JP2005191345A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
半導体装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005191345A JP2005191345A JP2003431968A JP2003431968A JP2005191345A JP 2005191345 A JP2005191345 A JP 2005191345A JP 2003431968 A JP2003431968 A JP 2003431968A JP 2003431968 A JP2003431968 A JP 2003431968A JP 2005191345 A JP2005191345 A JP 2005191345A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- interlayer film
- forming
- bit line
- capacitor
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】キャパシタをビットライン11の下層に形成するCUB構造の半導体装置において、ビットライン11直上の第5層間膜15にビットライン11及び周辺コンタクト14に接続される第1溝配線16が形成されたものであり、ビットライン11と第1溝配線16との間に層間膜やビアを形成する必要がなくなり、ビットコンタクト10と周辺コンタクト14とを一度に形成できるため、製造工程を削減することができる。また、周辺コンタクト14を形成するための層間膜の膜厚が薄くなるため、周辺コンタクト14の抵抗を低減することができ、更に、第5層間膜15として低誘電率膜を用いることによりビットライン11の容量を低減できる。
【選択図】図1(c)
Description
2 ワードライン(ゲート電極)
3 第1層間膜
4 容量コンタクト
5 ストッパー膜
6 第2層間膜
7 下部電極
8 上部電極
9 第3層間膜
10 ビットコンタクト
11 ビットライン
12 第4層間膜
13 第0ビア
14 周辺コンタクト
15 第5層間膜
15a ストッパー膜
16 第1溝配線
17 第6層間膜
18 第1ビア
19 第7層間膜
20 第2溝配線
21 素子分離
22 ゲート電極
23 第1層間膜
24 コンタクト
25 抵抗素子
26 第2層間膜
27 第1溝配線
28 第3層間膜
29 第1ビア
30 第4層間膜
31 第2溝配線
Claims (13)
- 層間膜に設けた溝に配線材料が埋設されてなる溝配線を一層以上有する半導体装置において、
少なくとも一の層の前記溝配線と薄膜パターンとが、同じ層間膜の層内に形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記薄膜パターンは、ビットラインであることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記薄膜パターンは、抵抗素子であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- MOSトランジスタ上に下部電極と容量絶縁膜と上部電極とからなるキャパシタが形成され、該キャパシタ上にビットラインが形成されてなる半導体装置であって、
前記ビットライン上に、層間膜に設けた溝に配線材料が埋設されてなる溝配線を一層以上備え、
少なくとも一の層の前記溝配線と前記ビットラインとが、同じ層間膜の層内に形成されていることを特徴とする半導体装置。 - MOSトランジスタ上に下部電極と容量絶縁膜と上部電極とからなるキャパシタが形成され、該キャパシタ上にビットラインが形成されてなる半導体装置であって、
前記ビットライン上に、層間膜に設けた溝に配線材料が埋設されてなる溝配線を一層以上備え、
少なくとも一の層の前記溝配線と前記ビットラインとが、同じ層間膜の層内に形成され、かつ、メモリセル領域の前記MOSトランジスタのソース拡散層又はドレイン拡散層の一方と前記ビットラインとを接続するためのビットコンタクトプラグと、周辺回路領域の拡散層又はゲート電極と前記一の層の溝配線とを接続するための周辺コンタクトプラグとが同じ層間膜を貫通して形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記一の層の溝配線が、該一の層の溝配線上に形成されるビアを介して、該ビア上に形成される他の層の溝配線に接続されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一に記載の半導体装置。
- 前記一の層の溝配線が形成される層間膜に、低誘電率膜が用いられることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一に記載の半導体装置。
- 半導体基板上にMOSトランジスタを形成する工程と、前記MOSトランジスタ上に第1の層間膜を形成する工程と、前記第1の層間膜に、前記MOSトランジスタのソース拡散層又はドレイン拡散層の一方に接続される容量コンタクトプラグと、前記MOSトランジスタのソース拡散層又はドレイン拡散層の他方に接続されるビットコンタクト下部プラグとを配設する工程と、前記第1の層間膜上に第2の層間膜を形成する工程と、前記第2の層間膜の容量形成領域に下部電極と容量絶縁膜と上部電極とからなるキャパシタを形成する工程と、前記キャパシタ上に第3の層間膜を形成する工程と、前記第3の層間膜及び前記第2の層間膜に、前記ビットコンタクト下部プラグに接続されるビットコンタクトプラグを形成する工程と、前記第3の層間膜上に前記ビットコンタクトプラグに接続されるビットラインを形成する工程と、前記ビットライン上に第4の層間膜を形成する工程と、前記第4の層間膜に前記ビットラインに接続される第1の溝配線を形成する工程と、を少なくとも有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 半導体基板上にMOSトランジスタを形成する工程と、前記MOSトランジスタ上に第1の層間膜を形成する工程と、前記第1の層間膜に、前記MOSトランジスタのソース拡散層又はドレイン拡散層の一方に接続される容量コンタクトプラグを配設する工程と、前記第1の層間膜上に第2の層間膜を形成する工程と、前記第2の層間膜の容量形成領域に下部電極と容量絶縁膜と上部電極とからなるキャパシタを形成する工程と、前記キャパシタ上に第3の層間膜を形成する工程と、前記第3の層間膜、前記第2の層間膜及び前記第1の層間膜に、前記MOSトランジスタのソース拡散層又はドレイン拡散層の他方に接続されるビットコンタクトプラグを形成する工程と、前記第3の層間膜上に前記ビットコンタクトプラグに接続されるビットラインを形成する工程と、前記ビットライン上に第4の層間膜を形成する工程と、前記第4の層間膜に前記ビットラインに接続される第1の溝配線を形成する工程と、を少なくとも有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 半導体基板上のメモリセル領域にMOSトランジスタを形成する工程と、前記MOSトランジスタ上に第1の層間膜を形成する工程と、前記第1の層間膜に、前記MOSトランジスタのソース拡散層又はドレイン拡散層の一方に接続される容量コンタクトプラグと、前記MOSトランジスタのソース拡散層又はドレイン拡散層の他方に接続されるビットコンタクト下部プラグと、周辺回路領域の拡散層又はゲート電極に接続される周辺コンタクト下部プラグとを配設する工程と、前記第1の層間膜上に第2の層間膜を形成する工程と、前記第2の層間膜の容量形成領域に下部電極と容量絶縁膜と上部電極とからなるキャパシタを形成する工程と、前記キャパシタ上に第3の層間膜を形成する工程と、前記第3の層間膜及び前記第2の層間膜に、前記ビットコンタクト下部プラグに接続されるビットコンタクトプラグと前記周辺コンタクト下部プラグに接続される周辺コンタクトプラグとを同時に形成する工程と、前記第3の層間膜上に前記ビットコンタクトプラグに接続されるビットラインを形成する工程と、前記ビットライン上に第4の層間膜を形成する工程と、前記第4の層間膜に、前記ビットライン及び前記周辺コンタクトの各々に接続される第1の溝配線を形成する工程と、を少なくとも有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 半導体基板上のメモリセル領域にMOSトランジスタを形成する工程と、前記MOSトランジスタ上に第1の層間膜を形成する工程と、前記第1の層間膜に、前記MOSトランジスタのソース拡散層又はドレイン拡散層の一方に接続される容量コンタクトプラグを配設する工程と、前記第1の層間膜上に第2の層間膜を形成する工程と、前記第2の層間膜の容量形成領域に下部電極と容量絶縁膜と上部電極とからなるキャパシタを形成する工程と、前記キャパシタ上に第3の層間膜を形成する工程と、前記第3の層間膜、前記第2の層間膜及び前記第1の層間膜に、前記MOSトランジスタのソース拡散層又はドレイン拡散層の他方に接続されるビットコンタクトプラグと、周辺回路領域の拡散層又はゲート電極に接続される周辺コンタクトプラグとを同時に形成する工程と、前記第3の層間膜上に前記ビットコンタクトプラグに接続されるビットラインを形成する工程と、前記ビットライン上に第4の層間膜を形成する工程と、前記第4の層間膜に、前記ビットライン及び前記周辺コンタクトの各々に接続される第1の溝配線を形成する工程と、を少なくとも有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記第1の溝配線上に第5の層間膜を形成する工程と、前記第5の層間膜に少なくとも前記ビットライン上の前記第1の溝配線に接続されるビアを形成する工程と、前記第5の層間膜上に第6の層間膜を形成する工程と、前記第6の層間膜に前記ビアに接続される第2の溝配線を形成する工程とを含むことを特徴とする請求項8乃至11のいずれか一に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第4の層間膜として低誘電率膜を用いることを特徴とする請求項8乃至12のいずれか一に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003431968A JP2005191345A (ja) | 2003-12-26 | 2003-12-26 | 半導体装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003431968A JP2005191345A (ja) | 2003-12-26 | 2003-12-26 | 半導体装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005191345A true JP2005191345A (ja) | 2005-07-14 |
Family
ID=34789813
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003431968A Pending JP2005191345A (ja) | 2003-12-26 | 2003-12-26 | 半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005191345A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102057067B1 (ko) * | 2013-01-29 | 2019-12-18 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치의 배선 구조체 및 그 형성 방법 |
CN112582416A (zh) * | 2019-09-27 | 2021-03-30 | 南亚科技股份有限公司 | 具有纳米线接触点的半导体元件及其制备方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08236714A (ja) * | 1995-02-22 | 1996-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JPH10189897A (ja) * | 1996-12-24 | 1998-07-21 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2001102543A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2002057305A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2002094023A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-03-29 | Nec Corp | 強誘電体膜の形成方法と強誘電体容量素子の製造方法 |
JP2003100749A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-04-04 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2003204040A (ja) * | 2002-01-08 | 2003-07-18 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003332531A (ja) * | 2002-05-17 | 2003-11-21 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
2003
- 2003-12-26 JP JP2003431968A patent/JP2005191345A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08236714A (ja) * | 1995-02-22 | 1996-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JPH10189897A (ja) * | 1996-12-24 | 1998-07-21 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2001102543A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2002094023A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-03-29 | Nec Corp | 強誘電体膜の形成方法と強誘電体容量素子の製造方法 |
JP2002057305A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2003100749A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-04-04 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2003204040A (ja) * | 2002-01-08 | 2003-07-18 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003332531A (ja) * | 2002-05-17 | 2003-11-21 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102057067B1 (ko) * | 2013-01-29 | 2019-12-18 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치의 배선 구조체 및 그 형성 방법 |
US10622305B2 (en) | 2013-01-29 | 2020-04-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Interconnection structures for semiconductor devices and methods of fabricating the same |
CN112582416A (zh) * | 2019-09-27 | 2021-03-30 | 南亚科技股份有限公司 | 具有纳米线接触点的半导体元件及其制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7247903B2 (en) | Semiconductor memory device | |
KR100491458B1 (ko) | 반도체 장치 | |
JP5464928B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
US8247304B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device having capacitor under bit line structure | |
JP2004193563A (ja) | Mimキャパシタを有する半導体素子 | |
US8252641B2 (en) | Memory embedded logic semiconductor device having memory region and logic circuit region | |
JP2004349462A (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
JP4492940B2 (ja) | 半導体装置 | |
KR100273987B1 (ko) | 디램 장치 및 제조 방법 | |
JP2004342787A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
KR101400061B1 (ko) | 커패시터, 커패시터를 포함하는 반도체 장치, 커패시터의형성 방법 및 커패시터를 포함하는 반도체 장치의 제조방법 | |
KR100385951B1 (ko) | 다중층의 스토리지 노드 콘택 플러그를 갖는 반도체메모리 소자 및 그 제조방법 | |
JPH08204012A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US6372571B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JP2006245113A (ja) | 半導体記憶装置の製造方法 | |
US7829925B2 (en) | Semiconductor device and method for manufacturing same | |
JPH09275193A (ja) | 半導体記憶装置及びその製造方法 | |
US7045411B1 (en) | Semiconductor device having a chain gate line structure and method for manufacturing the same | |
JP2005191345A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP4890769B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
KR20060074715A (ko) | 반도체메모리장치 및 그 제조 방법 | |
JP2007214284A (ja) | 半導体装置 | |
JP2007299939A (ja) | 半導体装置 | |
JP2009170637A (ja) | 半導体記憶装置の製造方法および半導体記憶装置 | |
JP4376030B2 (ja) | Mim容量素子を備えた半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090708 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090715 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090914 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100317 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20100426 |