JP2005311200A - シリコン半導体基板の熱処理方法及び同方法で処理されたシリコン半導体基板 - Google Patents
シリコン半導体基板の熱処理方法及び同方法で処理されたシリコン半導体基板 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 表面近傍に無欠陥層を有するシリコンウェーハを製造するために所定のシリコンウェーハを熱処理する方法であって、該熱処理用シリコンウェーハの深さ方向の窒素濃度分布を制御することにより所望の内部欠陥密度分布を形成させる熱処理方法を提供する。
【選択図】 図13
Description
12 表面
14 表面
Claims (9)
- 表面近傍に無欠陥層を有するシリコンウェーハにあって、
窒素若しくは窒素を含んだ雰囲気ガスを用いた熱処理後に、該シリコンウェーハ表面から10μmの位置で窒素濃度が1×1014atoms/cm3以上であることを特徴とするシリコンウェーハ。 - 表面近傍に無欠陥層を有するシリコンウェーハを製造するために所定のシリコンウェーハを熱処理する方法であって、
該熱処理用シリコンウェーハの深さ方向の窒素濃度分布を制御することにより所望の内部欠陥密度分布を形成させる熱処理方法。 - 前記熱処理方法は、
所定の分圧を有する窒素若しくは窒素を含む雰囲気ガス中で行うものであり、
所定の昇温速度で昇温し、
所定の保持温度範囲で所定の保持時間保持した後、
所定の降温速度で降温する請求項2記載の熱処理方法。 - 前記熱処理方法は、
予め深さ方向の所望の内部欠陥密度分布を決定し、
該内部欠陥密度分布と前記窒素濃度分布をマッチングさせた後、前記窒素濃度分布を達成するように、前記窒素分圧、前記昇温速度、前記保持温度範囲、前記保持時間、前記降温速度を決定する請求項3記載の熱処理方法。 - 前記窒素濃度の分布は、深さ方向においてほぼM字型となる請求項2から4いずれか記載の熱処理方法。
- 表面付近には十分な深さの無欠陥層が形成され、かつ表面に近い位置に高密度の欠陥が形成されたシリコンウェーハであって、前記無欠陥層の深さやこれに近接するウェーハ内部の深さ方向欠陥密度分布を任意に制御することを特徴とする熱処理方法。
- 窒素若しくは窒素を含む雰囲気ガスを用いた、熱処理後に該シリコンウェーハ表面から10μmの位置で窒素濃度が1×1014atoms/cm3以上浸透させることを特徴とする請求項6に記載の熱処理方法。
- 酸素濃度が9〜17×1017atoms/cm3のシリコン単結晶より採取したシリコンウェーハを用いて行なう熱処理であって、急速昇降温熱処理工程を含み、該急速昇降温熱処理工程は所定の保持温度に所定の保持時間保持する保持工程を含み、前記所定の保持温度は1100〜1300℃であり、前記保持時間は1〜300秒であり、前記雰囲気ガス中の窒素の分圧が0.1〜1%であり、前記保持温度範囲からの降温速度が1〜100℃/秒である請求項7記載の熱処理方法。
- 請求項2から8いずれか記載の熱処理方法により処理されたシリコンウェーハ。
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