JP2015207678A - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】全ての電子部品接続パッドの高さのばらつきを小さなものとして、電子部品の電極端子と電子部品接続パッドとを良好に接続することが可能な配線基板を提供すること。
【解決手段】配置密度が疎な部分の電子部品接続パッド3aに電気的に接続されたダミーの導体パターン6の表面に、電子部品接続パッド3aを形成する導体層2bよりも電気的に貴な金属層7を被着し、これらを電解液S中に浸漬することにより、これらの導体層2bと金属層7との間の電池効果によりダミーの導体パターン6に電気的に接続された電子部品接続パッド3aの導体層2bを電解液S中に溶出させてその電子部品接続パッド3aの高さを他の電子部品接続パッド3の高さに近似させる。
【選択図】図10
【解決手段】配置密度が疎な部分の電子部品接続パッド3aに電気的に接続されたダミーの導体パターン6の表面に、電子部品接続パッド3aを形成する導体層2bよりも電気的に貴な金属層7を被着し、これらを電解液S中に浸漬することにより、これらの導体層2bと金属層7との間の電池効果によりダミーの導体パターン6に電気的に接続された電子部品接続パッド3aの導体層2bを電解液S中に溶出させてその電子部品接続パッド3aの高さを他の電子部品接続パッド3の高さに近似させる。
【選択図】図10
Description
本発明は、半導体素子等の電子部品を搭載するための配線基板の製造方法に関するものである。
図11(a),(b)に従来の製造方法により製造された配線基板20を示す。なお、図11(a)は、図11(b)のA−A切断線における断面図である。半導体素子等の電子部品Eを搭載するための従来の配線基板20は、樹脂系絶縁材料から成る絶縁基板11の内部および表面に、銅から成る配線導体12を有している。配線導体12のうち、絶縁基板11の上面に被着された一部は、電子部品Eの電極端子Tと接続するための電子部品接続パッド13を形成している。また、配線導体12のうち、絶縁基板11の下面に被着された一部は、外部の回路基板と接続するための外部接続パッド14を形成している。これらの電子部品接続パッド13と外部接続パッド14とは、所定のもの同士が互いに電気的に接続されている。さらに、絶縁基板11の上下面には、ソルダーレジスト層15が被着されている。上面側のソルダーレジスト層15は、電子部品接続パッド13を露出させる開口部15aを有している。下面側のソルダーレジスト層15は、外部接続パッド14を露出させる開口部15bを有している。
そして、電子部品Eの電極端子Tを電子部品接続パッド13上に半田を介して接続することにより、電子部品Eが配線基板20上に実装される。
このような配線基板20において、微細なパターンの配線導体12を形成する場合、セミアディティブ法と呼ばれる配線形成方法が用いられる。セミアディティブ法は、まず絶縁基板11の上下面の全面に薄い下地金属層を被着させた後、その下地金属層上に配線導体12のパターンに対応した開口部を有するめっきレジスト層を形成し、次にめっきレジスト層の開口部から露出する下地金属層上に配線導体12用の電解めっき層を所定厚みに析出させた後、めっきレジスト層を剥離除去し、次に電解めっき層で覆われずに露出する下地金属層が消失するまでエッチング処理することにより配線導体12を形成する方法である。
ところで、このような配線基板20においては、電子部品Eの電極端子Tの配列により電子部品接続パッド13の配置密度が不均一なものとなる場合がある。例えば図11(b)に示す電子部品接続パッド13aは、隣接する電子部品接続パッド13との間隔が他の電子部品接続パッド13の場合よりも大きく、配置密度が疎になっている。電解めっき層を析出させる際の電界は、電子部品接続パッド13の配置密度が密な部分では分散され、疎な部分では集中する。したがって、配置密度が疎である電子部品接続パッド13aでは電解めっきの際、めっきのための電界が集中して作用するので電解めっき層の厚みが他の電子部品接続パッド13よりも厚くなる。その結果、配置密度が疎である電子部品接続パッド13aと他の電子部品接続パッド13との高さが大きくばらついたものとなりやすい。電子部品接続パッド13の高さに大きなばらつきがあると、電子部品Eの電極端子Tを電子部品接続パッド13に接続する際に、両者が良好に接触しにくいので接続不良が発生する危険性が高くなる。
本発明が解決しようとする課題は、電子部品接続パッドの配置密度が不均一なものであったとしても、全ての電子部品接続パッドの高さのばらつきを小さなものとして、電子部品の電極端子と電子部品接続パッドとを良好に接続することが可能な配線基板を提供することにある。
本発明の配線基板の製造方法は、絶縁基板の上面に、セミアディティブ法により形成された多数の電子部品接続パッドが、互いの隣接間隔が小さく配置密度が密な部分と互いの隣接間隔が大きく配置密度が疎な部分とを有するように配設されて成る配線基板の製造方法であって、以下の(1)〜(3)の工程を行うことを特徴とするものである。
(1)前記絶縁基板の上面に、前記電子部品接続パッドおよびダミーの導体パターンを含む導体層を、前記配置密度が疎な部分の前記電子部品接続パッドと前記ダミーの導体パターンとが互いに電気的に接続されるようにしてセミアディティブ法により形成する工程
(2)前記電子部品接続パッドの前記導体層を露出させた状態で、前記ダミーの導体パターンの表面に前記導体層よりも電気的に貴な金属層を被着させる工程
(3)前記導体層が露出した前記電子部品接続パッドおよび前記金属層が被着された前記ダミーの導体パターンを電解液中に浸漬することにより、前記導体層と前記金属層との間の電池効果により前記ダミーの導体パターンに電気的に接続された前記電子部品接続パッドの前記導体層を前記電解液中に溶出させて該電子部品接続パッドの高さを他の前記電子部品接続パッドの高さに近似させる工程
(1)前記絶縁基板の上面に、前記電子部品接続パッドおよびダミーの導体パターンを含む導体層を、前記配置密度が疎な部分の前記電子部品接続パッドと前記ダミーの導体パターンとが互いに電気的に接続されるようにしてセミアディティブ法により形成する工程
(2)前記電子部品接続パッドの前記導体層を露出させた状態で、前記ダミーの導体パターンの表面に前記導体層よりも電気的に貴な金属層を被着させる工程
(3)前記導体層が露出した前記電子部品接続パッドおよび前記金属層が被着された前記ダミーの導体パターンを電解液中に浸漬することにより、前記導体層と前記金属層との間の電池効果により前記ダミーの導体パターンに電気的に接続された前記電子部品接続パッドの前記導体層を前記電解液中に溶出させて該電子部品接続パッドの高さを他の前記電子部品接続パッドの高さに近似させる工程
本発明の配線基板の製造方法によれば、配置密度が疎な部分の電子部品接続パッドに電気的に接続されたダミーの導体パターンの表面に、電子部品接続パッドを形成する導体層よりも電気的に貴な金属層を被着し、これらを電解液中に浸漬することにより、これらの導体層と金属層との間の電池効果により、ダミーの導体パターンに電気的に接続された電子部品接続パッドの導体層を電解液中に溶出させてその電子部品接続パッドの高さを他の電子部品接続パッドの高さに近似させることから、全ての電子部品接続パッドの高さのばらつきを小さなものとして、電子部品の電極端子と電子部品接続パッドとを良好に接続することが可能な配線基板を提供することができる。
次に、本発明の配線基板の製造方法が適用される配線基板の形態例を添付の図1(a),(b)を基に説明する。図1(a),(b)に示すように、本例の配線基板10は、絶縁基板1と配線導体2とソルダーレジスト層5とを備えている。なお、図1(a)は、図1(b)の切断線A−Aにおける断面図であり、後に説明する図2(a),(b)〜図10(a),(b)においても図の(a),(b)の関係は同様である。
絶縁基板1は、例えばガラスクロス入りの熱硬化性樹脂層により形成されている。熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等が好適に用いられる。
絶縁基板1の内部および表面には、銅めっきから成る配線導体2が配設されている。配線導体2は、絶縁基板1を貫通する貫通導体Vおよび絶縁基板1の上下面に被着された表面導体を含んでいる。貫通導体Vの直径は30〜100μm程度であり、表層導体の厚みは、5〜25μm程度である。
配線導体2のうち、絶縁基板1の上面に被着された一部は、絶縁基板1の上面中央部において電子部品Eの電極端子Tと接続するための電子部品接続パッド3を形成している。電子部品接続パッド3の大きさは例えば幅が10〜30μm程度、長さが40〜150μm程度である。さらに各電子部品接続パッド3からは、絶縁基板1の上面外周部に向けて幅が10〜40μm程度の帯状の配線導体2が延びている。
配線導体2のうち、絶縁基板1の下面に被着された一部は、絶縁基板1の下面の中央部および外周部において外部の回路基板と接続するための外部接続パッド4を形成している。外部接続パッド4の大きさは直径が50〜500μm程度である。これらの電子部品接続パッド3と外部接続パッド4とは、所定のもの同士が絶縁基板1を貫通する貫通導体Vを介して互いに電気的に接続されている。
さらに、絶縁基板1の上下面には、ソルダーレジスト層5が被着されている。ソルダーレジスト層5は、熱硬化性樹脂から成る。熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂が好適に用いられる。
上面側のソルダーレジスト層5は、電子部品接続パッド3を露出させるスリット状の開口部5aを有している。下面側のソルダーレジスト層5は、外部接続パッド4を露出させる円形状の開口部5bを有している。
そして、電子部品Eの電極端子Tを電子部品接続パッド3上に半田を介して接続することにより、電子部品Eが配線基板10上に実装される。
ところで、本例の配線基板10においては、電子部品接続パッド3の配置密度が不均一なものとなっている。具体的には、図1(b)に示す電子部品接続パッド3aは、隣接する電子部品接続パッド3との間隔が他の電子部品接続パッド3の場合よりも大きく、配置密度が疎になっている。これらの電子部品接続パッド3は、後述するように、セミアディティブ法により形成されている。しかしながら、電子部品接続パッド3の高さばらつきは小さく収められている。したがって、電子部品Eの電極端子Tと電子部品接続パッド3とを良好に接続することができる。
さらに、本例の配線基板10においては、絶縁基板1の上面にダミーの導体パターン6を有している。ダミーの導体パターン6は、電子部品接続パッド3aの面積に対して5〜15倍程度の面積をしており、その表面に金めっき層7が被着されている。このダミーの導体パターン6は配線基板10を製造する際に、配置密度が疎な部分の電子部品接続パッド3aの厚みを調整するために使用されるものである。なお、ダミーの導体パターン6は上面側のソルダーレジスト層5に設けた円形状の開口部5c内に露出している。
次に、上述した配線基板10を本発明の製造方法の実施形態により製造する方法について図2(a),(b)〜図10(a),(b)を基に説明する。
先ず、図2(a),(b)に示すように、絶縁基板1を準備する。絶縁基板1には貫通導体Vを形成しておく。貫通導体Vは、絶縁基板1にドリル加工やレーザー加工等の穿孔技術を用いて貫通孔を穿孔し、その内部を無電解銅めっきおよび電解銅めっきにより充填することにより形成される。
次に、図3(a),(b)に示すように、絶縁基板1の上下面の全面に下地金属層2aを被着する。下地金属層2aは、例えば厚みが0.1〜1μm程度の無電解銅めっき層からなる。あるいは、下地金属層2aは、スパッタや蒸着等の薄膜形成技術により形成されても良い。
次に、図4(a),(b)に示すように、下地金属層2aの上にめっきマスクMを形成する。めっきマスクMには、絶縁基板1の上下面に形成する導体層のパターンに対応した開口部が形成されている。このようなめっきマスクMは、感光性のレジストフィルムを下地金属層2a上に貼着するとともに、所定の開口パターンを有すように露光および現像することにより形成される。
次に、図5(a),(b)に示すように、めっきマスクMの開口内に露出する下地金属層2a上に電解銅めっき層から成る導体層2bを析出させる。導体層2bの厚みは5〜25μm程度とする。これにより、マスクMの開口内に電子部品接続パッド3および外部接続パッド4を含む配線導体2ならびにダミーの導体パターン6および後述する接続パターン8用の所定パターンの導体層2bが無電解めっき層2a上に形成される。このとき、隣接する電子部品接続パッド3との間隔が他の電子部品接続パッド3の場合よりも大きく、配置密度が疎である電子部品接続パッド3a用の導体層2bは、他の電子部品接続パッド3用の導体層2bの厚みよりも厚いものとなる。これは、電解めっき層から成る導体層2bを析出させる際の電界は、電子部品接続パッド3の配置密度が密な部分では分散され、疎な部分では集中するので、配置密度が疎である電子部品接続パッド3aでは電解めっきのための電界が集中して作用するためである。
次に、図6(a),(b)に示すように、めっきマスクMを除去する。これにより、電子部品接続パッド3および外部接続パッド4を含む配線導体2ならびにダミーの導体パターン6および接続パターン8用の導体層2b以外の部分の下地金属層2aが導体層2bから露出する。めっきマスクの除去には、アルカリ系の剥離液を用いる。
次に、図7(a),(b)に示すように、導体層2bから露出する下地金属層2aが消失するまでエッチング処理することにより、多数の電子部品接続パッド3および外部接続パッド4を含む配線導体2ならびにダミーの導体パターン6および接続パターン8が形成される。なお、隣接する電子部品接続パッド3との間隔が他の電子部品接続パッド3の場合よりも大きく、配置密度が疎になっている電子部品接続パッド3aとダミーの導体パターン6とは、接続パターン8により互いに電気的に接続されている。この時点で、電子部品接続パッド3aの厚みは、他の電子部品接続パッド3の厚みよりも厚いままである。エッチング処理には、酸系のエッチング液を用いる。
次に、図8(a),(b)に示すように、ソルダーレジスト層5を形成する。ソルダーレジスト層5には、多数の電子部品接続パッド3を一括して露出させるスリット状の開口部5aと、外部接続パッド4を個別に露出させる円形の開口部5bと、ダミーの導体パターン6を露出させる円形の開口部5cと、接続パターン8の一部を露出させる方形状の開口部5dとが形成されている。このようなソルダーレジスト層5は、導体パターンが形成された絶縁基板1の上下面の全面に液状の感光性の熱硬化性樹脂を塗布して乾燥させた後、所定の開口部5a〜5dを有するように露光および現像した後、紫外線硬化および熱硬化させることにより形成される。
次に、図9(a),(b)に示すように、ダミーの導体パターン6の表面に金めっき層から成る金属層7を被着する。金属層7を被着するには、ダミーの導体パターン6以外の導体層をめっきマスクで覆った状態で無電解金めっき層をダミーの導体パターン6のみに析出させる方法が採用される。したがって、電子部品接続パッド3および外部接続パッド4ならびに接続パターン8は銅めっき層のままで露出した状態となる。なお、金属層7の厚みは、0.5〜1μm程度とする。
次に、図10(a),(b)に示すように、電子部品接続パッド3aと金属層7が被着されたダミーの導体パターン6とを電解液Sの中に浸漬する。このとき、電子部品接続パッド3aを形成する電解銅めっき層から成る導体層2bとダミーの導体パターン6を被覆する金めっき層から成る金属層7との間の電池効果によりダミーの導体パターン6に電気的に接続された電子部品接続パッド3aの電解銅めっき層から成る導体層2bが電解液S中に溶出する。それにより電子部品接続パッド3aの高さを他の電子部品接続パッド3の高さに近似させることができる。なお、このとき絶縁基板1の下面側の外部接続パッド4は、エッチングレジストRにより被覆しておく。電解液Sとしては、酸性の電解液を用いる。
最後に、開口部5dから露出する接続パターン8をエッチング除去することによって図1(a),(b)に示した配線基板10が完成する。かくして、上述した配線基板10の製造方法によれば、配置密度が疎な部分の電子部品接続パッド3aに電気的に接続されたダミーの導体パターン6の表面に、電子部品接続パッド3を形成する導体層2bよりも電気的に貴な金属層7を被着し、これらを電解液S中に浸漬することにより、これらの導体層2bと金属層7との間の電池効果によりダミーの導体パターン6に電気的に接続された電子部品接続パッド3aの導体層2bを電解液S中に溶出させて、その電子部品接続パッド3aの高さを他の電子部品接続パッド3の高さに近似させることから、全ての電子部品接続パッド3の高さのばらつきを小さなものとして、電子部品Eの電極端子Tと電子部品接続パッド3とを良好に接続することが可能な配線基板10を提供することができる。
ところで、接続パターン8を介して互いに電気的接続された電子部品接続パッド3aとダミーの導体パターン6とにおいて、電子部品接続パッド3aと接続パターン8の露出部との合計の面積に対して金属層7で覆われたダミーの導体パターン6の面積の比率が5倍未満である場合、これらを電解液S中に浸漬した場合に、電子部品接続パッド3aにおける導体層2bの溶出量が少なく、電子部品接続パッド3aの高さを他の電子部品接続パッド3の高さに近似させるのに長時間を要し、逆に15倍を超える場合、これらを電解液S中に浸漬した場合に、電子部品接続パッド3aにおける溶出量が多くなり、電子部品接続パッド3aが極めて薄くなったり細くなったりする危険性が高くなる。したがって、接続パターン8を介して互いに電気的接続された電子部品接続パッド3aとダミーの導体パターン6とにおいて、電子部品接続パッド3aと接続パターン8の露出部との合計の面積に対して金属層7で覆われたダミーの導体パターン6の面積の比率が5〜15倍の範囲であることが必要である。
なお、本発明は上述の実施形態の一例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変更は可能である。例えば上述の実施形態の一例では、電子部品接続パッド3aの高さを他の電子部品接続パッド3に近似させた後、開口部5dから露出する接続パターン8をエッチング除去したが、接続パターン8は必ずしもエッチング除去する必要はなく、残したままとしておいてもかまわない。この場合、接続パターン8は、外部に露出させずにソルダーレジスト5で被覆した状態としておくことが好ましい。また、ダミーの導体パターン6の形状も円形に限らず、方形や三角形等他の形状であってもかまわない。
1 絶縁基板
2 配線導体
2b 導体層
3,3a 電子部品接続パッド
6 ダミーの導体パターン
7 金属層
2 配線導体
2b 導体層
3,3a 電子部品接続パッド
6 ダミーの導体パターン
7 金属層
Claims (1)
- 絶縁基板の上面に、セミアディティブ法により形成された多数の電子部品接続パッドが、互いの隣接間隔が小さく配置密度が密な部分と互いの隣接間隔が大きく配置密度が疎な部分とを有するように配設されて成る配線基板の製造方法であって、以下の(1)〜(3)の工程を行うことを特徴とする配線基板の製造方法。
(1)前記絶縁基板の上面に、前記電子部品接続パッドおよびダミーの導体パターンを含む導体層を、前記配置密度が疎な部分の前記電子部品接続パッドと前記ダミーの導体パターンとが互いに電気的に接続されるようにしてセミアディティブ法により形成する工程
(2)前記電子部品接続パッドの前記導体層を露出させた状態で、前記ダミーの導体パターンの表面に前記導体層よりも電気的に貴な金属層を被着させる工程
(3)前記導体層が露出した前記電子部品接続パッドおよび前記金属層が被着された前記ダミーの導体パターンを電解液中に浸漬することにより、前記導体層と前記金属層との間の電池効果により前記ダミーの導体パターンに電気的に接続された前記電子部品接続パッドの前記導体層を前記電解液中に溶出させて該電子部品接続パッドの高さを他の前記電子部品接続パッドの高さに近似させる工程
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