JP7129527B2 - 加熱処理装置及び加熱処理方法 - Google Patents
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Description
前記載置台の上方に位置して前記載置台を被う上面部と、前記載置台を囲い、前記載置台の外周に位置する側面部と、を有し、
前記載置台、上面部、側面部によって熱処理空間が形成され、前記上面部の中央に、前記熱処理空間内の雰囲気を排気する排気部が設けられ、前記側面部の周方向に沿って設けられて、前記熱処理空間に気体が供給される第1の気体供給口と第2の気体供給口とを有し、前記第2の気体供給口の高さ位置は、前記第1の気体供給口の高さ位置よりも高い位置であり、前記側面部は、上下動自在なシャッター部材によって構成されており、前記シャッター部材は、一体化された外側シャッターと内側シャッターとを有し、前記第1の気体供給口は、外側シャッターと内側シャッターとの間に形成された流路に通じ、前記側面部外周には、前記流路に気体を取り入れる空隙が設けられ、前記第1の気体供給口から前記熱処理空間に供給される気体の流量は、前記第2の気体供給口から前記熱処理空間に供給される気体の流量よりも多い。
また前記外側シャッターは、中空構造を有していてもよい。
加熱時においては、前記熱処理空間の上方中央から前記熱処理空間の雰囲気を排気しつつ、前記載置台を囲って前記載置台の外周に位置する側面部の周方向に沿って設けられた第1の気体供給口を通じて、前記熱処理空間の外側から前記熱処理空間に向けて気体を供給すると共に、前記側面部の周方向に沿って設けられ前記第1の気体供給口よりも高い位置にある第2の気体供給口を通じて前記熱処理空間の外側から前記熱処理空間に向けて気体を供給するようにし、
前記側面部は、上下動自在なシャッター部材によって構成され、前記シャッター部材は、一体化された外側シャッターと内側シャッターとを有し、前記第1の気体供給口は、外側シャッターと内側シャッターとの間に形成された流路に通じ、前記側面部外周には、前記流路に気体を取り入れる空隙が設けられ、前記第1の気体供給口から前記熱処理空間に供給される気体の流量は、前記第2の気体供給口から前記熱処理空間に供給される気体の流量よりも多い、加熱処理方法である。
また塗布膜が形成された基板を、熱処理空間内の載置台上で加熱する加熱処理方法であって、加熱時においては、前記熱処理空間の上方中央から前記熱処理空間の雰囲気を排気しつつ、前記載置台を囲って前記載置台の外周に位置する側面部の周方向に沿って設けられた第1の気体供給口を通じて、前記熱処理空間の外側から前記熱処理空間に向けて気体を供給すると共に、前記側面部の周方向に沿って設けられ前記第1の気体供給口よりも高い位置にある第2の気体供給口を通じて前記熱処理空間の外側から前記熱処理空間に向けて気体を供給するようにし、前記側面部は、上下動自在なシャッター部材によって構成され、前記シャッター部材は、一体化された外側シャッターと内側シャッターとを有し、前記第1の気体供給口は、外側シャッターと内側シャッターとの間に形成された流路に通じ、前記側面部外周には、前記流路に気体を取り入れる空隙が設けられ、前記空隙から内側に向けて取り込まれた気体が一旦、下方向に向かう流路部分を流れて、さらにその後内側の熱処理空間に向けて、前記第1の気体供給口から水平に供給される、加熱処理方法としてもよい。
また前記外側シャッターは、中空構造を有していてもよい。
まず、本実施の形態にかかる加熱処理装置を備えた基板処理システムの構成について説明する。図1は、基板処理システム1の構成の概略を模式的に示す平面図である。図2及び図3は、各々基板処理システム1の内部構成を模式的に示す正面図と背面図である。基板処理システム1では、被処理基板としてのウェハWに所定の処理を行う。
次に、本発明の実施の形態にかかる加熱処理装置40の構成について図4を参照して説明する。
実施の形態にかかる加熱処理装置40は以上の構成を有しており、次にその動作等について説明する。
またよどみの発生が防止されるということは、乱流の発生が防止されることでもある。したがってウェハW表面の塗布膜が、乱流により局所的に乾き方が変わって膜厚の均一性が悪化することも抑制できる。
さらに、ウェハWへの熱影響が少ないだけでなく熱処理空間Sを形成する部材表面へのダウンフローによる熱影響も少ない為、内側シャッター270の垂下部272をはじめとする熱処理空間Sを形成する部材の各表面に、昇華物が付着するリスクも低くなる。
前記実施の形態では、第1の気体供給口となる空隙d1の大きさと、第2の気体供給口となる空隙d2の大きさの比を、4:1としていたが、もちろんこれに限らず9:1~6:4としてもよく、また5:1~7:3としてもよい。
40 加熱処理装置
200 天板部
201 排気口
202 排気装置
210 載置台
211 熱板
212 熱板支持部
213 支持柱
214 基台
216 支持ピン昇降機構
217 支持ピン
218 昇降機構
219 昇降部材
250 シャッター部材
260 外側シャッター
261 固定部材
262 底部
263 側壁部
270 内側シャッター
271 水平部
272 垂下部
Claims (8)
- 塗布膜が形成された基板を加熱する加熱処理装置であって、
前記基板を載置する載置台と、
前記載置台に載置された基板を加熱する加熱機構と、
前記載置台の上方に位置して前記載置台を被う上面部と、
前記載置台を囲い、前記載置台の外周に位置する側面部と、を有し、
前記載置台、上面部、側面部によって熱処理空間が形成され、
前記上面部の中央に、前記熱処理空間内の雰囲気を排気する排気部が設けられ、
前記側面部の周方向に沿って設けられて、前記熱処理空間に気体が供給される第1の気体供給口と第2の気体供給口とを有し、
前記第2の気体供給口の高さ位置は、前記第1の気体供給口の高さ位置よりも高い位置であり、
前記側面部は、上下動自在なシャッター部材によって構成されており、
前記シャッター部材は、一体化された外側シャッターと内側シャッターとを有し、
前記第1の気体供給口は、外側シャッターと内側シャッターとの間に形成された流路に通じ、
前記側面部外周には、前記流路に気体を取り入れる空隙が設けられ、
前記第1の気体供給口から前記熱処理空間に供給される気体の流量は、前記第2の気体供給口から前記熱処理空間に供給される気体の流量よりも多い、加熱処理装置。 - 塗布膜が形成された基板を加熱する加熱処理装置であって、
前記基板を載置する載置台と、
前記載置台に載置された基板を加熱する加熱機構と、
前記載置台の上方に位置して前記載置台を被う上面部と、
前記載置台を囲い、前記載置台の外周に位置する側面部と、を有し、
前記載置台、上面部、側面部によって熱処理空間が形成され、
前記上面部の中央に、前記熱処理空間内の雰囲気を排気する排気部が設けられ、
前記側面部の周方向に沿って設けられて、前記熱処理空間に気体が供給される第1の気体供給口と第2の気体供給口とを有し、
前記第2の気体供給口の高さ位置は、前記第1の気体供給口の高さ位置よりも高い位置であり、
前記側面部は、上下動自在なシャッター部材によって構成されており、
前記シャッター部材は、一体化された外側シャッターと内側シャッターとを有し、
前記第1の気体供給口は、外側シャッターと内側シャッターとの間に形成された流路に通じ、
前記側面部外周には、前記流路に気体を取り入れる空隙が設けられ、
前記空隙から内側に向けて取り込まれた気体が一旦、下方向に向かう流路部分を流れて、さらにその後内側の熱処理空間に向けて、前記第1の気体供給口から水平に供給される、加熱処理装置。 - 前記外側シャッターは、中空構造を有している、請求項1に記載の加熱処理装置。
- 前記空隙から内側に向けて取り込まれた気体が一旦、下方向に向かう流路部分を流れて、さらにその後内側の熱処理空間に向けて、前記第1の気体供給口から水平に供給される、請求項1に記載の加熱処理装置。
- 塗布膜が形成された基板を、熱処理空間内の載置台上で加熱する加熱処理方法であって、
加熱時においては、前記熱処理空間の上方中央から前記熱処理空間の雰囲気を排気しつつ、前記載置台を囲って前記載置台の外周に位置する側面部の周方向に沿って設けられた第1の気体供給口を通じて、前記熱処理空間の外側から前記熱処理空間に向けて気体を供給すると共に、
前記側面部の周方向に沿って設けられ前記第1の気体供給口よりも高い位置にある第2の気体供給口を通じて前記熱処理空間の外側から前記熱処理空間に向けて気体を供給するようにし、
前記側面部は、上下動自在なシャッター部材によって構成され、前記シャッター部材は、一体化された外側シャッターと内側シャッターとを有し、前記第1の気体供給口は、外側シャッターと内側シャッターとの間に形成された流路に通じ、
前記側面部外周には、前記流路に気体を取り入れる空隙が設けられ、
前記第1の気体供給口から前記熱処理空間に供給される気体の流量は、前記第2の気体供給口から前記熱処理空間に供給される気体の流量よりも多い、加熱処理方法。 - 塗布膜が形成された基板を、熱処理空間内の載置台上で加熱する加熱処理方法であって、
加熱時においては、前記熱処理空間の上方中央から前記熱処理空間の雰囲気を排気しつつ、前記載置台を囲って前記載置台の外周に位置する側面部の周方向に沿って設けられた第1の気体供給口を通じて、前記熱処理空間の外側から前記熱処理空間に向けて気体を供給すると共に、
前記側面部の周方向に沿って設けられ前記第1の気体供給口よりも高い位置にある第2の気体供給口を通じて前記熱処理空間の外側から前記熱処理空間に向けて気体を供給するようにし、
前記側面部は、上下動自在なシャッター部材によって構成され、前記シャッター部材は、一体化された外側シャッターと内側シャッターとを有し、前記第1の気体供給口は、外側シャッターと内側シャッターとの間に形成された流路に通じ、
前記側面部外周には、前記流路に気体を取り入れる空隙が設けられ、
前記空隙から内側に向けて取り込まれた気体が一旦、下方向に向かう流路部分を流れて、さらにその後内側の熱処理空間に向けて、前記第1の気体供給口から水平に供給される、加熱処理方法。 - 前記外側シャッターは、中空構造を有している、請求項5に記載の加熱処理方法。
- 前記空隙から内側に向けて取り込まれた気体が一旦、下方向に向かう流路部分を流れて、さらにその後内側の熱処理空間に向けて、前記第1の気体供給口から水平に供給される、請求項5に記載の加熱処理方法。
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