JP2011040772A - インスペクション方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】既知のオブジェクトのイメージ42を取り込むこと、及び、このイメージ上に、手動又は自動によって推定プロファイル20を重畳すること、を含む。推定プロファイルは数学的に定義され、かつ、上記イメージと一致するようにセグメント毎に調節される40ことによって、調節された推定プロファイルが、上記イメージに関連する当該回折スペクトルとともに記憶される。あるいは又はこれに加えて、ユーザは、既知のイメージのプロファイルをトレース(又は自由描写)し、その後、多項式、スプライン、又はベクトル等の数学関数の形状定義物を推定プロファイル上に描くことにより、未知のオブジェクトのプロファイルをその回折パターンから再構成する際に使用し得る。
【選択図】図5
Description
Claims (21)
- プロファイルの定義がオブジェクトから回折した放射から前記オブジェクトのプロファイルを再構成する際に使用され得るように、プロファイルを定義する方法であって、
既知のオブジェクトの情報を使用してプロファイルを定義すること、
数学関数を使用して前記プロファイルの表面を表現すること、
前記数学関数内の可変パラメータを選択し、前記プロファイルの計算された回折パターンが前記既知のオブジェクトの回折パターンと一致するまで前記可変パラメータを反復的に変更すること、及び
前記プロファイル及び前記可変パラメータを記憶すること、
を含む、方法。 - 前記プロファイルの表面を表現することが、2次元プロファイルの輪郭をセグメントに分割することを含み、各セグメントは、ライン、ポリゴン、スラブ、曲線、多項式、ベクトル、事前準備された形状、及び、スプラインから成る群から選択される少なくとも一つの形状定義物によって表される、請求項1に記載の方法。
- 前記プロファイルの表面を表現することが、3次元プロファイルの表面をセグメントに分割することを含み、各セグメントは、ポリゴン、スラブ、曲線、多項式、ベクトル、事前準備された形状、及び、スプラインから成る群から選択される少なくとも一つの形状定義物によって表される、請求項1に記載の方法。
- 前記既知のオブジェクトが、取り込まれたオブジェクトイメージである、請求項1に記載の方法。
- 前記イメージがメトロロジツールを使用して得られる、請求項4に記載の方法。
- 前記メトロロジツールが走査型電子顕微鏡、原子間力顕微鏡又はスキャトロメータである、請求項5に記載の方法。
- 前記イメージがオブジェクトのシミュレーションを使用して得られる、請求項4に記載の方法。
- 前記イメージが既知の複数のオブジェクトイメージの組合せである、請求項4に記載の方法。
- 前記複数のイメージの平均プロファイルが使用され、前記プロファイルのバリエーションが決定され、前記バリエーションを統計学的に分析して前記プロファイル及び前記プロファイルのバリエーションを所望の精度レベル内で表現するのに必要な数学関数の最小数を決定する、請求項8に記載の方法。
- 前記表現すること及び前記変更することを、ユーザが、ユーザインタフェース及びイメージプロセッサを使用して行う、請求項4に記載の方法。
- 前記表現することを、前記オブジェクトの自動エッジ検出を使用して自動的に行う、請求項4に記載の方法。
- 前記変更することを画素毎に行う、請求項4に記載の方法。
- プロファイルの定義がオブジェクトから回折した放射から前記オブジェクトのプロファイルを再構成する際に使用され得るように、プロファイルを定義する方法であって、
既知のオブジェクトのイメージを視認すること、
前記既知のオブジェクト上に推定プロファイルを重畳すること、
前記推定プロファイルにおける可変パラメータを定義すること、
前記推定プロファイルが前記既知のオブジェクトと一致するまで、前記可変パラメータを反復的に変更すること、及び
前記プロファイル及び前記可変パラメータを記憶すること、
を含む、方法。 - 前記推定プロファイルが3次元であり、かつ、ポリゴン、スラブ、曲線、多項式、ベクトル、事前準備された形状、及び、スプラインから成る群から選択される少なくとも一つの形状定義物を備える、請求項13に記載の方法。
- 前記推定プロファイルが2次元であり、かつ、ライン、ポリゴン、スラブ、曲線、多項式、ベクトル、事前準備された形状、及び、スプラインから成る群から選択される少なくとも一つの形状定義物を備える、請求項13に記載の方法。
- 前記推定プロファイルがハンドルを備え、前記推定プロファイルの前記可変パラメータを変更することが、前記推定プロファイル上で前記ハンドルを動かして前記ハンドルの付近で前記プロファイルの形状を調節することを含む、請求項13に記載の方法。
- オブジェクトを照射する放射から生じる回折パターンから前記オブジェクトのプロファイルを再構成する方法であって、
前記オブジェクトから回折した放射の前記回折パターンを検出すること、
既知のオブジェクトの情報を使用してプロファイルを定義し、数学関数を使用して前記プロファイルの表面を表現し、前記数学関数内の可変パラメータを選択し、前記プロファイルの計算された回折パターンが前記既知のオブジェクトの回折パターンと一致するまで前記可変パラメータを反復的に変更することを含む、前記回折パターンからモデルプロファイルを生成すること、
前記モデルプロファイルからモデル回折パターンを導き出すこと、
前記モデル回折パターンと前記検出回折パターンとを比較すること、及び
前記モデル回折パターンと前記検出回折パターンとの差から、前記オブジェクトプロファイルの推定値を求めること、
を含む、方法。 - オブジェクトを照射する放射から生じる回折パターンから前記オブジェクトのプロファイルを再構成する方法であって、
前記オブジェクトから回折した放射の前記回折パターンを検出すること、
既知のオブジェクトのイメージを視認し、前記既知のオブジェクト上に推定プロファイルを重畳し、前記推定プロファイルにおける可変パラメータを定義し、前記推定プロファイルが前記既知のオブジェクトと一致するまで、前記可変パラメータを反復的に変更することを含む、前記回折パターンからモデルプロファイルを生成すること、
前記モデルプロファイルからモデル回折パターンを導き出すこと、
前記モデル回折パターンと前記検出回折パターンとを比較すること、及び
前記モデル回折パターンと前記検出回折パターンとの差から、前記オブジェクトプロファイルの推定値を求めること、
を含む、方法。 - プロファイルの定義がオブジェクトから回折した放射から前記オブジェクトのプロファイルを再構成する際に使用され得るように、プロファイルを定義するためのインスペクション装置であって、
既知のオブジェクトのプロファイルを取り込むように構成された取込装置、
数学関数を使用して前記プロファイルの表面を表現し、前記プロファイルが前記既知のオブジェクトと一致するまで前記数学関数内の可変パラメータを調節するように構成された、ユーザインタフェース、及び
前記プロファイル及び前記可変パラメータを記憶するように構成されたメモリ、
を備える、インスペクション装置。 - 前記ユーザインタフェースは、ユーザが、3次元プロファイルの表面をセグメントに分割できるように構成されており、各セグメントは、ポリゴン、スラブ、曲線、多項式、ベクトル、事前準備された形状、及び、スプラインから成る群から選択される少なくとも一つの形状定義物によって表される、請求項19に記載のインスペクション装置。
- 前記ユーザインタフェースは、ユーザが、2次元プロファイルの表面をセグメントに分割できるように構成されており、前記表面は前記プロファイルの輪郭であり、各セグメントは、ライン、ポリゴン、スラブ、曲線、多項式、ベクトル、事前準備された形状、及び、スプラインから成る群から選択される少なくとも一つの形状定義物によって表される、請求項19に記載のインスペクション装置。
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