JP2005109432A - Iii族窒化物系化合物半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】サファイア基板1上にIII族窒化物系化合物半導体層2を積層して、LED素子を形成した(A)。ダイヤモンドブレードを使用するダイサーによって、格子枠状の分離線に沿って、幅約30μmの半導体層除去部を形成した。次に研磨により、サファイア基板1の厚さを100μmまで薄肉化した(B)。波長355nm、ビーム径約20μmのレーザビームをスポット径0.8μmとなるよう集光し、ウエハに粘着シート3を張り付けて表面の素子を保護して移動させながら、サファイア基板1の内部に加工変質部分4を断続的に形成した。(C)。次にダイヤモンドスクライバで、分離線に沿ってスクライブライン5を入れた(D)。こうして押割(ブレーキング)により、スクライブライン5を切断面の発生位置としてクラックを拡大させて素子を分離した(E)。
【選択図】図1
Description
レーザによる加工変質部分を形成せず、裏面からのダイヤモンドスクライバのみによる素子分離を行った場合の素子側面のSEM写真を図3.A、図3.Bに示す。図3.Aのように、面としては平らであるが、図3.Bで正面となっている切断面(側面)の外形線が平行四辺形状となっていることから分かるように、図3.Aで正面となっている切断面(側面)は傾斜しており、所望の形状にチップ化されていないことが分かる。
2:III族窒化物系化合物半導体層
3:粘着シート
4:加工変質部分
5:スクライブライン
6:フォトレジストにより形成されたマスク
Claims (5)
- サファイア基板に形成されたIII族窒化物系化合物半導体素子を分離して個々のIII族窒化物系化合物半導体素子とする製造方法において、
分離予定線付近のIII族窒化物系化合物半導体層を除去し、
サファイア基板の厚さを50〜120μmとし、
パルスレーザを集光させることにより厚さ方向の加工変質部分を前記サファイア基板の内部に分離予定面に沿って断続的に形成し、
分離予定面に沿って前記サファイア基板面にダイヤモンドスクライバでスクライブラインを形成し、
外力を加えることにより、前記ダイヤモンドスクライバにより前記サファイア基板面に形成されたスクライブラインと、前記サファイア基板の内部に断続的に形成された加工変質部分とを通過する切断面にてサファイア基板を分離切断することを特徴とするIII族窒化物系化合物半導体素子の製造方法。 - 前記スクライブラインは、III族窒化物系化合物半導体素子の形成されていない、前記サファイア基板の裏面側に形成されることを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記分離予定線付近のIII族窒化物系化合物半導体層の除去を、エッチングにより行うことを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記分離予定線付近のIII族窒化物系化合物半導体層の除去を、ダイサーにより行うことを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記分離予定線付近のIII族窒化物系化合物半導体層の除去を、レーザにより除去すべきIII族窒化物系化合物半導体層を溶融又は分解して行うことを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
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