JP2004166497A - 薄型スピンドルモータ及びこれを備えるマイクロドライブ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】マグネットとヨークとの中心軸の間のオフセットを除去して安定的に駆動できる薄型スピンドルモータ及びこれを備えるマイクロドライブ装置を提供する。
【解決手段】ディスクが載置され、ボールベアリングによって回転自在にベースプレートに装着されるハブと、ハブの外周に締結される環状マグネットと、前記環状マグネットの外周に円形に配列された複数のヨークによって形成されたステータとを有し、前記ヨークは、各ヨークと前記環状マグネットの間の中心軸のオフセットを減少させるように配列されたコアと、前記コアの一部に巻線されるコイルとを備えるスピンドルモータ、及びこれを備えるマイクロドライブ装置。
【選択図】図２

Description

本発明はスピンドルモータ及びこれを備えるマイクロドライブ装置に係り、より詳細にはモバイル用マイクロドライブ装置のために改良された薄型ステータを有するスピンドルモータ及びこれを備える薄型マイクロドライブ装置に関する。

図１は、従来のＩＢＭマイクロドライブ装置のスピンドルモータ１０の側断面図である。
図１を参照すれば、従来のスピンドルモータ１０は、ハブ１１、マグネット１３及びヨーク１５を備える。ハブ１１は、ハブ１１による空間にベースプレート１９によって回転自在に支持されるボールベアリング１７を備える。マグネット１３は、ハブ１１に締結されて磁力を提供する。ヨーク１５は、マグネット１３の外周に配置され、かつコイルが巻線され、このコイルに電流が流れてマグネット１３の磁力と相互作用してスピンドルモータ１０に回転力を発生させる。ヨーク１５は、ベースプレート１９上に固定される。

現在、モバイルマイクロドライブ装置の主流は、既存のフラッシュメモリの標準規格である厚さ３.３ｍｍのＣＦ Ｉ形式として、次第にその応用範囲が拡大されている。これに対して、図１に示された従来のＩＢＭマイクロドライブ装置は、高容量及び記憶容量当りのコスト及び今後の競争力の面で優位を占めているが、薄型化が困難であるため５.０ｍｍの厚さのＣＦ II形式を採用している。図１に示されるように、従来のＣＦ II形式のＩＢＭマイクロドライブ装置では、スピンドルモータ１０内のマグネット１３とヨーク１５とが中心軸が相互一致するように配置されてモータの回転効率を極大化している。しかし、このような配置は、ほとんどの需要を占めているＣＦ Ｉ形式には不適であり、特にステータヨークが位置する部分に配置されるアクチュエータの厚さのため、必要な空間を十分に確保できない短所を有する。

本発明が解決しようとする技術的課題は、前述した問題点を改善するためのものであって、改良されたステータを備える薄型スピンドルモータを提供し、及びこの薄型スピンドルモータを採用する薄型マイクロドライブ装置を提供することである。

前記技術的課題を達成するために、本発明は、ディスクが載置され、ボールベアリングによって回転自在にベースプレートに装着されるハブと、前記ハブの外周に締結される環状マグネットと、前記環状マグネットの外周に円形に配列された複数のヨークによって形成されたステータとを有し、前記ヨークは、各ヨークと前記環状マグネットの間の中心軸のオフセットを減少させるように折曲された端部を有するコアと、前記コアの一部に巻線されるコイルとを備えることを特徴とするスピンドルモータを提供する。
前記端部は、ステータの中心軸に直交するように上向き又は下向きに折曲される。

前記技術的課題を達成するために、本発明はまた、ディスクが載置され、ボールベアリングによって回転自在にベースプレートに装着されるハブと、前記ハブの外周に締結されて直径が大きくなった環状マグネットと、前記環状マグネットの外周に円形に配列された複数のヨークによって形成されたステータとを有し、前記ヨークは、大きくなった直径を有し、各ヨークと前記環状マグネットの間の中心軸のオフセットを減少させるように折曲された端部を有するコアと、前記コアの一部に巻線されるコイルとを備えることを特徴とするスピンドルモータを提供する。

前記技術的課題を達成するために、本発明はまた、ディスクが載置され、ボールベアリングによって回転自在にベースプレートに装着されるハブと、前記ハブの外周に締結される薄型の環状マグネットと、前記環状マグネットの外周に円形に配列された複数の薄型ヨークによって形成されたステータとを有し、前記薄型ヨークは、各ヨークと前記環状マグネットの間の中心軸のオフセットを減少させるように配列されたコアと、前記コアの一部に巻線されるコイルとを備えることを特徴とするスピンドルモータを提供する。

前記技術的課題を達成するために、本発明はまた、ベースプレートと、ディスクが載置され、ボールベアリングによって回転自在にベースプレートに装着されるハブと、前記ハブの外周に締結される環状マグネットと、前記環状マグネットの外周に円形に配列された複数のヨークによって形成されたステータとを有し、前記ヨークは、各ヨークと前記環状マグネットの間の中心軸のオフセットを減少させるように折曲された端部を有するコアと、前記コアの一部に巻線されるコイルとを備えるスピンドルモータと、前記ディスク上を移動しつつデータを記録／再生するヘッドと、前記ヘッドの一端部に配置されたサスペンションとを備えるアクチュエータと、を含むことを特徴とするマイクロドライブ装置を提供する。

前記技術的課題を達成するために、本発明はまた、ベースプレートと、ディスクが載置され、ボールベアリングによって回転自在にベースプレートに装着されるハブと、前記ハブの外周に締結されて直径が大きくなった環状マグネットと、前記環状マグネットの外周に円形に配列された複数のヨークによって形成されたステータとを有し、前記ヨークは、大きくなった直径を有し、各ヨークと前記環状マグネットの間の中心軸のオフセットを減少させるように折曲された端部を有するコアと、前記コアの一部に巻線されるコイルとを備えるスピンドルモータと、前記ディスク上を移動しつつ情報を記録／再生するヘッドと、前記ヘッドの一端部に配置されたサスペンションとを備えるアクチュエータと、を含むことを特徴とするマイクロドライブ装置を提供する。

前記技術的課題を達成するために、本発明はまた、ベースプレートと、ディスクが載置され、ボールベアリングによって回転自在にベースプレートに装着されるハブと、前記ハブの外周に締結される薄型の環状マグネットと、前記環状マグネットの外周に円形に配列された複数の薄型ヨークによって形成されたステータとを有し、前記薄型ヨークは、各ヨークと前記環状マグネットの間の中心軸のオフセットを減少させるように配列されたコアと、前記コアの一部に巻線されるコイルとを備えるスピンドルモータと、前記ディスク上を移動しつつ情報を記録／再生するヘッドと、前記ヘッドが一端部に位置するサスペンションとを備えるアクチュエータと、を含むことを特徴とするマイクロドライブ装置を提供する。

前記端部は、前記ステータの中心軸に直交するように上向き又は下向きのいずれかに折曲される。
前記マグネットは、１ｍｍ以下の厚さを有することが望ましい。
前記コアは、０.５ｍｍ以下の厚さを有することが望ましい。
前記コアは、マグネットの極より少ない数が配列される。

ここで、前記スピンドルモータ又はマイクロドライブ装置は、前記ハブ上に位置し、前記ディスクを前記ハブ側に圧着して固定させるクランパと、前記クランパを前記ハブに固定させるように前記ハブに締結されるネジと、をさらに含む。
本発明の改良されたステータは、マグネットとヨークとの中心軸のオフセットを除去する構造を有することによって、このステータを採用する薄型スピンドルモータ及びこの薄型スピンドルモータを備える薄型マイクロドライブ装置を実現できる。

本発明によれば、マグネットとヨークとの中心軸を一致させるステータ構造を採用して安定した駆動性能を維持し、モバイル用途に実用化できる薄型かつ小型軽量のスピンドルモータとマイクロドライブ装置の製造が可能となる。

以下、本発明の実施形態によるスピンドルモータ及びこれを備えるマイクロドライブ装置を図面を参照して詳細に説明する。

図２は、本発明の実施形態によるスピンドルモータの構成を示す側断面図である。
図２を参照すれば、本発明の実施形態によるスピンドルモータ３０は、ハブ３１、円形のマグネット３３及びヨーク３５を備える。ハブ３１は、ボールベアリング３７によって回転可能にベースプレート３９に固定される。環状マグネット３３は、ハブ３１の外周に締結されて磁力を提供する。ヨーク３５は、マグネット３３の外周に沿って円弧状に配列される。

ここで、マグネット３３はロータとして機能し、ヨーク３５はステータとして機能するが、ヨーク３５にはコイルが巻線されてフレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ：Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）（図示せず）から伝えられる電流の方向によってマグネット３３の磁力と相互作用して所定方向にスピンドルモータ３０を回転させる電磁気力を発生させる。ハブ３１の中心軸には、ネジ３８が締結されてクランパ（図示せず）を固定させる。クランパは、ディスクを載置させて固定させる。

本発明の実施形態によるスピンドルモータ３０は、図１に示された従来のスピンドルモータ１０に比べて小型化された環状マグネット３３及びその環状マグネット３３の外周に沿って設けられたヨーク３５を備え、これによって簡単にマイクロドライブ装置の薄型化を達成する。ヨーク３５はベースプレート３９に固定され、マグネット３３が締結されたハブ３１を電磁気力によって回転させることによってスピンドルモータ３０を回転させる。ここで、マグネット３３とヨーク３５との中心軸を一致させることによってマグネット３３の磁場とヨーク３５のコイル３４に流れる電流によって生じる電場とが相互作用して生起される電磁気力によるトルクを最大にし、不要なＺ軸方向、すなわちドライブ装置の高さ方向の力を除去できる。

マグネット３３とヨーク３５の中心軸間にオフセットが発生すれば、Ｚ軸方向の力が発生し、これはスピンドルモータ３０が振動するなど不安定な駆動の原因となる。スピンドルモータ３０の駆動が不安定であると、載置されたディスク（図示せず）は真円でない屈曲のある歪曲された円形に回転する。これにより、トラックとヘッド間に位置の差が生じ、ヘッドは誤ったトラック上に位置することになる、これをランアウトという。このようなランアウトが発生すれば、ディスクの正確な位置にデータを記録するのが困難となり、記録されたデータを適切に読み取ることができない。

したがって、図２に示された本発明の実施形態によるスピンドルモータ３０は、マグネット３３とヨーク３５とを薄型化するが、中心軸のオフセットを除去した構造のステータである第１変形例を備える。しかし、マグネット３３の小型化には限界があり、マグネット３３の厚さが薄くなれば磁力が減少するので、高磁束を有するマグネットを採用しなければならない。このような限界点を克服して厚さが薄くないマグネット３３を備えるステータの第１変形例及び第２変形例を図３Ａ及び図４に示す。

図３Ａ及び図４は、本発明の実施形態による薄型スピンドルモータに設けることができるステータの第１変形例及び第２変形例の断面図である。図３Ｂは、図３Ａに示されたステータの斜視図である。

図３Ａ及び図３Ｂに示されたステータの第１変形例では、ヨーク３５ａは、その中心軸とマグネット３３ａの中心軸とが一致するように上向きに折曲された端部３４ａ´を有し、マグネット３３ａの外周に配置されている。ヨーク３５ａは、コア３４ａとコア３４ａとを覆い包むコイル３６ａよりなる。マグネット３３ａは、ハブ３１に締結されており、ヨーク３５ａはベースプレート３９に固定されている。ここで、マグネット３３ａがヨーク３５ａよりも下部に設けられている場合、ヨーク３５ａは、コア３４ａの中心軸がマグネット３３ａの中心軸と一致するように、上向きに折曲された端部３４ａ´の代わりに、下向きに折曲された端部を有してもよい。

図３Ｂを参照すれば、環状マグネット３３ａは、１２極で構成されており、マグネット３３ａの外周に沿って円弧状に９つのヨーク３５ａが配置されている。ステータ３２は、マグネット３３ａの外周に沿って円周の内部に向けて対称に配置された複数のヨーク３５ａと、前記ヨーク３５ａを支持する外輪部とで構成される。前述のとおり、ヨーク３５ａのそれぞれは、コア３４ａとコア３４ａに巻線されたコイル３６ａとよりなるが、ヨーク３５ａの一部はコア３４ａにコイル３６ａが巻線されていない。図３Ｂでは、隣接する２つのコア３４ａにコイル３６ａが巻線され、コイル３６ａが巻線された一対のヨーク３５ａの両側に隣接するコア３４ａにはコイルが巻線されないように交互に配置されている。

図４に示されたステータの第２変形例は、ハブ３１を高い位置に設け、マグネット３３ｂの直径を大きくして外部空間を充分に確保し、確保された空間にヨーク３５ｂを第１変形例におけるヨーク３５ａが配置される位置よりも高い位置に配置して、マグネット３３ｂとヨーク３５ｂとの中心軸を一致させている。しかし、第２変形例によるステータは、ヨーク３５ｂを設ける空間を必要とするので、他の構成部品の位置を全て調節しなければならない短所を有する。

したがって、図３Ａ及び図３Ｂに示された第１変形例のステータを採用するスピンドルモータが、従来のＣＦ Ｉ形式のディスクドライブで使用するのに最適である。

図５は、本発明の実施形態による薄型スピンドルモータのトルクの角度による変化を示すグラフである。ｆ１は、オフセットが０である理想的な場合にトルクの角度による変化を示しており、ｆ２はオフセットが０.２ｍｍである場合、ｆ３はヨークの端部を上向きに０.２ｍｍ折曲させてオフセットを除去した場合、ｆ４はオフセットが０.１２ｍｍである時にヨークの端部を上向きに０.２ｍｍ折曲させてオフセットを０.０８ｍｍに減少させた場合のトルクの変化を示している。

図５を参照すれば、ｆ１、ｆ３及びｆ４は、類似したトルクの変化を示しているが、ｆ２の場合のトルクは、他の３つの場合よりも減少している。このようなトルクの減少は、スピンドルモータの回転力が減少することを意味し、回転力が減少すればスピンドルモータは不安定な駆動をする。スピンドルモータが不安定な駆動をすれば、スピンドルモータに載置するディスクも回転が乱れてディスク上の正確な位置に情報を記録できなくなり、情報を正確に読み取ることも難しくなる。したがって、本発明の実施形態によるスピンドルモータは、マグネットとヨークとの中心軸間のオフセットを除去した構造を採用することによって安定したトルク特性を得ることができる。

図６は、角度による軸方向の電磁気力の変化を示すグラフである。
図面を参照すれば、ｇ１は、オフセットのない理想的な場合に角度によるＺ軸方向の力（Ｆｚ）が０を示しており、ｇ２は図４のｆ２と同じ条件である場合にＦｚが０.２Ｎ程度を示し、ｇ４は図４のｆ４と同じ条件である場合にＦｚが０.１４Ｎ程度を示すことが分かる。図示されたように、Ｚ軸方向のオフセットは、Ｚ軸方向の力（Ｆｚ）を生成させ、オフセットが大きくなるほど生成されるＦｚも強くなることが分かる。前述したように、Ｚ軸方向の力が大きくなるほどスピンドルモータの回転が不安定になる。

図７は、図２のスピンドルモータを装着したディスクドライブ装置４０の分解斜視図である。
ディスクドライブ装置４０は、情報を保存するディスク５０と、ディスク５０が載置される格納領域５２と、載置されたディスク５０を回転させるスピンドルモータ３０と、ディスク５０に情報を記録し、ディスク５０にデータを記録可能及びディスク５０からデータを再生可能なヘッド４７を有するアクチュエータ４３と、アクチュエータ４３を駆動させるボイスコイル４５及びマグネット組立体４６とからなるボイスコイルモータ（図示せず）と、を含む。

格納領域５２の下部には、図２に示されたようなスピンドルモータ３０が配置される。スピンドルモータ３０に設けられるステータは、図２ないし図４に示された構造のいずれのものであってよく、マグネット３３，３３ａ，又は３３ｂとヨーク３５，３５ａ，又は３５ｂとの中心軸を一致させてオフセットを除去することによってＺ軸方向の力を除去することが望ましい。

アクチュエータ３０には、印刷回路基板（ＰＣＢ：Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄ）（図示せず）から送信された電気的信号がフレキシブル印刷回路（ＦＰＣ：Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）（図示せず）を介して伝えられる。

ディスク５０は、その内側領域にレーザで微細加工されたパーキングゾーンを有し、電源オフ時にヘッド４７がそのパーキングゾーンに載置されるように、スピンドルモータ３０に締結される。ディスク５０のパーキングゾーンの外側には、磁気信号が記録されるデータゾーンが形成される。データゾーンには、データが記録される位置を示すサーボ信号が、ディスク５０の円周方向に沿って数万のトラックに予め記録されている。

アクチュエータ４３は、アクチュエータ４３を駆動するボイスコイルモータ（図示せず）、アクチュエータ４３の回転中心の役割を有するピボットベアリング４８、及びディスク５０に情報を記録する書き込みヘッドとディスク５０からデータを読み取る読み取りヘッドとを有するヘッド４７を含む。特に、本発明の実施形態によるアクチュエータは、ヘッドジンバルアセンブリ４１のユニマウント部を延長させてファンテールモールディング部を形成し、ファンテールモールディング部にボイスコイル４５を接着させることによって超薄型アクチュエータを提供する。

ＰＣＢは、電気的信号をＦＰＣに送信し、ＦＰＣは受信された電気信号をアクチュエータ４３に伝達する。アクチュエータ４３に伝送された電気信号は、ボイスコイル４５に伝達され、ボイスコイル４５に流れる電流とマグネット組立体４６の磁力との相互作用による電磁気力によってアクチュエータ４３はピボットベアリング４８を中心に回転してパーキングゾーンからデータゾーンに移動する。

本発明は、マグネットとヨークの間の中心軸のオフセットが減少又は除去されるステータ構造を提案し、これによって薄型スピンドルモータと薄型マイクロドライブ装置とを実現している。
前記説明で多くの事項が具体的に記載されているが、それらは発明の範囲を限定するものではなく、望ましい実施形態の例示として解釈されなければならない。

例えば、当業者ならば、本発明の技術的思想によってマグネットとヨークの中心軸間のオフセットを除去する色々な構造を創案できる。したがって、本発明の範囲は説明された実施形態によって決定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された技術的思想によって決定されなければならない。

本発明の小型軽量に製作された薄型のスピンドルモータ及び薄型マイクロドライブ装置は、モバイル用の各種装置に適用できる。

従来のＩＢＭマイクロドライブ装置のスピンドルモータの側断面図である。 本発明の実施形態による薄型スピンドルモータの構成を示す側断面図である。 図２の薄型スピンドルモータに装着されるステータの第１変形例の断面図である。 図３Ａに示されたステータの斜視図である。 図２の薄型スピンドルモータに装着されるステータの第２変形例の断面図である。 本発明の実施形態による薄型スピンドルモータのトルクの角度による変化を示すグラフである。 角度による軸方向の電磁気力の変化を示すグラフである。 図２の薄型スピンドルモータを装着したディスクドライブ装置の分解斜視図である。

符号の説明

３０ スピンドルモータ
３１ ハブ
３３ 環状マグネット
３４ コイル
３５ ヨーク
３６ コイル
３７ ボールベアリング
３８ ネジ
３９ ベースプレート

Claims (16)

1. ディスクが載置され、ボールベアリングによって回転自在にベースプレートに装着されるハブと、
   前記ハブの外周に締結される環状マグネットと、
   前記環状マグネットの外周に円形に配列された複数のヨークによって形成されたステータとを有し、前記ヨークは、各ヨークと前記環状マグネットの間の中心軸のオフセットを減少させるように折曲された端部を有するコアと、前記コアの一部に巻線されるコイルとを備えることを特徴とするスピンドルモータ。
2. ディスクが載置され、ボールベアリングによって回転自在にベースプレートに装着されるハブと、
   前記ハブの外周に締結されて直径が大きくなった環状マグネットと、
   前記環状マグネットの外周に円形に配列された複数のヨークによって形成されたステータとを有し、前記ヨークは、大きくなった直径を有し、各ヨークと前記環状マグネットの間の中心軸のオフセットを減少させるように折曲された端部を有するコアと、前記コアの一部に巻線されるコイルとを備えることを特徴とするスピンドルモータ。
3. ディスクが載置され、ボールベアリングによって回転自在にベースプレートに装着されるハブと、
   前記ハブの外周に締結される薄型の環状マグネットと、
   前記環状マグネットの外周に円形に配列された複数の薄型ヨークによって形成されたステータとを有し、前記薄型ヨークは、各ヨークと前記環状マグネットの間の中心軸のオフセットを減少させるように配列されたコアと、前記コアの一部に巻線されるコイルとを備えることを特徴とするスピンドルモータ。
4. 前記端部は、前記ステータの中心軸に直交するように上向きまたは下向きのいずれかに折曲されることを特徴とする請求項１に記載のスピンドルモータ。
5. 前記マグネットは、１ｍｍ以下の厚さを有することを特徴とする請求項１ないし３のうち何れか一項に記載のスピンドルモータ。
6. 前記コアは、０.５ｍｍ以下の厚さを有することを特徴とする請求項１ないし３のうち何れか一項に記載のスピンドルモータ。
7. 前記コアの数は、マグネットの極より少ない数であることを特徴とする請求項１ないし３のうち何れか一項に記載のスピンドルモータ。
8. 前記ハブ上に位置し、前記ディスクを前記ハブ側に圧着して固定させるクランパーと、
   前記クランパーを前記ハブに固定させるように前記ハブに締結されるネジと、をさらに含むことを特徴とする請求項１ないし３のうち何れか一項に記載のスピンドルモータ。
9. ベースプレートと、
   ディスクが載置され、ボールベアリングによって回転自在にベースプレートに装着されるハブと、前記ハブの外周に締結される環状マグネットと、前記環状マグネットの外周に円形に配列された複数のヨークによって形成されたステータとを有し、前記ヨークは、各ヨークと前記環状マグネットの間の中心軸のオフセットを減少させるように折曲された端部を有するコアと、前記コアの一部に巻線されるコイルとを備えるスピンドルモータと、
   前記ディスク上を移動しつつデータを記録／再生するヘッドと、前記ヘッドの一端部に配置されたサスペンションとを備えるアクチュエータと、を含むことを特徴とするマイクロドライブ装置。
10. ベースプレートと、
    ディスクが載置され、ボールベアリングによって回転自在にベースプレートに装着されるハブと、前記ハブの外周に締結されて直径が大きくなった環状マグネットと、前記環状マグネットの外周に円形に配列された複数のヨークによって形成されたステータとを有し、前記ヨークは、大きくなった直径を有し、各ヨークと前記環状マグネットの間の中心軸のオフセットを減少させるように折曲された端部を有するコアと、前記コアの一部に巻線されるコイルとを備えるスピンドルモータと、
    前記ディスク上を移動しつつ情報を記録／再生するヘッドと、前記ヘッドの一端部に配置されたサスペンションとを備えるアクチュエータと、を含むことを特徴とするマイクロドライブ装置。
11. ベースプレートと、
    ディスクが載置され、ボールベアリングによって回転自在にベースプレートに装着されるハブと、前記ハブの外周に締結される薄型の環状マグネットと、前記環状マグネットの外周に円形に配列された複数の薄型ヨークによって形成されたステータとを有し、前記薄型ヨークは、各ヨークと前記環状マグネットの間の中心軸のオフセットを減少させるように配列されたコアと、前記コアの一部に巻線されるコイルとを備えるスピンドルモータと、
    前記ディスク上を移動しつつ情報を記録／再生するヘッドと、前記ヘッドが一端部に位置するサスペンションとを備えるアクチュエータと、を含むことを特徴とするマイクロドライブ装置。
12. 前記端部は、前記ステータの中心軸に直交するように上向きまたは下向きに折曲されることを特徴とする請求項９に記載のマイクロドライブ装置。
13. 前記マグネットは、１ｍｍ以下の厚さを有することを特徴とする請求項９ないし１１のうち何れか一項に記載のマイクロドライブ装置。
14. 前記コアは、０.５ｍｍ以下の厚さを有することを特徴とする請求項９ないし１１のうち何れか一項に記載のマイクロドライブ装置。
15. 前記コアの数は、マグネットの極より少ない数であることを特徴とする請求項９ないし１１のうち何れか一項に記載のマイクロドライブ装置。
16. 前記ハブ上に位置し、前記ディスクを前記ハブ側に圧着して固定させるクランパーと、
    前記クランパーを前記ハブに固定させるように前記ハブに締結されるネジと、をさらに含むことを特徴とする請求項９ないし１１のうち何れか一項に記載のマイクロドライブ装置。

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