JP2004273669A - 熱圧着用シリコーンゴムシート - Google Patents

Abstract

【課題】表面離型性・耐久性に優れ、かつ高耐熱性であると共に高強度で、均一に加圧力を伝えることができる柔軟性を兼ね備えた、熱圧着用シリコーンゴムシートの提供。
【解決方法】第一のシリコーンゴム層の少なくとも一方の面に、組成の異なる第二のシリコーンゴム層が設けられた複層のシリコーンゴム層からなるシリコーンゴムシートである。第一のシリコーンゴム層は、（Ａ）平均重合度が２００以上のオルガノポリシロキサン、（Ｂ）水分を除いた揮発分が０．５重量％以下であるカーボンブラック、（Ｃ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ^２／ｇ以上である微粉末シリカ、（Ｄ）金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、（Ｅ）硬化剤等からなるシリコーンゴム組成物を成形した層。第二のシリコーンゴム層は、（Ｆ）平均重合度が１００以上のオルガノポリシロキサン、（Ｇ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ^２／ｇ以上である微粉末シリカ、及び、（Ｈ）硬化剤からなる。
【選択図】 なし

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱を伝えると共に均一に圧力をかける目的で使用される熱圧着用シリコーンゴムシートに関し、特に表面離形性に優れ、周囲の装置部品や被圧着物に貼り付かない熱圧着用シートとして使用する、積層板やフレキシブルプリント基板の成形時、或は液晶パネル等に接続された電極とフレキシブルプリント基板のリード電極とを、異方導電性接着剤を介して電気的及び機械的に接続するときなどに使用する、熱圧着用シリコーンゴムシートに関する。
【０００２】
【従来技術】
近年、携帯用コンピューター、ワープロ、ビデオカメラ、ナビゲイションシステム、携帯テレビ、薄型テレビ、壁掛けテレビ等のディスプレイとして、液晶パネルを用いることが増えている。この液晶パネルの製造に際しては、液晶を駆動させるために液晶パネルに接続された電極と駆動用ＬＳＩが搭載されたフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）のリード電極とを、異方導電性接着剤を介在して熱圧着し、電気的及び機械的に接続することが行われている。
【０００３】
この場合、加圧ツールとＦＰＣの間に挟んで、加圧ツールから異方導電性接着剤に熱を伝えると共に均一な圧力を加える目的で、熱圧着用シートが用いられている。この熱圧着用シートとしては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂フィルムを用いる場合もあるが、さらに圧力を均一にかけるために、低弾性で柔軟性があるのと同時に熱伝導性の良い、シリコーンゴムシートを使用することが一般的になっている。
【０００４】
しかしながら、シリコーンゴムシートはフッ素樹脂フィルムに比べてシート表面に粘着性があり、シートが加熱・加圧ツールやＦＰＣに密着して貼り付き、圧着工程の作業性が著しく低下するとともに、剥がす際にシートが劣化し、耐久性が悪くなることがある。また、熱圧着用シートは、熱圧着時にはみ出した異方導電性接着剤に直接接触することがあるため、この異方性導電接着剤に対して非接着であることが必要となるが、従来の熱圧着用シリコーンゴムシートは異方導電性接着剤に対しての非接着性が十分ではなく、耐久性に問題があった。
【０００５】
熱圧着用シリコーンゴムシートとして、例えば、▲１▼ではシリコーンゴムに窒化ホウ素を配合しガラスクロスで補強したもの、▲２▼ではシリコーンゴムに窒化ホウ素と導電性物質を配合し、ガラスクロスで補強して帯電防止性を付与したもの、▲３▼ではシリコーンゴムに、セラミックや金属などの良熱伝導性物質を配合したもの、▲４▼ではシリコーンゴムに、水分を除いた揮発分が０．５％以下であるカーボンブラックを配合し耐熱性を改良したもの等が知られている（特許文献１〜４参照）。しかしながら、これらのものは、シート表面の粘着性の問題や、異方導電性接着剤に対しての非接着性についての問題は改善されていない。
このような問題に対して、シリコーンゴムシートの表面にタルクなどの鱗片状の粉をムラなく打粉してから、余分な粉を水で洗浄することにより除去した熱圧着シリコーンゴムシートが提案されている（特許文献５）。このシートの場合には、シート表面の粘着性は改善されているが、異方導電性接着剤に対する非接着性についての問題は改善されていない。
【０００６】
【特許文献１】
特開平５−１９８３４４号公報
【特許文献２】
特開平６−３６８５３号公報
【特許文献３】
特開平６−２８９３５２号公報
【特許文献４】
特開平７−１１０１０号公報
【特許文献５】
特開平１０−２１９１９９号公報
【０００７】
前記シート表面の粘着性の問題と異方導電性接着剤に対する非接着性についての問題を解決するため、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂フィルムとシリコーンゴムシートを別々に準備し、これら２種類のシートを重ねて使用することも行なわれているが、この方法では、２種類のシートを必要とするためにコストが高くなるし、２種類のシートを供給する装置がそれぞれ必要となるため、製造装置のコストアップにも繋がる。
【０００８】
また、シリコーンゴムシートと耐熱性樹脂フィルムを積層・複合化することによりシート表面の粘着性をなくすとともに、強度に優れた熱圧着用シリコーンゴム複合シートが提案されている（特許文献６〜８）。しかしながら、このシートを使用した場合には、シリコーンゴムが耐熱性樹脂フィルムと接着しているので、ゴム単体より柔軟性がなくなる。従って加圧時に均一に圧力がかかりにくくなり、加圧力を大きくする必要があるが、被圧着体の強度に限界があり、問題となる場合がある上、耐熱性樹脂フィルムが比較的高価なため、コストアップに繋がるという欠点があった。
【０００９】
【特許文献６】
特開平８−１７４７６５号公報
【特許文献７】
特開２００１−１８３３０号公報
【特許文献８】
特開平７−２１４７２８号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明者等は、表面離形性に優れ、加熱・加圧ツールなどの周囲の装置部品、ＦＰＣなど被圧着物に貼り付かず、熱圧着時にはみ出した異方導電性接着剤にも接着しない、高耐久性の熱圧着シリコーンゴムシートを得る為に鋭意検討した結果、従来の熱圧着シリコーンゴムシートの表面に、無機充填材の充填量が少なく離型性に優れたシリコーンゴム層を積層することにより良好な結果を得ることを見出し、本発明に到達した。
従って本発明の目的は、表面離型性に優れ、周囲の装置部品や被圧着物への貼り付きがない上、異方導電性接着剤に接着せず耐久性に優れ、なおかつ高耐熱性であると共に高強度で、均一に加圧力を伝えることができる柔軟性を兼ね備えた、熱圧着用シリコーンゴムシートを安価に提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の上記の目的は、第一のシリコーンゴム層の少なくとも一方の面に、該第一のシリコーンゴム層とは組成の異なる第二のシリコーンゴム層が設けられた複層のシリコーンゴム層からなるシリコーンゴムシートであって、前記第一のシリコーンゴム層が、（Ａ）平均重合度が２００以上のオルガノポリシロキサン１００重量部、（Ｂ）水分を除いた揮発分が０．５重量％以下であるカーボンブラック、（Ｃ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ^２／ｇ以上である微粉末シリカ、（Ｄ）成分として金属、前記（Ｃ）成分以外の金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物から選択された少なくとも一種０〜１，６００重量部、及び、（Ｅ）硬化剤からなり、前記（Ｂ）、（Ｃ）及び（Ｄ）成分の合計配合量が１０〜１，６００重量部であると共に、（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計配合量が０〜１５０重量部であるシリコーンゴム組成物を成形した層であり、前記第二のシリコーンゴム層が、（Ｆ）平均重合度が１００以上のオルガノポリシロキサン１００重量部、（Ｇ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ^２／ｇ以上である微粉末シリカ０〜１００重量部、及び、（Ｈ）硬化剤からなるシリコーンゴム組成物を成形した層であることを特徴とする熱圧着用シリコーンゴムシートによって達成された。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明における、（Ａ）成分である平均重合度２００以上のオルガノポリシロキサンは、平均組成式Ｒ^１ _ａＳｉＯ_{（４−ａ）／２}（ａは１．９５〜２．０５の正数）で表され、その平均重合度は３，０００〜２０，０００であることが好ましい。式中のＲ^１は置換または非置換の一価炭化水素基を表す。その具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基等のシクロアルキル基、ビニル基、アリル基等のアルケニル基、フェニル基、トリル基等のアリール基あるいはこれらの水素原子が部分的に塩素原子、フッ素原子などで置換されたハロゲン化炭化水素基等があげられる。ほん発明においては、Ｒ^１の０．００１〜５モル％、特に０．０１〜１モル％がアルケニル基であることが好ましい。
【００１３】
上記オルガノポリシロキサンは、主鎖がジメチルシロキサン単位からなるものあるいはこのオルガノポリシロキサンの主鎖にビニル基、フェニル基、トリフルオロプロピル基などを導入したものが好ましい。また分子鎖末端がトリオルガノシリル基または水酸基で封鎖されたものであればよく、このトリオルガノシリル基としては、トリメチルシリル基、ジメチルビニルシリル基、トリビニルシリル基などが例示される。なお、（Ａ）成分の２５℃における粘度は１０，０００ｃｓ以上であることが好ましい。また、重合度が２００以下では、硬化後の機械的強度が劣り脆くなる。
【００１４】
（Ｂ）成分の、水分を除いた揮発分が０．５重量％以下であるカーボンブラックは、複合シートの耐熱性及び熱伝導性を向上させるだけでなく機械的強度を向上させると共に、シリコーンゴムシートを導電化して帯電防止性を付与するものである。一般に、シリコーンゴムの耐熱性は、組成物中のｐＨ、水分あるいは不純物の影響を受けるために、添加剤の選定には充分注意する必要がある。カーボンブラックは、シリコーンゴムの耐熱性を向上させることができるが、その不純物および揮発分を考慮する必要がある。カーボンブラックの揮発分は表面に化学的に吸着している酸素化合物（カルボキシル、キノン、ラクトン、ヒドロキシル等の酸性成分）の重量に該当するが、加熱することによりこの酸素化合物が表面から気化するため、シリコーンゴムの耐熱性に悪影響を与える。従って、揮発分が０．５重量％以下のカーボンブラックを用いることにより、３００℃以上の高温下でも使用可能な耐熱性を実現することができる。
【００１５】
本発明における揮発分の測定方法はＪＩＳＫ６２２１の“ゴム用カーボンブラック試験方法”に記載されている。具体的には、るつぼの中にカーボンブラックを規定量入れ、９５０℃で７分間加熱した後の揮発減量を測定するものである。カーボンブラックはその製造方法により、ファーネスブラック、チャンネルブラック、サーマルブラック、アセチレンブラック等に分類されるが、揮発分が０．５重量％以下のカーボンブラックとしては、アセチレンブラックや導電性カーボンブラック等が好適である（例えば特開平１−２７２６６７号公報の第３頁、第３６〜４０行目）。比表面積が大きいカーボンブラックほど耐熱性を向上させ、高温時の機械的強度の低下を抑制する効果が大きい。本発明においては、ＢＥＴ比表面積が３０ｍ^２／ｇ以上のものが好ましく、特に５０ｍ^２／ｇ以上のものが好ましく、更には１００ｍ^２／ｇ以上のカーボンブラックを使用することが好ましい。
【００１６】
（Ｃ）成分の、ＢＥＴ比表面積が５０ｍ^２／ｇ以上である微粉末シリカは、シリコーンゴムの補強成分として使われるものである。この微粉末シリカは、親水性のものでも疎水性のものでも良いが、補強性の面からはＢＥＴ比表面積が５０〜８００ｍ^２／ｇであることが好ましく、特に１００〜５００ｍ^２／ｇのものが良い。比表面積が５０ｍ^２／ｇ未満では、補強効果が十分得られない。
【００１７】
本発明の（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分は、ともにシリコーンゴムを補強する役割を有する。（Ｂ）成分である水分を除いた揮発分が０．５重量％以下であるカーボンブラックの方が、（Ｃ）成分であるＢＥＴ比表面積が５０ｍ^２／ｇ以上である微粉末シリカよりも、耐熱性向上への寄与はより大きいものの、室温での強度への寄与はより小さい。これら２種類の補強成分は、本発明の熱圧着シリコーンゴムシートの使用温度に応じて、調整して使用することができる。（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計の配合量は、（Ａ）成分１００重量部に対して０〜１５０重量部、特に１０〜１２０重量部であることが好ましく、２０〜１００重量部の範囲で使用することが最も好ましい。１５０重量部以上になると配合が困難になる上、成形加工性が悪くなる。
【００１８】
（Ｄ）成分は金属、（Ｃ）成分以外の金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物から選択される少なくとも１種であり、本発明のシリコーンゴムシートに熱伝導性を付与するものである。これらの具体例としては、金属では銀粉、銅粉、鉄粉、ニッケル粉、アルミニウム粉など、金属酸化物では亜鉛、マグネシウム、アルミニウム、珪素、鉄等の酸化物、金属窒化物ではホウ素、アルミニウム、珪素等の窒化物、金属炭化物では珪素、ホウ素等の炭化物等が例示される。
【００１９】
（Ｄ）成分の配合量は、（Ａ）成分１００重量部に対して０〜１，６００重量部であるが、特に０〜１，０００重量部の範囲で使用することが好ましい。１，６００重量部以上になると配合が困難になる上成形加工性が悪くなる。本発明における（Ｂ）成分と（Ｃ）成分と（Ｄ）成分の合計配合量は１０〜１，６００重量部であるが、２０〜１，２００重量部であることが好ましく、特に３０〜１，０００重量部の範囲で使用することが好ましい。また、本発明の熱圧着シリコーンゴムシートのゴム強度や耐熱性を重視する場合には、（Ｂ）成分であるカーボンブラックや（Ｃ）成分である微粉末シリカの配合部数を（Ｄ）成分に対して相対的に多くすることが好ましい。具体的には（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計の配合量が３０〜１００重量部、（Ｄ）成分が０〜５０重量部であることが好ましい。熱伝導性を重視する場合には、（Ｄ）成分である熱伝導付与材の配合部数を（Ｂ）成分や（Ｃ）成分に対して相対的に多くすることが好ましい。具体的には、（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計の配合量が１０〜５０重量部、（Ｄ）成分が５０〜１，０００重量部であることが好ましい。
【００２０】
（Ｅ）成分としての硬化剤は、通常シリコーンゴムの硬化に使用されている公知の硬化剤の中から適宜選択することができる。これらの硬化剤の例としては、ラジカル反応に使用されるジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）へキサン、ジクミルパーオキサイドなどの有機過酸化物、（Ａ）成分のオルガノポリシロキサンがアルケニル基を２個以上有する場合に対しては、付加反応硬化剤として、ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に２個以上含有するオルガノハイドロジエンポリシロキサンと白金系触媒とからなるもの、（Ａ）成分のオルガノポリシロキサンがシラノール基を２個以上含有する場合に対しては、縮合反応硬化剤として、アルコキシ基、アセトキシ基、ケトオキシム基、プロペノキシ基などの加水分解性の基を２個以上有する有機ケイ素化合物等が挙げられる。本発明においては、ラジカル反応及び／又は付加反応で硬化させることが好ましい。
【００２１】
これらの硬化剤の添加量は通常のシリコーンゴムの場合と同様にすればよいが、ラジカル反応の場合には有機過酸化物を（Ａ）成分１００重量部に対して０．１〜１０重量部、付加反応の場合にはオルガノハイドロジェンポリシロキサンのＳｉＨ基が（Ａ）成分のアルケニル基に対して０．５〜５モルとなる量及び白金系触媒が１〜２，０００ｐｐｍとなる量使用することが好ましい。
【００２２】
本発明の目的を損なわない範囲で、必要に応じてクレイ、炭酸カルシウム、けいそう土、二酸化チタン等の充填剤、低分子シロキサンエステル、シラノール等の分散剤、シランカップリング剤、チタンカップリング剤等の接着付与剤、難燃性を付与させる白金族金属系触媒、ゴムコンパウンドのグリーン強度を上げるテトラフルオロポリエチレン粒子などを第一のシリコーンゴム層中のその他の成分として添加してもよい。
【００２３】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシート中、第二のシリコーンゴム層は、主に表面離型性を改善し、異方導電性接着剤との接着防止を目的として設けられるものである。この第二のシリコーンゴム層中の（Ｆ）成分である平均重合度が１００以上のオルガノポリシロキサンとしては、例えば一般式Ｒ^２ _ｂＳｉＯ_{（４−ｂ）／２}で示されるものが挙げられる。ここでＲ^２はメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などのアルキル基、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ブテニル基、ヘキセニル基などのアルケニル基、フェニル基、トリル基、キシリル基などのアリール基、ベンジル基、２−フェニルエチル基などのアラルキル基、あるいはこれらの基の炭素原子に結合している水素原子の一部または全部を、ハロゲン原子、シアノ基などで置換したクロロメチル基、トリフルオロプロピル基、シアノエチル基などから選択される同一または異種の、炭素数１〜１０、好ましくは炭素数１〜８の非置換または置換１価炭化水素基である。ｂは１．９〜２．４の正数である。このオルガノポリシロキサンは、一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を含んだものであっても良いし、一分子中に少なくとも２個のシラノール基を含んだものであっても良い。
【００２４】
このオルガノポリシロキサンは基本的に直鎖状のジオルガノポリシロキサンであるが、分子中にＲ^２ＳｉＯ_３／２単位、ＳｉＯ_２単位などの分岐構造を一部含有するものであってもよく、２５℃における粘度が０．１〜１，０００Ｐａ・ｓであることが好ましい。上記粘度が０．１Ｐａ・ｓ未満では、硬化物の機械的強度が使用に十分満足するものとならない場合がある。一方、１，０００Ｐａ・ｓより大きいと得られる組成物が高粘稠物となって２層構造に成形しずらくなる。また、けい素原子に結合した置換基Ｒ^２は基本的に上記したいずれのものであってもよいが、アルケニル基としてはビニル基、その他の置換基としてはメチル基が好ましく、特に耐溶剤性が必要な場合にはトルフルオロプロピル基が好ましい。また、重合度が１００以下では、硬化後の機械的強度が劣り脆くなる。
【００２５】
本発明の熱圧着シリコーンゴムシートにおいては、機械的強度向上のために、上記オルガノポリシロキサンに加えてシリコーンレジンを使用しても良い。シリコーンレジンとしては、Ｒ^２ _３ＳｉＯ_０．５単位（Ｍ単位）とＳｉＯ_２単位（Ｑ単位）、あるいは、Ｍ単位とＱ単位およびＲ^２ＳｉＯ_１．５単位（Ｔ単位）および／またはＲ^２ _２ＳｉＯ単位（Ｄ単位）とからなる、ＭＱレジン、ＭＴＱレジン、ＭＤＱレジンまたはＭＤＴＱレジンがあり、どれを使用しても良いが、基本的にはＭ単位とＱ単位を主成分とするものが好ましい。また、必要に応じて（ＣＨ_２＝ＣＨ）（ＣＨ_３）_２ＳｉＯ_０．５単位や（ＣＨ_２＝ＣＨ）（ＣＨ_３）ＳｉＯ単位を含むビニル基含有シリコーンレジンを使用することもできる。具体的には、（ＣＨ_３）_３ＳｉＯ_０．５単位、（ＣＨ_２＝ＣＨ）（ＣＨ_３）_２ＳｉＯ_０．５単位及びＳｉＯ_２単位からなるレジンや、（ＣＨ_３）_３ＳｉＯ_０．５単位、（ＣＨ_２＝ＣＨ）（ＣＨ_３）ＳｉＯ単位及びＳｉＯ_２単位からなるレジンを使用することが好ましい。
【００２６】
このシリコーンレジンの含有量は、（Ｆ）成分であるオルガノポリシロキサン１００重量部に対して３〜５０重量部であり、好ましくは５〜３０重量部である。３重量部未満ではシリコーンレジンの機械的強度を向上させる効果が十分ではなく、５０重量部を超えるとシリコーンゴムが脆くなり引裂き強度が弱くなる。
【００２７】
（Ｇ）成分であるＢＥＴ比表面積が５０ｍ^２／ｇ以上である微粉末シリカは、第二のシリコーンゴム層の機械的強度を改善する目的で使用するものである。その具体例としては、親水性又は疎水性のヒュームドシリカ（乾式シリカ）や沈降シリカ（湿式シリカ）、結晶性シリカ、石英などが挙げられ、これらは単独で用いることも２種以上を組み合わせて用いることもできる。ヒュームドシリカや沈降シリカは、補強性の点からＢＥＴ比表面積が５０ｍ^２／ｇ以上であることが必要であるが、通常は、５０〜８００ｍ^２／ｇ、特に１００〜５００ｍ^２／ｇ程度のものを使用するのが良い。比表面積が５０ｍ^２／ｇ未満では、補強効果が十分得られない。
【００２８】
このようなシリカのうち、市販されている親水性のシリカとしては、Ａｅｒｏｓｉｌ１３０，２００，３００（日本アエロジル社又はＤｅｇｕｓｓａ社製の商品名）、ＣａｂｏｓｉｌＭＳ−５，ＭＳ−７（Ｃａｂｏｔ社製の商品名）、ＲｈｅｏｒｏｓｉｌＱＳ−１０２，１０３（トクヤマ（株）製の商品名）、ＮｉｐｓｉｌＬＰ（日本シリカ製の商品名）等が挙げられる。また、疎水性シリカとしては、ＡｅｒｏｓｉｌＲ−８１２，Ｒ−８１２Ｓ，Ｒ−９７２，Ｒ−９７４（Ｄｅｇｕｓｓａ社製の商品名）、ＲｈｅｏｒｏｓｉｌＭＴ−１０（トクヤマ（株）製の商品名）、ＮｉｐｓｉｌＳＳシリーズ（日本シリカ製の商品名）などが挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【００２９】
微粉末シリカの配合量は、（Ｆ）成分１００重量部に対して０〜１００重量部であるが５〜５０重量部であることが好ましく、特に１０〜３０重量部であることが好ましい。１００重量部を超えると離型性が十分でなくなり、異方導電性接着剤と接着し易くなる。
このような微粉末シリカの中でも、本発明においては、第二のシリコーンゴム層の機械的強度と表面離型性を両立させるため、疎水性シリカを使用することが好ましい。
【００３０】
上記疎水性シリカは、本質的にはジメチルジクロロシラン、メチルトリクロロシラン、ヘキサメチルジシラザンまたはその混合物などの表面処理剤で、あるいはこれら表面処理剤と水とを用いて親水性の微粉末シリカを熱処理して得た、その表面が（ＣＨ_３）_３ＳｉＯ_１／２、（ＣＨ_３）_２ＳｉＯ_２／２、ＣＨ_３ＳｉＯ_３／２、好ましくは（ＣＨ_３）_２ＳｉＯ_２／２とＣＨ_３ＳｉＯ_３／２で処理され、疎水化されたシリカであればよいが、特にＣＨ_３ＳｉＯ_３／２基で処理されたものが好ましい。このようにして表面処理された疎水性シリカは、通常、シリカ全体に対して０．５重量％以上の炭素を含有する。
【００３１】
本発明においては、疎水性の微粉末シリカを、さらにオルガノシラザン化合物で表面処理しても良い。この場合には、上記した（Ｆ）成分としてのオルガノポリシロキサンに（Ｇ）成分としての疎水性シリカを添加した混合物を混合機中で加熱混練するときに、オルガノシラザン化合物を加えると共に必要に応じて少量の水を加えて加熱処理すればよく、このように処理するとシリカ表面のシラノールが処理されるので、この組成物から作られたシリコーンゴムが離型耐久性のすぐれたものになる。
【００３２】
このようなオルガノシラザン化合物としては、例えば、（ＣＨ_３）_３ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ_３）_３、（ＣＨ_３）_３ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ_３）_２ＮＨＳｉ（ＣＨ_３）_３、（ＣＨ_３）_２（ＣＦ_３ＣＨ_２ＣＨ_２）ＳｉＮＨＳｉ（ＣＦ_３ＣＨ_２ＣＨ_２）（ＣＨ_３）_２等のアルキル基、アリール基、置換アルキル基等を有するヘキサオルガノシラザン、オクタオルガノトリシラザン等の、炭素官能性基（例えば、アルケニル基）を有しないオルガノシラザン化合物、（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２＝ＣＨ）ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ_３）_２ＮＨＳｉ（ＣＨ＝ＣＨ_２）（ＣＨ_３）_２、（ＣＨ_３）_３ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ_３）（ＣＨ_２＝ＣＨ）［ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２］_ｎＮＨＳｉ（ＣＨ_３）_３、ＣＨ_２＝ＣＨＳｉ［ＮＨＳｉ（ＣＨ_３）_３］_３等の、ビニル基等のアルケニル基含有オルガノシラザン化合物等を挙げることができる。これらのオルガノシラザン化合物は、炭素官能性基を有しないオルガノシラザン化合物のみを用いても、アルケニル基含有オルガノシラザン化合物のみで用いても良いし、両者を併用しても良い。特に、最も汎用であるヘキサメチルジシラザン（ＣＨ_３）_３ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ_３）_３を使用することで、安価且つ簡便に効果を得ることができる。
【００３３】
このオルガノシラザン化合物の配合量は（Ｇ）成分としての微粉末シリカ１００重量部に対して１〜１００重量部、好ましくは１〜５０重量部とする。１重量部未満であると離型性を向上させる効果が顕著でない。また、１００重量部より多くしてもこれらの効果に大きな改良性がみらないばかりか、硬化後のシリコーンゴムの機械的強度に悪影響を及ぼす上、実使用に当って、これらシラザンが反応する際に生ずるアンモニアによる危険性が大きくなる。
【００３４】
第二のシリコーン層中の（Ｈ）成分としての硬化剤は、通常シリコーンゴムの硬化に使用されている公知のものの中から適宜選択することができる。これらの硬化剤の例としては、ラジカル反応に使用されるジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）へキサン、ジクミルパーオキサイドなどの有機過酸化物、（Ｆ）成分のオルガノポリシロキサンがアルケニル基を２個以上有する場合に対しては、付加反応硬化剤としてケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に２個以上含有するオルガノハイドロジエンポリシロキサンと白金系触媒とからなるもの、（Ｆ）成分のオルガノポリシロキサンがシラノール基を２個以上含有する場合に対しては、縮合反応硬化剤としてアルコキシ基、アセトキシ基、ケトオキシム基、プロペノキシ基などの加水分解性の基を２個以上有する有機ケイ素化合物等が例示される。本発明においては、有機過酸化物硬化または／及び付加反応硬化が加工性の面から好ましい。
【００３５】
これら硬化剤の添加量は通常のシリコーンゴムの場合と同様にすればよいが、ラジカル反応の場合には有機過酸化物を（Ｆ）成分１００重量部に対して０．１〜１０重量部、付加反応の場合にはオルガノハイドロジェンポリシロキサンのＳｉＨ基が（Ｆ）成分のアルケニル基に対して０．４〜４．０モルとなる量及び白金系触媒が１〜２，０００ｐｐｍとなる量使用することが好ましい。
【００３６】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第二のシリコーンゴム層中には、離型性向上を目的として、下記一般式（１）及び／又は（２）で表されるブリードアウト成分を添加しても良い。

式中のＲ^３は水酸基または炭素数１〜８の置換または非置換の一価炭化水素基である。Ｒ^４は同一でも異なっていてもよく、置換または非置換の一価炭化水素基であり、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等のアルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、ビニル基、アリル基、イソプロペニル基等のアルケニル基、フェニル基、キシリル基等のアリール基、ベンジル基、フェニルエチル基等のアラルキル基、及びこれらの基の水素原子の全部もしくは一部がハロゲン原子等で置換された基、例えばクロロメチル基、３，３，３−トリフルオロプロピル基等を挙げることができる。ｎは１〜３，０００の数である。
【００３７】

Ｒ^５は、同一でも異なっていてもよく、置換または非置換の一価炭化水素基、ｎは１〜３，０００の数であり、Ｍは、Ｌｉ、Ｋ等のアルカリ金属を表す。上記の一価炭化水素基Ｒ^５としては、前記Ｒ^４と同じものを挙げることができる。
【００３８】
上記一般式（１）及び（２）で表わされるブリードアウト成分の効果を高めるためには、（Ｆ）成分であるオルガノポリシロキサンの全有機基の９５％以上がメチル基であり、前記平均組成式（１）、（２）からなるブリードアウト成分のＲ^４及びＲ^５の３〜９０モル％がフェニル基または３，３，３−トリフルオロプロピル基であることが好ましい。Ｒ^４およびＲ^５のフェニル基または３，３，３−トリフルオロプロピル基含量が３モル％未満では、ブリード速度が遅くなるため、ブリードアウト成分を大量に添加することが必要になるので、シリコーンゴムの機械的強度が劣化する。また、前記平均組成式（１）からなるブリードアウト成分のＲ^３及びＲ^４をすべてメチル基とした、直鎖状のジメチルシリコーンオイルもブリード成分として有効である。特に粘度が３０Ｐａ・ｓ以上のものがより効果的である。
【００３９】
一般式（１）及び／又は（２）で表されるブリードアウト成分の（Ｆ）成分１００重量部に対する添加量は、０．１〜２０重量部であることが好ましく、さらには０．３〜１０重量部であることが好ましい。０．１重量部未満の添加量では、ブリードアウト成分のシリコーンゴム表面へのブリードアウトによる離型性向上への効果が十分ではなく、２０重量部を超える添加量では、シリコーンゴムの機械的強度が劣化するとともに、被圧着物を汚染する恐れがある。
【００４０】
第二のシリコーンゴム層中には、本発明の目的を損なわない範囲で、必要に応じて非反応性オルガノポリシロキサン、末端がヒドロキシシリルジメチル基で封鎖されたオルガノポリシロキサン等の、粘度及び硬さを調節するための希釈剤、コバルトブルー等の無機顔料、有機染料等の着色剤、炭酸亜鉛、炭酸マンガン、ベンガラ、酸化チタン、カーボンブラック等の耐熱性、難燃性向上剤や金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物等の熱伝導率向上剤を添加することもできる。ただし、無機充填材の添加は、異方導電性接着剤との非接着性を阻害するものであるため、添加量を少なくしたほうが良い。
【００４１】
このようにして得られる第二のシリコーンゴム層の組成物は、２５℃における粘度が０．１〜１０，０００Ｐａ・ｓであることが好ましく、特に１〜１，０００Ｐａ・ｓであることが好ましい。０．１Ｐａ・ｓ未満では十分な機械的強度を得ることが困難であるし、１０，０００Ｐａ・ｓを超えると流動性が悪くなるため加工し難くなる。
硬化後の第二のシリコーンゴム層のＪＩＳ Ａ硬度は２０以上であることが好ましく、特に２５〜９５であることが好ましい。硬度が２０未満であると、圧着時に、各被圧着部材に密着しやすくなる。
【００４２】
本発明においては、第一のシリコーンゴム層及び／または第二のシリコーンゴム層に、更に酸化セリウム粉末を添加することにより耐熱性を向上させることができる。上記酸化セリウムの添加量は、（Ａ）成分及び／または（Ｆ）成分１００重量部に対して０．１〜５重量部の範囲であることが好ましい。５重量部を越えると反って耐熱性が低下してくる。また、この酸化セリウム粉末としては、ＢＥＴ比表面積が５０ｍ^２／ｇ以上という比較的大きな比表面積を有するものを用いることが好ましい。
尚、本発明の第一のシリコーンゴム層及び第二のシリコーンゴム層の組成物の配合は、上記成分をプラネタリーミキサー、ニーダー、二本ロール、バンバリーミキサー等の混合機を用いて混練りすればよいが、硬化剤は使用する直前に添加することが好ましい。
【００４３】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを成型する方法としては、以下のような方法があるが、これらに限定されるものではない。
（１）第一のシリコーンゴム層の組成物を、カレンダーあるいは押し出し成型・加熱硬化させた後、その上に第二のシリコーンゴム層の組成物をコーティング成型・加熱硬化する方法。
（２）第一のシリコーンゴム層の組成物を、カレンダーあるいは押し出し成型・加熱硬化させた後、その上に第二のシリコーンゴム層の組成物をスプレーコーティング成型・加熱硬化する方法。
（３）第一のシリコーンゴム層の組成物をトルエン等の溶剤に溶解して液状化し、キャリアフィルム上にコーティング成型・溶剤除去・加熱硬化させた後、その上に第二のシリコーンゴム層の組成物をコーティング成型・加熱硬化させる方法。
（４）第一のシリコーンゴム層の組成物を、カレンダーあるいは押し出し成型・加熱硬化させた後、第二のシリコーンゴム層の組成物を、カレンダーあるいは押し出し成型して、未硬化のまま第一のシリコーンゴム層の硬化物上に圧着・ラミネートして加熱硬化する方法。
（５）第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層の両層の組成物を、カレンダーあるいは押し出し成型し、未硬化のまま両層を圧着・ラミネートして両層を同時に加熱硬化する方法。
（６）第一のシリコーンゴム層の組成物をトルエン等の溶剤に溶解して液状化した後キャリアフィルム上にコーティング成型し、溶剤分を除去して未硬化のままとしておき、その上に第二のシリコーンゴム層の組成物をコーティング成型して溶剤分を除去した後、両層を加熱硬化する方法。
（７）第一のシリコーンゴム層及び第二のシリコーンゴム層の組成物それぞれを、カレンダーあるいは押し出し成型やコーティング成型した後、加熱硬化させておき、硬化済みの両層の間に接着剤層や粘着剤層を設けて貼りあわせる方法。
【００４４】
本発明においては、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層間の接着を強固にするため、適宜プライマー処理などの方法を用いても良い。また、第一のシリコーンゴム層の両面に第二のシリコーンゴム層を設け、３層構造とすることもできるが、この場合、２層ある第二のシリコーンゴム層の材質は異なるものであっても、同じものであっても良い。
【００４５】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは、ガラス転移温度が２００℃以上である樹脂からなるクロス、またはガラスクロスからなる補強材により補強することができる。
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは２５０℃以上の温度でも使用されるため、上記補強用クロスは高温において機械的強度に優れている必要がある。従って、ガラス転移点が２００℃以上である芳香族ポリイミド、ポリアミドイミド、芳香族ポリアミド、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルイミド等の樹脂繊維からなるクロス、又はガラスクロスが利用できる。これらの中でもガラスクロスは熱伝導性に優れており好ましい。
【００４６】
補強材の厚さは、熱伝導率の面から薄いほうが好ましく、０．０３〜１．０ｍｍ、特に０．０５〜０．５ｍｍであることが好ましい。
これらの補強材の位置は、第一のシリコーンゴム層の内部及び／又は第二のシリコーンゴム層の内部に含まれていれば良く、特に限定されるものではない。補強材を設ける方法としては、硬化前のシリコーンゴム組成物の粘度を小さくして流動性を持たせるか、トルエンなどの溶剤に溶解して液状物とし、補強材クロスにコーティングする方法や、補強材クロスをこれらの液に浸漬する方法などがあるが、特にこれらに限定されるものではない。
【００４７】
このようにして成形した本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの表面のうち、少なくとも一方の表面をエンボス加工することにより、各部材との接触面積を小さくすることができ、離型性をさらに向上させることができる。表面エンボスの程度は、中心線平均粗さで０．５〜５μｍの範囲が好ましい。０．５μｍ未満ではエンボスによる離型性向上の効果が十分ではなく、５μｍより大きくなると、圧着時の圧力の伝わり方が不均一になるので好ましくない。
【００４８】
シリコーンゴムシート表面にエンボスを付与する方法としては、以下のような方法があるが、これらに限定されるものではない。（１）カレンダー成型の場合は、エンボス形状の表面を持つプラスチックフィルム上に硬化前のシリコーンゴム組成物を分出して、エンボス形状を転写させるか、硬化前のシート表面にエンボスの付いたロールを押し付けてエンボスを転写させる方法。（２）コーティング成型の場合にも、カレンダー成型と同様に、エンボス形状の表面を持つプラスチックフィルム上にコーティングして、エンボス形状を転写させる方法。（３）レべリング性の悪い材料をスプレーコーティングする方法。（４）硬化の終わったシリコーンゴムシートをサンドブラストなどにより粗す方法。
【００４９】
このようにして成形した本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは、第二のシリコーンゴム層の厚さが０．５〜３００μｍであり、前記第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．１〜１０ｍｍであることが好ましく、特に第二のシリコーンゴム層の厚さが３〜１００μｍであり、前記第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２〜１ｍｍであることが好ましい。第二のシリコーンゴム層の厚さが０．５μｍ未満では十分な離型性が発現しないし、３００μｍを超えると熱伝導性が悪くなる。また、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．１ｍｍ未満では、被圧着体に充分追従できないので圧力のかかり方が不均一になるし、１０ｍｍを超えると熱伝導性が悪くなる。
【００５０】
さらに離型性を向上させるために、以上のようにして作製した本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの表面に鱗片状の粉をムラなく打粉してから、シートを水で洗浄し、余分な粉を除去しても良い。打粉して粘着性を低減させる粉の形状は鱗片状である必要がある。鱗片状以外の形状の粉では、シートに塗布した際の伸びが悪く、塗りムラが生じやすい。また水で洗浄した後の鱗片状の粉は、シート表面との接触面が広いので圧着工程時に脱落しにくくなる。
【００５１】
鱗片状の粉としては、タルクおよびマイカを使用することができる。タルクの成分は含水ケイ酸マグネシウムからなるもので、酸化鉄等の不純物を若干含有している。マイカは天然産の雲母を粉砕したもので、アルミニウム、カリウム、マグネシウム等のケイ酸化合物である。その他、鱗片状の粉としてグラファイト、二硫化モリブデンがあるが、色が黒色のため汚れが目立ちやすいという欠点がある。タルク粉およびマイカ粉の平均粒径は０．５〜３０μｍの範囲が好ましい。０．５μｍ以下の粒径では粒子が凝集し易くなり、これがシートに付くと平滑性が悪くなるので均一に加圧できなくなる。粒径が３０μｍを越えても同様の問題が生じる。タルク粉およびマイカ粉はそれぞれ単独で使用することも、混合して使用することもできる。
【００５２】
シリコーンゴムシート表面に粉を打粉する方法としては、１）ガーゼ、スポンジ、ブラシ等に粉を含ませ機械的に擦り付ける方法、２）粉を空気中で流動させこの中にシートを通す方法、３）粉を水に分散させこの中にシートを通す方法等がある。また、シートに付着した余分な粉を水で洗浄する方法としては、１）水中でガーゼ、スポンジ、ブラシ等で機械的に擦する方法、２）シートにシャワー状に水を吹き付ける方法、３）水中で超音波洗浄する方法等があげられる。最後に水を乾燥して、熱圧着用シリコーンゴムシートとして使用できる形態になる。このシートは表面に粉が極薄い層で付着しているので、加圧ツールや被圧着物からの離形性が良く、さらに粉が脱落しにくいので周囲を汚染し難い。
本発明においては、１５０℃で３時間加熱した時の揮発分を０．２重量％以下、好ましくは０．１重量％以下にするために、高温でシリコーンゴムシートを熱処理することが好ましく、乾燥機や連続加熱炉の中で、１５０℃以上の温度で熱処理することが好ましい。
【００５３】
【発明の効果】
本発明の熱圧着シリコーンゴムシートは、表面離形性に優れ、加熱・加圧ツールなどの周囲の装置部品、ＦＰＣなどの被圧着物に貼り付かず、熱圧着時にはみ出した異方導電性接着剤にも接着しないので、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂フィルムを重ねて使用する必要がなく、熱圧着シート単体での使用が可能となり、繰り返し使用回数も大幅に増える。また、本発明の熱圧着シリコーンゴムシートは、従来の熱圧着シリコーンゴムシートの表面に、無機充填材の充填量が少なく離型性に優れたシリコーンゴム層を積層するという比較的安価な方法で達成できるため、結果的に熱圧着工程のコスト低減にも寄与できる。
【００５４】
【実施例】
以下、本発明を実施例によって更に詳述するが、本発明はこれによって限定されるものではない。
実施例１．
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００重量部に、平均粒径２３ｎｍ、揮発分０．１０％でＢＥＴ比表面積が１３０ｍ^２／ｇのアセチレンブラック５０重量部およびＢＥＴ比表面積が１２０ｍ^２／ｇである疎水性シリカ（アエロジルＲ−９７２：商品名、Ｄｅｇｕｓｓａ社製）５重量部および比表面積が１４０ｍ^２／ｇの酸化セリウム粉末０．５重量部を二本ロールで配合し、混練りして均一化した。
【００５５】
このシリコーンゴムコンパウンド１００重量部に対して塩化白金酸のイソプロピルアルコール溶液（白金量２重量％）０．１重量部、反応抑制剤であるエチニルシクロヘキサノール０．１重量部、および下記式（３）

で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン１．２重量部を添加し、二本ロールでよく混練りして第一のシリコーンゴム層となる硬化性シリコーンゴムコンパウンドを調整した。
【００５６】
このシリコーンゴムコンパウンドをカレンダー成形機を用いて厚さ０．２０ｍｍに分出ししてから、中心線表面粗さ０．７μｍの片面エンボス加工された厚さ１００μｍポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に転写した後、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第一のシリコーンゴム層を作製した。
【００５７】
分子鎖両末端がビニルジメチルシリル基で封鎖された、平均重合度が５１０のジメチルポリシロキサン１００重量部に、式（ＣＨ_３）_３ＳｉＯ_０．５単位４２．５モル％、（ＣＨ_２＝ＣＨ）（ＣＨ_３）_２ＳｉＯ_０．５単位７．５モル％及びＳｉＯ_２単位５０モル％よりなるシリコーンレジン（ＭＱレジン）１０重量部とＢＥＴ比表面積が約２００ｍ^２／ｇである疎水性シリカ（アエロジルＲ−８１２：日本アエロジル株式会社製商品名）２０重量部とを加え、更にヘキサメチルジシラザン５部と水２部を加えたものを、ニーダー中で１時間、室温で混合した後、１６０℃、４時間加熱処理し、常温まで温度を下げた。次いで、ブリードアウト成分である下記式（４）

で表されるリチウムシリコネートを、ジメチルポリシロキサン１００重量部に対して０．６重量部と、塩化白金酸をジメチルポリシロキサンに対して白金重量で５０ｐｐｍ添加した。
【００５８】
ついで、このようにして得た組成物１００重量部に、反応抑制剤であるエチニルシクロヘキサノール０．１重量部および下記式（５）

で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン５重量部を加え、均一に混練して第二のシリコーンゴム層となる組成物を作製した。この第二のシリコーンゴム層組成物の２５℃における粘度は４０Ｐａ・ｓであり、１５０℃で５分間加熱・硬化後のＪＩＳ Ｋ ６２５３ デュロメーター硬さ試験によるタイプＡ硬度は４０であった。
【００５９】
第一のシリコーンゴム層上に、上記第二のシリコーンゴム層の未硬化組成物をナイフコーターにより厚さ３０μｍとなるようにコーティング成型した後、１５０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた。次いで２層構造のシリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、２００℃で２時間ポストキュアーして、第二のシリコーンゴム層の厚さが３０μｍであって、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２３ｍｍである、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００６０】
実施例２．
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００重量部、良熱伝導性充填剤として酸化アルミニウム粉末アルミナＡＬ−４５（昭和電工（株）製）４００重量部、比表面積が２００ｍ^２／ｇであるシリカ微粉末アエロジル２００（日本アエロジル（株）製）３０重量部、並びに式（６）で示されるα，ω−ジヒドロキシメチルポリシロキサン５重量部をニーダーを用いて均一に混練りし、１５０℃で２時間熱処理した。

【００６１】
冷却後、このシリコーンゴムコンパウンド１００重量部に、比表面積が１４０ｍ^２／ｇの酸化セリウム粉末０．５重量部と硬化剤として有機過酸化物Ｃ−２３（信越化学工業（株）製）１．５重量部を、二本ロールを用いて添加混合した後、カレンダー成形機を用いて厚さが０．３０ｍｍとなるように分出ししてから、中心線表面粗さ０．７μｍの片面エンボス加工された厚さ３０μｍのＰＥＴフィルム上に転写し、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第一のシリコーンゴム層を作製した。
【００６２】
第二のシリコーンゴム層の組成および成型方法は実施例１と同じとして、第二のシリコーンゴム層の厚さを３０μｍ、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さを０．３３ｍｍとして、積層構造のシリコーンゴムシートを作製した。次にシリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、平均粒径１３μｍのタルク粉を、ガーゼを用いてシートに擦り付け、ムラなく塗布した後、流水中でスポンジで擦りながら洗浄して余分な粉を除去した。水を乾燥させた後、乾燥機中で２００℃で４時間熱処理し、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００６３】
実施例３．
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００重量部に、平均粒径３５ｎｍ、揮発分０．１０％でＢＥＴ比表面積が６９ｍ^２／ｇのアセチレンブラック２５重量部、ＢＥＴ比表面積が１２０ｍ^２／ｇである疎水性シリカＡｅｒｏｓｉｌ Ｒ−９７２（商品名、Ｄｅｇｕｓｓａ社製）２５重量部および比表面積が１４０ｍ^２／ｇの酸化セリウム粉末０．５重量部を二本ロールで配合し、混練りして均一化した。
【００６４】
得られたシリコーンゴムコンパウンド１００重量部に、塩化白金酸のイソプロピルアルコール溶液（白金量２重量％）０．１重量部、反応抑制剤であるエチニルシクロヘキサノール０．１重量部および式（３）で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン１．２重量部を加え、均一に混練した。次に、カレンダー成形機を用いて厚さが０．２０ｍｍとなるように分出ししてから、中心線表面粗さ０．７μｍの片面エンボス加工された、厚さが１００μｍのＰＥＴフィルム上に転写し、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第一のシリコーンゴム層を作製した。
【００６５】
第一のシリコーンゴム層上に、実施例１の第二のシリコーンゴム層と同じ組成の未硬化組成物を、ナイフコーターにより厚さが３０μｍとなるようにコーティング成型した後、表面にポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）層を配置したロールに接触させて第二のシリコーンゴム層表面をエンボス形状とした。次いで１５０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた後、２層構造のシリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、２００℃で２時間ポストキュアーして、第二のシリコーンゴム層の厚さが３０μｍで、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２３ｍｍである本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。第二のシリコーンゴムシートの中心線表面粗さを触針式の表面形状測定機にて測定したところ、１．８μｍであった。
【００６６】
実施例４．
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００重量部に、平均粒径２３ｎｍで、揮発分０．１０％、ＢＥＴ比表面積が１３０ｍ２／ｇのアセチレンブラック１０重量部、ＢＥＴ比表面積が１２０ｍ^２／ｇである疎水性シリカＡｅｒｏｓｉｌ Ｒ−９７２（商品名、Ｄｅｇｕｓｓａ社製）５０重量部および比表面積が１４０ｍ^２／ｇの酸化セリウム粉末０．５重量部を二本ロールで配合し、混練りして均一化した。
【００６７】
このシリコーンゴムコンパウンド１００重量部に、塩化白金酸のイソプロピルアルコール溶液（白金量２重量％）０．１重量部、反応抑制剤であるエチニルシクロヘキサノール０．１重量部および式（３）で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン１．２重量部を加え、均一に混練した。次に、カレンダー成形機を用いて厚さが０．２０ｍｍとなるように分出ししてから、中心線表面粗さ０．７μｍで片面エンボス加工された、厚さが１００μｍのＰＥＴフィルム上に転写し、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第一のシリコーンゴム層を作製した。
【００６８】
第二のシリコーンゴム層の組成を実施例１と同じにして、スプレーコーティング法により、前記第一のシリコーンゴム層上に厚さが１０μｍとなるように成型した後、１５０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた。次いで、２層構造のシリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、２００℃で２時間ポストキュアーして、第二のシリコーンゴム層の厚さが１０μｍで、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２１ｍｍである、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００６９】
実施例５．
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００重量部に、平均粒径２３ｎｍで、揮発分０．１０％、ＢＥＴ比表面積が１３０ｍ^２／ｇのアセチレンブラック２０重量部と、良熱伝導性充填剤として酸化アルミニウム粉末アルミナＡＬ−４５（昭和電工（株）製）４００重量部および比表面積が１４０ｍ^２／ｇの酸化セリウム粉末０．５重量部を二本ロールで配合し、混練りして均一化した。
【００７０】
このシリコーンゴムコンパウンド１００重量部に対して、塩化白金酸のイソプロピルアルコール溶液（白金量２重量％）０．１重量部、反応抑制剤であるエチニルシクロヘキサノール０．１重量部および式（３）で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン１．０重量部と有機過酸化物Ｃ−８（信越化学工業（株）製）０．８重量部を添加した。二本ロールでよく混練りして、第一のシリコーンゴム層となる硬化性シリコーンゴムコンパウンドを調整した。
【００７１】
得られたシリコーンゴムコンパウンドを、カレンダー成形機を用いて厚さが０．２０ｍｍとなるように分出ししてから、中心線表面粗さ０．７μｍの片面エンボス加工された、厚さが１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に転写した。次いで１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第一のシリコーンゴム層を作製した。
【００７２】
第二のシリコーンゴム層の組成および成型方法を実施例１と同じにして、最後に２００℃で２時間ポストキュアーし、第二のシリコーンゴム層の厚さが１００μｍで、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．３０ｍｍである、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００７３】
実施例６．
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００重量部に、平均粒径３５ｎｍで、揮発分０．１０％、ＢＥＴ比表面積が６９ｍ^２／ｇのアセチレンブラック１０重量部、ＢＥＴ比表面積が１２０ｍ^２／ｇである疎水性シリカＡｅｒｏｓｉｌ Ｒ−９７２（商品名、Ｄｅｇｕｓｓａ社製）１０重量部、良熱伝導性充填剤として酸化アルミニウム粉末アルミナＡＬ−４５（昭和電工（株）製）４００重量部及び（６）で表されるα，ω−ジヒドロキシメチルポリシロキサン５重量部をニーダーを用いて均一に混練りし、１５０℃で２時間熱処理した。
【００７４】
冷却後、得られたシリコーンゴムコンパウンド１００重量部に、比表面積が１４０ｍ^２／ｇの酸化セリウム粉末０．５重量部、硬化剤として塩化白金酸のイソプロピルアルコール溶液（白金量２重量％）０．１重量部、反応抑制剤であるエチニルシクロヘキサノール０．１重量部、および式（３）で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン１．２重量部を加えた。二本ロールで添加混合した後、キシレンに溶解して６０％キシレン溶液とし、コンマコーターで中心線表面粗さが０．７μｍの、片面エンボス加工された厚さが１００μｍのＰＥＴフィルム上にコーテイングした後キシレンを８０℃で乾燥した。次いで１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第一のシリコーンゴム層を作製した。
【００７５】
第二のシリコーンゴム層の組成および成型方法を実施例１と同じにして、最後に２００℃で２時間ポストキュアーし、第二のシリコーンゴム層の厚さが３０μｍで、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２３ｍｍである、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００７６】
実施例７．
実施例５と同じ組成、同じ方法で、厚さ０．２０ｍｍの第一のシリコーンゴム層を作製した。
分子鎖両末端がビニルジメチルシリル基で封鎖された、平均重合度が７５０のジメチルポリシロキサン１００重量部に、式（ＣＨ_３）_３ＳｉＯ_１／２単位、ＳｉＯ_２単位および（ＣＨ_２＝ＣＨ）ＣＨ_３ＳｉＯ単位よりなり、（ＣＨ_３）_３ＳｉＯ_１／２／ＳｉＯ_２＝０．８（モル比）でビニル基含有量が０．０８モル／１００ｇであるシリコーンレジン（ＭＤＱレジン）３０重量部をプラネタリーミキサー中で１５０℃に加熱し、２時間加熱処理したのち常温まで温度を下げ、塩化白金酸をジメチルポリシロキサンに対して白金重量で５０ｐｐｍ添加した。ついで、このようにして得た組成物１００重量部に反応抑制剤であるエチニルヘキサノール０．１重量部、および式Ｈ（ＣＨ_３）_２ＳｉＯ_１／２単位およびＳｉＯ_２単位よりなり、Ｈ（ＣＨ_３）_２ＳｉＯ_１／２／ＳｉＯ_２＝０．６５（モル比）でＳｉ−Ｈ含有量が０．９モル／１００ｇであるシリコーンレジン（ＭＱレジン）６重量部を加え、均一に混練して第二のシリコーンゴム層となる組成物を作製した。この第二のシリコーンゴム層組成物の２５℃における粘度は６０Ｐａ・ｓであり、１５０℃で５分間加熱・硬化させた後のＪＩＳ Ｋ ６２５３ デュロメーター硬さ試験におけるタイプＡ硬度は５０であった。
【００７７】
第一のシリコーンゴム層上に上記第二のシリコーンゴム層の未硬化組成物をナイフコーターにより厚さ３０μｍとなるようにコーティング成型した後、１５０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた。次いで、２層構造のシリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、２００℃で２時間ポストキュアーして、第二のシリコーンゴム層の厚さが３０μｍで、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２３ｍｍである、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００７８】
実施例８．
実施例７の第二のシリコーンゴム層を形成する組成物中に、ブリードアウト成分として、主鎖の繰り返し単位がジメチルポリシロキサン単位及びジフェニルポリシロキサン単位からなり、フェニル基含有量が２８モル％で、両末端がトリメチルシロキシ基で封鎖された粘度が０．４Ｐａ・ｓのメチルフェニルポリシロキサンを５重量部添加したこと以外は、実施例７と同様にして、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００７９】
実施例９．
実施例２の第一のシリコーンゴム層と同じ組成物を実施例２と同じ条件で成型し、未硬化のままとして、厚さが０．２０ｍｍの未硬化の第一のシリコーンゴム層を作製した。
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００重量部、ＢＥＴ比表面積が１２０ｍ^２／ｇである疎水性シリカ（アエロジル Ｒ−９７２：商品名、Ｄｅｇｕｓｓａ社製）６０重量部、および実施例２で使用した式（６）で表されるα，ω−ジヒドロキシメチルポリシロキサン５重量部をニーダーを用いて均一に混練りし、１５０℃で２時間熱処理した。
【００８０】
冷却後、このシリコーンゴムコンパウンド１００重量部に硬化剤として有機過酸化物Ｃ−２３（信越化学工業（株）製）１．５重量部を二本ロールで添加混合した。次いで、キシレンに溶解して３０％キシレン溶液とし、中心線表面粗さ０．７μｍの片面エンボス加工された厚さが１００μｍのＰＥＴフィルム上にコンマコーターを用いてコーテイングした後、キシレンを８０℃で乾燥し、厚さが５０μｍの第二のシリコーンゴム層の未硬化物を作製した。この第二のシリコーンゴム層組成物の、１６０℃で５分間加熱・硬化させた後におけるＪＩＳ Ｋ ６２５３ デュロメーター硬さ試験によるタイプＡ硬度は７０であった。
【００８１】
未硬化の第一のシリコーンゴム層と未硬化の第二のシリコーンゴム層を、両層間に空気が入らないようにラミネートし、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた。次いで、２層構造のシリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、２００℃で２時間ポストキュアーして、第二のシリコーンゴム層の厚さが５０μｍで、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２５ｍｍである、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００８２】
実施例１０．
実施例２の第一のシリコーンゴム層と同じ未硬化の組成物をキシレンに溶解して６０％キシレン溶液とし、厚さが５０μｍのガラスクロスの片面にコンマコーターで塗布した後キシレンを８０℃で乾燥し、次いでもう一方の面にも同様に塗布して乾燥した後、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、厚さが０．２５ｍｍの第一のシリコーンゴム層を作製した。
第二のシリコーンゴム層の組成および成型方法を実施例１と同じにし、最後に２００℃で２時間ポストキュアーして、第二のシリコーンゴム層の厚さが３０μｍで、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２８ｍｍである、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００８３】
比較例１．
実施例１の第一のシリコーンゴム層と同じシリコーンゴムコンパウンドを使用し、カレンダー成形機を用いて厚さが０．３０ｍｍとなるように分出ししてから、エンボスのない、厚さが１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に転写した。１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた後、２００℃で２時間ポストキュアーした。次いで、シリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００８４】
比較例２．
比較例１で作製したシリコーンゴムシートに、さらに平均粒径１３μｍのタルク粉をガーゼによりシートに擦り付けてムラなく塗布し、乾燥機中で、２００℃で４時間熱処理した後、このシートを流水中でスポンジで擦りながら洗浄し、余分な粉を除去してから水を乾燥させ、熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００８５】
比較例３．
実施例１の第一のシリコーンゴム層と同じシリコーンゴムコンパウンドを、カレンダー成形機を用いて厚さが０．３０ｍｍとなるように分出ししてから、中心線表面粗さが０．７μｍで片面エンボス加工された、厚さが１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に転写した。次いで、中心線表面粗さが３．５μｍのエンボスロールをＰＥＴフィルムと反対側の面に押し付け、シリコーンゴムの表面にエンボスを転写させた後、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた。次に、シリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、２００℃で２時間ポストキュアーして、熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００８６】
（圧着試験）
熱圧着用シートは、熱圧着時にはみ出した異方導電性接着剤に直接接触することがある。そこで、この異方性導電接着剤に対しての接着性を見るため、実施例１〜１０及び比較例１〜３で作製した熱圧着用シリコーンゴムシートの下に、厚さ２２μｍの異方性導電接着剤を直接配し、その下に１００μｍ厚のポリイミドフィルムをはさむように圧着機に設置し、２４０℃に加熱した加圧ツールを用い、４０ｋｇｆ／ｃｍ^２の押し圧力で２０秒間圧着した。熱圧着用シリコーンゴムシートは、２層構造のシートの場合、加圧ツール側に第一のシリコーンゴム層が、異方性導電接着剤側に第二のシリコーンゴム層が配置するようにセットした。１回の圧着終了後、異方性導電接着剤を新しい物に代え、熱圧着用シリコーンゴムシートはそのまま同じ物を使用してこの圧着を繰り返し、異方性導電接着剤が熱圧着用シリコーンゴムシート側に接着するまでの回数を測定した。
【００８７】
また、異方性導電接着剤への非接着性以外の耐久性を見るため、実施例１〜１０、比較例１〜３で作製した熱圧着用シリコーンゴムシートの下に、２５μｍピッチの銅電極を設けた２枚のＦＰＣで厚さが２２μｍの異方性導電接着剤をはさんだもの（上下の銅電極の位置を合わせる）を置いてから圧着機に設置し、３４０℃に加熱した加圧ツールを用い、４０ｋｇｆ／ｃｍ^２の押し圧力で２０秒間圧着した。本試験では、異方性導電接着剤と熱圧着シートとの接着評価を前記のとおり別に評価するため、圧着時に２枚のＦＰＣの間から異方性導電接着剤がはみ出さないような構造とした。熱圧着用シリコーンゴムシートは、２層構造のシートの場合、加圧ツール側に第一のシリコーンゴム層が、ＦＰＣ側に第二のシリコーンゴム層が配置するようにセットした。この圧着を繰り返し、加圧ツールへのシートの密着状態、および均一な圧力で異方性導電接着剤を加熱硬化できなくなるまでの回数を測定した。この回数は上下のＦＰＣの銅電極の導通により確認した。また、加圧ツールの汚れを目視により評価した。
【００８８】
表１に結果をまとめた。実用上の繰り返し耐久性は、はみ出した異方性導電接着剤が熱圧着シートに接触することから、異方性導電接着剤が接着するまでの繰り返し回数と、均一な圧力で異方性導電接着剤を加熱硬化できなくなるまでの回数のうち、少ないほうの回数ということになる。本発明による実施例１〜１０の熱圧着シートを比較例１〜３と比較することにより、本発明の熱圧着シリコーンゴムシートが、特に異方性導電接着剤に対する非接着性に優れるとともに、周囲の装置部品、被圧着物への貼り付きがなく、耐久性に優れることがわかる。
【表１】

Claims (22)

1. 第一のシリコーンゴム層の少なくとも一方の面に、該第一のシリコーンゴム層とは組成の異なる第二のシリコーンゴム層が設けられた複層のシリコーンゴム層からなるシリコーンゴムシートであって、前記第一のシリコーンゴム層が、（Ａ）平均重合度が２００以上のオルガノポリシロキサン１００重量部、（Ｂ）水分を除いた揮発分が０．５重量％以下であるカーボンブラック、（Ｃ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ^２／ｇ以上である微粉末シリカ、（Ｄ）成分として金属、前記（Ｃ）成分以外の金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物から選択された少なくとも一種０〜１，６００重量部、及び、（Ｅ）硬化剤からなり、前記（Ｂ）、（Ｃ）及び（Ｄ）成分の合計配合量が１０〜１，６００重量部であると共に、（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計配合量が０〜１５０重量部であるシリコーンゴム組成物を成形した層であり、前記第二のシリコーンゴム層が、（Ｆ）平均重合度が１００以上のオルガノポリシロキサン１００重量部、（Ｇ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ^２／ｇ以上である微粉末シリカ０〜１００重量部、及び、（Ｈ）硬化剤からなるシリコーンゴム組成物を成形した層であることを特徴とする熱圧着用シリコーンゴムシート。
2. 前記第一のシリコーンゴム層中の（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計配合量が３０〜１００重量部であると共に、（Ｄ）成分が０〜５０重量部である、請求項１に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
3. 前記第一のシリコーンゴム層中の（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計配合量が１０〜５０重量部であると共に、（Ｄ）成分が５０〜１０００重量部である、請求項１に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
4. 前記第一のシリコーンゴム層中の（Ｂ）成分のＢＥＴ比表面積が１００ｍ^２／ｇ以上である、請求項１〜３の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
5. 前記第二のシリコーンゴム層中における、（Ｇ）成分としての微粉末シリカが疎水性シリカである、請求項１〜４の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
6. 前記第二のシリコーンゴム層中の疎水性の微粉末シリカの表面が、さらにオルガノシラザン化合物で処理されている、請求項５に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
7. 前記オルガノシラザン化合物が式（ＣＨ_３）_３ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ_３）_３で表されるヘキサメチルジシラザンである、請求項６に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
8. 前記第二のシリコーンゴム層中に、（Ｆ）成分１００重量部に対してシリコーンレジン３〜５０重量部が更に含まれる、請求項１〜７の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
9. 前記シリコーンレジンが、▲１▼（ＣＨ_３）_３ＳｉＯ_０．５単位、（ＣＨ_２＝ＣＨ）（ＣＨ_３）_２ＳｉＯ_０．５単位、並びにＳｉＯ_２単位、及び／又は▲２▼（ＣＨ_３）_３ＳｉＯ_０．５単位、（ＣＨ_２＝ＣＨ）（ＣＨ_３）ＳｉＯ単位、並びにＳｉＯ_２単位からなる、請求項８に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
10. 前記第二のシリコーンゴム層が、更に、（Ｆ）成分１００重量部に対して０．１〜２０重量部の下記平均組成式（１）及び／または（２）からなるブリードアウト成分を含有する、請求項１〜９の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
    

    

    

    式中のＲ^３は、水酸基または炭素数１〜８の置換または非置換の一価炭化水素基である。Ｒ^４及びＲ^５は同一でも異なっていてもよく、置換または非置換の一価炭化水素基であり、ｎは１〜３，０００の数、Ｍはアルカリ金属を表す。
11. 前記第二のシリコーンゴム層中の（Ｆ）成分であるオルガノポリシロキサンの全有機基のうち、９５％以上がメチル基であり、前記平均組成式（１）、（２）からなるブリードアウト成分のＲ^４及びＲ^５の３〜９０モル％がフェニル基または３，３，３−トリフルオロプロピル基である、請求項１０に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
12. 前記平均組成式（１）からなるブリードアウト成分のＲ^３及びＲ^４がすべてメチル基である、請求項１０に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
13. 前記第二のシリコーンゴム層中の（Ｆ）成分が、１分子中に少なくとも２個以上のアルケニル基を含有するジオルガノポリシロキサンを５０重量％以上含むと共に、（Ｈ）成分が、（Ｆ）成分中のアルケニル基に対するけい素原子に直結した水素原子のモル比が０．４〜４．０となる量の、１分子中に少なくとも２個のけい素原子に直結した水素原子を有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンと、触媒量の白金または白金族化合物から成る、請求項１〜１２の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
14. 前記第二のシリコーンゴム層中の（Ｆ）成分が、１分子中に少なくとも２個以上のアルケニル基を含有するジオルガノポリシロキサンを５０重量％以上含むと共に、（Ｈ）成分が有機過酸化物から成る、請求項１〜１３の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
15. 前記第二のシリコーンゴム層の硬化前の組成物の２５℃における粘度が０．１〜１０，０００Ｐａ・ｓである、請求項１〜１４の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
16. 前記第二のシリコーンゴム層の硬化後のＪＩＳ Ｋ ６２５３ デュロメーター硬さ試験 タイプＡ硬度が２０以上である、請求項１〜１５の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
17. 前記第一のシリコーンゴム層が、更に、（Ａ）成分１００重量部に対して０．１〜５重量部の酸化セリウム粉末を含有し、及び／または前記第二のシリコーンゴム層が、更に、（Ｆ）成分１００重量部に対して０．１〜５重量部の酸化セリウム粉末を含有する、請求項１〜１６の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
18. 積層構造であるシリコーンゴムシート表面のうち少なくとも一方の表面が、中心線表面粗さＲａで０．１〜５μｍのエンボス表面である、請求項１〜１７の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
19. 積層構造であるシリコーンゴムシートが、ガラス転移温度が２００℃以上である樹脂からなるクロス、またはガラスクロスからなる補強材により補強されている、請求項１〜１８の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
20. 前記第二のシリコーンゴム層の厚さが０．５〜３００μｍであり、前記第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．１〜１０ｍｍである、請求項１〜１９の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
21. 積層構造であるシリコーンゴムシートの表面に鱗片状の粉をムラなく打粉した後、該シートを水で洗浄して余分な粉を除去した、請求項１〜２０の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
22. １５０℃で３時間加熱した時の揮発分が０．２重量％以下である、請求項１〜２１の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。