JP2005211767A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 基板を保持する保持テーブルと、前記基板の前記保持テーブルに保持された保持面とは反対側の塗布面に相対向して液体が流出されるスリット状のノズル開口が設けられた塗布ヘッドとを具備するスリットコート式塗布装置であって、
   前記保持テーブルが、当該基板の前記塗布面に直交する軸を中心として回転自在に設けられていると共に、前記塗布ヘッドの前記ノズル開口が前記基板の回転半径よりも短く形成され、且つ当該塗布ヘッドが前記基板の前記塗布面の面方向に沿って前記基板の回転中心を通る直線上に移動自在に設けられており、前記保持テーブルを回転させながら前記塗布ヘッドを前記塗布面の面方向に移動させることで、前記基板の前記塗布面に液体を塗布することを特徴とするスリットコート式塗布装置。
2. 前記塗布ヘッドが、前記ノズル開口の長手方向が前記回転中心を通る直線上に沿って配置されていることを特徴とする請求項１記載のスリットコート式塗布装置。
3. 前記塗布ヘッドが複数個設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のスリットコート式塗布装置。
4. 基板を保持する保持テーブルと、前記基板の前記保持テーブルに保持された保持面とは反対側の塗布面に相対向して液体が流出されるスリット状のノズル開口が形成された塗布ヘッドとを具備するスリットコート式塗布方法であって、
   前記保持テーブルを前記基板の前記塗布面に直交する軸を中心として回転させながら、前記ノズル開口が前記基板の回転半径よりも短く形成された前記塗布ヘッドを前記基板の前記塗布面の面方向に沿って前記基板の回転中心を通る直線上に移動させることにより、前記基板の前記塗布面に液体を塗布することを特徴とするスリットコート式塗布方法。