JP3769564B2 - 液晶パネル用基板およびそれを用いた液晶パネル並びに投写型表示装置 - Google Patents
液晶パネル用基板およびそれを用いた液晶パネル並びに投写型表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3769564B2 JP3769564B2 JP2003347054A JP2003347054A JP3769564B2 JP 3769564 B2 JP3769564 B2 JP 3769564B2 JP 2003347054 A JP2003347054 A JP 2003347054A JP 2003347054 A JP2003347054 A JP 2003347054A JP 3769564 B2 JP3769564 B2 JP 3769564B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- pad electrode
- crystal panel
- wiring
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
図において、90は互いに交差するように配設された走査線2とデータ線3との交点に対応してそれぞれ配置された画素で、各画素90はITO等からなる画素電極6aとこの画素電極6aにデータ線3上の画像信号に応じた電圧を印加するTFT91とからなる。同一行のTFT91はそのゲート電極が同一の走査線2に接続され、ドレインが対応する画素電極14に接続されている。また、同一列のTFT91はそのソース電極が同一のデータ線3に接続されている。この実施例においては、周辺回路(X、Yシフトレジスタやサンプリング手段)50,60を構成するトランジスタが画素を駆動するTFTと同様にポリシリコン層を動作層とするいわゆるポリシリコンTFTで構成されており、周辺回路50,60を構成するトランジスタは画素駆動用TFTとともに同一プロセスにより、同時に形成される。
ダイクロイックミラー375で反射した緑色光は、緑色変調ライトバルブ379に入射する。また、ダイクロイックミラー375を透過した赤色光は、反射ミラー376,377により方向を変え、赤色変調ライトバルブ380に入射する。
1a 半導体層(能動層)
2a 走査線(ゲート電極)
3 低抵抗導電層(アルミニウム層)
3a データ線
4 画素電極とTFTドレイン領域とのコンタクトホール
5 データ線とTFTソース領域とのコンタクトホール
10 ガラス基板又は石英基板
12 ゲート絶縁膜
13 第1層間絶縁膜
6 ITO膜
6a 画素電極
15 第2層間絶縁膜
20 表示領域
30 液晶パネル
31 対向基板
33 対向電極
36 シール材
37 液晶
50,60 周辺回路
51 Xシフトレジスタ
52 サンプリング用スイッチ
54〜56 ビデオ信号線
61 Yシフトレジスタ
72〜78 外部入力端子
90 画素
91 画素駆動用TFT
370 ランプ
373,375,376 ダイクロイックミラー
374,377 反射ミラー
378,379,380 ライトバルブ
383 ダイクロイックプリズム
384 投射レンズ
Claims (6)
- 基板上にマトリックス状に配列された複数の走査線及び複数のデータ線と、前記複数の走査線と複数のデータ線に対応して設けられた複数の薄膜トランジスタと、前記複数の薄膜トランジスタに対応して設けられた複数の画素電極と、前記複数の走査線と複数のデータ線に周辺回路を介して接続される複数の配線と、前記複数の配線に接続される複数の端子とを有し、前記複数の端子よりクロック信号及び画像信号を、前記配線を介して前記周辺回路に供給し、前記周辺回路から前記走査線に走査信号が供給され、前記周辺回路から前記データ線に画像信号が供給される液晶パネル用基板において、
前記端子は、前記薄膜トランジスタのゲート電極と同一のポリシリコン層で形成された矩形状の第1パッド電極部と、前記第1パッド電極部の表面上に形成された第2パッド電極部とで構成され、
前記配線の幅は前記第1パッド電極部の前記配線側の辺の幅より狭く、
前記配線の端子側は、前記配線の幅より広くなるように前記第1パッド電極部の前記辺に重なるように沿って延設された延設部を有し、
前記配線と前記第1パッド電極部は、前記配線の延設部に対応して設けられた複数のコンタクトホールを介して接続されることを特徴とする液晶パネル用基板。 - 基板上にマトリックス状に配列された複数の走査線及び複数のデータ線と、前記複数の走査線と複数のデータ線に対応して設けられた複数の薄膜トランジスタと、前記複数の薄膜トランジスタに対応して設けられた複数の画素電極と、前記複数の走査線と複数のデータ線に周辺回路を介して接続される複数の配線と、前記複数の配線に接続される複数の端子とを有し、前記複数の端子よりクロック信号及び画像信号を、前記配線を介して前記周辺回路に供給し、前記周辺回路から前記走査線に走査信号が供給され、前記周辺回路から前記データ線に画像信号が供給される液晶パネル用基板において、
前記端子は、前記薄膜トランジスタのゲート電極と同一のメタルシリサイド層で形成された矩形状の第1パッド電極部と、前記第1パッド電極部の表面上に形成された第2パッド電極部とで構成され、
前記配線の幅は前記第1パッド電極部の前記配線側の辺の幅より狭く、
前記配線の端子側は、前記配線の幅より広くなるように前記第1パッド電極部の前記辺に重なるように沿って延設された延設部を有し、
前記配線と前記第1パッド電極部は、前記配線の延設部に対応して設けられた複数のコンタクトホールを介して接続されることを特徴とする液晶パネル用基板。 - 前記配線は前記データ線に信号を供給する配線を構成するメタル層と同一のメタル層を主体として構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の液晶パネル用基板。
- 前記メタル層はアルミニウムもしくはその合金で構成されていることを特徴とする請求項3に記載の液晶パネル用基板。
- 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の液晶パネル用基板と、対向電極を有する対向基板とが適当な間隔をおいて配置されるとともに、前記液晶パネル用基板と前記対向基板との間隙内に液晶が封入されていることを特徴とする液晶パネル。
- 光源と、前記光源からの光を変調して透過もしくは反射する請求項5に記載の構成の液晶パネルと、これらの液晶パネルにより変調された光を集光し拡大投写する投写光学手段とを備えていることを特徴とする投写型表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003347054A JP3769564B2 (ja) | 2003-10-06 | 2003-10-06 | 液晶パネル用基板およびそれを用いた液晶パネル並びに投写型表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003347054A JP3769564B2 (ja) | 2003-10-06 | 2003-10-06 | 液晶パネル用基板およびそれを用いた液晶パネル並びに投写型表示装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31984396A Division JP3760008B2 (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 液晶パネル用基板およびそれを用いた液晶パネル並びに投写型表示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004126597A JP2004126597A (ja) | 2004-04-22 |
JP3769564B2 true JP3769564B2 (ja) | 2006-04-26 |
Family
ID=32290818
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003347054A Expired - Fee Related JP3769564B2 (ja) | 2003-10-06 | 2003-10-06 | 液晶パネル用基板およびそれを用いた液晶パネル並びに投写型表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3769564B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100699996B1 (ko) * | 2004-09-02 | 2007-03-26 | 삼성에스디아이 주식회사 | 회로 측정용 패드를 포함하는 유기전계발광표시장치와 그제조방법 |
KR100686345B1 (ko) | 2004-10-27 | 2007-02-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 평판표시소자 및 그 제조방법 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2733947B2 (ja) * | 1988-03-18 | 1998-03-30 | セイコーエプソン株式会社 | 薄膜パターンの製造方法 |
JPH071676Y2 (ja) * | 1988-09-20 | 1995-01-18 | 三洋電機株式会社 | Tftマトリクスアレイ |
JPH02148132U (ja) * | 1989-05-17 | 1990-12-17 | ||
JPH087342B2 (ja) * | 1990-09-11 | 1996-01-29 | 松下電器産業株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
JP2740886B2 (ja) * | 1991-03-27 | 1998-04-15 | 株式会社 半導体エネルギー研究所 | 電気光学装置 |
JPH04296051A (ja) * | 1991-03-26 | 1992-10-20 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路 |
JPH06160877A (ja) * | 1992-11-25 | 1994-06-07 | Hitachi Ltd | 薄膜配線構造及びそれを用いた液晶表示装置 |
JPH07120789A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-12 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置及びその製造方法 |
JPH07176693A (ja) * | 1993-12-17 | 1995-07-14 | Fujitsu Ltd | 入力保護回路 |
JPH08130313A (ja) * | 1994-11-02 | 1996-05-21 | Furontetsuku:Kk | 逆スタガー型薄膜トランジスタ及びその製造方法 |
JPH08234225A (ja) * | 1995-02-28 | 1996-09-13 | Sony Corp | 液晶表示装置 |
EP0775931B1 (en) * | 1995-11-21 | 2005-10-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of manufacturing a liquid crystal display |
-
2003
- 2003-10-06 JP JP2003347054A patent/JP3769564B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004126597A (ja) | 2004-04-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6556265B1 (en) | LCD having auxiliary capacitance lines and light shielding films electrically connected via contact holes | |
US6859247B2 (en) | Electro-optical apparatus and projection-type display apparatus | |
US20050285988A1 (en) | Electro-optical device, electronic apparatus, and method of manufacturing the electro-optical device | |
JPH10301100A (ja) | 液晶装置及びその製造方法、並びに投写型表示装置 | |
KR100614737B1 (ko) | 전기 광학 장치 및 전자 기기 | |
KR100579343B1 (ko) | 전기 광학 장치 및 전자 기기 | |
JP2004054033A (ja) | アクティブマトリクス基板、電気光学装置、電子機器 | |
JP2001166337A (ja) | 液晶装置及び投射型表示装置並びに液晶装置の製造方法 | |
JP4655943B2 (ja) | 電気光学装置及びその製造方法、並びに導電層の接続構造 | |
JP4475238B2 (ja) | 電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器 | |
US8253909B2 (en) | Electro-optical device substrate, electro-optical device, and electronic apparatus | |
JPH10148847A (ja) | 液晶パネル用基板およびそれを用いた液晶パネル並びに投射型表示装置 | |
JP2003323134A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP3769564B2 (ja) | 液晶パネル用基板およびそれを用いた液晶パネル並びに投写型表示装置 | |
JP3760008B2 (ja) | 液晶パネル用基板およびそれを用いた液晶パネル並びに投写型表示装置 | |
JP4069597B2 (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP4058869B2 (ja) | 電気光学装置及びその製造方法、並びにプロジェクタ | |
JPH10189979A (ja) | 薄膜トランジスタの製造方法および薄膜トランジスタ | |
JP3965935B2 (ja) | 電気光学装置及び投射型表示装置 | |
JP3792324B2 (ja) | 液晶パネル用基板およびその製造方法並びに液晶パネルおよび投写型表示装置 | |
JP3570410B2 (ja) | 液晶装置用基板、液晶装置及び投写型表示装置 | |
JP3881964B2 (ja) | アクティブマトリックス基板、液晶装置、および電子機器 | |
JP2001075123A (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器 | |
JP2002196346A (ja) | 電気光学装置及びその製造方法、並びに投射型表示装置 | |
JPH10200117A (ja) | コンタクトホール形成方法、薄膜半導体装置及びその製造方法、液晶表示装置及びその製造方法、並びに投写型表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041207 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050128 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050419 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050606 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20050620 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20050812 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051220 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060206 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090210 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100210 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110210 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |