JP2004336076A - 加熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ポストエクスポージャーベーキング装置44内には,熱伝導性と強度性に優れた窒化アルミニウムからなる熱板70が設けられ,この熱板70は,その下面に印刷されたヒータ71によって加熱される。断熱性の優れたPTFEからなるサポート65は,前記熱板70に密着して,熱板70の全周囲を支持している。さらに前記熱板70下方に形成された熱交換室T内にノズル74を設け,熱板70を降温させるときには,熱板70の裏面に対して冷却用の気体を吹き付けるように構成されている。
【選択図】 図2
Description
さらに,上記目的を達成する加熱処理装置の参考例として,基板を熱板上で加熱する加熱処理装置において,前記加熱処理装置は,前記熱板の少なくとも周縁部を支持する支持部材を有し,前記支持部材の材質が,断熱材である加熱処理装置が提案できる。
また,別の観点による参考例として,基板を加熱処理する加熱処理装置であって,基板を加熱する熱板と,前記熱板の裏面に向けて冷却用の気体を吹き出す複数のノズルと,前記熱板の温度測定用の温度センサと,を有し,前記ノズルの位置は,平面から見て,前記温度センサの位置と重ならないように設定されている加熱処理装置が提案できる。
なお,前記複数のノズルは,同心状に配置されていてもよく,また同心の2つの円周上に配置されていてもよい。また,前記熱板の材質は,窒化アルミニウムであってもよく,前記熱板の厚みは,3mmであってもよい。さらに前記温度センサは,前記熱板上における直交する2つの直径上に配置されていてもよい。
65 サポート
70 熱板
71 ヒータ
72,90 通気孔
73 底板
74 ノズル
91 リリーフ弁
S 処理室
T 空間部
W ウェハ
Claims (6)
- 基板を加熱する熱板と,
前記熱板の下方に形成され,前記熱板の下面に対向する位置の一部が開閉自在な空間部とを有し,
少なくとも前記基板の加熱処理中は,前記空間部が閉鎖され,
前記熱板の冷却時には,前記空間部が開放されることを特徴とする,加熱処理装置。 - 前記熱板の少なくとも周縁部を支持する支持部材をさらに有し,
前記支持部材の材質が,断熱材であり,
前記支持部材が前記熱板に密着し,前記熱板の全周囲を支持する構造を有することを特徴とする,請求項1に記載の加熱処理装置。 - 前記空間部の雰囲気を排気する排気管を有することを特徴とする,請求項1又は2のいずれかに記載の加熱処理装置。
- 前記熱板の下面に対して冷却用の気体を吹き付ける気体供給手段を有することを特徴とする,請求項1〜3のいずれかに記載の加熱処理装置。
- 前記熱板の材質が,窒化アルミニウムであることを特徴とする,請求項1〜4のいずれかに記載の加熱処理装置。
- 前記熱板の下面には,熱板を加熱する発熱体が印刷されていることを特徴とする,請求項1〜5のいずれかに記載の加熱処置装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004223067A JP3845647B2 (ja) | 1999-09-30 | 2004-07-30 | 加熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27843899 | 1999-09-30 | ||
JP2004223067A JP3845647B2 (ja) | 1999-09-30 | 2004-07-30 | 加熱処理装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000291712A Division JP4021139B2 (ja) | 1999-09-30 | 2000-09-26 | 加熱処理装置及び加熱処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004336076A true JP2004336076A (ja) | 2004-11-25 |
JP3845647B2 JP3845647B2 (ja) | 2006-11-15 |
Family
ID=26552878
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000291712A Expired - Lifetime JP4021139B2 (ja) | 1999-09-30 | 2000-09-26 | 加熱処理装置及び加熱処理方法 |
JP2004223067A Expired - Fee Related JP3845647B2 (ja) | 1999-09-30 | 2004-07-30 | 加熱処理装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000291712A Expired - Lifetime JP4021139B2 (ja) | 1999-09-30 | 2000-09-26 | 加熱処理装置及び加熱処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP4021139B2 (ja) |
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2000
- 2000-09-26 JP JP2000291712A patent/JP4021139B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-07-30 JP JP2004223067A patent/JP3845647B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4021139B2 (ja) | 2007-12-12 |
JP3845647B2 (ja) | 2006-11-15 |
JP2001168022A (ja) | 2001-06-22 |
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A521 | Written amendment |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060306 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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