JP2004126597A - 液晶パネル用基板およびそれを用いた液晶パネル並びに投写型表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板上に画素電極がマトリックス状に配列形成されるとともに、各画素電極に対応して各々スイッチング素子(TFT)が形成され、前記スイッチング素子を介して前記画素電極に電圧が印加されるように構成された液晶パネル用基板において、端子を、矩形状の第1パッド電極部(22)と第1パッド電極部の表面上に形成された第2パッド電極部(26)とで構成し、配線(23)の端子側は、第1パッド電極部の辺に対応して延設する延設部を有し、配線と第1パッド電極部は、配線の延設部に対応して設けられたコンタクトホール(25)を介して接続される。
【選択図】 図1
Description
前記配線と前記第1パッド電極部は、前記配線の延設部に対応して設けられたコンタクトホールを介して接続されることを特徴とする。
図において、90は互いに交差するように配設された走査線2とデータ線3との交点に対応してそれぞれ配置された画素で、各画素90はITO等からなる画素電極6aとこの画素電極6aにデータ線3上の画像信号に応じた電圧を印加するTFT91とからなる。同一行のTFT91はそのゲート電極が同一の走査線2に接続され、ドレインが対応する画素電極14に接続されている。また、同一列のTFT91はそのソース電極が同一のデータ線3に接続されている。この実施例においては、周辺回路(X、Yシフトレジスタやサンプリング手段)50,60を構成するトランジスタが画素を駆動するTFTと同様にポリシリコン層を動作層とするいわゆるポリシリコンTFTで構成されており、周辺回路50,60を構成するトランジスタは画素駆動用TFTとともに同一プロセスにより、同時に形成される。
ダイクロイックミラー375で反射した緑色光は、緑色変調ライトバルブ379に入射する。また、ダイクロイックミラー375を透過した赤色光は、反射ミラー376,377により方向を変え、赤色変調ライトバルブ380に入射する。
1a 半導体層(能動層)
2a 走査線(ゲート電極)
3 低抵抗導電層(アルミニウム層)
3a データ線
4 画素電極とTFTドレイン領域とのコンタクトホール
5 データ線とTFTソース領域とのコンタクトホール
10 ガラス基板又は石英基板
12 ゲート絶縁膜
13 第1層間絶縁膜
6 ITO膜
6a 画素電極
15 第2層間絶縁膜
20 表示領域
30 液晶パネル
31 対向基板
33 対向電極
36 シール材
37 液晶
50,60 周辺回路
51 Xシフトレジスタ
52 サンプリング用スイッチ
54〜56 ビデオ信号線
61 Yシフトレジスタ
72〜78 外部入力端子
90 画素
91 画素駆動用TFT
370 ランプ
373,375,376 ダイクロイックミラー
374,377 反射ミラー
378,379,380 ライトバルブ
383 ダイクロイックプリズム
384 投射レンズ
Claims (11)
- 基板上にマトリックス状に配列された複数の走査線及び複数のデータ線と、前記複数の走査線と複数のデータ線に対応して設けられた複数の薄膜トランジスタと、前記複数の薄膜トランジスタに対応して設けられた複数の画素電極と、前記複数の走査線と複数のデータ線の少なくとも一方と導通する配線と、前記配線に接続される端子とを有する液晶パネル用基板において、
前記端子は、矩形状の第1パッド電極部と、前記第1パッド電極部の表面上に形成された第2パッド電極部とで構成され、
前記配線の端子側は、前記第1パッド電極部の辺に対応して延設する延設部を有し、
前記配線と前記第1パッド電極部は、前記配線の延設部に対応して設けられたコンタクトホールを介して接続されることを特徴とする液晶パネル用基板。 - 前記配線と前記第1パッド電極部との接続部は、前記配線の延設部に対応して設けられた複数のコンタクトホールを介して接続されることを特徴とする請求項1に記載の液晶パネル用基板。
- 前記端子としての電極は、アルミニウムもしくはその合金以外の導電膜で形成された第1パッド電極の上にITO膜で形成された第2パッド電極とを有することを特徴とする請求項1または2に記載の液晶パネル用基板。
- 前記第1パッド電極を構成する導電膜は、前記スイッチング素子の電極となる導電層と同一の導電層で構成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の液晶パネル用基板。
- 前記スイッチング素子は薄膜トランジスタであり、前記第1パッド電極を形成する導電膜は、前記薄膜トランジスタのゲート電極となる導電層と同一の導電層で構成されていることを特徴とする請求項4に記載の液晶パネル用基板。
- 前記配線は前記データ線に信号を供給する配線を構成するメタル層と同一のメタル層を主体として構成されていることを特徴とする請求項2乃至5のいずれか一項に記載の液晶パネル用基板。
- 前記メタル層はアルミニウムもしくはその合金で構成されていることを特徴とする請求項6に記載の液晶パネル用基板。
- 基板上にマトリックス状に配列された複数の走査線及び複数のデータ線と、前記複数の走査線と複数のデータ線に対応して設けられた複数の薄膜トランジスタと、前記複数の薄膜トランジスタに対応して設けられた複数の画素電極と、前記複数の走査線と複数のデータ線の少なくとも一方と導通する配線と、前記配線に接続される端子とを有する液晶パネル用基板において、
前記端子は、第1パッド電極部と、前記第1パッド電極部の表面上にコンタクトホールを介して接続された第2パッド電極部とで構成され、
前記配線は、前記第1パッド電極部に接続され、
前記コンタクトホール端から前記配線までの距離における抵抗を10Ω以下であることを特徴とする液晶パネル用基板。 - 前記配線は、コンタクトホールを介して前記第1パッド電極部に接続されることを特徴とする請求項8に記載の液晶パネル用基板。
- 請求項1乃至9のいずれか一項に記載の液晶パネル用基板と、対向電極を有する対向基板とが適当な間隔をおいて配置されるとともに、前記液晶パネル用基板と前記対向基板との間隙内に液晶が封入されていることを特徴とする液晶パネル。
- 光源と、前記光源からの光を変調して透過もしくは反射する請求項10に記載の構成の液晶パネルと、これらの液晶パネルにより変調された光を集光し拡大投写する投写光学手段とを備えていることを特徴とする投写型表示装置。
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