JP4869952B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
84〜89 露光後ベーク装置
130 熱板
132 ガイド部材
140 底板
151 垂直支持棒
160 外周壁
170 ノズル
K 温調室
W ウェハ
Claims (6)
- 基板の熱処理装置であって、
基板を載置して熱処理する熱処理板と、
前記熱処理板の下方に位置し、装置本体に対して固定された底板と、
前記熱処理板の外周を囲む外周壁と、を有し、
前記外周壁と前記熱処理板との間には、隙間が形成され、
前記外周壁は、前記熱処理板と前記底板との間の空間の外周も囲み、前記熱処理板と前記底板と前記外周壁によって囲まれる温調室が形成され、
前記温調室には、温度調節された気体が供給可能であり、
前記外周壁の内部には、温度調節された気体が流通する気体通路が形成され、
前記外周壁には、前記気体通路内の気体を前記温調室内の熱処理板の裏面に向けて供給する気体供給孔が形成され、
前記熱処理板は、前記底板に立設された垂直支持棒によって支持されていることを特徴とする、熱処理装置。 - 前記熱処理板は、断熱部材を介在して前記垂直支持棒に支持されていることを特徴とする、請求項1に記載の熱処理装置。
- 前記熱処理板の表面には、基板の外周部に接触して基板を所定の載置位置に誘導する複数のガイド部材が設けられており、
前記垂直支持棒は、前記熱処理板の前記ガイド部材に固定されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の熱処理装置。 - 前記温調室には、前記熱処理板の裏面に所定の温度の気体を供給するノズルが設けられていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の熱処理装置。
- 前記底板の中央部には、前記温調室内の気体を排気する排気口が設けられていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の熱処理装置。
- 前記底板は、その底板の裏面に取り付けられた他の垂直支持棒によって装置本体に固定されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の熱処理装置。
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