JP2005147281A - 除振装置、露光装置、およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可動体を支持する支持部材(定盤1)と、前記支持部材の加速度を検出するための加速度センサ4と、前記支持部材を駆動する駆動手段(アクチュエータ7)と、前記加速度センサの出力と該出力を補正するためのオフセットとに基づき前記駆動手段に対する駆動信号を生成する制御手段(振動制御器5)と、前記可動体が駆動されていない状態で、前記加速度センサの出力に基づいて、前記オフセットを更新するか否かの判定を行う判定手段(CPU9)とから除振装置を構成する。
【選択図】図1
Description
この露光装置は、半導体集積回路等の半導体デバイスや、マイクロマシン、薄膜磁気ヘッド等の微細なパターンが形成されたデバイスの製造に利用され、原版であるレチクルRを介して基板としての半導体ウエハW上に光源161からの露光エネルギーとしての露光光(この用語は、可視光、紫外光、EUV光、X線、電子線、荷電粒子線等の総称である)を投影系としての投影レンズ(この用語は、屈折レンズ、反射レンズ、反射屈折レンズシステム、荷電粒子レンズ等の総称である)162を介して照射することによって、基板上に所望のパターンを形成している。
Claims (9)
- 可動体を支持する支持部材と、前記支持部材の加速度を検出するための加速度センサと、前記支持部材を駆動する駆動手段と、前記加速度センサの出力と該出力を補正するためのオフセットとに基づき前記駆動手段に対する駆動信号を生成する制御手段とを備えた除振装置であって、前記可動体が駆動されていない状態で、前記加速度センサの出力に基づいて、前記オフセットを更新するか否かの判定を行う判定手段を具備することを特徴とする除振装置。
- 前記判定手段は、前記加速度センサの出力を前記オフセットで補正した後のデータに基づいて、前記判定を行うことを特徴とする請求項1記載の除振装置。
- 前記判定手段は、前記加速度センサの出力と前記オフセットとに基づいて、前記判定を行うことを特徴とする請求項1記載の除振装置。
- 前記判定手段の肯定的な判定に応じて、前記加速度センサの出力に基づき前記オフセットの更新を行う更新手段を具備することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の除振装置。
- 前記判定手段は、前記更新手段により更新されたオフセットに関する確認判定として、再度前記判定を行うことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の除振装置。
- 前記確認判定を所定回数行っても前記判定手段により否定的な判定が得られない場合に、異常の報知を行う報知手段を具備することを特徴とする請求項5に記載の除振装置。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の除振装置を具備することを特徴とする露光装置。
- 前記可動体は原版ステージ及び基板ステージの少なくとも一方であることを特徴とする請求項7に記載の露光装置。
- 請求項8または9に記載の露光装置を用いて基板にパターンを露光する露光工程を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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