JP2005042924A5

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Publication number: JP2005042924A5
Application number: JP2004266918A
Authority: JP
Filing date: 2004-09-14
Publication date: 2006-06-15
Anticipated expiration: 2019-04-28

Claims

半導体製造用流体貯蔵および供給装置（１０、１１０、３００）であって、
加圧された流体を保持するための内部容積（２２、１３３、３２４）を規定し出口ポートを有する流体貯蔵および供給容器（１２、１１２、３０２）と、
前記ポートと流通状態にて前記容器の内部容積（１５、３２８）内に取付けられるバルブ（２６、３３２）とを含み、
前記バルブ（２６、３３２）は、前記バルブがガスを準大気圧にて前記容器（１２、１１２、３０２）の外側から受取るまで流体が前記容器から前記ポートを介して供給されるのを妨げるよう閉じられた状態で保持され、前記準大気圧のガスを受取ったことに応答して開き；および
前記準大気圧ガス圧力は予め定められた大きさしか有さない、半導体製造用流体貯蔵および供給装置。
前記バルブはその下流においてガスにおける圧力を感知するための手段、および感知された圧力が予め設定されたレベル以下である場合には前記バルブを開き、感知された圧力が前記予め設定されたレベルより上である場合には前記バルブを閉じるための手段を有して、前記下流ガスの圧力を調整し、前記ガスの望ましくない逃げを予防する、請求項１に記載の装置。
前記バルブは前記容器から供給されるガスの圧力を調整するための圧力レギュレータ（２６、３３２）の部分を含む、請求項１に記載の装置。
前記レギュレータは前記流体が供給されるレートを決定することにおいて特徴付けられる、請求項３に記載の装置。
容器は水素化物ガス、ハロゲン化物ガスおよびガス状の有機金属からなる群から選択される流体を含む、請求項１〜４のいずれかに記載の装置。
容器は、アルシン、ホスフィン、スチビン、ジボラン、フッ化水素、三塩化ホウ素、三
フッ化ホウ素、塩化水素、ハロゲン化されたシランおよびジシランからなる群から選択される流体を含む、請求項１〜４のいずれか１つに記載の装置。
容器は、半導体製造用設備と、選択的な流体流通状態にて結合される、請求項１〜６のいずれかに記載の装置。
バルブ（２８、３３２）は、前記ポートと流体流通状態においてチャンバを規定するハウジングと、チャンバ内に位置する圧力感知アセンブリとを含み、圧力感知アセンブリはバルブと作動的に接続され、チャンバにおける流体圧力に応答してバルブを開くかまたは閉じるように動くようにされる、請求項１に記載の装置。
容器に含まれる流体の一部（１７）は液化され、前記流体の前記容器からの流出を防ぐ相分離器装置（２８）を含む、請求項１に記載の装置。
容器は、半導体製造用プロセスのための、イオン注入のための流体および化学蒸着のための流体からなる群から選択される流体を含む、請求項１に記載の装置。
容器は、ホスフィン、シラン、アルシンおよびＢＦ₃からなる群から選択される流体を含み、化学蒸着半導体製造用プロセスのために流体を供給することに対して適合される、請求項１に記載の装置。
容器は、ホスフィンおよびアルシンからなる群から選択される流体を含み、化学蒸着半導体製造用プロセスのために流体を供給することに対して適合される、請求項１に記載の装置。
容器は、ホスフィン、アルシンおよびＢＦ₃からなる群から選択される流体を含み、イオン製造用プロセスのために流体を供給することに対して適合される、請求項１に記載の装置。
半導体プロセス流体を含む内部容積（１５、３２８）を有する加圧された容器（１２、１１２、３２４）に含まれる前記流体を利用して半導体製品を製造する方法であって、
前記流体は前記内部容積内において圧力レギュレータ（２８、３３２）によって封じ込められ、前記圧力レギュレータは前記内部容積内の流体流路（３３４、３３６、３３２、３３０、３２０）にあり、前記流体流路は前記圧力レギュレータによって前記圧力レギュレータの下流側への流体の流れを遮断され、
封じ込められた流体を、流体流路を開くことによって、前記圧力レギュレータを通して前記圧力レギュレータから下流に選択的に供給し、流体を、流体圧力レギュレータによって決定されたレートで供給するステップ、および
前記流体を半導体製造設備（２００）に導くステップ、
前記供給ステップはガスを前記圧力レギュレータに或る特定された準大気圧以下で供給することを含み、前記圧力レギュレータは供給される流体の圧力を前記準大気圧に調整するよう設定される、方法。
前記流体はイオン注入または化学蒸着のプロセスにおいて用いられる、請求項１４に記載の方法。
前記流体は、液化された水素化物ガス、液化された酸性ガス、アルシン、ホスフィン、スチビン、シラン、ジボラン、塩化水素、ハロゲン化されたシランおよびジシランからなる群から選択される、請求項１４に記載の方法。
前記供給するステップはガスを準大気圧で前記圧力レギュレータの出口に前記容器の外側から適用してその中のバルブを交互に開閉して前記流体を前記容器から供給する、請求項１４に記載の方法。