JP2005172830A - 集積回路構造のプロファイルを決定する方法及びシステム又はコンピュータ読取可能な記録媒体 - Google Patents
集積回路構造のプロファイルを決定する方法及びシステム又はコンピュータ読取可能な記録媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005172830A JP2005172830A JP2004356910A JP2004356910A JP2005172830A JP 2005172830 A JP2005172830 A JP 2005172830A JP 2004356910 A JP2004356910 A JP 2004356910A JP 2004356910 A JP2004356910 A JP 2004356910A JP 2005172830 A JP2005172830 A JP 2005172830A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- profile
- measurement signal
- parameter
- parameters
- simulated measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70605—Workpiece metrology
- G03F7/70616—Monitoring the printed patterns
- G03F7/70625—Dimensions, e.g. line width, critical dimension [CD], profile, sidewall angle or edge roughness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
【解決手段】 集積回路構造(102)のプロファイルが、実測計測信号と、パラメータのセットによって定義される構造のプロファイル・モデルに関連する第1のシミュレート計測信号を得ることで求められる。2つの信号が第1の終了判定基準内で一致する場合、パラメータのセットから選択された1以上のパラメータについて値が求められる。そして求められたパラメータ値に略等しい1以上のパラメータを備えるパラメータのセットによって定義される、構造のプロファイル・モデルに関連する第2のシミュレート計測信号を得る。実測計測信号と第2のシミュレート計測信号が、第2の終了判定基準内で一致する場合、残りのパラメータに関する値が、第2のシミュレート計測信号に関連したパラメータのセットから求められる。
【選択図】 図4
Description
図1を参照すると、光学測定システム100を利用して、半導体ウェハー上に形成された構造を検査し、解析することが可能である。例えば、光学測定システム100を利用して、ウェハー104上に形成された格子102のプロファイルを求めることが可能である。格子102は、例えば、ウェハー104上に形成されたデバイスに隣接した、ウェハー104の試験領域に形成することが可能である。あるいはまた、格子102は、デバイスの動作を妨害しないデバイスの領域内、または、ウェハー104のスクライブ・ラインに沿って形成することも可能である。
ある構造のプロファイルを求めるライブラリ・ベースのプロセスでは、実測計測信号がシミュレート計測信号のライブラリと比較される。すなわち、ライブラリ内の各シミュレート計測信号はその構造のプロファイル・モデルと関連している。実測計測信号とライブラリ内のシミュレート計測信号の1つが一致するか、または、実測計測信号とライブラリ内のシミュレート計測信号の1つとの差が、事前設定された判定基準または終了判定基準の範囲内であれば、一致するシミュレート計測信号に関連したプロファイル・モデルが、その構造の実際のプロファイルを表すものと推定される。これによって、その一致するシミュレート計測信号及びプロファイル・モデルの一方又は両方を利用して、その構造が仕様に従って製作されたか否かを判定することが可能になる。
構造のプロファイルを求める回帰ベースのプロセスでは、実測計測信号が、シミュレート計測信号(すなわち、試行計測信号)と比較される。シミュレート計測信号は、プロファイル・モデル(すなわち、プロファイル・モデル)に関するパラメータ(すなわち、試行パラメータ)集合を用いて、比較する前に発生させる。実測計測信号とシミュレート計測信号が一致しないか、または、実測計測信号とシミュレート計測信号の1つとの差が、事前設定された判定基準または終了判定基準内に納まらなければ、別のプロファイル・モデルに関する別のパラメータのセットを用いて、別のシミュレート計測信号を発生させ、次に、実測計測信号と新たに発生したシミュレート計測信号の比較が実施される。実測計測信号及びシミュレート計測信号が一致するか、または、実測計測信号とシミュレート計測信号の1つとの差が、事前設定された判定基準または終了判定基準内であれば、その一致したシミュレート計測信号に関連したプロファイル・モデルが、その構造の実際のプロファイルを表すものと推定される。次に、一致したシミュレート計測信号及びプロファイル・モデルの一方又は両方を利用して、その構造が仕様に従って製作されたか否かの判定を行うことが可能になる。
上述のように、散乱光測定を用いて、集積回路構造のプロファイルを求める場合に一般的な問題の1つは、プロファイル・パラメータの相関である。例えば、図3に例示の構造の場合、3つのパターン形成された材料M1、M2、及び、M3と、2つのパターン形成されていない材料M4及びM5が基板上に存在する。幅パラメータW1、W2、W3、及び、W4の間、または、厚さパラメータT1、T2、T3、T4、及び、T5の間、または、幅パラメータと厚さパラメータの間に、何らかの相関関係が存在する場合が極めて多い。しかし、上述のように、これらのパラメータの任意の2つ以上の間における相関があまりに強すぎると、構造のプロファイルの決定において、誤った結果を生じる可能性がある。
J≡(J1、...、Jm、Jm+1、...、JM)
さらに、
Jfloat≡(J1、...、Jm)
Jfixed≡(Jm+1、...、JM)
従って、調整信号は、下記の通りである。
102 格子
104 ウェハー
106 光源
108 入射光
110 回折光
112 検出器
114 処理モジュール
116 ライブラリ
1402 プロファイル改良モジュール
1408 重み付き平均最適化器
1410 感度解析器
1412 クラスタ・ベクトル予測器
1414 動的クラスタ・アジャスタ
1416 他のコスト関数最適化器
1418 回帰ベースの最適化器
1420 他の改良エンジン
1422 繰り返しライブラリ改良手順
1424 局所的高精細分解能ライブラリ手順
1502 測定装置
1504 パラメータ・プロセッサ
1506 プロファイル評価器
1508 ライブラリ
1510 入力装置
1512 IC製造システム
Claims (56)
- 集積回路構造のプロファイル決定方法であって、
実測計測信号を得るステップと、
プロファイル・パラメータのセットによって定義される、前記構造の関連プロファイル・モデルを備える第1のシミュレート計測信号を得るステップとを有し、
前記実測計測信号と前記第1のシミュレート計測信号が、第1の終了判定基準内で一致する場合に、
a)前記第1のシミュレート計測信号に関連した前記プロファイル・モデルの前記プロファイル・パラメータのセットから少なくとも1つのプロファイル・パラメータを選択するステップと、
b)前記選択されたプロファイル・パラメータの値を求めるステップと、
c)第2のシミュレート計測信号を得るステップであって、少なくとも1つのプロファイル・パラメータが前記の選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しいプロファイル・パラメータのセットによって定義される、前記構造の関連プロファイル・モデルを備える第2のシミュレート計測信号を得るステップと、
d)前記実測計測信号と前記第2のシミュレート計測信号が、第2の終了判定基準内で一致する場合、前記第2のシミュレート計測信号に関連した前記プロファイル・モデルの前記プロファイル・パラメータのセットからの1つ以上の残りのプロファイル・パラメータについて値を求めるステップとを有する、ことを特徴とするプロファイル決定方法。 - 前記プロファイル決定方法は、
シミュレート計測信号及び関連プロファイル・モデルのライブラリを生成するステップをさらに含み、
前記ライブラリは、全てのプロファイル・パラメータが値域にわたって変動するように生成され、且つ前記第1のシミュレート計測信号が前記ライブラリから得られる、
請求項1に記載のプロファイル決定方法。 - 前記プロファイル決定方法は、
前記実測計測信号と前記第1のシミュレート計測信号が、前記第1の終了判定基準内で一致しない場合、前記ライブラリから別のシミュレート計測信号を得るステップをさらに含む、
請求項2に記載のプロファイル決定方法。 - 前記プロファイル決定方法は、
前記第2のシミュレート計測信号が前記ライブラリから得られ、且つ前記実測計測信号と前記第2のシミュレート計測信号が、第2の終了判定基準内で一致しない場合、前記ライブラリから、前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備える、別のシミュレート計測信号を得るステップを含む、
請求項2に記載のプロファイル決定方法。 - 前記第2のシミュレート計測信号が、前記第1のシミュレート計測信号の1つ以上の残りのプロファイル・パラメータに略等しい1つ以上の残りのプロファイル・パラメータを備えている、
請求項4に記載のプロファイル決定方法。 - 前記プロファイル決定方法は、
前記シミュレート計測信号及び関連プロファイル・モデルの部分集合を備える前記ライブラリの部分集合を生成するステップをさらに含み、
前記ライブラリの前記部分集合における前記プロファイル・モデルの前記プロファイル・パラメータのセットが、前記選択プロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備え、
且つ前記第2のシミュレート計測信号及び前記別のシミュレート計測信号の一方又は両方が、前記ライブラリの前記部分集合から得られる、
請求項4に記載のプロファイル決定方法。 - 前記実測計測信号と、前記第2のシミュレート計測信号又は前記別のシミュレート計測信号とが、前記第2の終了判定基準内で一致する場合、前記1つ以上の残りのプロファイル・パラメータに関する値が、前記第2のシミュレート計測信号又は前記別のシミュレート計測信号に対応する前記プロファイル・モデルを定義する前記プロファイル・パラメータのセットから求められる、
請求項4に記載のプロファイル決定方法。 - 前記第2のシミュレート計測信号を得るステップは、
前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備えるプロファイル・パラメータのセットを用いて、前記第2のシミュレート計測信号を生成するステップと、
前記実測計測信号と前記第2のシミュレート計測信号が、前記第2の終了判定基準内で一致しない場合、前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備えるプロファイル・パラメータのセットを用いて、別のシミュレート計測信号を生成するステップを含む、
請求項2に記載のプロファイル決定方法。 - 最適化技術、大域最適化技術、又は、大域最適化技術と局所最適化技術の組み合わせを用いて、前記第2のシミュレート計測信号又は前記別のシミュレート計測信号について、1つ以上の残りのプロファイル・パラメータを求めるステップをさらに含む、
請求項8に記載のプロファイル決定方法。 - 前記実測計測信号と前記第2のシミュレート計測信号又は前記別のシミュレート計測信号が前記第2の終了判定基準内で一致する場合、前記1つ以上の残りのプロファイル・パラメータ値が、前記第2のシミュレート計測信号又は前記別のシミュレート計測信号に対応する前記プロファイル・モデルを定義する前記プロファイル・パラメータのセットから求められる、
請求項9に記載のプロファイル決定方法。 - 前記第1のシミュレート計測信号を得るステップは、
プロファイル・パラメータのセットを用いて、前記第1のシミュレート計測信号を生成するステップと、
前記実測計測信号と前記第1のシミュレート計測信号が前記第1の終了判定基準内で一致しない場合、前記第1のシミュレート計測信号の前記プロファイル・パラメータとは異なる少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備えるプロファイル・パラメータのセットを用いて、別のシミュレート計測信号を発生するステップとを含む、
請求項1に記載のプロファイル決定方法。 - 最適化技術、大域最適化技術、または、大域最適化技術と局所最適化技術の組み合わせを用いて、前記別のシミュレート計測信号についてプロファイル・パラメータのセットを求めるステップをさらに含む、
請求項11に記載のプロファイル決定方法。 - 前記第2のシミュレート計測信号を得るステップは、
前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備えるプロファイル・パラメータのセットを用いて、前記第2のシミュレート計測信号を生成するステップと、
前記実測計測信号と前記第2のシミュレート計測信号が前記第2の終了判定基準内で一致しない場合、前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備えるプロファイル・パラメータのセットを用いて、別のシミュレート計測信号を生成するステップを含む、
請求項11に記載のプロファイル決定方法。 - 最適化技術、大域最適化技術、または、大域最適化技術と局所最適化技術の組み合わせを用いて、前記第2のシミュレート計測信号又は前記別のシミュレート計測信号について1つ以上の残りのプロファイル・パラメータを求めるステップをさらに含む、
請求項13に記載のプロファイル決定方法。 - 前記プロファイル決定方法は、
前記第2のシミュレート計測信号が、シミュレート計測信号及び関連プロファイル・モデルのライブラリから得られるものであり、且つ前記実測計測信号と前記第2のシミュレート計測信号が前記第2の終了判定基準内で一致しない場合、前記ライブラリから、前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備える、別のシミュレート計測信号を得るステップを含む、
請求項11に記載のプロファイル決定方法。 - 前記第2のシミュレート計測信号が、前記第1のシミュレート計測信号の1つ以上の残りのプロファイル・パラメータに略等しい1つ以上の残りのプロファイル・パラメータを備える、
請求項15に記載のプロファイル決定方法。 - 前記プロファイル決定方法は、
前記シミュレート計測信号及び関連するプロファイル・モデルの部分集合を備えるライブラリの部分集合を生成するステップをさらに含み、
前記ライブラリの前記部分集合における前記プロファイル・モデルの前記プロファイル・パラメータのセットが、前記選択プロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備え、
前記第2のシミュレート計測信号及び前記別のシミュレート計測信号の一方又は両方が、前記ライブラリの前記部分集合から得られる、
請求項15に記載のプロファイル決定方法。 - 前記プロファイル決定方法は、
少なくとも1つのプロファイル・パラメータを選択するステップと、
前記少なくとも1つのプロファイル・パラメータを選択するための1つ以上の基準を決定するステップと、
前記プロファイル・パラメータのセットから前記1つ以上の選択基準を満たす1つ以上のプロファイル・パラメータを選択するステップを含む、
請求項1に記載のプロファイル決定方法。 - 前記1つ以上の選択基準に、別のプロファイル・パラメータとの相関量を含む、請求項18に記載のプロファイル決定方法。
- 前記選択されたプロファイル・パラメータの前記値を求めるステップは、
前記選択プロファイル・パラメータの実験、履歴、理論、及びシミュレーションデータの少なくともいずれか一つから、値を得るステップを含む、
請求項1に記載のプロファイル決定方法。 - 前記選択されたプロファイル・パラメータの前記値を求めるステップは、
測定装置で前記選択プロファイル・パラメータを測定するステップを含む、
請求項1に記載のプロファイル決定方法。 - 前記測定装置が、反射率計、楕円偏光計、散乱計、測長走査型電子顕微鏡、原子間力顕微鏡、または、断面走査型電子顕微鏡の少なくとも1つである、
請求項21に記載のプロファイル決定方法。 - 前記選択されたプロファイル・パラメータの測定は、
2以上の位置について実施され、且つ前記測定から求められる値が統計的手法を用いて重み付けを施される、
請求項21に記載のプロファイル決定方法。 - 前記選択されたプロファイル・パラメータは、基礎をなす膜の厚さ又は前記構造の幅である、
請求項21に記載のプロファイル決定方法。 - 前記プロファイル決定方法は、
前記第2のシミュレート計測信号が、重み付き平均最適化器、感度解析器、クラスタ・ベクトル予測器、動的クラスタ・アジャスタ、回帰ベースの最適化器、局所的高精細分解能ライブラリ手順、及び、繰り返しライブラリ改良手順のうち少なくとも1つを用いて得られる、
請求項1に記載のプロファイル決定方法。 - 実測計測信号からの集積回路構造のプロファイル決定方法であって、
構造に関する光学測定モデルを作成するステップであって、前記測定モデルは構造のプロファイル・モデルを含み、前記プロファイル・モデルはプロファイル・パラメータを有し、
a)値を求めるために第1のプロファイル・パラメータを選択するステップと、
b)前記選択された第1のプロファイル・パラメータの値を求めるステップと、
c)前記選択された第1のプロファイル・パラメータの求められた値を用い、且つ前記構造の1つ以上の実測計測信号を用いて、残りのプロファイル・パラメータの値を求めるステップと、
d)プロファイル・パラメータの事前決定を終了するために1つ以上の後続終了判定基準を設定するステップと、
e)値を求めるために後続プロファイル・パラメータを選択するステップと、
f)前記選択された後続プロファイル・パラメータの値を求めるステップと、
g)前記選択された第1のプロファイル・パラメータ及び前記選択された後続のプロファイル・パラメータの求められた値を用い、且つ前記構造の1つ以上の実測計測信号を用いて、残りのプロファイル・パラメータの値を求めるステップと、
h)プロファイル・パラメータの事前決定に関する前記1つ以上の後続終了判定基準が満たされるまで、ステップe)〜g)を繰り返すステップと、を含むことを特徴とする、
プロファイル決定方法。 - 前記選択された第1のプロファイル・パラメータの値を求めるステップは、
全てのプロファイル・パラメータが対応する値域にわたって変動するように生成された、シミュレート計測信号及び関連プロファイル・パラメータのライブラリを生成するステップと、
実測計測信号に対応して前記ライブラリから最も一致するシミュレート計測信号を求めるステップと、
前記ライブラリからの前記最も一致するシミュレート計測信号に関連したプロファイル・パラメータ値の中から、前記第1のプロファイル・パラメータ値にアクセスするステップを含む、
請求項26に記載のプロファイル決定方法。 - 前記ライブラリから前記最も一致するシミュレート計測信号を求める前記ステップは、
プロファイル改良手順を利用して、前記ライブラリから前記最も一致するシミュレート計測信号を求めるステップを含む、
請求項27に記載のプロファイル決定方法。 - 前記ライブラリから前記最も一致するシミュレート計測信号を求める前記ステップは、
前記実測計測信号とライブラリ・インスタンスの部分集合を比較するステップを含み、前記ライブラリ・インスタンスの部分集合が、前記選択された第1のプロファイル・パラメータの値が、前記選択された第1のプロファイル・パラメータの前記求められた値に略等しいライブラリ・インスタンスに相当する、
請求項27に記載のプロファイル決定方法。 - 前記選択された第1のプロファイル・パラメータ及び前記選択された後続のプロファイル・パラメータの求められた値を用いて、残りのプロファイル・パラメータの値を求めるステップは、
m)回帰に関する1つ以上の後続終了判定基準を設定するステップと、
n)前記残りのプロファイル・パラメータ値のセットを求めるステップと、
o)前記残りのプロファイル・パラメータ値の選択されたセットに対応し、且つ前記第1のプロファイル・パラメータ及び全ての後続する選択されたプロファイル・パラメータの求められた値に対応するシミュレート計測信号を計算するステップと、
p)回帰に関する前記1つ以上の後続終了判定基準が満たされるまで、ステップn)及びo)を繰り返すステップ、を含む、
請求項26に記載のプロファイル決定方法。 - 実測計測信号からの集積回路構造のプロファイル決定方法であって、
構造に関する光学測定モデルを作成するステップであって、前記測定モデルは構造のプロファイル・モデルを含み、前記プロファイル・モデルはプロファイル・パラメータを有し、
値を求めるために複数のプロファイル・パラメータを選択するステップと、
前記選択された複数のプロファイル・パラメータの値を求めるステップと、
前記選択された複数のプロファイル・パラメータの求められた値を用い、且つ前記構造の1つ以上の実測計測信号を用いて、残りのプロファイル・パラメータの値を求めるステップと、を含むことを特徴とする、
プロファイル決定方法。 - 前記選択された複数のプロファイル・パラメータの値を求めるステップは、
前記複数のプロファイル・パラメータの各選択プロファイル・パラメータ毎に、
a)回帰に関する1つ以上の終了判定基準を設定するステップと、
b)前記プロファイル・パラメータに関する値のセットを選択するステップと、
c)前記選択されたプロファイル・パラメータ値のセットに対応するシミュレート計測信号を計算するステップと、
d)前記回帰に関する1つ以上の終了判定基準が満たされるまで、ステップb)及びc)を繰り返すステップと、
e)前記回帰に関する1つ以上の終了判定基準が満たされた場合、前記複数のプロファイル・パラメータの前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた値として、前記複数のプロファイル・パラメータの前記選択されたプロファイル・パラメータ値を指定するステップとを含む、
請求項31に記載のプロファイル決定方法。 - 前記残りのプロファイル・パラメータ値を求めるステップは、
全てのプロファイル・パラメータが対応する値域にわたって変動するように、シミュレート計測信号及び関連プロファイル・パラメータのライブラリを生成するステップと、
前記ライブラリから、前記1つ以上の実測計測信号に対応する最も一致するシミュレート計測信号を求めるステップと、
前記ライブラリからの前記対応する最も一致するシミュレート計測信号に関連したプロファイル・パラメータ値にアクセスするステップを含む、
請求項31に記載のプロファイル決定方法。 - 前記ライブラリから、前記実測計測信号に対応する前記最も一致するシミュレート計測信号を求める前記ステップは、
前記実測計測信号と前記ライブラリ・インスタンスの部分集合を比較するステップを含み、ライブラリ・インスタンスの前記選択された複数のプロファイル・パラメータ値が、前記選択された複数のプロファイル・パラメータの前記対応する求められた値に略等しい前記ライブラリ・インスタンスに、前記ライブラリ・インスタンスの部分集合が相当する、
請求項33に記載のプロファイル決定方法。 - 前記残りのプロファイル・パラメータ値を求める前記ステップは、
対応する値域にわたって変動する前記残りのプロファイル・パラメータとともに前記選択された複数のプロファイル・パラメータの前記求められた値を利用して回帰を実施するステップを含む、
請求項31に記載のプロファイル決定方法。 - 実測計測信号からの集積回路構造のプロファイル決定方法であって、
a)プロファイル・パラメータ最適化に関する1つ以上の終了判定基準を設定するステップと、
b)構造に関する光学測定モデルを作成するステップであって、前記測定モデルは構造のプロファイル・モデルを含み、前記プロファイル・モデルはプロファイル・パラメータを有し、
c)値を求めるために複数のプロファイル・パラメータを選択するステップと、
d)前記選択された複数のプロファイル・パラメータの値を求めるステップと、
e)プロファイル・パラメータ最適化に関する前記1つ以上の終了判定基準を用いて、前記複数のプロファイル・パラメータにランク付けを施すステップと、
f)前記選択された複数のプロファイル・パラメータのうち1つ以上のプロファイル・パラメータの求められた値を用い、且つ前記構造の少なくとも1つの実測計測信号を用いて、残りのプロファイル・パラメータの値を求めるステップと、
g)プロファイル・パラメータの最適化に関する前記1つ以上の終了判定基準が満たされるまで、ステップc),d),e)及びf)を繰り返すステップを含むことを特徴とする、
プロファイル決定方法。 - 集積回路構造のプロファイル決定システムであって、
実測計測信号と、プロファイル・パラメータのセットによって定義される、構造の関連プロファイル・モデルを備える第1のシミュレート計測信号とを得るように構成されたパラメータ・プロセッサと、
前記パラメータ・プロセッサに結合されたプロファイル評価器であって、
前記実測計測信号と前記第1のシミュレート計測信号が第1の終了判定基準内で一致する場合、
a)前記第1のシミュレート計測信号に関連した前記プロファイル・モデルの前記プロファイル・パラメータのセットから少なくとも1つのプロファイル・パラメータを選択し、
b)前記選択されたプロファイル・パラメータの値を求め、
c)少なくとも1つのプロファイル・パラメータが前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しいプロファイル・パラメータのセットによって定義される前記構造の関連プロファイル・モデルを備える第2のシミュレート計測信号を得て、
d)前記実測計測信号と前記第2のシミュレート計測信号が第2の終了判定基準内で一致する場合、前記第2のシミュレート計測信号に関連した前記プロファイル・モデルの前記プロファイル・パラメータのセットからの1つ以上の残りのプロファイル・パラメータについて値を求める、
ように構成されたプロファイル評価器、
を有することを特徴とする、
プロファイル決定システム。 - 前記プロファイル決定システムは、
シミュレート計測信号及び関連プロファイル・モデルのライブラリをさらに有し、前記ライブラリが、全てのプロファイル・パラメータが値域にわたって変動するように生成され、且つ前記第1のシミュレート計測信号が前記ライブラリから得られる、
請求項37に記載のプロファイル決定システム。 - 前記プロファイル決定システムは、
前記実測計測信号と前記第1のシミュレート計測信号が前記第1の終了判定基準内で一致しない場合、前記パラメータ・プロセッサが前記ライブラリから別のシミュレート計測信号を得る、
請求項38に記載のプロファイル決定システム。 - 前記プロファイル決定システムは、
前記第2のシミュレート計測信号が、前記ライブラリから得られ、且つ前記実測計測信号と前記第2のシミュレート計測信号が前記第2の終了判定基準内で一致しない場合、前記パラメータ評価器が、前記ライブラリから前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備える別のシミュレート計測信号を得る、
請求項38に記載のプロファイル決定システム。 - 前記プロファイル決定システムは、
前記第2のシミュレート計測信号が、前記第1のシミュレート計測信号の1つ以上の残りのプロファイル・パラメータに略等しい1つ以上の残りのプロファイル・パラメータを備えている、
請求項40に記載のプロファイル決定システム。 - 前記プロファイル決定システムは、
前記シミュレート計測信号及び関連プロファイル・モデルの部分集合を備えたライブラリの部分集合をさらに有し、
前記ライブラリ部分集合における前記プロファイル・モデルのプロファイル・パラメータのセットが、前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備え、
且つ前記プロファイル評価器が、前記ライブラリ部分集合から、前記第2のシミュレート計測信号及び前記別のシミュレート計測信号のいずれか一方又は両方を得る、
請求項40に記載のプロファイル決定システム。 - 前記プロファイル決定システムは、
前記実測計測信号と前記第2のシミュレート計測信号又は前記別のシミュレート計測信号が、前記第2の終了判定基準内で一致する場合、前記プロファイル評価器が、前記第2のシミュレート計測信号又は前記別のシミュレート計測信号に対応する前記プロファイルモデルを定義する前記プロファイル・パラメータのセットから前記1つ以上の残りのプロファイル・パラメータについて前記値を求める、
請求項40に記載のプロファイル決定システム。 - 前記プロファイル評価器が、
前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備えるプロファイル・パラメータのセットを用いて、前記第2のシミュレート計測信号を生成し、
且つ前記実測計測信号と前記第2のシミュレート計測信号が、前記第2の終了判定基準内で一致しない場合、前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備えるプロファイル・パラメータのセットを用いて、別のシミュレート計測信号を生成することによって、
前記第2のシミュレート計測信号を得る、
請求項38に記載のプロファイル決定システム。 - 前記パラメータ・プロセッサが、
プロファイル・パラメータのセットを用いて、前記第1のシミュレート計測信号を生成し、
記実測計測信号と前記第1のシミュレート計測信号が、前記第1の終了判定基準内で一致しない場合、前記第1のシミュレート計測信号の前記プロファイル・パラメータとは異なる少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備えるプロファイル・パラメータのセットを用いて、別のシミュレート計測信号を生成することによって、
前記第1のシミュレート計測信号を得る、
請求項37に記載のプロファイル決定システム。 - 前記プロファイル評価器が、
前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備えるプロファイル・パラメータのセットを用いて、前記第2のシミュレート計測信号を生成し、
且つ前記実測計測信号と前記第2のシミュレート計測信号が、前記第2の終了判定基準内で一致しない場合、前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備えるプロファイル・パラメータのセットを用いて、別のシミュレート計測信号を生成することによって、
前記第2のシミュレート計測信号を得る、
請求項45に記載のプロファイル決定システム。 - 前記プロファイル決定システムは、
シミュレート計測信号及び関連プロファイル・モデルのライブラリをさらに有し、
前記プロファイル評価器が、前記ライブラリから前記第2のシミュレート計測信号を得、且つ前記実測計測信号と前記第2のシミュレート計測信号が、前記第2の終了判定基準内で一致しない場合、前記プロファイル評価器が、前記ライブラリから、前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備える別のシミュレート計測信号を得る、
請求項45に記載のプロファイル決定システム。 - 前記プロファイル決定システムは、
前記シミュレート計測信号及び関連プロファイル・モデルの部分集合を備える前記ライブラリの部分集合をさらに有し、
前記ライブラリの部分集合における前記プロファイル・モデルの前記プロファイル・パラメータのセットが、前記選択されたプロファイル・パラメータについて求められた前記値に略等しい少なくとも1つのプロファイル・パラメータを備え、
且つ前記プロファイル評価器が、前記ライブラリの部分集合から、前記第2のシミュレート計測信号及び前記別のシミュレート計測信号のいずれか一方又は両方を得る、
請求項47に記載のプロファイル決定システム。 - 前記プロファイル決定システムは、
前記ウェハー構造の計測信号を測定し、その実測計測信号を伝送するように構成された測定装置をさらに有し、前記測定装置が、前記パラメータ・プロセッサ及び前記プロセッサ評価器に結合されている、
請求項37に記載のプロファイル決定システム。 - 前記測定装置が、反射率計または楕円偏光計である、請求項49に記載のプロファイル決定システム。
- 前記パラメータ・プロセッサは、前記1つ以上のプロファイル・パラメータのうちから選択されたプロファイル・パラメータと別の1つ以上のプロファイル・パラメータとの相関に基づいて、前記1つ以上のプロファイル・パラメータを選択する、
請求項37に記載のプロファイル決定システム。 - 前記選択されたプロファイル・パラメータは、膜厚又は構造幅である、請求項51に記載のプロファイル決定システム。
- 前記パラメータ・プロセッサは、
数学的手法及び統計的手法のいずれか一方又は両方を用いて、実験、履歴、理論、シミュレーションデータ、及び測定装置によって得られた測定結果のうち、少なくともいずれか一つから選択された1つ以上の前記プロファイル・パラメータ値を求めるように、さらに構成されている、
請求項37に記載のプロファイル決定システム。 - ウェハー構造のプロファイルを決定するためのコンピュータ実行可能なコードを有する、コンピュータ読取可能な記録媒体であって、
構造に関する光学測定モデルを作成するステップであって、前記測定モデルは構造のプロファイル・モデルを含み、前記プロファイル・モデルはプロファイル・パラメータを有し、
a)値を求めるために第1のプロファイル・パラメータを選択するステップと、
b)前記選択された第1のプロファイル・パラメータの値を求めるステップと、
c)前記選択された第1のプロファイル・パラメータの求められた前記値を用い、且つ前記構造の1つ以上の実測計測信号を用いて、残りのプロファイル・パラメータの値を求めるステップと、
d)プロファイル・パラメータの事前決定を終了するために1つ以上の後続終了判定基準を設定するステップと、
e)値を求めるために後続プロファイル・パラメータを選択するステップと、
f)前記選択された後続プロファイル・パラメータの値を求めるステップと、
g)前記選択された第1のプロファイル・パラメータ及び前記選択された後続のプロファイル・パラメータの求められた値を用い、且つ前記構造の1つ以上の実測計測信号を用いて、残りのプロファイル・パラメータの値を求めるステップと、
h)プロファイル・パラメータの事前決定に関する前記1つ以上の後続終了判定基準が満たされるまで、ステップe)〜g)を繰り返すステップとを、
実行するようコンピュータに指示することによって、実測計測信号からウェハー構造のプロファイルを決定するためのコンピュータ実行可能なコードを有することを特徴とする、コンピュータ読取可能な記憶媒体。 - 前記コンピュータ読取可能な記録媒体は、
m)回帰に関する1つ以上の後続終了判定基準を設定するステップと、
n)前記残りのプロファイル・パラメータ値のセットを求めるステップと、
o)前記残りのプロファイル・パラメータ値の選択されたセット、及び、前記第1のプロファイル・パラメータ及び全ての後続する選択されたプロファイル・パラメータの求められた値に対応するシミュレート計測信号を計算するステップと、
p)回帰に関する前記1つ以上の後続終了判定基準が満たされるまで、ステップn)及びo)を繰り返すステップとを、
さらに実行するようコンピュータに指示するコンピュータ実行可能コードを有する、請求項54に記載のコンピュータ読取可能な記憶媒体。 - ウェハー構造のプロファイルを決定するためのコンピュータ実行可能なコードを有する、コンピュータ読取可能な記録媒体であって、
a)プロファイル・パラメータ最適化に関する1つ以上の終了判定基準を設定するステップと、
b)構造に関する光学測定モデルであって、プロファイル・パラメータを有する構造のプロファイル・モデルを含む光学測定モデルを作成するステップと、
c)値を求めるために複数のプロファイル・パラメータを選択するステップと、
d)前記選択された複数のプロファイル・パラメータの値を求めるステップと、
e)プロファイル・パラメータ最適化に関する前記1つ以上の終了判定基準を用いて、前記複数のプロファイル・パラメータにランク付けを施すステップと、
f)前記選択された複数のプロファイル・パラメータのうち1つ以上のプロファイル・パラメータの求められた値を用い、且つ前記構造の少なくとも1つの実測計測信号を用いて、残りのプロファイル・パラメータの値を求めるステップと、
g)プロファイル・パラメータ最適化に関する前記1つ以上の終了判定基準が満たされるまで、ステップc),d),e)及びf)を繰り返すステップとを、
実行するようコンピュータに指示することによって、実測計測信号からウェハー構造のプロファイルを求めるためのコンピュータ実行可能なコードを有することを特徴とする、コンピュータ読取可能な記憶媒体。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/735,212 US7126700B2 (en) | 2003-12-12 | 2003-12-12 | Parametric optimization of optical metrology model |
US10/735212 | 2003-12-12 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005172830A true JP2005172830A (ja) | 2005-06-30 |
JP2005172830A5 JP2005172830A5 (ja) | 2008-01-17 |
JP4824299B2 JP4824299B2 (ja) | 2011-11-30 |
Family
ID=34523098
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004356910A Expired - Fee Related JP4824299B2 (ja) | 2003-12-12 | 2004-12-09 | 集積回路構造のプロファイルを決定する方法及びシステム又はコンピュータ読取可能な記録媒体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7126700B2 (ja) |
EP (1) | EP1541960A3 (ja) |
JP (1) | JP4824299B2 (ja) |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007121057A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Dainippon Printing Co Ltd | 微細マイクロレンズアレイの形状測定方法 |
JP2007285923A (ja) * | 2006-04-18 | 2007-11-01 | Jordan Valley Semiconductors Ltd | 反射モードのx線回折を用いた限界寸法の測定 |
JP2008085331A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Tokyo Electron Ltd | 光学的に調節可能なソフトマスクプロファイルライブラリを用いる方法及び装置 |
JP2008130078A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Samsung Electronics Co Ltd | プロセッサ構造および応用の最適化のためのプロファイラ |
JP2008139303A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-19 | Asml Netherlands Bv | 検査方法、検査装置、リソグラフィ装置、リソグラフィ処理セル、およびデバイス製造方法 |
JP2008153661A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Tokyo Electron Ltd | 光計測を用いた半導体製造プロセスのプロセスパラメータの測定方法 |
JP2008249686A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-10-16 | Asml Netherlands Bv | インスペクション方法及び装置、リソグラフィ装置、リソグラフィプロセッシングセル並びにデバイス製造方法 |
JP2009053194A (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-12 | Tokyo Electron Ltd | 光回折における近似精緻回折モデルを用いた構造に係るプロファイルパラメータの決定 |
JP2009075110A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Tokyo Electron Ltd | プロセスパラメータを分散に関連づける分散関数を用いた構造のプロファイルパラメータの決定 |
JP2012507029A (ja) * | 2008-10-29 | 2012-03-22 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 座標測定システムのための方法 |
US8243878B2 (en) | 2010-01-07 | 2012-08-14 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | High-resolution X-ray diffraction measurement with enhanced sensitivity |
WO2013047047A1 (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 断面形状推定方法および断面形状推定装置 |
JP2013539532A (ja) * | 2010-07-22 | 2013-10-24 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 最適にパラメータ化されたスキャッタロメトリモデルを自動決定するための方法 |
US8687766B2 (en) | 2010-07-13 | 2014-04-01 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Enhancing accuracy of fast high-resolution X-ray diffractometry |
US8781070B2 (en) | 2011-08-11 | 2014-07-15 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Detection of wafer-edge defects |
US8908901B2 (en) | 2007-04-24 | 2014-12-09 | Renishaw Plc | Apparatus and method for surface measurement |
US9726624B2 (en) | 2014-06-18 | 2017-08-08 | Bruker Jv Israel Ltd. | Using multiple sources/detectors for high-throughput X-ray topography measurement |
Families Citing this family (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7523076B2 (en) | 2004-03-01 | 2009-04-21 | Tokyo Electron Limited | Selecting a profile model for use in optical metrology using a machine learning system |
US7388677B2 (en) * | 2004-03-22 | 2008-06-17 | Timbre Technologies, Inc. | Optical metrology optimization for repetitive structures |
US7171284B2 (en) * | 2004-09-21 | 2007-01-30 | Timbre Technologies, Inc. | Optical metrology model optimization based on goals |
US7280229B2 (en) * | 2004-12-03 | 2007-10-09 | Timbre Technologies, Inc. | Examining a structure formed on a semiconductor wafer using machine learning systems |
US7483133B2 (en) * | 2004-12-09 | 2009-01-27 | Kla-Tencor Technologies Corporation. | Multiple angle of incidence spectroscopic scatterometer system |
US20060187466A1 (en) * | 2005-02-18 | 2006-08-24 | Timbre Technologies, Inc. | Selecting unit cell configuration for repeating structures in optical metrology |
US7421414B2 (en) * | 2005-03-31 | 2008-09-02 | Timbre Technologies, Inc. | Split machine learning systems |
US7464583B1 (en) * | 2005-06-10 | 2008-12-16 | Carnegie Mellon University | Methods and apparatuses using proximal probes |
US7474420B2 (en) * | 2006-03-30 | 2009-01-06 | Timbre Technologies, Inc. | In-die optical metrology |
US7487053B2 (en) * | 2006-03-31 | 2009-02-03 | Tokyo Electron Limited | Refining a virtual profile library |
US7542859B2 (en) * | 2006-03-31 | 2009-06-02 | Tokyo Electron Ltd. | Creating a virtual profile library |
US7305322B2 (en) * | 2006-03-31 | 2007-12-04 | Tokyo Electron Limited | Using a virtual profile library |
US7397030B1 (en) | 2006-06-01 | 2008-07-08 | N&K Technology, Inc. | Integrated local and global optical metrology for samples having miniature features |
US7525673B2 (en) * | 2006-07-10 | 2009-04-28 | Tokyo Electron Limited | Optimizing selected variables of an optical metrology system |
US7526354B2 (en) * | 2006-07-10 | 2009-04-28 | Tokyo Electron Limited | Managing and using metrology data for process and equipment control |
US7495781B2 (en) | 2006-07-10 | 2009-02-24 | Tokyo Electron Limited | Optimizing selected variables of an optical metrology model |
US7417750B2 (en) * | 2006-11-07 | 2008-08-26 | Tokyo Electron Limited | Consecutive measurement of structures formed on a semiconductor wafer using an angle-resolved spectroscopic scatterometer |
US8798966B1 (en) * | 2007-01-03 | 2014-08-05 | Kla-Tencor Corporation | Measuring critical dimensions of a semiconductor structure |
US7639351B2 (en) * | 2007-03-20 | 2009-12-29 | Tokyo Electron Limited | Automated process control using optical metrology with a photonic nanojet |
US7567353B2 (en) * | 2007-03-28 | 2009-07-28 | Tokyo Electron Limited | Automated process control using optical metrology and photoresist parameters |
US7949618B2 (en) * | 2007-03-28 | 2011-05-24 | Tokyo Electron Limited | Training a machine learning system to determine photoresist parameters |
US7483809B2 (en) * | 2007-04-12 | 2009-01-27 | Tokyo Electron Limited | Optical metrology using support vector machine with profile parameter inputs |
US7372583B1 (en) * | 2007-04-12 | 2008-05-13 | Tokyo Electron Limited | Controlling a fabrication tool using support vector machine |
US7511835B2 (en) * | 2007-04-12 | 2009-03-31 | Tokyo Electron Limited | Optical metrology using a support vector machine with simulated diffraction signal inputs |
US7589845B1 (en) * | 2008-03-27 | 2009-09-15 | Tokyo Electron Limited | Process control using an optical metrology system optimized with signal criteria |
US8090558B1 (en) | 2008-06-09 | 2012-01-03 | Kla-Tencor Corporation | Optical parametric model optimization |
US7595869B1 (en) * | 2008-06-18 | 2009-09-29 | Tokyo Electron Limited | Optical metrology system optimized with a plurality of design goals |
US8468471B2 (en) | 2011-09-23 | 2013-06-18 | Kla-Tencor Corp. | Process aware metrology |
US20130110477A1 (en) * | 2011-10-31 | 2013-05-02 | Stilian Pandev | Process variation-based model optimization for metrology |
JP5660026B2 (ja) * | 2011-12-28 | 2015-01-28 | 信越半導体株式会社 | 膜厚分布測定方法 |
US8762100B1 (en) * | 2012-02-10 | 2014-06-24 | Tokyo Electron Limited | Numerical aperture integration for optical critical dimension (OCD) metrology |
US9519735B2 (en) * | 2013-09-23 | 2016-12-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method of failure analysis |
US10955359B2 (en) * | 2013-11-12 | 2021-03-23 | International Business Machines Corporation | Method for quantification of process non uniformity using model-based metrology |
US9753895B2 (en) | 2014-02-28 | 2017-09-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method for process variation analysis of an integrated circuit |
US9482519B2 (en) | 2014-12-04 | 2016-11-01 | Globalfoundries Inc. | Measuring semiconductor device features using stepwise optical metrology |
CN104792357B (zh) * | 2015-03-18 | 2017-04-26 | 浙江野马电池有限公司 | 一种隔膜纸视觉检测方法及其装置 |
US10502549B2 (en) * | 2015-03-24 | 2019-12-10 | Kla-Tencor Corporation | Model-based single parameter measurement |
US10502692B2 (en) * | 2015-07-24 | 2019-12-10 | Kla-Tencor Corporation | Automated metrology system selection |
WO2017032534A2 (en) * | 2015-08-27 | 2017-03-02 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
WO2018154587A1 (en) * | 2017-02-27 | 2018-08-30 | Nova Measuring Instruments Ltd. | Tem-based metrology method and system |
US11450541B2 (en) | 2017-09-26 | 2022-09-20 | Nova Ltd | Metrology method and system |
TW202344807A (zh) * | 2021-12-29 | 2023-11-16 | 美商科磊股份有限公司 | 用於正則化應用特定半導體測量系統參數設定之最佳化之方法及系統 |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08255751A (ja) * | 1995-02-15 | 1996-10-01 | At & T Corp | マイクロサイズ・パターンを特徴づけるための方法および配列 |
JPH0954765A (ja) * | 1994-11-24 | 1997-02-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 最適化調整方法と最適化調整装置 |
JPH0981734A (ja) * | 1995-09-08 | 1997-03-28 | Mitsubishi Electric Corp | 画像処理装置 |
JPH11316187A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-11-16 | Fujitsu Ltd | エリプソメトリ及びエリプソメータ、形状測定方法および半導体装置の製造方法 |
JP2000277402A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Sony Corp | 半導体素子の不純物濃度分布の最適化方法、装置および記録媒体 |
JP2000306336A (ja) * | 1999-04-19 | 2000-11-02 | Sony Corp | 波形等化装置、波形等化装置の最適化方法、及びデータ再生装置 |
WO2002023231A2 (en) * | 2000-09-15 | 2002-03-21 | Timbre Technologies, Inc. | Generation of a library of periodic grating diffraction signals |
JP2002203758A (ja) * | 2001-01-05 | 2002-07-19 | Sony Corp | 半導体素子のシミュレーション装置および半導体素子のシミュレーション方法 |
JP2002243925A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-08-28 | Tanbaa Technologies Inc | 回折格子プロファイルのマスターライブラリを作成する方法とシステム、および回折格子プロファイルの実行時ライブラリを作成するシステム |
WO2003009063A2 (en) * | 2001-07-16 | 2003-01-30 | Therma-Wave, Inc. | Real time analysis of periodic structures on semiconductors |
WO2003014866A2 (en) * | 2001-08-06 | 2003-02-20 | Timbre Technologies, Inc. | Method and system for dynamic learning through a regression-based library generation process |
JP2003085526A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-20 | Toshiba Corp | 最適値探索装置、最適値探索方法、最適値探索プログラム、パラメータ・フィッティング方法及び半導体装置の製造方法 |
WO2003068889A1 (en) * | 2002-02-12 | 2003-08-21 | Timbre Technologies, Inc. | Profile refinement for integrated circuit metrology |
JP2003298296A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Sanyo Electric Co Ltd | 部品装着装置の実装時間シミュレーション方法 |
JP2003344029A (ja) * | 2002-05-29 | 2003-12-03 | Hitachi Ltd | 半導体ウェハの微細パターンの寸法及び3次元形状測定方法とその測定装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2002360738A1 (en) * | 2001-12-19 | 2003-07-09 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Parametric profiling using optical spectroscopic systems |
-
2003
- 2003-12-12 US US10/735,212 patent/US7126700B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-12-09 JP JP2004356910A patent/JP4824299B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-12-13 EP EP04257724A patent/EP1541960A3/en not_active Withdrawn
Patent Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0954765A (ja) * | 1994-11-24 | 1997-02-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 最適化調整方法と最適化調整装置 |
JPH08255751A (ja) * | 1995-02-15 | 1996-10-01 | At & T Corp | マイクロサイズ・パターンを特徴づけるための方法および配列 |
JPH0981734A (ja) * | 1995-09-08 | 1997-03-28 | Mitsubishi Electric Corp | 画像処理装置 |
JPH11316187A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-11-16 | Fujitsu Ltd | エリプソメトリ及びエリプソメータ、形状測定方法および半導体装置の製造方法 |
JP2000277402A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Sony Corp | 半導体素子の不純物濃度分布の最適化方法、装置および記録媒体 |
JP2000306336A (ja) * | 1999-04-19 | 2000-11-02 | Sony Corp | 波形等化装置、波形等化装置の最適化方法、及びデータ再生装置 |
WO2002023231A2 (en) * | 2000-09-15 | 2002-03-21 | Timbre Technologies, Inc. | Generation of a library of periodic grating diffraction signals |
JP2004509341A (ja) * | 2000-09-15 | 2004-03-25 | ティンバー テクノロジーズ,インコーポレイティド | 周期格子の回折信号のライブラリの生成 |
JP2002243925A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-08-28 | Tanbaa Technologies Inc | 回折格子プロファイルのマスターライブラリを作成する方法とシステム、および回折格子プロファイルの実行時ライブラリを作成するシステム |
JP2002203758A (ja) * | 2001-01-05 | 2002-07-19 | Sony Corp | 半導体素子のシミュレーション装置および半導体素子のシミュレーション方法 |
WO2003009063A2 (en) * | 2001-07-16 | 2003-01-30 | Therma-Wave, Inc. | Real time analysis of periodic structures on semiconductors |
JP2004536314A (ja) * | 2001-07-16 | 2004-12-02 | サーマ‐ウェイブ・インク | 半導体における周期構造の実時間分析 |
WO2003014866A2 (en) * | 2001-08-06 | 2003-02-20 | Timbre Technologies, Inc. | Method and system for dynamic learning through a regression-based library generation process |
JP2003085526A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-20 | Toshiba Corp | 最適値探索装置、最適値探索方法、最適値探索プログラム、パラメータ・フィッティング方法及び半導体装置の製造方法 |
WO2003068889A1 (en) * | 2002-02-12 | 2003-08-21 | Timbre Technologies, Inc. | Profile refinement for integrated circuit metrology |
JP2005517903A (ja) * | 2002-02-12 | 2005-06-16 | ティンバー テクノロジーズ,インコーポレイティド | 集積回路測定用のプロファイル精密化 |
JP2003298296A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Sanyo Electric Co Ltd | 部品装着装置の実装時間シミュレーション方法 |
JP2003344029A (ja) * | 2002-05-29 | 2003-12-03 | Hitachi Ltd | 半導体ウェハの微細パターンの寸法及び3次元形状測定方法とその測定装置 |
Cited By (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4674859B2 (ja) * | 2005-10-27 | 2011-04-20 | 大日本印刷株式会社 | 微細マイクロレンズアレイの形状測定方法 |
JP2007121057A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Dainippon Printing Co Ltd | 微細マイクロレンズアレイの形状測定方法 |
JP2007285923A (ja) * | 2006-04-18 | 2007-11-01 | Jordan Valley Semiconductors Ltd | 反射モードのx線回折を用いた限界寸法の測定 |
JP2008085331A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Tokyo Electron Ltd | 光学的に調節可能なソフトマスクプロファイルライブラリを用いる方法及び装置 |
JP4489102B2 (ja) * | 2006-11-17 | 2010-06-23 | 三星電子株式会社 | プロセッサ構造および応用の最適化のためのプロファイラ |
US8490066B2 (en) | 2006-11-17 | 2013-07-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Profiler for optimizing processor architecture and application |
JP2008130078A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Samsung Electronics Co Ltd | プロセッサ構造および応用の最適化のためのプロファイラ |
JP2008139303A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-19 | Asml Netherlands Bv | 検査方法、検査装置、リソグラフィ装置、リソグラフィ処理セル、およびデバイス製造方法 |
JP2008153661A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Tokyo Electron Ltd | 光計測を用いた半導体製造プロセスのプロセスパラメータの測定方法 |
JP2008249686A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-10-16 | Asml Netherlands Bv | インスペクション方法及び装置、リソグラフィ装置、リソグラフィプロセッシングセル並びにデバイス製造方法 |
JP2011040772A (ja) * | 2007-01-16 | 2011-02-24 | Asml Netherlands Bv | インスペクション方法 |
US8908901B2 (en) | 2007-04-24 | 2014-12-09 | Renishaw Plc | Apparatus and method for surface measurement |
JP2009053194A (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-12 | Tokyo Electron Ltd | 光回折における近似精緻回折モデルを用いた構造に係るプロファイルパラメータの決定 |
KR101365163B1 (ko) | 2007-09-20 | 2014-02-20 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 구조물 시험 방법 및 구조물 시험 시스템 |
JP2009075110A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Tokyo Electron Ltd | プロセスパラメータを分散に関連づける分散関数を用いた構造のプロファイルパラメータの決定 |
JP2012507029A (ja) * | 2008-10-29 | 2012-03-22 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 座標測定システムのための方法 |
US9689655B2 (en) | 2008-10-29 | 2017-06-27 | Renishaw Plc | Measurement method |
US8243878B2 (en) | 2010-01-07 | 2012-08-14 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | High-resolution X-ray diffraction measurement with enhanced sensitivity |
US8731138B2 (en) | 2010-01-07 | 2014-05-20 | Jordan Valley Semiconductor Ltd. | High-resolution X-ray diffraction measurement with enhanced sensitivity |
US8687766B2 (en) | 2010-07-13 | 2014-04-01 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Enhancing accuracy of fast high-resolution X-ray diffractometry |
US8693635B2 (en) | 2010-07-13 | 2014-04-08 | Jordan Valley Semiconductor Ltd. | X-ray detector assembly with shield |
JP2013539532A (ja) * | 2010-07-22 | 2013-10-24 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 最適にパラメータ化されたスキャッタロメトリモデルを自動決定するための方法 |
US8781070B2 (en) | 2011-08-11 | 2014-07-15 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Detection of wafer-edge defects |
WO2013047047A1 (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 断面形状推定方法および断面形状推定装置 |
JP2013073776A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 断面形状推定方法および断面形状推定装置 |
US9726624B2 (en) | 2014-06-18 | 2017-08-08 | Bruker Jv Israel Ltd. | Using multiple sources/detectors for high-throughput X-ray topography measurement |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7126700B2 (en) | 2006-10-24 |
EP1541960A3 (en) | 2009-01-07 |
US20050128489A1 (en) | 2005-06-16 |
JP4824299B2 (ja) | 2011-11-30 |
EP1541960A2 (en) | 2005-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4824299B2 (ja) | 集積回路構造のプロファイルを決定する方法及びシステム又はコンピュータ読取可能な記録媒体 | |
KR101144402B1 (ko) | 광학적 계측에 이용되는 가상 프로파일 선택 방법 및 선택 시스템과, 컴퓨터 판독 가능 기억 매체 | |
US7580823B2 (en) | Generation and use of integrated circuit profile-based simulation information | |
US7505153B2 (en) | Model and parameter selection for optical metrology | |
US6961679B2 (en) | Method and system of dynamic learning through a regression-based library generation process | |
US7092110B2 (en) | Optimized model and parameter selection for optical metrology | |
KR101342847B1 (ko) | 2 차원 구조물들에 대한 회절 차수의 선택 방법, 광학 계측 시스템의 최적화 방법 및 광학 계측 시스템 | |
KR100910003B1 (ko) | 집적 회로 계측용 프로파일 세분화 | |
JP3774153B2 (ja) | マクロ格子テストパターンプロファイルデータ取得システムおよび方法 | |
US7487053B2 (en) | Refining a virtual profile library | |
WO2004013568A2 (en) | Metrology hardware adaptation with universal library | |
US7542859B2 (en) | Creating a virtual profile library | |
US20090306941A1 (en) | Structure Model description and use for scatterometry-based semiconductor manufacturing process metrology | |
US7305322B2 (en) | Using a virtual profile library | |
JP2008022005A (ja) | 光計測を用いて検査される構造の特徴を表すプロファイルモデルの生成 | |
JP2023547990A (ja) | 半導体デバイス製造方法及び半導体製造アセンブリ用プロセス制御システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071126 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101130 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110225 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110302 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110526 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110809 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110908 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140916 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |