JP2005191408A - コイル導電体とその製造方法およびこれを用いた電子部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁性基材2の少なくとも一方の表面に形成された凹部4と、この凹部4の内部に形成された第一の導電体層3と、この第一の導電体層3上に形成された第二の導電体層5を有し、第二の導電体層5の外表面に表出する面を除く面に第一の導電体層3が形成された構成とする。このことにより、本発明のコイル導電体は、断面形状が高精度に均一化されており、かつ、実装時に外的衝撃が加わってもショート等の不都合の発生を抑えることができる。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の実施の形態1におけるコイル導電体の構成を示した図である。
図4は本発明の実施の形態2におけるコイル導電体の構成を示した図である。
図7は本発明の実施の形態3におけるコイル導電体の構成を示した図である。
図10は本発明の実施の形態4におけるコイル導電体の構成を示した図である。
図12は、本発明の実施の形態1で説明したコイル導電体をノート型モバイルコンピュータや家庭用ゲーム機、携帯型情報端末、AV機器等の電子機器に実装した場合の回路構成部を示した外観図である。図12において、39は本発明のコイル導電体、40は半導体チップ、41はコンデンサであり、マザーボード42に接続されている。なお、43はインダクタンス部品、44はコンデンサ部品、45は抵抗部品を示す。
2 絶縁性基材
3 第一の導電体層
4 凹部
5 第二の導電体層
6 保護層
7 絶縁性基材
8 フォトレジスト層
9 変質した部分
10 凹部
11 絶縁性基材
12 触媒
13 第一の導電体層
14 第二の導電体層
15 保護層
16 コイル導電体
17 第三の導電体層
18 保護層
19 第三の導電体層
20 保護層
21 コイル導電体
22 第四の導電体層
23 保護層
24 第四の導電体層
25 保護層
26 コイル導電体
27 粘着層
28 導通孔
29 凹部
30 保護層
31 粘着層
32 フォトレジスト層
33 穴部
34 導通孔
35 絶縁性基材
36 フォトレジスト層
37 穴部
38 保護層
39 コイル導電体
40 半導体チップ
41 コンデンサ
42 マザーボード
43 インダクタンス部品
44 コンデンサ部品
45 抵抗部品
46 絶縁性基材
47 凹部
48 第一の導電体層
49 第二の導電体層
50 絶縁基板
51 下地導体層
52 レジストパターン
53 中心導体
54 表面導体層
55 コイル導電体
56 絶縁基板
57 下地薄膜層
58 ポジ型フォトレジスト層
59 フォトレジストマスクパターン
60 露出部
61 コイル導電体めっき層
62 保護用金属薄膜層
63 隙間
Claims (15)
- 絶縁性基材の少なくとも一方の表面に形成された凹部と、この凹部の内部に形成された第一の導電体層と、この第一の導電体層上に形成された第二の導電体層を有し、第二の導電体層の外表面に表出する面を除く面に第一の導電体層が形成されたコイル導電体。
- 第一の導電体層および第二の導電体層の外表面に表出する面に第三の導電体層が形成された請求項1に記載のコイル導電体。
- 第三の導電体層の外表面に表出する面に第四の導電体層を形成した請求項2に記載のコイル導電体。
- 請求項1から3に記載のコイル導電体が複数個積層されており、上方に積層された絶縁性基材の少なくとも一箇所に導通孔が設けられ、積層された複数個のコイル導電体どうしが電気的に接続されたコイル導電体。
- 第二、第三の導電体層がAgの場合、第一、第四の導電体層がCuまたはNiであり、第二、第三の導電体層がCuの場合、第一、第四の導電体層がNiである請求項1から4に記載のコイル導電体。
- 第一、第三、第四の導電体層の厚みが10μm以下である請求項1から3に記載のコイル導電体。
- 絶縁性基材にフォトレジストを塗布し露光・現像または絶縁性基材を加圧成形することにより絶縁性基材の少なくとも一方の表面に凹部を形成し、この絶縁性基材の表面に無電解めっき、蒸着、スパッタリングのいずれか1つの方法により第一の導電体層を形成し、さらに、電気めっきにより第一の導電体層上に第二の導電体層を形成し、絶縁性基材の表面が露出するまで第一の導電体層と第二の導電体層を研磨するコイル導電体の製造方法。
- 絶縁性基材にフォトレジストを塗布し露光・現像または絶縁性基材を加圧成形することにより絶縁性基材の少なくとも一方の表面に凹部を形成し、この絶縁性基材の表面に無電解めっき、蒸着、スパッタリングのいずれか1つの方法により第一の導電体層を形成し、さらに、電気めっきにより第一の導電体層上に第二の導電体層を形成し、絶縁性基材の表面が露出するまで第一の導電体層と第二の導電体層を研磨し、さらにこの第一の導電体層および第二の導電体層の外表面に表出する面に電気めっきにより第三の導電体層を形成させるコイル導電体の製造方法。
- 絶縁性基材にフォトレジストを塗布し露光・現像または絶縁性基材を加圧成形することにより絶縁性基材の少なくとも一方の表面に凹部を形成し、この絶縁性基材の表面に無電解めっき、蒸着、スパッタリングのいずれか1つの方法により第一の導電体層を形成し、さらに、電気めっきにより第一の導電体層上に第二の導電体層を形成し、絶縁性基材の表面が露出するまで第一の導電体層と第二の導電体層を研磨し、さらにこの第一の導電体層および第二の導電体層の外表面に表出する面に電気めっきにより第三の導電体層を形成させ、さらに、電気めっき、無電解めっきのいずれか1つの方法によりこの第三の導電体層の表面に表出する面に第四の導電体層を形成させるコイル導電体の製造方法。
- 請求項7に記載の製造方法により得られたコイル導電体が形成された絶縁性基材に、絶縁性の粘着層を貼付け、この粘着層にフォトレジストを塗布し露光・現像、または、レーザーを照射することにより下部の位置にコイル導電体に至る導通孔を設け、さらに、粘着層の上に別の絶縁性基材を貼付け、この絶縁性基材にフォトレジストを塗布し露光・現像することにより絶縁性基材の表面に凹部と粘着層に設けた導通孔に繋がる穴部を形成し、この絶縁性基材の表面に無電解めっき、蒸着、スパッタリングのいずれか1つの方法によりさらに第一の導電体層を形成し、さらに、電気めっきにより第一の導電体層上に第二の導電体層を形成し、絶縁性基材の表面が露出するまで第一の導電体層と第二の導電体層を研磨するコイル導電体の製造方法。
- 請求項8に記載の製造方法により得られたコイル導電体が形成された絶縁性基材に、絶縁性の粘着層を貼付け、この粘着層にフォトレジストを塗布し露光・現像、または、レーザーを照射することにより下部に位置するコイル導電体に至る導通孔を設け、さらに、粘着層の上に別の絶縁性基材を貼付け、この絶縁性基材にフォトレジストを塗布し露光・現像することにより絶縁性基材の表面に凹部と粘着層に設けた導通孔に繋がる穴部を形成し、この絶縁性基材の表面に無電解めっき、蒸着、スパッタリングのいずれか1つの方法によりさらに第一の導電体層を形成し、さらに、電気めっきにより第一の導電体層上に第二の導電体層を形成し、絶縁性基材の表面が露出するまで第一の導電体層と第二の導電体層を研磨し、さらにこの第一の導電体層および第二の導電体層の外表面に表出する面に電気めっきにより第三の導電体層を形成させるコイル導電体の製造方法。
- 請求項9に記載の製造方法により得られたコイル導電体が形成された絶縁性基材に、絶縁性の粘着層を貼付け、この粘着層にフォトレジストを塗布し露光・現像、または、レーザーを照射することにより下部に位置するコイル導電体に至る導通孔を設け、さらに、粘着層の上に別の絶縁性基材を貼付け、この絶縁性基材にフォトレジストを塗布し露光・現像することにより絶縁性基材の表面に凹部と粘着層に設けた導通孔に繋がる穴部を形成し、この絶縁性基材の表面に無電解めっき、蒸着、スパッタリングのいずれか1つの方法によりさらに第一の導電体層を形成し、さらに、電気めっきにより第一の導電体層上に第二の導電体層を形成し、絶縁性基材の表面が露出するまで第一の導電体層と第二の導電体層を研磨し、さらにこの第一の導電体層および第二の導電体層の外表面に表出する面に電気めっき、無電解めっきのいずれか1つの方法により第四の導電体層を形成させるコイル導電体の製造方法。
- 請求項9に記載の製造方法により得られたコイル導電体が形成された絶縁性基材に、絶縁性の粘着層を貼付け、この粘着層にフォトレジストを塗布し露光・現像、または、レーザーを照射することにより下部に位置するコイル導電体に至る導通孔を設け、さらに、粘着層の上に別の絶縁性基材を貼付け、この絶縁性基材にフォトレジストを塗布し露光・現像することにより絶縁性基材の表面に凹部と粘着層に設けた導通孔に繋がる穴部を形成し、この絶縁性基材の表面に無電解めっき、蒸着、スパッタリングのいずれか1つの方法によりさらに第一の導電体層を形成し、さらに、電気めっきにより第一の導電体層上に第二の導電体層を形成し、絶縁性基材の表面が露出するまで第一の導電体層と第二の導電体層を研磨し、さらにこの第一の導電体層および第二の導電体層の外表面に表出する面に電気めっきにより第三の導電体層を形成させ、さらに、電気めっき、無電解めっきのいずれか1つの方法によりこの第三の導電体層の外表面に表出する面に第四の導電体層を形成させるコイル導電体の製造方法。
- 請求項10から13に記載の製造方法を複数回繰り返すことによりコイル導電体が形成された絶縁性基材を複数個積層させるコイル導電体の製造方法。
- 請求項1から6に記載のコイル導電体を用いた電子部品。
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