JP2005159293A - 基板処理装置及び処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板の搬送を行う基板搬送機構12と、基板に薬液処理を施すための薬液処理ユニット21と、基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニット22と、を一体的に備える。或いは、基板の搬送を行う基板搬送機構12と、基板の温度を調整する温度調整処理ユニット19と、基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニット22と、を一体的に備える。
【選択図】 図5
Description
第1の実施形態に係る基板処理方法は、例えば、(1)有機膜(主にレジスト膜)パターンをマスクとして下地膜(すなわち例えば基板自体)のエッチングを行う場合に、下地膜のエッチング形状をテーパー化(例えば、特開2002−334830号公報参照)したり、或いは、エッチング寸法を微細化したり(有機膜パターンの面積拡大或いはコンタクト孔の微細化の結果としてのエッチング寸法微細化)する目的、(2)有機膜(主にレジスト膜)パターンをマスクとして下地膜のエッチングを行う場合に、溶解変形処理の前後で下地膜のエッチングを行う(溶解変形処理前、溶解変形処理後の有機膜パターンをマスクとして該有機膜パターンの下地膜をパターン加工する)ことで、下地膜のエッチング形状を2段階形状化したり、形状が相互に大きく異なる2種類のパターンに形成したり、分離パターンと結合パターン(例えば、特開2002−334830号公報の図2及び図3参照;隣設された有機膜パターンを相互に一体化させる処理を含む)を形成したりする目的、(3)有機膜パターンが絶縁性の場合に、該有機膜パターンを回路パターンの絶縁膜となるように変形させる(基板上に形成された回路パターンを覆う絶縁膜となるように有機膜パターンを変形させる)目的などに用いられる。
上位概念としての有機溶剤:
・アルコール類(R−OH)
・アルコキシアルコール類
・エーテル類(R−O−R、Ar−O−R、Ar−O−Ar)
・エステル類
・ケトン類
・グリコール類
・アルキレングリコール類
・グリコールエーテル類
下位概念の有機溶剤:
・CH3OH、C2H5OH、CH3(CH2)XOH
・イソプロピルアルコール(IPA)
・エトキシエタノール
・メトキシアルコール
・長鎖アルキルエステル
・モノエタノールアミン(MEA)
・モノエチルアミン
・ジエチルアミン
・トリエチルアミン
・モノイソピルアミン
・ジイソピルアミン
・トリイソピルアミン
・モノブチルアミン
・ジブチルアミン
・トリブチルアミン
・ヒドロキシルアミン
・ジエチルエヒドロキシルアミン
・無水ジエチルエヒドロキシルアミン
・ピリジン
・ピコリン
・アセトン
・アセチルアセトン
・ジオキサン
・酢酸エチル
・酢酸ブチル
・トルエン
・メチルエチルケトン(MEK)
・ジエチルケトン
・ジメチルスルホキシド(DMSO)
・メチルイソブチルケトン(MIBK)
・ブチルカルビトール
・n−ブチルアセテート(nBA)
・ガンマーブチロラクトン
・エチルセロソルブアセテート(ECA)
・乳酸エチル
・ピルビン酸エチル
・2−ヘプタノン(MAK)
・3−メトキシブチルアセテート
・エチレングリコール
・プロピレングリコール
・ブチレングリコール
・エチレングリコールモノエチルエーテル
・ジエチレングリコールモノエチルエーテル
・エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート
・エチレングリコールモノメチルエーテル
・エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート
・エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル
・ポリエチレングリコール
・ポリプロレングリコール
・ポリブチレングリコール
・ポリエチレングリコールモノエチルエーテル
・ポリジエチレングリコールモノエチルエーテル
・ポリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート
・ポリエチレングリコールモノメチルエーテル
・ポリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート
・ポリエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル
・メチル−3−メトキシプロピオネート(MMP)
・プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
・プロピレングリコールモノプロピルエーテル(PGP)
・プロピレングリコールモノエチルエーテル(PGEE)
・エチル−3−エトキシプロピオネート(FEP)
・ジプロピレングリコールモノエチルエーテル
・トリプロピレングリコールモノエチルエーテル
・ポリプロピレングリコールモノエチルエーテル
・プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート
・3−メトキシプロピオン酸メチル
・3−エトキシプロピオン酸エチル
・N−メチル−2−ピロリドン(NMP)
なお、有機溶剤を原料として生成したガスを用いてガス雰囲気処理を行うのは、有機膜パターンが有機溶剤の浸透により溶解する場合である。例えば、有機膜パターンが水溶性、酸溶解性、アルカリ溶解性の場合は、水溶液、酸溶液或いはアルカリ溶液を原料として生成したガスを用いてガス雰囲気処理を行う場合も有り得る。
第2の実施形態に係る基板処理方法は、第1の実施形態に係る基板処理方法と同様の目的(上記(1)〜(3)の目的)に用いられる。つまり、第2の実施形態に係る基板処理方法は、上記(1)〜(3)の目的の各々において、有機膜パターンを加工する工程に関する。
第3の実施形態に係る基板処理方法は、基板上の有機膜パターンが主として感光性有機膜である場合に適用される方法であり、薬液処理に用いられる薬液として、少なくとも有機膜パターンの現像機能をもつ薬液(現像機能液)を用いる点の他は、つまり、薬液処理に用いる薬液の種類が異なる他は、第1、第2の実施形態と同様の方法である。
第4の実施形態に係る基板処理方法では、第3の実施形態に係る基板処理方法において、現像処理の前に、有機膜パターンを感光させる露光処理を追加して行う。
図3(b)は、第4の実施形態に係る基板処理方法の具体例1を示すフローチャートである。
図3(c)は、第4の実施形態に係る基板処理方法の具体例2を示すフローチャートである。
図3(d)は、第4の実施形態に係る基板処理方法の具体例3を示すフローチャートである。
第5の実施形態に係る基板処理方法では、第3、第4の実施形態に係る基板処理方法において、現像処理の前に、更に薬液処理を追加して行う。
図4(a)は、第5の実施形態に係る基板処理方法の具体例1を示すフローチャートである。
図4(b)は、第5の実施形態に係る基板処理方法の具体例2を示すフローチャートである。
図4(c)は、第5の実施形態に係る基板処理方法の具体例3を示すフローチャートである。
200 基板処理装置
12 基板搬送ロボット(基板搬送機構)
22 ガス雰囲気処理ユニット
21 薬液処理ユニット
23 アッシング処理ユニット
17 簡易露光処理ユニット(露光処理ユニット)
20 現像処理ユニット
19 温度調整ユニット(基板温度調整ユニット)
18 加熱処理ユニット(基板加熱処理ユニット)
24 制御機構(制御手段)
S1 薬液処理
S3 ガス雰囲気処理(溶解変形処理)
S5 現像処理
S6 簡易露光処理(露光処理)
S7 アッシング処理
Claims (95)
- 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板に薬液処理を施すための薬液処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備えることを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備えることを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板に薬液処理を施すための薬液処理ユニットと、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備えることを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記ガス雰囲気処理ユニットは、基板の温度を15〜40℃の範囲内で調整する温度制御手段を有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記ガス雰囲気処理ユニットは、基板の温度を15〜40℃の範囲内で調整する温度制御手段を有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板に薬液処理を施すための薬液処理ユニットと、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記ガス雰囲気処理ユニットは、基板の温度を15〜40℃の範囲内で調整する温度制御手段を有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記ガス雰囲気処理ユニットは、基板の温度を10〜50℃の範囲内で調整する温度制御手段を有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板に薬液処理を施すための薬液処理ユニットと、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記ガス雰囲気処理ユニットは、基板の温度を10〜50℃の範囲内で調整する温度制御手段を有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記ガス雰囲気処理ユニットは、基板の温度を10〜50℃の範囲内の任意の目標温度の±2℃以内に保持する温度制御手段を有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板に薬液処理を施すための薬液処理ユニットと、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記ガス雰囲気処理ユニットは、基板の温度を10〜50℃の範囲内の任意の目標温度の±2℃以内に保持する温度制御手段を有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記温度調整処理ユニットは、基板の温度を15〜40℃の範囲内に調整する温度制御手段を有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板に薬液処理を施すための薬液処理ユニットと、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記温度調整処理ユニットは、基板の温度を15〜40℃の範囲内に調整する温度制御手段を有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記温度調整処理ユニットは、基板の温度を10〜50℃の範囲内に調整する温度制御手段を有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板に薬液処理を施すための薬液処理ユニットと、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記温度調整処理ユニットは、基板の温度を10〜50℃の範囲内に調整する温度制御手段を有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記温度調整処理ユニットは、基板の温度を10〜50℃の範囲内の任意の目標温度の±2℃以内に保持する温度制御手段を有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板に薬液処理を施すための薬液処理ユニットと、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記温度調整処理ユニットは、基板の温度を10〜50℃の範囲内の任意の目標温度の±2℃以内に保持する温度制御手段を有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記温度調整処理ユニット及び前記ガス雰囲気処理ユニットの双方は、基板の温度を10〜50℃の範囲内に調整する温度制御手段をそれぞれ有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板に薬液処理を施すための薬液処理ユニットと、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記温度調整処理ユニット及び前記ガス雰囲気処理ユニットの双方は、基板の温度を10〜50℃の範囲内に調整する温度制御手段をそれぞれ有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記温度調整処理ユニット及び前記ガス雰囲気処理ユニットの双方は、基板の温度を10〜50℃の範囲内の各々任意の目標温度の±2℃以内に保持する温度制御手段をそれぞれ有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板に薬液処理を施すための薬液処理ユニットと、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記温度調整処理ユニット及び前記ガス雰囲気処理ユニットの双方は、基板の温度を10〜50℃の範囲内の各々任意の目標温度の±2℃以内に保持する温度制御手段をそれぞれ有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記温度調整処理ユニット及び前記ガス雰囲気処理ユニットの双方は、基板の温度を10〜50℃の範囲内に調整する温度制御手段をそれぞれ有し、且つ、これら温度制御手段は、相互に同一ないしは±5℃以内の近似する目標温度に基板温度を調整することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板に薬液処理を施すための薬液処理ユニットと、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記温度調整処理ユニット及び前記ガス雰囲気処理ユニットの双方は、基板の温度を10〜50℃の範囲内に調整する温度制御手段をそれぞれ有し、且つ、これら温度制御手段は、相互に同一ないしは±5℃以内の近似する目標温度に基板温度を調整することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記温度調整処理ユニット及び前記ガス雰囲気処理ユニットの双方は、基板の温度を、10〜50℃の範囲内の任意の目標温度の±2℃以内に保持する温度制御手段をそれぞれ有し、且つ、これら温度制御手段は、相互に同一ないしは±5℃以内の近似する目標温度に基板温度を調整することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送を行う基板搬送機構と、
基板に薬液処理を施すための薬液処理ユニットと、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
基板にガス雰囲気処理を施すためのガス雰囲気処理ユニットと、
を一体的に備え、
前記温度調整処理ユニット及び前記ガス雰囲気処理ユニットの双方は、基板の温度を、10〜50℃の範囲内の任意の目標温度の±2℃以内に保持する温度制御手段をそれぞれ有し、且つ、これら温度制御手段は、相互に同一ないしは±5℃以内の近似する目標温度に基板温度を調整することを特徴とする基板処理装置。 - 前記温度制御手段は、基板の温度を15℃〜35℃の範囲内に調整することを特徴とする請求項4乃至24のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 更に、前記薬液処理ユニットによる薬液処理と、前記ガス雰囲気処理ユニットによるガス雰囲気処理と、をこの順に行うように、前記基板搬送機構、前記薬液処理ユニット及び前記ガス雰囲気処理ユニットを制御する制御手段を具備することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 更に、前記温度調整処理ユニットによる基板温度の調整と、前記ガス雰囲気処理ユニットによるガス雰囲気処理と、をこの順に行うように、前記基板搬送機構、前記温度調整処理ユニット及び前記ガス雰囲気処理ユニットを制御する制御手段を具備することを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
- 更に、基板の温度を調整する温度調整処理ユニットを一体的に備えるとともに、
前記薬液処理ユニットによる薬液処理と、前記温度調整処理ユニットによる基板温度の調整と、前記ガス雰囲気処理ユニットによるガス雰囲気処理と、をこの順番に行うように、前記基板搬送機構、前記薬液処理ユニット、前記温度調整処理ユニット及び前記ガス雰囲気処理ユニットを制御する制御手段を具備することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 更に、基板を現像する現像処理ユニットを一体的に備えることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 更に、基板を現像する現像処理ユニットと、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
を一体的に備えるとともに、
前記薬液処理ユニットによる薬液処理と、前記現像処理ユニットによる現像処理と、前記温度調整処理ユニットによる基板温度の調整と、前記ガス雰囲気処理ユニットによるガス雰囲気処理と、をこの順番に行うように、前記基板搬送機構、前記薬液処理ユニット、前記現像処理ユニット、前記温度調整処理ユニット及び前記ガス雰囲気処理ユニットを制御する制御手段を具備することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 更に、基板に薬液処理を施すための第2の薬液処理ユニットと、
基板の温度を調整する温度調整処理ユニットと、
を一体的に備えるとともに、
前記薬液処理ユニットによる薬液処理と、前記第2の薬液処理ユニットによる薬液処理と、前記温度調整処理ユニットによる基板温度の調整と、前記ガス雰囲気処理ユニットによるガス雰囲気処理と、をこの順番に行うように、前記基板搬送機構、前記薬液処理ユニット、前記第2の薬液処理ユニット、前記温度調整処理ユニット及び前記ガス雰囲気処理ユニットを制御する制御手段を具備することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記薬液処理ユニットは、基板上に形成された有機膜パターンに対して薬液処理を施すことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記ガス雰囲気処理ユニットは、基板上に形成された有機膜パターンに対してガス雰囲気処理を施すことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記現像処理ユニットは、基板上に形成された有機膜パターンに対して現像処理を施すことを特徴とする請求項29又は30に記載の基板処理装置。
- 前記薬液処理ユニットで用いる薬液は、少なくとも酸性の薬品を含有していることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記薬液処理ユニットで用いる薬液は、少なくとも有機溶剤を含有していることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記薬液処理ユニットで用いる薬液は、少なくともアルカリ性の薬品を含有していることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記薬液処理ユニットは、前記薬液として現像液を用い、前記薬液処理として現像処理を行う現像処理ユニットであることを特徴とする請求項37に記載の基板処理装置。
- 更に、基板上に形成された有機膜パターンのうち、基板の所望範囲に含まれる有機膜パターンに対し露光処理を施すための露光処理ユニットを一体的に備えることを特徴とする請求項29又は30に記載の基板処理装置。
- 更に、基板上に形成された有機膜パターンのうち、基板の所望範囲に含まれる有機膜パターンに対し露光処理を施すための露光処理ユニットを一体的に備えることを特徴とする請求項38に記載の基板処理装置。
- 前記露光処理は、前記所望範囲に対して一括して露光を行う処理であるか、又は、前記所望範囲内で露光スポットを走査させる処理であることを特徴とする請求項39又は40に記載の基板処理装置。
- 前記所望範囲は、少なくとも基板面積の1/10以上の範囲であることを特徴とする請求項40又は41に記載の基板処理装置。
- 前記露光処理は、紫外線、蛍光及び自然光のうちの少なくとも何れかで露光する処理であることを特徴とする請求項39乃至42のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 更に、基板にアッシング処理を施すためのアッシング処理ユニットを一体的に備えることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 更に、基板にアッシング処理を施すためのアッシング処理ユニットを一体的に備えることを特徴とする請求項29又は30に記載の基板処理装置。
- 更に、基板にアッシング処理を施すためのアッシング処理ユニットを一体的に備えることを特徴とする請求項38に記載の基板処理装置。
- 更に、基板にアッシング処理を施すためのアッシング処理ユニットを一体的に備えることを特徴とする請求項39に記載の基板処理装置。
- 更に、基板にアッシング処理を施すためのアッシング処理ユニットを一体的に備えることを特徴とする請求項40に記載の基板処理装置。
- 前記アッシング処理は、プラズマ、オゾン及び紫外線のうちの少なくとも何れか一つを用いて基板上の各種膜をエッチングする処理であることを特徴とする請求項44乃至48のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 用途に応じて各処理ユニットによる処理順序が変更可能に構成されていることを特徴とする請求項1乃至49のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 用途に応じて各処理ユニットによる処理順序を固定して各処理を行うように構成されていることを特徴とする請求項1乃至49のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 用途に応じて各処理ユニットによる処理条件を変更可能に構成されていることを特徴とする請求項1乃至51のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 同一の処理ユニットを複数個備えることを特徴とする請求項1乃至52のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 複数個備えられた同一の処理ユニットによる処理を、それぞれ基板の向きをその板面内において互いに異ならせて行う機能を有することを特徴とする請求項53に記載の基板処理装置。
- 複数個備えられた同一の処理ユニットによる処理を、それぞれ基板の向きをその板面内において互いに反対向きにして行う機能を有することを特徴とする請求項54に記載の基板処理装置。
- 少なくとも何れか1つの処理ユニットによる処理を、基板の向きをその板面内において互いに異ならせて複数回に分けて行う機能を有することを特徴とする請求項1乃至55のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 少なくとも何れか1つの処理ユニットによる処理を、基板の向きをその板面内において互いに反対向きにして複数回に分けて行う機能を有することを特徴とする請求項56に記載の基板処理装置。
- 少なくとも何れか1つの処理ユニットによる処理として、基板の板面において一方向への処理と、それとは異なる方向への処理と、を行う機能を有することを特徴とする請求項1乃至57のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記異なる方向は、前記一方向に対して反対方向であることを特徴とする請求項58に記載の基板処理装置。
- 当該基板処理装置は、防爆機能又は発火防止機能を具備していることを特徴とする請求項1乃至59のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記ガス雰囲気処理ユニットは、防爆機能又は発火防止機能を具備していることを特徴とする請求項1乃至59のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 更に、基板にエッチング処理を施すためのエッチング処理ユニットを一体的に備えることを特徴とする請求項1乃至61のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記薬液処理ユニットは、薬液を用いたエッチングにより、基板上に形成された有機膜パターンをマスクとして該有機膜パターンの下地膜をパターン加工することが可能なエッチング処理ユニットであることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 請求項1に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
基板上に形成された有機膜パターンを加工する有機膜パターン加工処理を備え、
前記有機膜パターン加工処理では、
前記有機膜パターンの表面に形成された変質層及び/又は堆積層を除去する除去処理と、
前記ガス雰囲気処理ユニットを用いたガス雰囲気処理により前記有機膜パターンを溶解させ変形させる溶解変形処理と、
をこの順に行い、
前記除去処理の少なくとも一部を、前記薬液処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する薬液処理により行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項44乃至48のいずれか一項に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
基板上に形成された有機膜パターンを加工する有機膜パターン加工処理を備え、
前記有機膜パターン加工処理では、
前記有機膜パターンの表面に形成された変質層及び/又は堆積層を除去する除去処理と、
前記ガス雰囲気処理ユニットを用いたガス雰囲気処理により前記有機膜パターンを溶解させ変形させる溶解変形処理と、
をこの順に行い、
前記除去処理では、
前記アッシング処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対するアッシング処理と、
前記薬液処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する薬液処理と、
をこの順に行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項39、40、47又は48のいずれか一項に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
基板上に形成された有機膜パターンを加工する有機膜パターン加工処理を備え、
前記有機膜パターン加工処理では、
前記有機膜パターンの表面に形成された変質層及び/又は堆積層を除去する除去処理と、
前記ガス雰囲気処理ユニットを用いたガス雰囲気処理により前記有機膜パターンを溶解させ変形させる溶解変形処理と、
をこの順に行い、
前記除去処理では、
前記露光処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する露光処理と、
前記現像処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理と、
をこの順に行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項47又は48に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
基板上に形成された有機膜パターンを加工する有機膜パターン加工処理を備え、
前記有機膜パターン加工処理では、
前記有機膜パターンの表面に形成された変質層及び/又は堆積層を除去する除去処理と、
前記ガス雰囲気処理ユニットを用いたガス雰囲気処理により前記有機膜パターンを溶解させ変形させる溶解変形処理と、
をこの順に行い、
前記除去処理では、
前記アッシング処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対するアッシング処理と、
前記露光処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する露光処理と、
前記現像処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理と、
をこの順に行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項47又は48に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
基板上に形成された有機膜パターンを加工する有機膜パターン加工処理を備え、
前記有機膜パターン加工処理では、
前記有機膜パターンの表面に形成された変質層及び/又は堆積層を除去する除去処理と、
前記ガス雰囲気処理ユニットを用いたガス雰囲気処理により前記有機膜パターンを溶解させ変形させる溶解変形処理と、
をこの順に行い、
前記除去処理では、
前記露光処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する露光処理と、
前記アッシング処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対するアッシング処理と、
前記現像処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理と、
をこの順に行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項39又は47に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
基板上に形成された有機膜パターンを加工する有機膜パターン加工処理を備え、
前記有機膜パターン加工処理では、
前記有機膜パターンの表面に形成された変質層及び/又は堆積層を除去する除去処理と、
前記ガス雰囲気処理ユニットを用いたガス雰囲気処理により前記有機膜パターンを溶解させ変形させる溶解変形処理と、
をこの順に行い、
前記除去処理では、
前記露光処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する露光処理と、
前記薬液処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理以外の薬液処理と、
前記現像処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理と、
をこの順に行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項47に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
基板上に形成された有機膜パターンを加工する有機膜パターン加工処理を備え、
前記有機膜パターン加工処理では、
前記有機膜パターンの表面に形成された変質層及び/又は堆積層を除去する除去処理と、
前記ガス雰囲気処理ユニットを用いたガス雰囲気処理により前記有機膜パターンを溶解させ変形させる溶解変形処理と、
をこの順に行い、
前記除去処理では、
前記アッシング処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対するアッシング処理と、
前記露光処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する露光処理と、
前記薬液処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理以外の薬液処理と、
前記現像処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理と、
をこの順に行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項47に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
基板上に形成された有機膜パターンを加工する有機膜パターン加工処理を備え、
前記有機膜パターン加工処理では、
前記有機膜パターンの表面に形成された変質層及び/又は堆積層を除去する除去処理と、
前記ガス雰囲気処理ユニットを用いたガス雰囲気処理により前記有機膜パターンを溶解させ変形させる溶解変形処理と、
をこの順に行い、
前記除去処理では、
前記露光処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する露光処理と、
前記アッシング処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対するアッシング処理と、
前記薬液処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理以外の薬液処理と、
前記現像処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理と、
をこの順に行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項47に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
基板上に形成された有機膜パターンを加工する有機膜パターン加工処理を備え、
前記有機膜パターン加工処理では、
前記有機膜パターンの表面に形成された変質層及び/又は堆積層を除去する除去処理と、
前記ガス雰囲気処理ユニットを用いたガス雰囲気処理により前記有機膜パターンを溶解させ変形させる溶解変形処理と、
をこの順に行い、
前記除去処理では、
前記アッシング処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対するアッシング処理と、
前記薬液処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理以外の薬液処理と、
前記露光処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する露光処理と、
前記現像処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理と、
をこの順に行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項29、30、39、45又は47のいずれか一項に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
基板上に形成された有機膜パターンを加工する有機膜パターン加工処理を備え、
前記有機膜パターン加工処理では、
前記有機膜パターンの表面に形成された変質層及び/又は堆積層を除去する除去処理と、
前記ガス雰囲気処理ユニットを用いたガス雰囲気処理により前記有機膜パターンを溶解させ変形させる溶解変形処理と、
をこの順に行い、
前記除去処理では、
前記薬液処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理以外の薬液処理と、
前記現像処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理と、
をこの順に行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項45乃至48のいずれか一項に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
基板上に形成された有機膜パターンを加工する有機膜パターン加工処理を備え、
前記有機膜パターン加工処理では、
前記有機膜パターンの表面に形成された変質層及び/又は堆積層を除去する除去処理と、
前記ガス雰囲気処理ユニットを用いたガス雰囲気処理により前記有機膜パターンを溶解させ変形させる溶解変形処理と、
をこの順に行い、
前記除去処理では、
前記アッシング処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対するアッシング処理と、
前記現像処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理と、
をこの順に行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項45又は47に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
基板上に形成された有機膜パターンを加工する有機膜パターン加工処理を備え、
前記有機膜パターン加工処理では、
前記有機膜パターンの表面に形成された変質層及び/又は堆積層を除去する除去処理と、
前記ガス雰囲気処理ユニットを用いたガス雰囲気処理により前記有機膜パターンを溶解させ変形させる溶解変形処理と、
をこの順に行い、
前記除去処理では、
前記アッシング処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対するアッシング処理と、
前記薬液処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理以外の薬液処理と、
前記現像処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する現像処理と、
をこの順に行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
基板上に形成された有機膜パターンを加工する有機膜パターン加工処理を備え、
前記有機膜パターン加工処理では、
前記有機膜パターンの表面に形成された変質層及び/又は堆積層を除去する除去処理と、
前記ガス雰囲気処理ユニットを用いたガス雰囲気処理により前記有機膜パターンを溶解させ変形させる溶解変形処理と、
をこの順に行い、
前記除去処理の少なくとも一部を、前記薬液処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する薬液処理により行い、
前記有機膜パターン加工処理前の有機膜パターンをマスクとして該有機膜パターンの下地膜をパターン加工する下地膜加工処理を備えることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
基板上に形成された有機膜パターンを加工する有機膜パターン加工処理を備え、
前記有機膜パターン加工処理では、
前記有機膜パターンの表面に形成された変質層及び/又は堆積層を除去する除去処理と、
前記ガス雰囲気処理ユニットを用いたガス雰囲気処理により前記有機膜パターンを溶解させ変形させる溶解変形処理と、
をこの順に行い、
前記除去処理の少なくとも一部を、前記薬液処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する薬液処理により行い、
前記有機膜パターン加工処理後の有機膜パターンをマスクとして該有機膜パターンの下地膜をパターン加工する下地膜加工処理を備えることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
基板上に形成された有機膜パターンを加工する有機膜パターン加工処理を備え、
前記有機膜パターン加工処理では、
前記有機膜パターンの表面に形成された変質層及び/又は堆積層を除去する除去処理と、
前記ガス雰囲気処理ユニットを用いたガス雰囲気処理により前記有機膜パターンを溶解させ変形させる溶解変形処理と、
をこの順に行い、
前記除去処理の少なくとも一部を、前記薬液処理ユニットを用いた前記有機膜パターンに対する薬液処理により行い、
前記有機膜パターン加工処理前の有機膜パターンをマスクとして該有機膜パターンの下地膜をパターン加工する第1の下地膜加工処理と、
前記有機膜パターン加工処理後の有機膜パターンをマスクとして該有機膜パターンの下地膜をパターン加工する第2の下地膜加工処理と、
を備えることを特徴とする基板処理方法。 - 前記溶解変形処理は、
前記有機膜パターンの面積を拡大させる処理であることを特徴とする請求項64乃至78のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記溶解変形処理は、
隣設された有機膜パターンを相互に一体化させる処理であることを特徴とする請求項79に記載の基板処理方法。 - 前記溶解変形処理は、
前記有機膜パターンを平坦化させる処理であることを特徴とする請求項64乃至78のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記溶解変形処理は、
基板上に形成された回路パターンを覆う絶縁膜となるように前記有機膜パターンを変形させる処理であることを特徴とする請求項64乃至76のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 基板上に形成された当初の有機膜パターンは、少なくとも2段階以上の膜厚に形成された有機膜パターンであることを特徴とする請求項64乃至82のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 基板上に形成された当初の前記有機膜パターンは、少なくとも2段階以上の膜厚に形成された有機膜パターンであり、
前記現像処理を施すことにより、前記有機膜パターンにおいて膜厚が薄い薄膜部を選択的に更に薄くすることを特徴とする請求項66乃至75のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 基板上に形成された当初の前記有機膜パターンは、少なくとも2段階以上の膜厚に形成された有機膜パターンであり、
前記有機膜パターン加工処理における前記現像処理を施すことにより、前記有機膜パターンにおいて膜厚が薄い薄膜部を選択的に除去することを特徴とする請求項66乃至75のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 基板上に当初の前記有機膜パターンを形成して以後、前記有機膜パターン加工処理までの間は、有機膜パターンを感光させない状態に保つことを特徴とする請求項66乃至85のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記ガス雰囲気処理は、有機溶剤のガス雰囲気中で行うことを特徴とする請求項64乃至86のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 請求項53に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
複数個備えられた同一の処理ユニットにより、それぞれ基板に同一の処理を施すことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項54に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
複数個備えられた同一の処理ユニットにより、それぞれ基板に同一の処理を施し、
前記同一の処理ユニットによる処理を、それぞれ基板の向きをその板面内において互いに異ならせて行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項55に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
複数個備えられた同一の処理ユニットにより、それぞれ基板に同一の処理を施し、
前記同一の処理ユニットによる処理を、それぞれ基板の向きをその板面内において互いに反対向きにして行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項56に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
1つの処理ユニットによる処理を、基板の向きをその板面内において互いに異ならせて複数回に分けて行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項57に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
1つの処理ユニットによる処理を、基板の向きをその板面内において互いに反対向きにして複数回に分けて行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項58に記載の基板処理装置を用いて基板に処理を施す基板処理方法であって、
1つの処理ユニットによる処理には、基板の板面において一方向への処理と、それとは異なる方向への処理と、が含まれることを特徴とする基板処理方法。 - 前記異なる方向は、前記一方向に対して反対方向であることを特徴とする請求項93に記載の基板処理方法。
- 前記ガス雰囲気処理ユニットによる処理には、基板の板面において一方向への処理と、それとは異なる方向への処理と、が含まれることを特徴とする請求項93又は94に記載の基板処理方法。
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