JP2009053194A - 光回折における近似精緻回折モデルを用いた構造に係るプロファイルパラメータの決定 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 プロファイルモデル、近似回折モデル、及び精緻回折モデルを有する光計測モデルを用いて構造に係る1つ以上のプロファイルパラメータを決定する方法が供される。シミュレーションによる近似回折信号が、構造の近似回折モデルに基づいて生成される。1組の差分回折信号が、シミュレーションによる精緻回折信号の各々からシミュレーションによる近似回折信号を差し引くことによって得られ、かつ対応するプロファイルパラメータと組み合わせられ、かつ差分回折信号のライブラリを生成するのに用いられる。シミュレーションによる近似回折信号によって修正される測定回折信号は、構造に係る少なくとも1つのプロファイルパラメータを決定するようにライブラリに対して一致する。
【選択図】 図7A
Description
41 計測ビーム源
43 ビーム
45 入射角
47 ウエハ
49 回折ビーム
51 計測ビーム受光器
53 プロファイルサーバ
57 回折信号
59 標的構造
60 シミュレータ
300 繰り返し構造
302 ユニットセル
304 穴
310 ユニットセル
312 X方向のピッチ
314 Y方向のピッチ
316 楕円
318 楕円
320 部位
330 ユニットセル
332 部位
400 構造
402 金属膜
404 基板
410 構造
412 金属膜
414 基板
430 近似モデル
432 薄膜
434 薄膜
436 薄膜
438 基板
440 精緻モデル
500 近似モデル
510 薄膜
512 薄膜
514 薄膜
516 基板
518 コンタクトホール
520 精緻モデル
530 ユニットセル
532 ユニットセル
534 ユニットセル
536 ユニットセル
Claims (20)
- プロファイルモデル、近似回折モデル、及び精緻回折モデルを有する光計測モデルを用いて構造に係る1つ以上のプロファイルパラメータを決定する方法であって:
a)プロファイルパラメータを有するプロファイルモデルを含む、前記構造についての計測モデルを作る工程;
b)前記計測モデルを最適化することによって前記計測モデルに最適化されたプロファイルモデルが含まれるようにする工程;
c)前記の構造の近似回折モデルに基づいてシミュレーションによる近似回折信号を計算する工程;
d)前記最適化された計測モデルを用いて1組のプロファイルパラメータから1組のシミュレーションによる精緻回折信号を生成する工程;
e)差分回折信号と対応するプロファイルパラメータのライブラリを生成する工程であって、前記差分回折信号は前記1組のシミュレーションによる精緻回折信号の各シミュレーションによる精緻回折信号から前記シミュレーションによる近似回折信号を差し引くことによって計算される、工程;
f)前記の差分回折信号のライブラリに対して、前記シミュレーションによる近似回折信号を差し引くことによって修正される測定回折信号の最善の一致を示すものを決定する工程;並びに
g)1つ以上の一致基準が満たされない場合に前記構造に係る少なくとも1つのプロファイルパラメータを決定する工程;
を有する方法。 - 前記構造がウエハ構造である、請求項1に記載の方法。
- 前記ウエハ構造が回折格子又は繰り返し構造である、請求項2に記載の方法。
- 前記シミュレーションによる近似回折信号を計算する工程が回折シミュレーションについての近似アルゴリズムを利用する工程を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記の回折シミュレーションについての近似アルゴリズムが実効媒質理論を利用する、請求項4に記載の方法。
- 前記実効媒質理論が、周期構造又は繰り返し構造を、実効誘電率を有する異方的で均一な媒質で置き換える、請求項5に記載の方法。
- 前記の回折シミュレーションのための近似アルゴリズムが、コヒーレントポテンシャル近似、乱雑位相近似、又は動的実効媒質理論を利用する、請求項4に記載の方法。
- 前記1組のシミュレーションによる精緻回折信号を生成する工程が、厳密結合波解析、有限要素法、グリーン関数法、又はモード解析法を用いて実行される、請求項1に記載の方法。
- h)前記近似回折モデル及び/又は前記近似アルゴリズムを修正する工程;
i)前記1つ以上の一致基準が満たされるまで、工程c)乃至工程h)を繰り返す工程;
をさらに有する、請求項1に記載の方法。 - 前記の近似回折モデル及び/又は近似アルゴリズムを修正する工程が、回折シミュレーションのための近似アルゴリズムを修正する工程、又は実効媒質理論の使用からコヒーレントポテンシャル近似の使用へと切り換える工程を有する、請求項9に記載の方法。
- プロファイルモデル、近似回折モデル、及び精緻回折モデルを有する光計測モデルを用いて構造に係る1つ以上のプロファイルパラメータを決定する方法であって:
a)1つ以上の終了基準を設定する工程;
b)差分回折信号と対応するプロファイルパラメータのライブラリを生成する工程であって、前記差分回折信号は前記1組のシミュレーションによる精緻回折信号の各シミュレーションによる精緻回折信号から前記シミュレーションによる近似回折信号を差し引くことによって計算され、前記シミュレーションによる近似回折信号は前記構造の近似回折モデルと近似アルゴリズムに基づいて計算され、前記シミュレーションによる精緻回折信号はプロファイルパラメータと厳密回折シミュレーションアルゴリズムを用いて生成される、工程;
c)前記の差分回折信号のライブラリに対して、前記シミュレーションによる近似回折信号によって修正される測定回折信号の最善の一致を示すものを得ることによって、前記回折測定信号から少なくとも1つのプロファイルパラメータを決定する工程;並びに
d) 1つ以上の一致基準が満たされない場合に、該1つ以上の一致基準が満たされるまでb)、c)、及びd)を繰り返す工程;
を有する方法。 - 光計測並びに近似及び精緻回折モデルを用いて生成されるシミュレーションによる回折信号を用いて、複数のプロファイルパラメータを有するプロファイルを有する構造の1つ以上のプロファイルパラメータを決定するシステムを利用するシステムであって、
当該システムは:
前記構造を照射ビームによって照射して前記構造で回折される回折信号を検出するように備えられた光計測装置;
近似回折モデルと回折シミュレーションのための回折アルゴリズムに基づいて前記構造で回折されるシミュレーションによる近似回折信号を生成し、
精緻回折モデルと1組のプロファイルパラメータに基づいて前記構造で回折されるシミュレーションによる精緻回折信号を生成し、かつ
前記シミュレーションによる精緻回折信号から前記シミュレーションによる近似回折信号を差し引くことによって差分回折信号を計算するように備えられた、プロセッサ;並びに
差分回折信号と関連するプロファイルパラメータの対を保存するように備えられたライブラリ:
を有し、
前記構造は測定回折信号を生成する前記光計測装置によって測定され、
前記シミュレーションによる近似回折信号は、修正された測定回折信号を生成する前記測定回折信号から差し引かれ、
該修正された測定回折信号は、少なくとも1つのプロファイルパラメータを決定するように前記ライブラリ中の前記差分回折信号に対して一致される、
システム。 - 前記構造がウエハ構造である、請求項12に記載のシステム。
- 前記ウエハ構造が回折格子又は繰り返し構造である、請求項13に記載のシステム。
- 前記シミュレーションによる近似回折信号が回折シミュレーションについての近似アルゴリズムを利用することによって計算される、請求項12に記載のシステム。
- 前記の回折シミュレーションについての近似アルゴリズムが実効媒質理論を利用する、請求項15に記載のシステム。
- 前記実効媒質理論が、周期構造又は繰り返し構造を、実効誘電率を有する異方的で均一な媒質で置き換える、請求項16に記載のシステム。
- 前記の回折シミュレーションのための近似アルゴリズムが、コヒーレントポテンシャル近似、乱雑位相近似、又は動的実効媒質理論を利用する、請求項15に記載のシステム。
- 前記1組のシミュレーションによる精緻回折信号を生成する工程が、厳密結合波解析、有限要素法、グリーン関数法、又はモード解析法を用いて実行される、請求項12に記載のシステム。
- プロファイルモデル、近似回折モデル、及び精緻回折モデルを有する光計測モデルを用いて構造に係る1つ以上のプロファイルパラメータを決定する方法に対して、コンピュータによる実行が可能な命令を有するコンピュータによる読み取りが可能な記憶媒体であって:
プロファイルパラメータを有するプロファイルモデルを含む、前記構造についての計測モデルを作る命令;
前記計測モデルが最適化されたプロファイルモデルを有するように最適化して最適化された計測モデルを生成する命令;
前記構造の前記近似回折モデルに基づいてシミュレーションによる近似回折信号を計算する命令;
前記最適化された計測モデルを用いて1組のプロファイルパラメータから1組のシミュレーションによる精緻回折信号を生成する命令;
差分回折信号と対応するプロファイルパラメータのライブラリを生成する工程であって、前記差分回折信号は前記1組のシミュレーションによる精緻回折信号の各シミュレーションによる精緻回折信号から前記シミュレーションによる近似回折信号を差し引くことによって計算される、命令;
前記の差分回折信号のライブラリに対して、前記シミュレーションによる近似回折信号を差し引くことによって修正される測定回折信号の最善の一致を示すものを決定する命令;並びに
1つ以上の一致基準が満たされない場合に前記構造に係る少なくとも1つのプロファイルパラメータを決定する命令;
を有するコンピュータによる読み取りが可能な記憶媒体。
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