个凹陷部分,用于覆盖将要成为分离有机EL显示器的脆性基底的部分上形成的各个层。
在本发明的上述有机EL显示器制造方法中,最好还包括划线步骤,用于在真空或惰性气体内,在脆性基底上的的预定部分区域中形成划线,其中各个层在薄膜形成步骤形成在脆性基底上,该预定部分区域对应于该将要成为一个分离的有机EL显示器的脆性基底的部分。
在本发明的上述有机EL显示器制造方法中,最好该密封元件是单片板的形式,在单片板上按照脆性基底上形成的划线的位置而预先形成划线。
在本发明的上述有机EL显示器制造方法中,最好还包括在一个分离操作中将脆性基底和密封元件分离成若干个有机EL显示器的步骤。
附图说明
图1是表示根据本发明的有机EL显示器制造装置的通常结构的平面示意图。
图2是在划线室中设置的玻璃切具的侧视图。
图3(a)到3(e)都是剖视图,示出了在玻璃基底上形成的多个层上设置一个密封玻璃板,并将玻璃基底分离为多个有机EL显示器的步骤。
图4是表示根据本发明的另一个有机EL显示器制造装置的通常结构的平面示意图。
图5是表示根据本发明的又一个有机EL显示器制造装置的通常结构的平面示意图。
图6是表示一个有机EL显示器的通常结构的透视图。
图7是一个设置有密封盖的有机EL显示器的剖视图。
图8是表示一个传统的有机EL显示器制造装置的通常结构的平面示意图。
具体实施方式
以下,将参照附图说明根据本发明的有机EL显示器制造装置。
图1示出了根据本发明的有机EL显示器制造装置100的通常结构。所制造的有机EL显示器与图6所示的结构相同。
有机EL显示器制造装置100具有:一个薄膜形成腔11,在其中执行薄膜形成步骤以在玻璃基底(脆性基底)2上形成若干层,例如有机发光层5及类似物;和密封腔20,其中在玻璃基底2上形成分层结构之后,在玻璃基底2上设置有密封玻璃板。薄膜形成腔11和密封腔20通过连接通道13相互连接。
薄膜形成腔11具有输送室110,在输送室中心设有一个输送机扑110a。在输送室110周围的径向位置处,薄膜形成腔11以预定的间隔包含有,与玻璃基底2一起存放的基底存放室111;预处理室112,其中在薄膜形成之前在玻璃基底2上执行例如清洁等预处理;和多个沉积室113到116,其中分别形成有正电极层3,空穴传输层4,有机发光层5,电子传输层6和负电极层7。在薄膜形成腔11中心的输送室110和基底存放室111,预处理室112,沉积室113到116的每一个之间,分别设置有阀门111a到116a,用于通过阀门111a到116a的打开和关闭来控制气流状态。并且,基底存放室111,预处理室112,沉积室113到116的每一个,都设置有一个供气管和一个排气管(未示出)。通过这些管路,可以调节每个室,从而使每个室都按所需的气压被充进所需的气体。
密封腔20具有输送室210,在输送室210的中心设有输送机扑210a。在输送室210周围的径向位置处,密封腔20以预定的间隔包含有,检验室216,其中形成在玻璃基底2上的包括有机发光层5及类似物的各个层的状态被检验;划线室30,其中划线被形成在玻璃基底2的表面上,用于将玻璃基底2分离为各个有机EL显示器;与密封玻璃板300一起存放的密封玻璃板存放室213,所述密封玻璃板用于覆盖玻璃基底2上形成的多个层,包括有机发光层5及类似物;密封玻璃板固定室212,在其中密封玻璃板300被置于玻璃基底2上;UV照射室214,用于对玻璃基底2紧挨的密封玻璃板300表面上施加的UV可固化粘接剂用UV光进行照射;和输出室215,具有密封玻璃板300的玻璃基底2从有机EL显示器制造装置100的该输出室被取出。
划线室30设有一个切具21(见图2),用于在玻璃基底2的预定位置上形成划线。
图2示出了划线室30中设置的切具21。
切具21具有一个切割刀片22,由高硬度材料制成,例如超硬金属,烧结金刚石,或类似物。切割刀片22具有双圆锥形,并在中心部分具有最大直径。切割刀片22的相对两端被支架23所支撑,支架23的下表面是开放的,从而切割刀片22可以围绕圆锥的轴而旋转。
为了使用切具21在玻璃基底2上形成划线,从支架23的下侧延伸的切割刀片22的中心部分被推到玻璃基底2上的所需位置,并在切割刀片22被旋转的同时沿着预定的方向移动。
已存储在密封玻璃板存放室213内的密封玻璃板300具有多个凹陷部分,用于覆盖该分层结构,并且用于分离各个有机EL显示器的划线根据分层结构的位置而被形成在玻璃基底2上,所述分层结构包括有机发光层5及类似物。
在利用有机EL显示器制造装置100来制造一个有机EL显示器时,玻璃基底2通过输送室110的输送机扑110a从基底存放室111被传送到预处理室112,并进行预定的预处理。然后,玻璃基底2被传送到沉积室113到116,在每个沉积室中预定气体的预定压力下,以顺序的方式分别形成正电极层3,空穴传输层4,有机发光层5,电子传输层6,和负电极层7,从而获得玻璃基底2上的分层结构。在这些层的形成过程中,在输送室110和各个室111到116之间设置的阀门111a到116a,被打开和关闭,同时通过供气管和排气管(未示出)而执行预定气体的引进和排出,从而玻璃基底2并不与环境空气相接触。
在薄膜形成腔11中形成各个层之后,玻璃基底2通过连接通道13在气密条件下被传输到密封腔20。
以下,将参照图3(a)到3(e)来说明将密封玻璃板300附加到其上形成有多个层的玻璃基底2上的步骤。
在通过连接通道13被传送到密封腔20的玻璃基底2上,以预定的间隔形成有包括正电极层3的分层结构,如图3(a)所示。在玻璃基底2被传送到输送室210之后,输送室210的输送机扑210a将玻璃基底2送入检验室216。在检验室216中执行预定的检验之后,玻璃基底2被传送到划线室30。
在划线室30中,玻璃基底2的位置通过执行光学校准而被校正,然后,根据预置的划线节距数据沿着X和Y方向进行交叉划线。在此交叉划线处理中,图2中所示的切割刀片22在旋转的同时移动,从而在玻璃基底2上对将要成为一个分离有机EL显示器的每个部分形成划线S,如图3(b)所示。
随后,输送室210的输送机扑210a将已形成有划线S的玻璃基底2送到密封玻璃板固定室212中。在密封玻璃板固定室212中,密封玻璃板从密封玻璃板存放室213被置于玻璃基底2上,同时调整与玻璃基底2的校准,从而形成在玻璃基底2上的校准标记与形成在密封玻璃板300上的校准标记相匹配。密封玻璃板300通过在密封玻璃板300与玻璃基底2相接触的表面上施加的UV可固化粘接剂而被置于玻璃基底2上。
随后,输送室210的输送机扑210a将已放置有密封玻璃板300的玻璃基底2送到UV照射室214中。在UV照射室214中,玻璃基底2的背面被UV光照射,如图3(d)所示,从而密封玻璃板300紧挨玻璃基底2的表面上施加的UV可固化粘接剂被固化,从而密封玻璃板300被固定在玻璃基底2上。
随后,输送室210的输送机扑210a将已固定有密封玻璃板300的玻璃基底2送到输出室215中。通过打开阀门215b,输出室215被制成等于大气压力的减压条件,然后,带有密封玻璃板300的玻璃基底2被送出输出室215。
最后,玻璃基底2和密封玻璃板300沿着预定形式中玻璃基底2和密封玻璃板300上已形成的划线S被裂开,从而被分离成各个有机EL显示器,如图3(e)所示。
如上所述,在根据本发明的EL显示器制造装置100中,包括正电极层3及类似物的多个层被形成在玻璃基底2上。随后,在预定位置上预先形成有划线S的密封玻璃板300被放置并固定在玻璃基底2上。由于玻璃基底2上包括有机发光层5及类似物的分层结构是通过将单片密封玻璃板300附加在单片玻璃基底2上而密封的,因此用于附加密封玻璃板300的校准很容易实现。
由于不需要根据各个有机EL显示器的分层结构的各个位置而附加密封盖,对于其上形成有分层结构的玻璃基底2被分为用于显示器的许多块,例如约150到200块时,本发明是很有利的。
在本实施例中,已说明了在密封玻璃板300的预定位置上预先形成划线的情况。然而,没有预先划线的密封玻璃板300也可以被附加在已经在腔室中划线过的玻璃基底2上,从而,密封玻璃板300可以在腔室的外部被划线并被分离为各个有机EL显示器。
图4示出了根据本发明的有机EL显示器制造装置100的备选实施例的通常结构。该有机EL显示器制造装置100所制造的有机EL显示器与如图6所示的结构相同。
在有机EL显示器制造装置100中,划线室30被设置在薄膜形成腔11和密封腔20的外部,在划线室中,划线S被形成在玻璃基底2上用于将玻璃基底2分离为各个有机EL显示器。密封腔20具有一个预备室211。该有机EL显示器制造装置100的其他元件与图1所示的有机EL显示器制造装置相同,因此不再赘述。
在使用有机EL显示器制造装置制造有机EL显示器的情况下,首先,划线S是在划线室30中形成在玻璃基底2上的所需位置上。随后,已形成有划线S的玻璃基底2被送至薄膜形成腔11的基底存放室111。然后,玻璃基底2通过输送室110的输送机扑110a被传送到薄膜形成腔11的各个室112到116,从而形成有机EL显示器的多个层,例如正电极层3。
在各个层被形成之后,玻璃基底2通过连接通道13被传送到密封腔20。在密封腔20中,输送室210的输送机扑210a将玻璃基底2送到密封腔20的各个室211-216中,从而执行将密封玻璃板300附加在玻璃基底2上将要成为分离有机EL显示器的区域上的步骤。附加有密封玻璃板300的玻璃基底2从输出室215中被取出。
图5示出了根据本发明的有机EL显示器制造装置100的又一备选实施例的通常结构。该有机EL显示器制造装置100所制造的有机EL显示器与如图6所示的结构相同。
在该有机EL显示器制造装置100中,划线室30被设置在薄膜形成腔11中,在划线室中,划线S被形成在玻璃基底2上用于将玻璃基底2分离为各个有机EL显示器。密封腔20具有一个预备室211。
在利用该有机EL显示器制造装置100制造有机EL显示器的情况下,玻璃基底2通过输送室110的输送机扑110a从基底存储室111以顺序方式被传送到薄膜形成腔11的各个室112到116,从而形成有机EL显示器的多个层。随后,已形成有机EL显示器的多个层的玻璃基底2被送至划线室30。在划线室30中,划线S被形成在玻璃基底2表面的所需位置上。应当注意,考虑到薄膜形成腔11中在玻璃基底2上执行的薄膜形成步骤以及划线形成步骤,划线S应当形成在上述薄膜形成步骤之后,但是可选择的,薄膜形成步骤也可以在玻璃基底2上已形成划线S之后再执行。
在各个层已被形成且划线S也已被形成之后,玻璃基底2通过连接通道13被传送到密封腔20。在密封腔20中,输送室210的输送机扑210a将玻璃基底2送至密封腔20的各个室212-216中,从而执行将密封玻璃板300附加在玻璃基底2上将要成为分离有机EL显示器的区域上的步骤。附加有密封玻璃板300的玻璃基底2从输出室215中被取出。
如上所述,在根据本发明的有机EL显示器制造装置中,在密封玻璃板300被形成在玻璃基底2上之前,划线S就被形成在玻璃基底2上。在此情况下,如上述图1和图5所示,在有机EL显示器的各个层已被形成在玻璃基底2上之后,形成划线S的步骤就可以在真空中或惰性气体中执行。可选择的,如上述图4所示,划线S也可以在薄膜形成步骤之前在有机EL显示器制造装置的外部被形成在玻璃基底2上。
工业实用性
根据本发明的有机EL显示器制造装置和有机EL显示器制造方法,包括正电极层3及类似物的多个层被形成在玻璃基底上,随后,单片密封元件被附加在单片玻璃基底上。因此,玻璃基底和密封元件的校准很容易实现。
Claims (7)
1、一种有机电致发光显示器制造装置,包括:
薄膜形成装置,用于在真空或惰性气体内,对脆性基底的每个部分,在脆性基底上形成一个正电极层、一个空穴传输层、一个有机发光层、一个电子传输层、和一个负电极层,其中该脆性基底的每个部分将要成为一个分离的有机电致发光显示器;和
密封装置,用于在真空或惰性气体内,提供一个密封元件,用于在气密条件下密封用于每个部分的在脆性基底上形成的各个层,和
划线装置,用于在该将要成为一个分离的有机电致发光显示器的脆性基底的部分所对应的预定部分区域中形成脆性基底上的划线,
其中:
划线装置在脆性基底上形成划线是在密封装置将密封元件设置在脆性基底上之前,并且
在已形成有划线的脆性基底上,密封装置提供了具有多个凹陷部分的密封元件,用于覆盖将要成为各个有机电致发光显示器的脆性基底的部分上形成的各个层。
2、根据权利要求1的有机电致发光显示器制造装置,其中该划线装置用于在真空或惰性气体内,形成脆性基底上的划线,其中在脆性基底上的各个层由薄膜形成装置形成。
3、根据权利要求2的有机电致发光显示器制造装置,其中该划线装置包括一个玻璃切具,该玻璃切具具有:一个双圆锥形的切割刀片,其最大直径在中心部分;和一个支架,用于支撑该切割刀片且使该切割刀片可围绕该圆锥的轴而旋转。
4、一种有机电致发光显示器制造方法,包括:薄膜形成步骤,用于在真空或惰性气体内,对脆性基底的每个部分,在脆性基底上形成一个正电极层、一个空穴传输层、一个有机发光层、一个电子传输层、和一个负电极层;其中该脆性基底的每个部分将要成为一个分离的有机电致发光显示器;和
密封元件附加步骤,用于在真空或惰性气体内,附加一个密封元件,用于在气密条件下密封用于每个部分的在脆性基底上形成的各个层,
其中在密封元件附加步骤之前,划线被形成在脆性基底上的预定部分区域中,该预定部分区域对应于该将要成为一个分离的有机电致发光显示器的脆性基底的部分。
5、根据权利要求4的有机电致发光显示器制造方法,还包括划线步骤,用于在真空或惰性气体内,在脆性基底上的预定部分区域中形成划线,其中各个层在薄膜形成步骤形成在脆性基底上,该预定部分区域对应于该将要成为一个分离的有机电致发光显示器的脆性基底的部分。
6、根据权利要求4或5的有机电致发光显示器制造方法,其中该密封元件是单片板的形式,在单片板上按照脆性基底上形成的划线的位置而预先形成划线。
7、根据权利要求4或5的有机电致发光显示器制造方法,还包括在一个分离操作中将脆性基底和密封元件分离成若干个有机电致发光显示器的步骤。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001180900 | 2001-06-14 | ||
JP180900/2001 | 2001-06-14 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1516989A CN1516989A (zh) | 2004-07-28 |
CN100350645C true CN100350645C (zh) | 2007-11-21 |
Family
ID=19021246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB028118456A Expired - Fee Related CN100350645C (zh) | 2001-06-14 | 2002-06-03 | 一种有机el显示器制造装置和一种有机el显示器制造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3602847B2 (zh) |
KR (1) | KR100549100B1 (zh) |
CN (1) | CN100350645C (zh) |
TW (1) | TWI272033B (zh) |
WO (1) | WO2002104079A1 (zh) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004355943A (ja) * | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Nippon Seiki Co Ltd | 封止用基板の製造方法及び有機elパネルの製造方法 |
JP4476073B2 (ja) * | 2004-04-08 | 2010-06-09 | 東北パイオニア株式会社 | 有機el素子の製造方法及び製造装置 |
JP4827842B2 (ja) * | 2005-06-15 | 2011-11-30 | 株式会社アルバック | 封止装置及び封止方法 |
KR100674679B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2007-01-25 | 주식회사 아바코 | 유기발광소자의 봉지 시스템 |
JP4755002B2 (ja) * | 2006-03-23 | 2011-08-24 | パイオニア株式会社 | 光デバイス用の封止部材の製造方法、光デバイスの製造方法、光デバイス、および光デバイス用の封止部材 |
JP5282786B2 (ja) * | 2008-11-13 | 2013-09-04 | コニカミノルタ株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス素子 |
KR101642985B1 (ko) * | 2009-06-29 | 2016-07-27 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기전계발광소자의 제조방법 |
JP2011060749A (ja) * | 2009-09-07 | 2011-03-24 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 透明電極用有機電極の形成方法 |
CN101882669A (zh) * | 2010-03-23 | 2010-11-10 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 有机发光显示器后段工艺封装组件及封装方法 |
CN101988190A (zh) * | 2010-05-25 | 2011-03-23 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 镀膜基片前置处理装置及前置处理方法 |
CN103022379A (zh) * | 2011-09-22 | 2013-04-03 | 北儒精密股份有限公司 | 挠性有机发光二极管的封装设备 |
JP5979666B2 (ja) * | 2012-08-21 | 2016-08-24 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 有機el素子の製造装置及び方法、cvd薄膜の製造装置及び方法 |
CN104733646B (zh) * | 2015-02-10 | 2017-05-17 | 四川虹视显示技术有限公司 | 一种oled真空老化系统 |
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JP2001068265A (ja) * | 1999-08-24 | 2001-03-16 | Toyota Motor Corp | 有機el素子及びその製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07130472A (ja) * | 1993-11-04 | 1995-05-19 | Nippondenso Co Ltd | エレクトロルミネッセンス素子 |
-
2002
- 2002-06-03 JP JP2003506247A patent/JP3602847B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-06-03 CN CNB028118456A patent/CN100350645C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-06-03 WO PCT/JP2002/005462 patent/WO2002104079A1/ja active IP Right Grant
- 2002-06-03 KR KR1020037011172A patent/KR100549100B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2002-06-07 TW TW091112379A patent/TWI272033B/zh not_active IP Right Cessation
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3602847B2 (ja) | 2004-12-15 |
JPWO2002104079A1 (ja) | 2004-10-07 |
KR20040012723A (ko) | 2004-02-11 |
WO2002104079A1 (fr) | 2002-12-27 |
KR100549100B1 (ko) | 2006-02-02 |
CN1516989A (zh) | 2004-07-28 |
TWI272033B (en) | 2007-01-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20071121 Termination date: 20170603 |