JP2009039624A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 基板の塗布面に対して、第１の液体を第１の塗布ヘッドに設けられたスリット状のノズル開口から吐出させ、前記第１の液体が前記基板に接触した状態で前記基板と前記第１の塗布ヘッドとを面方向に相対的に移動させることで前記第１の液体を塗布して前記基板上に第１の塗膜を形成する第１の塗布工程と、
   前記第１の塗膜が乾燥する前に、前記基板の塗布面に対して、第２の液体を第２の塗布ヘッドに設けられたスリット状のノズル開口から吐出させ、前記第２の液体が前記第１の塗膜に接触した状態で前記基板と前記第２の塗布ヘッドとを面方向に相対的に移動させることで前記第２の液体を塗布して前記第１の塗膜上に第２の塗膜を形成する第２の塗布工程と、を具備することを特徴とするスリットコート式塗布方法。
2. 前記第１の塗布工程と前記第２の塗布工程とが連続して行われることを特徴とする請求項１に記載のスリットコート式塗布方法。
3. 前記第１の塗布工程と前記第２の塗布工程とが同時期に行われることを特徴とする請求項１に記載のスリットコート式塗布方法。
4. 前記第１の塗布工程は前記基板と前記第１の塗布ヘッドとを一方向に相対的に移動させて行われ、前記第２の塗布工程は前記基板と前記第２の塗布ヘッドとを他方向に相対的に移動させて行われることを特徴とする請求項１又は２に記載のスリットコート式塗布方法。
5. 前記第１の液体と前記第２の液体とが同一の液体であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のスリットコート式塗布方法。
6. 基板の塗布面に対して、第１の液体を第１の塗布ヘッドに設けられたスリット状のノズル開口から吐出させ、前記第１の液体が前記基板に接触した状態で前記基板と前記第１の塗布ヘッドとを面方向に相対的に移動させることで前記第１の液体を塗布して前記基板上に第１の塗膜を形成し、
   前記第１の塗膜が乾燥する前に、前記基板の塗布面に対して、第２の液体を第２の塗布ヘッドに設けられたスリット状のノズル開口から吐出させ，前記第２の液体が前記第１の塗膜に接触した状態で前記基板と前記第２の塗布ヘッドとを面方向に相対的に移動させることで前記第２の液体を塗布して前記第１の塗膜上に第２の塗膜を形成することを特徴とするスリットコート式塗布装置。