JP4334486B2 - 加熱処理装置 - Google Patents
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Description
図4は、この発明に係る加熱処理装置の第1実施形態を示す断面図、図5は、この発明における加熱プレートを示す平面図(a)及び(a)のI−I線に沿う拡大断面図(b)である。
図8は、この発明の第2実施形態における加熱プレート60Aを示す平面図である。
図9は、この発明の第3実施形態における接離移動手段の動作態様を示す断面図である。
図10は、この発明の第4実施形態の加熱処理装置を示す要部断面図である。
上記実施形態では、この発明に係る加熱処理装置を半導体ウエハのレジスト塗布・現像処理システムにおける加熱処理装置に適用した場合について説明したが、LCDガラス基板のレジスト塗布・現像処理システムにおける加熱処理装置にも適用できることは勿論である。
53 蓋体
60,60A,60B 加熱プレート
61 フィルム
62 ヒータ配線
64a 直状スリット
64b 内方円弧状スリット
64c 中間円弧状スリット
64d 外方円弧状スリット
70 接離移動手段
71 可動磁石
72 固定磁石
73 スプリング部材
75,75A 移動機構
90 CPU(制御手段)
Claims (7)
- 被処理基板を所定温度に加熱処理する加熱処理装置であって、
上記被処理基板を収容する処理容器内に配設され、その表面に被処理基板を近接又は載置して加熱処理する可撓性を有する加熱プレートと、
上記加熱プレートの適宜箇所を、上記被処理体に対して接離移動する接離移動手段と、
を具備してなり、
上記接離移動手段は、被処理基板を挟んで対峙する1又は複数組の磁石にて形成され、各組における一方の磁石は、処理室を構成する上方が開口する処理容器本体に配置され、他方の磁石は、処理容器本体の開口部を閉塞する蓋体に配置されている、ことを特徴とする加熱処理装置。 - 被処理基板を所定温度に加熱処理する加熱処理装置であって、
上記被処理基板を収容する処理容器内に配設され、その表面に被処理基板を近接又は載置して加熱処理する可撓性を有する加熱プレートと、
上記加熱プレートの適宜箇所を、上記被処理体に対して接離移動する接離移動手段と、
上記接離移動手段の接離移動を制御する制御手段と、を具備してなり、
上記接離移動手段は、被処理基板を挟んで対峙する1又は複数組の磁石にて形成され、各組における一方の磁石は、処理室を構成する上方が開口する処理容器本体に配置され、他方の磁石は、処理容器本体の開口部を閉塞する蓋体に配置され、
上記制御手段は、上記被処理基板の加熱情報に基づいて上記接離移動手段を接離移動するように形成される、ことを特徴とする加熱処理装置。 - 請求項1又は2記載の加熱処理装置において、
互いに対峙する上記磁石のいずれか一方を電磁石とした、ことを特徴とする加熱処理装置。 - 請求項1又は2記載の加熱処理装置において、
互いに対峙する上記磁石のいずれか一方を、他方に対して強制的に近接又は離隔する移動機構に連結してなる、ことを特徴とする加熱処理装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の加熱処理装置において、
上記加熱プレートが、可撓性を有するフィルムと、ヒータ配線とを積層してなる、ことを特徴とする加熱処理装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の加熱処理装置において、
上記加熱プレートが、可撓性を有する一対のフィルムと、両フィルム間に配線されるヒータ配線とからなる、ことを特徴とする加熱処理装置。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の加熱処理装置において、
上記加熱プレートに、該加熱プレートの変形を促すためのスリットを形成してなる、ことを特徴とする加熱処理装置。
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