JP2013235957A - レジスト塗布装置及びレジスト塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】プリウェット方式を使用してレジスト膜の厚みや膜質の面内均一性を向上し得るレジスト塗布装置を提供する。
【解決手段】レジスト塗布装置1は、レジスト液吐出ノズル11とプリウェットノズル12との離間距離を横方向へ伸縮自在にするように構成された連結部材13と、プリウェットノズル12の先端部12aからウエハWに向けてプリウェット液を吐出させた後に、レジスト液吐出ノズル11の先端部11aからウエハWに向けてレジスト液を吐出させる吐出制御部43と、プリウェット液が吐出される期間とレジスト液が吐出される期間とでウエハWを回転させる回転駆動部22とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】レジスト塗布装置1は、レジスト液吐出ノズル11とプリウェットノズル12との離間距離を横方向へ伸縮自在にするように構成された連結部材13と、プリウェットノズル12の先端部12aからウエハWに向けてプリウェット液を吐出させた後に、レジスト液吐出ノズル11の先端部11aからウエハWに向けてレジスト液を吐出させる吐出制御部43と、プリウェット液が吐出される期間とレジスト液が吐出される期間とでウエハWを回転させる回転駆動部22とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、ウエハ上にレジスト膜を形成する技術に関し、特に、プリウェット液をウエハに塗布した後にレジスト液を塗布してレジスト膜を形成する技術に関する。
半導体製造技術で使用されるフォトリソグラフィ工程は、被加工膜上に感光剤を塗布してレジスト膜を形成する工程と、このレジスト膜にフォトマスク(レチクル)を介してパターン光を露光する工程と、露光後のレジスト膜に現像処理を施してレジストパターンを形成する工程とを含む。フォトリソグラフィ工程の実行後は、たとえば、レジストパターンをマスクとして被加工膜のエッチングが実行される。近年、レジスト液(感光剤)の使用量の削減やレジスト膜の厚みや膜質の面内均一性の向上のために、レジスト液を塗布する前にシンナーなどの溶剤を含むプリウェット液をウエハに塗布するプリウェット方式と呼ばれるレジスト塗布方法が採用されている。プリウェット方式は、たとえば、特開2003−136010号公報(特許文献1)に開示されている。
特許文献1の塗布処理装置は、プリウェットノズルの先端部をウエハの中心と周縁との間の中間位置まで移動させ、回転状態のウエハに当該プリウェットノズルの先端部からシンナーを吐出させてウエハの外周部をシンナーで濡らす。次いで、塗布処理装置は、塗布液吐出ノズルからウエハの略中心に向けて塗布液を吐出させ、続けて、ウエハを所定の回転数で回転させることで塗布液をウエハ全体に拡げている。
しかしながら、プリウェット液の種類やレジスト液の種類に応じて、レジスト膜に外観上の異常や寸法のバラツキが生じ、レジスト膜の厚みや膜質の面内均一性を十分に確保することができない場合があった。また、近年、半導体デバイスの品質向上や歩留まり向上の観点から、レジスト膜の厚みや膜質の面内均一性を向上することが強く求められている。
上記に鑑みて本発明の目的は、プリウェット方式を使用してレジスト膜の厚みや膜質の面内均一性を向上し得るレジスト塗布装置及びレジスト塗布方法を提供することである。
本発明の第1の態様によるレジスト塗布装置は、被加工膜を上面に有するウエハを支持する支持部材と、レジスト液の吐出口が形成された先端部を有するレジスト液吐出ノズルと、プリウェット液の吐出口が形成された先端部を有するプリウェットノズルと、前記レジスト液吐出ノズルと前記プリウェットノズルとの間を連結し、前記レジスト液吐出ノズルと前記プリウェットノズルとの離間距離を前記上面に平行な横方向へ伸縮自在にするように構成された連結部材と、前記プリウェットノズルの先端部から前記ウエハに向けて前記プリウェット液を吐出させた後に、前記レジスト液吐出ノズルの先端部から前記ウエハに向けて前記レジスト液を吐出させる吐出制御部と、前記プリウェットノズルの先端部から前記プリウェット液が吐出される期間と前記レジスト液吐出ノズルの先端部から前記レジスト液が吐出される期間とで前記ウエハを回転させる回転駆動部とを備えることを特徴とする。
本発明の第2の態様によるレジスト塗布方法は、被加工膜を上面に有するウエハを支持する支持部材と、レジスト液の吐出口が形成された先端部を有するレジスト液吐出ノズルと、プリウェット液の吐出口が形成された先端部を有するプリウェットノズルと、前記プリウェットノズルの先端部から前記プリウェット液が吐出される期間と前記レジスト液吐出ノズルの先端部から前記レジスト液が吐出される期間とで前記ウエハを回転させる回転駆動部とを備えたレジスト塗布装置におけるレジスト塗布方法であって、前記プリウェットノズルの先端部を前記ウエハの外周縁部の直上の第1の吐出位置から前記ウエハの内周側の第2の吐出位置まで移動させるステップと、前記プリウェットノズルの先端部が前記第1の吐出位置から前記第2の吐出位置まで移動する間に前記プリウェットノズルの先端部から前記ウエハに向けて前記プリウェット液を連続的に吐出させるステップと、前記プリウェットノズルの先端部が前記第2の吐出位置に到達した後に、前記レジスト液吐出ノズルの先端部を前記ウエハの中心の直上の第3の吐出位置に位置付けするステップと、前記第3の吐出位置に位置付けされた当該レジスト液吐出ノズルの先端部から前記ウエハに向けて前記レジスト液を吐出させるステップとを備えることを特徴とする。
本発明の第1の態様によるレジスト塗布装置は、レジスト液吐出ノズルとプリウェットノズルとの離間距離を伸縮自在にするように構成された連結部材を有するので、プリウェット液の種類やレジスト液の種類に応じて、レジスト膜の厚みや膜質の面内均一性が向上するようにレジスト液吐出ノズルとプリウェットノズルとの離間距離を最適化することができる。
また、本発明の第2の態様によるレジスト塗布方法は、プリウェットノズルの先端部が第1の吐出位置から第2の吐出位置まで移動する間にその先端部からウエハに向けてプリウェット液を連続的に吐出させるので、レジスト膜の厚みや膜質の面内均一性を向上させることができる。
以下、本発明に係る種々の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
実施の形態1.
図1は、本発明に係る実施の形態1のレジスト塗布装置1の主要な概略構成を示す図であり、図2は、図1のレジスト塗布装置1の一部を上面視で示す平面図である。レジスト塗布装置1は、ウエハWの上面に形成されている被加工膜上にプリウェット方式でレジスト膜を塗布(コーティング)する装置である。塗布されたレジスト膜は、フォトリソグラフィ工程においてレジストパターンを形成するために使用される。図1及び図2に示されるZ軸方向は、ウエハWの厚み方向と一致し、X軸方向及びY軸方向は、互いに直交し且つZ軸方向と垂直な方向である。
図1は、本発明に係る実施の形態1のレジスト塗布装置1の主要な概略構成を示す図であり、図2は、図1のレジスト塗布装置1の一部を上面視で示す平面図である。レジスト塗布装置1は、ウエハWの上面に形成されている被加工膜上にプリウェット方式でレジスト膜を塗布(コーティング)する装置である。塗布されたレジスト膜は、フォトリソグラフィ工程においてレジストパターンを形成するために使用される。図1及び図2に示されるZ軸方向は、ウエハWの厚み方向と一致し、X軸方向及びY軸方向は、互いに直交し且つZ軸方向と垂直な方向である。
図1に示されるように、このレジスト塗布装置1は、半導体材料を含むウエハWの底面を支持するスピンチャック21と、このスピンチャック21を回転させる回転駆動部22と、コントローラ(シーケンス制御部)41とを備える。スピンチャック21は、レジスト塗布装置1内にロードされたウエハWの裏面のほぼ中心部分を真空吸着してウエハWを水平状態(ウエハWの上面がZ軸方向に対してほぼ垂直となる状態)に保持する。回転駆動部22は、コントローラ41の回転制御部42の制御を受けて動作する駆動モータ(図示せず)を含み、スピンチャック21をその中心軸の回りに回転させることでウエハWを回転させる。ウエハWの回転速度(単位:rpm)は、回転制御部42によって制御される。
また、レジスト塗布装置1は、レジスト液の吐出口が形成された先端部11aを有するレジスト液吐出ノズル11と、シンナーなどの溶剤を主成分とするプリウェット液の吐出口が形成された先端部12aを有するプリウェットノズル12と、レジスト液吐出ノズル11とプリウェットノズル12との間を連結する連結部材(連結アーム)13と、ソルベントバス(液受け部)14とを備えている。
ノズル駆動部31は、ウエハWに対してレジスト液吐出ノズル11を移動させてこのレジスト液吐出ノズル11を指定された位置に位置付けする機能を有する。図2に示されるように、ノズル駆動部31は、Y軸方向に延在するアーム部材31Lと、水平駆動機構31Mとを含む。レジスト液吐出ノズル11の本体部は、アーム部材31Lに取り付けられている。水平駆動機構31Mは、コントローラ41のノズル駆動制御部44の制御を受けて動作し、アーム部材31LをX軸方向に移動させてレジスト液吐出ノズル11をウエハWに近接させる方向あるいはウエハWから離間させる方向に移動させる機能を有する。水平駆動機構31Mは、たとえば、駆動モータと、この駆動モータの回転力を直線運動に変換する駆動ベルトとで構成することができる。なお、レジスト塗布装置1は、アーム部材31Lの長手方向(Y軸方向)に沿ってレジスト液吐出ノズル11を移動させる駆動機構を有していてもよい。
連結部材13は、レジスト液吐出ノズル11の本体部とプリウェットノズル12の本体部との離間距離を横方向(Z軸方向に垂直な方向)へ伸縮自在にするように構成されたアーム状の部材である。連結部材13の先端は、プリウェットノズル12の本体部に固定されており、連結部材13の基端は、レジスト液吐出ノズル11の本体部内の副ノズル駆動部32に接続されている。副ノズル駆動部32は、コントローラ41のノズル駆動制御部44によって制御される。
レジスト液吐出ノズル11は、レジスト液供給源33から制御弁34を介して高圧で供給されたレジスト液をその先端部11aの吐出口から下方に吐出する機構を有する。制御弁34は、コントローラ41の吐出制御部43の制御を受けて動作し、レジスト液吐出ノズル11から吐出されるレジスト液の流量を調整する機能を有している。ソルベントバス14内には、レジスト剤の雰囲気が形成されており、レジスト液吐出ノズル11が待機状態にあるとき、その先端部11aはソルベントバス14内に配置されてレジスト剤の雰囲気に曝される。
一方、プリウェットノズル12は、プリウェット液供給源35から制御弁36を介して高圧で供給されたプリウェット液をその先端部12aの吐出口から下方に吐出する機構を有する。制御弁36は、コントローラ41の吐出制御部43の制御を受けて動作し、プリウェットノズル12から吐出されるプリウェット液の流量を調整する機能を有する。
コントローラ41は、回転駆動部22の動作(たとえば、回転数)を制御する回転制御部42と、制御弁34,36の動作を個別に制御する吐出制御部43と、ノズル駆動部31の動作を制御するノズル駆動制御部44とを含む。このようなコントローラ41は、たとえば、CPUなどのマイクロプロセッサと、ROM(Read Only Memory)などの不揮発性メモリと、RAM(Random Access Memory)と、入出力インターフェースとで構成することができる。マイクロプロセッサは、不揮発性メモリからプログラムあるいは実行形式のファイルを読み出し実行することでコントローラ41の機能を実現することが可能である。
操作部40は、ユーザによって操作入力された情報(指示情報や設定情報など)を示す制御信号をコントローラ41に与える機能を有する。コントローラ41は、操作部40に操作入力された情報に基づいてレジスト塗布装置1のシーケンス動作の制御を行う。
なお、レジスト塗布装置1の構成は、図1及び図2に示す構成に限定されるものではない。図1及び図2に示した構成要素の他に、レジスト塗布装置1は、レジスト液吐出ノズル11をZ軸方向に昇降させるエアシリンダーなどの昇降機構、ウエハWを取り囲むカップ状の保護部材、ウエハWの表面を洗浄するリンスノズル、並びに、ウエハWの裏面を洗浄するバックリンスノズルなどの図示されない構成要素をも有する。
次に、上記のレジスト塗布装置1の動作を以下に説明する。図3は、レジスト塗布装置1のシーケンス動作を説明するためのタイミングチャートである。図3において、横軸は、経過時間すなわちシーケンス時間t(単位:秒)を表し、縦軸は、ウエハWの回転数(単位:rpm)を表している。
初期状態では、ウエハWは回転せずに静止しており、レジスト液吐出ノズル11は、ソルベントバス14の直上の位置に配置される。レジスト塗布シーケンスが開始されると、ノズル駆動制御部44は、所定時間経過後の時刻t11で副ノズル駆動部32を制御して連結部材13を伸縮させることにより、プリウェットノズル12とレジスト液吐出ノズル11との離間距離を調整する(図4)。この結果、離間距離は、使用されるプロセス条件(ウエハWの温度、レジスト液の種類及びプリウェット液の種類など)に応じた最適な値に設定される。ここで、離間距離の値と複数のプロセス条件との対応関係を、あらかじめレジスト塗布装置1内の書き換え可能な不揮発性メモリ(フラッシュメモリやハードディスクなど)に記憶させておくことが可能である。ノズル駆動制御部44は、シーケンス動作開始時に不揮発性メモリを参照して、現在選択されているプロセス条件に対応する離間距離の値を取得し利用することができる。また、シーケンス動作に先立ち、ユーザが操作部40を操作して離間距離の値を設定することもできる。
その後、回転制御部42は、回転駆動部22を制御してウエハWの回転を開始させる。また、ノズル駆動制御部44は、ノズル駆動部31を制御してレジスト液吐出ノズル11をウエハWに近づく方向に移動させ、図5に示されるようにプリウェットノズル12の先端部12aをウエハWの中心から横方向に距離L1だけ離れた吐出位置(第1の吐出位置)に位置付けする。距離L1は、ウエハWの半径R1の半分よりも短い値となるように設定されるので、プリウェットノズル12の先端部12aは、ウエハWの半径方向中央とウエハWの中心との間の領域の直上に位置付けされる。ここで、ウエハWの半径方向中央とは、当該半径方向におけるウエハWの中心とウエハWの周縁(外周端)との間の中間位置を意味する。たとえば、6インチ径(直径150mm)のウエハWの場合、ウエハWの中心からの距離L1を約11mmに設定すればよい。後述するように、このようにウエハWの中心から若干ずれた位置にプリウェットノズル12の先端部12aを位置付けする場合は、そうでない場合と比べて、レジスト膜の膜厚や膜質の面内均一性を向上させることができる。
その後、ウエハWの回転数が所定の目標回転数(約4500rpm)に到達し、ウエハWの高速回転が安定した後の時刻t12で、吐出制御部43は、制御弁36を制御してプリウェットノズル12の先端部12aからプリウェット液50を所定時間だけ下方に吐出させる。この結果、図6に示されるようにウエハWに滴下したプリウェット液50は、遠心力を受けてウエハWの外周縁部にまで移動して環状の膜を形成するが、ウエハWの中心部にはプリウェット液50の膜は形成されない。なお、図6には、ウエハWの断面とプリウェット液50の膜の断面とが示されている。以下に説明される図7〜図9でも同様である。
プリウェット液50の吐出が完了した後に、ノズル駆動制御部44は、ノズル駆動部31を制御して、図7に示されるようにレジスト液吐出ノズル11の先端部11aをウエハWの中心の直上の吐出位置(第2の吐出位置)に位置付けする。その後の時刻t13で、吐出制御部43は、制御弁34を制御して、図8に示されるようにレジスト液吐出ノズル11の先端部11aからウエハWに向けて所定時間だけレジスト液51を吐出させる。
レジスト液51の吐出が完了した後は、回転制御部42は、図3に示されるように所定の期間T11の間だけウエハWの回転数が低速(約100rpm)となるように回転駆動部22を制御する。この期間T11は、ウエハW上に塗布されたレジスト液51の膜の広がりの程度を調整する期間である。ウエハWの回転数を低速とすることで、プリウェット液50の揮発(乾燥)が抑制され、ウエハW上でレジスト液51が拡がりやすくなる。この期間T11の長さを最適化することでレジスト膜の膜厚や膜質の面内均一性を向上させることができる。
続けて、回転制御部42は、レジスト膜の膜厚を調整するために、所定の期間T12だけウエハWの回転数を中速(約3000rpm)に上げる。その後、回転制御部42は、所定の期間T13だけウエハWの回転数をより低い速度(約2000rpm)に落とす。この期間T13では、図示されないウエハWのエッジ部分の洗浄処理(エッジリンス)やウエハWの裏面の洗浄処理(バックリンス)が実行される。
以上に説明したように実施の形態1のレジスト塗布装置1は、レジスト液吐出ノズル11とプリウェットノズル12との離間距離を伸縮自在にするように構成された連結部材13を有するので、プロセス条件(プリウェット液の種類やレジスト液の種類など)に応じて、ウエハW上に形成されるレジスト膜の厚みや膜質の面内均一性が向上するようにその離間距離を最適化することができる(図4)。このため、図6に示したようなプリウェット液50のウエハWへの吐出が開始される時点(時刻t12)から、図8に示したようなレジスト液51のウエハWへの吐出が開始される時点(時刻t13)までの待ち時間を最適化することができる。ウエハW上に形成されるレジスト膜の面内均一性は、レジスト塗布工程のプロセス条件(たとえば、ウエハWとプリウェット液50との温度差やプリウェット液50の粘度や揮発具合)に依存する。また、プリウェット液50の塗布膜の状態は経過時間とともに変化するので、プリウェット液50の塗布完了後にレジスト液51を投入するタイミングは、レジスト膜の面内均一性に影響を与える。よって、プリウェット液50やレジスト液51の特性に応じて、あらかじめプリウェットノズル12とレジスト液吐出ノズル11との離間距離を調整しておくことで、プリウェット液50の塗布完了後、レジスト液吐出ノズル11の先端部11aの吐出位置までの移動時間(図7)を調整することができ、これによりプリウェット液50の塗布膜の状態が最適となるタイミングでレジスト液51を投入することが可能となる。したがって、プリウェット液の種類やレジスト液の種類に応じて、レジスト膜の面内均一性を向上させることができる。
また、ウエハWの種類やそのサイズの変更がなされても、プリウェットノズル12とレジスト液吐出ノズル11との離間距離を調整することで、レジスト液51を投入するタイミングを調整してレジスト膜の面内均一性を確保することが可能である。このとき、レジスト液吐出ノズル11を吐出位置まで移動させる際のレジスト液吐出ノズル11の駆動速度をウエハWの種類やサイズに合わせて変更しなくて済むという利点がある。
また、図6に示したようにプリウェット液50をウエハWの中心から若干ずれた位置に吐出することでレジスト膜の面内均一性をさらに向上させることができる。図9に示すようにプリウェット液50がウエハWの中心に吐出され、その後にレジスト液が投入された場合は、ウエハWとプリウェット液50との温度差に起因してウエハWの中心部上のレジスト膜の膜厚がウエハWの周辺部と比べて薄くなり、レジスト膜の面内均一性が損なわれるおそれがある。その理由は、ウエハWの中心部がプリウェット液50の吐出を比較的長時間受けることで冷却されると、ウエハWの中心部でプリウェット液50の主成分である有機溶剤が揮発しにくくなり、ウエハWの周辺部と比べてレジスト液51が拡がりやすくなるためである。特に、比較的高粘度のレジスト剤は、レジスト剤自体の塗り広げ性が低いため、ウエハWの中心部が冷却されることによる影響を受けやすい。
図10は、プリウェット液50がウエハWの中心位置に吐出された場合と、プリウェット液50がウエハWの中心からずれた位置に吐出された場合とのレジスト膜の膜厚の面内分布を実際に測定した結果を示すグラフである。図10において、横軸は、ウエハWの中心からの正方向及び負方向の距離を示し、縦軸は、当該距離の位置でのレジスト膜の膜厚の測定結果(単位:オングストローム)を示している。この結果は、分光光度計を用いて測定された。なお、分光光度計は、レジスト膜の表面からの反射光とレジスト膜を透過してその裏面で反射した光との干渉光の位相を計測し、その計測結果に基づいて膜厚を測定し得る装置である。また、プリウェット液50としては、東京応化工業株式会社製の「VFRシンナー」が使用され、レジスト液51としては、東京応化工業株式会社製の「THMR−iP2900」が使用された。このレジスト液51の粘度は23cP(センチポアズ)であった。
図10のグラフに示されるように、ウエハWの中心から+10mm、+15mm、+20mmだけそれぞれ離れた位置にプリウェット液50が吐出された場合に得られた測定結果は、ウエハWの中心の位置及び中心から+5mmの位置にそれぞれプリウェット液50が吐出された場合に得られた測定結果と比べて面内均一性が良好であることが分かる。
上記レジスト塗布シーケンスでは、レジスト塗布装置1は、プリウェットノズル12とレジスト液吐出ノズル11との離間距離を調整するステップ(図4)と、プリウェットノズル12の先端部12aをウエハWの中心から横方向に距離L1だけ離れた吐出位置に位置付けするステップ(図5)と、プリウェットノズル12の先端部12aからプリウェット液50を所定時間だけ下方に吐出させるステップ(図6)と、レジスト液吐出ノズル11の先端部11aをウエハWの中心の直上の吐出位置に位置付けするステップ(図7)と、レジスト液吐出ノズル11の先端部11aからレジスト液51を吐出させるステップ(図8)とをこの順番で実行していた。この手順に代えて、以下に説明するように、図11〜図14に示す手順を実行してもよい。
レジスト塗布シーケンスが開始されると、図11に示されるように、ノズル駆動制御部44は、副ノズル駆動部32を制御して連結部材13を伸縮させることにより、プリウェットノズル12とレジスト液吐出ノズル11との離間距離を調整する。ここで、当該離間距離は、距離L1(ウエハWの半径R1の半分よりも短い値)となるように調整される。次いで、図12に示されるように、ノズル駆動制御部44は、ノズル駆動部31を制御してレジスト液吐出ノズル11をウエハWに近づく方向に移動させて、レジスト液吐出ノズル11の先端部11aをウエハWの中心の直上の吐出位置に位置付けすると同時に、プリウェットノズル12の先端部12aをウエハWの中心から横方向に距離L1だけ離れた吐出位置に位置付けする。
その後、ウエハWの高速回転が安定すると、図13に示されるように、吐出制御部43は、制御弁36を制御してプリウェットノズル12の先端部12aからプリウェット液50を所定時間だけ下方に吐出させる。続けて、図14に示されるように、吐出制御部43は、制御弁34を制御して、レジスト液吐出ノズル11の先端部11aからウエハWに向けて所定時間だけレジスト液51を吐出させる。
図11〜図14に示した手順では、プリウェット液50の吐出が開始される前に、既にレジスト液吐出ノズル11は所定の吐出位置に位置付けされているので、プリウェット液50の吐出完了後、レジスト液吐出ノズル11を移動させる必要が無い。よって、プリウェット液50の吐出完了時点から短時間でレジスト液51をウエハWに吐出することが可能である。したがって、プリウェット液50の特性に応じて、レジスト液51の吐出タイミングを最適化することができる。たとえば、プリウェット液50が速乾性の主成分を含む場合でも、プリウェット液50の吐出完了後、直ちにレジスト液51の吐出を開始することが可能である。
実施の形態2.
次に、本発明に係る実施の形態2について説明する。本実施の形態のレジスト塗布装置の構成は、シーケンス動作を除いて実施の形態1のレジスト塗布装置1の構成と同じである。図15は、実施の形態2によるシーケンス動作を説明するためのタイミングチャートである。図15において、横軸は、経過時間すなわちシーケンス時間t(単位:秒)を表し、縦軸は、ウエハWの回転数(単位:rpm)を表している。
次に、本発明に係る実施の形態2について説明する。本実施の形態のレジスト塗布装置の構成は、シーケンス動作を除いて実施の形態1のレジスト塗布装置1の構成と同じである。図15は、実施の形態2によるシーケンス動作を説明するためのタイミングチャートである。図15において、横軸は、経過時間すなわちシーケンス時間t(単位:秒)を表し、縦軸は、ウエハWの回転数(単位:rpm)を表している。
上記実施の形態1の場合と同様に、初期状態では、ウエハWは回転せずに停止しており、レジスト液吐出ノズル11は、ソルベントバス14の直上の位置に配置される。実施の形態2によるレジスト塗布シーケンスが開始されると、回転制御部42は、図15に示されるように、回転駆動部22を制御してウエハWの回転を開始させる。また、上記実施の形態1と同様に、ノズル駆動制御部44は、所定時間経過後の時刻t21で副ノズル駆動部32を制御して連結部材13を伸縮させることにより、プリウェットノズル12とレジスト液吐出ノズル11との離間距離を調整する。この結果、離間距離は、使用されるプロセス条件(ウエハWの温度、レジスト液の種類及びプリウェット液の種類など)に応じた最適な値に設定される。
また、ノズル駆動制御部44は、ノズル駆動部31を制御してレジスト液吐出ノズル11をウエハWに近づく方向に移動させ、図16に示されるようにプリウェットノズル12の先端部12aをウエハWの外周縁部の直上の吐出位置(第1の吐出位置)に位置付けする。
その後、ウエハWの回転数が所定の目標回転数(約4500rpm)に到達し、ウエハWの高速回転が安定した後の時刻t22で、吐出制御部43は、制御弁36を制御してプリウェットノズル12の先端部12aからウエハWの外周縁部に向けてプリウェット液50の吐出を開始させる(図17)。続けて、ノズル駆動制御部44は、ノズル駆動部31を制御してプリウェットノズル12の先端部12aをウエハWの外周縁部からウエハWの内周側の吐出位置(第2の吐出位置)まで一定速度で移動させ続ける。本実施の形態では、第2の吐出位置は、ウエハWの中心の直上の位置に設定されているが、これに限定されるものではなく、実施の形態1の場合のウエハWの中心から上記距離L1だけ離れた位置であってもよい。
並行して、時刻t22から、プリウェットノズル12の先端部12aが第2の吐出位置に到達する時刻t23までの期間T20の間、吐出制御部43は、制御弁36を制御してプリウェットノズル12の先端部12aからプリウェット液50の吐出を連続して実行させる。この結果、図18に示されるようにプリウェットノズル12の先端部12aが第2の吐出位置に到達するまでプリウェット液50がウエハWに供給される。
プリウェット液50の吐出が完了した後、ノズル駆動制御部44は、ノズル駆動部31を制御して、図19に示されるようにレジスト液吐出ノズル11の先端部11aをウエハWの中心の直上の吐出位置(第3の吐出位置)に位置付けする。そして、時刻t24で、吐出制御部43は、制御弁34を制御して、図20に示されるようにレジスト液吐出ノズル11の先端部11aからウエハWに向けて所定時間だけレジスト液51を吐出させる。
レジスト液51の吐出が完了した後は、回転制御部42は、図15に示されるように所定の期間T21の間だけウエハWの回転数が低速(約100rpm)となるように回転駆動部22を制御する。この期間T21は、ウエハW上に塗布されたレジスト液51の膜の広がりの程度を調整する期間である。ウエハWの回転数を低速とすることで、プリウェット液50の揮発(乾燥)が抑制され、ウエハW上でレジスト液51が拡がりやすくなる。この期間T21の長さを最適化することでレジスト膜の膜厚や膜質の面内均一性を向上させることができる。
続けて、回転制御部42は、レジスト膜の膜厚を調整するために、所定の期間T22だけウエハWの回転数を中速(約3000rpm)に上げる。その後、回転制御部42は、所定の期間T23だけウエハWの回転数をより低い速度(約2000rpm)に落とす。この期間T23では、図示されないウエハWのエッジ部分の洗浄処理(エッジリンス)やウエハWの裏面の洗浄処理(バックリンス)が実行される。
以上に説明したように実施の形態2によるレジスト塗布シーケンスでは、プリウェットノズル12の先端部12aが第1の吐出位置から第2の吐出位置まで移動する間にその先端部12aからウエハWに向けてプリウェット液50を連続的に吐出させるので、ウエハWの中心部にプリウェット液50が供給される時間を短くすることができる。よって、ウエハWの中心部がプリウェット液50により冷却されることを抑制することができるので、レジスト膜の面内均一性を向上させることができる。
また、上記実施の形態1によるレジスト塗布シーケンスと同様に、プリウェットノズル12からプリウェット液50が吐出される前に、あらかじめプリウェットノズル12とレジスト液吐出ノズル11との離間距離が調整されるので、プリウェット液50の吐出に続いてレジスト液51が吐出されるタイミングを最適化することができる。したがって、プロセス条件に応じて、レジスト膜の面内均一性を向上させることができる。
以上、図面を参照して本発明に係る種々の実施の形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な形態を採用することもできる。たとえば、レジスト液吐出ノズル11の先端部11aやプリウェットノズル12の先端部12aの構成を斜め方向に液を吐出するように変更してもよい。
1 レジスト塗布装置、 11 レジスト液吐出ノズル、 12 プリウェットノズル、 13 連結部材、 14 ソルベントバス、 21 スピンチャック、 22 回転駆動部、 31 ノズル駆動部、 31M 水平駆動機構、 31L アーム部材、 32 副ノズル駆動部、 33 レジスト液供給源、 34,36 制御弁、 35 プリウェット液供給源、 40 操作部、 41 コントローラ、 42 回転制御部、 43 吐出制御部、 44 ノズル駆動制御部、 50 プリウェット液、 51 レジスト液。
Claims (10)
- 被加工膜を上面に有するウエハを支持する支持部材と、
レジスト液の吐出口が形成された先端部を有するレジスト液吐出ノズルと、
プリウェット液の吐出口が形成された先端部を有するプリウェットノズルと、
前記レジスト液吐出ノズルと前記プリウェットノズルとの間を連結し、前記レジスト液吐出ノズルと前記プリウェットノズルとの離間距離を前記上面に平行な横方向へ伸縮自在にするように構成された連結部材と、
前記プリウェットノズルの先端部から前記ウエハに向けて前記プリウェット液を吐出させた後に、前記レジスト液吐出ノズルの先端部から前記ウエハに向けて前記レジスト液を吐出させる吐出制御部と、
前記プリウェットノズルの先端部から前記プリウェット液が吐出される期間と前記レジスト液吐出ノズルの先端部から前記レジスト液が吐出される期間とで前記ウエハを回転させる回転駆動部と
を備えることを特徴とするレジスト塗布装置。 - 請求項1に記載のレジスト塗布装置であって、前記ウエハに対して前記レジスト液吐出ノズルを相対移動させるノズル駆動部をさらに備えることを特徴とするレジスト塗布装置。
- 請求項2に記載のレジスト塗布装置であって、
前記ノズル駆動部の動作を制御するノズル駆動制御部をさらに備え、
前記ノズル駆動制御部は、前記ノズル駆動部の動作を制御して、前記プリウェットノズルの先端部を前記ウエハの半径方向中央と当該ウエハの中心との間の領域の直上の第1の吐出位置に位置付けした後に、前記ノズル駆動部の動作を制御して、前記レジスト液吐出ノズルの先端部を前記ウエハの中心の直上の第2の吐出位置に位置付けし、
前記吐出制御部は、前記プリウェットノズルの先端部が前記第1の吐出位置に位置付けされたときに前記プリウェットノズルの先端部から前記ウエハに向けて前記プリウェット液を吐出させ、前記レジスト液吐出ノズルの先端部が前記第2の吐出位置に位置付けされたときに前記レジスト液吐出ノズルの先端部から前記ウエハに向けて前記レジスト液を吐出させる
ことを特徴とするレジスト塗布装置。 - 請求項3に記載のレジスト塗布装置であって、
前記ノズル駆動部は、前記離間距離を伸縮させる機能をさらに有し、
前記ノズル駆動制御部は、前記ノズル駆動部の動作を制御して前記離間距離を調整した後に、前記ノズル駆動部の動作を制御して前記レジスト液吐出ノズルを移動させることによって前記プリウェットノズルの先端部を前記第1の吐出位置に位置付けする
ことを特徴とするレジスト塗布装置。 - 請求項2に記載のレジスト塗布装置であって、
前記ノズル駆動部の動作を制御するノズル駆動制御部をさらに備え、
前記ノズル駆動部は、前記離間距離を伸縮させる機能をさらに有し、
前記ノズル駆動制御部は、前記ノズル駆動部の動作を制御して、前記離間距離を前記ウエハの半径方向中央と当該ウエハの中心との間の距離よりも短い値に設定した後に、前記ノズル駆動部の動作を制御して、前記レジスト液吐出ノズルの先端部を前記ウエハの中心の直上の吐出位置に位置付けし、
前記吐出制御部は、前記レジスト液吐出ノズルの先端部が前記吐出位置に位置付けされた状態で前記プリウェットノズルの先端部から前記ウエハに向けて前記プリウェット液を吐出させ、当該プリウェット液の吐出後に前記レジスト液吐出ノズルの先端部から前記ウエハに向けて前記レジスト液を吐出させる
ことを特徴とするレジスト塗布装置。 - 請求項2に記載のレジスト塗布装置であって、
前記ノズル駆動制御部は、前記ノズル駆動部の動作を制御して、前記プリウェットノズルの先端部を前記ウエハの外周縁部の直上の第1の吐出位置から前記ウエハの内周側の第2の吐出位置まで移動させた後に、前記ノズル駆動部の動作を制御して、前記レジスト液吐出ノズルの先端部を前記ウエハの中心の直上の第3の吐出位置に位置付けし、
前記吐出制御部は、前記プリウェットノズルの先端部が前記第1の吐出位置から前記第2の吐出位置まで移動する期間に前記プリウェットノズルの先端部から前記ウエハに向けて前記プリウェット液を連続的に吐出させ、前記レジスト液吐出ノズルの先端部が前記第3の吐出位置に位置付けされたときに前記レジスト液吐出ノズルの先端部から前記ウエハに向けて前記レジスト液を吐出させる
ことを特徴とするレジスト塗布装置。 - 請求項6に記載のレジスト塗布装置であって、前記第2の吐出位置は、前記ウエハの中心の直上の位置であることを特徴とするレジスト塗布装置。
- 請求項6または7に記載のレジスト塗布装置であって、
前記ノズル駆動部は、前記離間距離を伸縮させる機能をさらに有し、
前記ノズル駆動制御部は、前記ノズル駆動部の動作を制御して前記離間距離を調整した後に、前記ノズル駆動部の動作を制御して前記レジスト液吐出ノズルを移動させることによって前記プリウェットノズルの先端部を前記第1の吐出位置から前記第2の吐出位置まで移動させる
ことを特徴とするレジスト塗布装置。 - 被加工膜を上面に有するウエハを支持する支持部材と、レジスト液の吐出口が形成された先端部を有するレジスト液吐出ノズルと、プリウェット液の吐出口が形成された先端部を有するプリウェットノズルと、前記プリウェットノズルの先端部から前記プリウェット液が吐出される期間と前記レジスト液吐出ノズルの先端部から前記レジスト液が吐出される期間とで前記ウエハを回転させる回転駆動部とを備えたレジスト塗布装置におけるレジスト塗布方法であって、
前記プリウェットノズルの先端部を前記ウエハの外周縁部の直上の第1の吐出位置から前記ウエハの内周側の第2の吐出位置まで移動させるステップと、
前記プリウェットノズルの先端部が前記第1の吐出位置から前記第2の吐出位置まで移動する間に前記プリウェットノズルの先端部から前記ウエハに向けて前記プリウェット液を連続的に吐出させるステップと、
前記プリウェットノズルの先端部が前記第2の吐出位置に到達した後に、前記レジスト液吐出ノズルの先端部を前記ウエハの中心の直上の第3の吐出位置に位置付けするステップと、
前記第3の吐出位置に位置付けされた当該レジスト液吐出ノズルの先端部から前記ウエハに向けて前記レジスト液を吐出させるステップと
を備えることを特徴とするレジスト塗布方法。 - 請求項9に記載のレジスト塗布方法であって、前記第2の吐出位置は、前記ウエハの中心の直上の位置であることを特徴とするレジスト塗布方法。
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