JP2003503293A - オゾン発生器及びオゾン発生方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、誘電体上で高電圧の高周波交流電流に酸素を曝すことによりオゾンを発生させる装置及びオゾン発生方法に関する。簡素、コンパクトかつ経済的で、装置の出力増大及び変換効率向上が可能で、装置の損傷又は効率低下を防止する設計を提供するため、装置は、少なくとも２つの誘電材料プレート２、２´とこれらの間の高電圧高周波交流電流を印加可能な電極４を組み合わせた圧力補償導入ユニットと、２つの密閉空間１、１´とを備え、ユニット２、２´、４の両側でオゾンを発生させる。これにより、誘電材料プレート両側の各密閉空間１、１´は、接地かつ冷却された電極３、３´により画成され、この電極を貫通して酸素ガス又は酸素リッチガスが、空間１、１´に導入され、そこからオゾンが排出される。本発明によれば、本装置を用いて、酸素ガス又は酸素リッチガスは、圧力補償導入ユニット両側の密閉チャンバー１、１´に加圧されて導入されうる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の分野】

本発明は、誘電体を亙って高電圧の高周波数交流電流に酸素を曝すことにより
オゾンを発生させるオゾン発生器及びその方法に関する。

【０００２】

【発明の背景】

オゾンは、強力な酸化性を有しており、水を殺菌するため、好ましくは稀釈し
て使用される。例えば、環境又は健康にとって有害な物質を分解し又は除去する
と共に、水から不快な匂いを除去する目的のため廃水を処理することができ、ま
た、水質を改良する目的のため飲料水を前処理することができる。例えば、製紙
業界の晒し剤、空気浄化の目的、及び有機化学にて特定の酸化反応を行わせると
いったようなその他の適用分野も存在する。

【０００３】 酸素と混合させたオゾンは、酸素ガス又は酸素濃度の高いガスを放電に通すこ
とにより製造される。これにより酸素ガス又は酸素濃度の高いガスは、オゾン発
生器すなわちオゾン製造機内のチャンバーを通って流れるようにされる。このチ
ャンバーは、その間にて放電が生じる同一の軸線を有する２本の管により又は直
列のプレートの何れかにより境界が形成される。本明細書において、スペース及
びチャンバーという表現は、同一のもの、すなわち排出される酸素ガス又は酸素
濃度の高いガスがオゾンに変換される、オゾン発生器内の場所を表わすものとし
て使用される。

【０００４】 最初に説明した型式のオゾン発生器は、極めて大型で且つスペースを要し、更
に、製造及び保守が難しく且つコストがかかる工業目的用である。第二の型式の
オゾン発生器は、より経済的で且つ必要スペースが少ないが、特定の密封及び強
度上の問題点があり、最適には作動しない。

【０００５】 オゾン発生器に関係する１つの問題点は、酸素ガス又は酸素濃度の高いガスの
形態をした酸素がオゾンに変換されるチャンバーは、誘電材料、すなわち誘電体
にて形成された、少なくとも１つの境界面を有することに関連するものである。
この誘電体は、高電圧の電極と接地との間に放電時にコロナを発生させる目的に
て利用され、全体として、セラミック又はガラス材料から成っている。例えばガ
ス供給源を係合又は非係合状態にしたとき、装置内の圧力ショックに起因するよ
うな、チャンバーに供給されたガスの高圧力及び無視できない程の圧力の変化は
、セラミックに大きい応力を発生させ、その結果、セラミックに亀裂が生じる危
険性がある。

【０００６】 別の問題点は、上記誘電体とチャンバーの反対側の境界面との間にシール部材
が必要とされることに関連し、この対向面は全体として電気的接地を形成する。
このシール部材には、高いガス圧力及び圧力ショックが作用する。更に、オゾン
は特に反応性であり、これにより、一般のゴムガスケットは破断して漏洩を生じ
易いため、オゾン発生器の有効寿命及び信頼性にとって密封は問題である。

【０００７】 オゾン発生器の具体的な一例としての実施の形態は、多数の出版物すなわち以
下の文献に記載されている。 このように、米国特許第５，３５４，５４１号には、ら旋状のばね電極１２と
、該電極１２を取り巻く誘電材料の管１４と、接地し且つ冷却した管状の第二の
電極１５とを備える管状のオゾン発生器が記載されている。第二の電極１５と管
１４との間には、オゾン発生のため画成された環状チャンバー１６がある。オゾ
ン発生のため環状チャンバー１６にのみ酸素を供給することは、一側部で行われ
、これにより、開始時、圧力の影響も一側部にのみ生じる。作動中、外部から管
１４に対して圧力の影響が常に存在し、この圧力の影響は、作動中に生ずるであ
ろう圧力ショックにより瞬間的に変化する。これらは全て構造体に大きい応力を
生じさせ且つ損傷及び漏洩の虞れを大きくする。

【０００８】 米国特許第４，９６０，５７０号において、誘電材料から成る管３、８、代替
的に、誘電材料の外側被覆を有する管を備える、複雑で且つ材料を要するオゾン
発生器が記載されている。これらの管３、８は、１つの電極を構成する金属膜４
を内部に有しており、交互に、管３の内部の別個の電極１０を示す。これらの管
３は、冷却された２本の平坦な外部電極１、２の間に配置されている。オゾン発
生のためスペースすなわちチャンバー６、１１は、管３とプレート電極１、２と
の間に設けられ、また、多分、管の内部と電極１０との間で管３内に設けられる
であろう。誘電材料の細部３、８と冷却した電極１、２との間のスペース６にオ
ゾン発生のため酸素が供給される様子や、その結果、供給された酸素からの圧力
又は作動中に生ずる圧力ショックによってこれらの細部が影響される様子はこの
出版物からは明らかでない。

【０００９】 国際出願第９７０１５０７号を通じて、誘電材料から成る２つのプレート２を
備え、その２つのプレートの間には、糸又は網状の電極３が配置され、その電極
３の上方には、高電圧の高周波数交流電流が印加され、プレート２の外部には、
接地及び冷却された電極４が存在する、オゾン発生器が既知である。オゾン発生
のためのスペースは、プレート２とフレーム３´との間に画成されている。該オ
ゾン発生器は、オゾン発生のためのスペースの内部から圧力の作用に曝され、こ
れにより、プレート２は、分離し勝ちとなる。圧力ショック時、瞬間的に、この
圧力の影響は増大する可能性がある。オゾン発生器の損傷及び密封上の問題とい
う大きな危険性が存する。プレート２の外部には、オゾン発生のためのスペース
は全く存在しない。

【００１０】 最後に、米国特許第５，４３５，９７８号において、説明した２つの電極１を
有し、オゾン発生のためのスペース２を間欠的に形成する平坦なオゾン発生器も
存在する。それぞれの電極１上には、誘電材料の層が付与される。オゾン発生の
ための内部スペース２内の圧力を補償するため、加圧ガスが供給される圧力容器
内に配置することにより、外部圧力がオゾン発生器に付与される。しかし、オゾ
ン発生器の作動中に生じる圧力ショックに起因する瞬間的な圧力差は、取り扱う
ことが難しい。これらが生じたとき、損傷の虞れは大きい。

【００１１】 更に別のオゾン発生器の設計が三菱電機株式会社のＭ．クズモト、Ｙ．タバタ
及びＳ．ヤギによる「静粛な放電により極めて狭小な空隙内での高密度オゾンの
発生（Ｈｉｇｈ Ｄｅｎｓｉｔｙ Ｏｚｏｎｅ Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ Ｉｎ
ａ Ｖｅｒｙ Ｎａｒｒｏｗ Ｇａｐ Ｂｙ Ｓｉｌｅｎｔ Ｄｉｓｃｈａｒｇ
ｅ）」に示されている。この提案された設計には、セラミックプレートと接地電
極との間に薄い円形の一側部放電チャンバーが開示されている。チャンバーへの
ガス入口は、チャンバーの周縁に配置される一方、出口は、接地電極の穴を通じ
てチャンバーの中央に配置されている。セラミックプレートは、チャンバーの反
対側部にて、未知の型式の応力障壁プレートに対して座す一方、該応力障壁プレ
ートは金属プレートに隣接している。この応力障壁プレートに向けて、セラミッ
クプレートは、金属層にて被覆されており、このことは、高電圧の電極を形成す
ることになる。チャンバーの深さは、その内部に配置された金属スペーサによっ
て画定され、また、該チャンバーは半径方向に延びる支持要素を備えている。

【００１２】

【発明の目的】

本発明の１つの目的は、従来技術に伴う問題点を解決するオゾン発生器及びオ
ゾン発生方法を提供することである。この目的の１つの面は、動力を増大させ且
つ既知のオゾン発生器と比較して変換効率を向上させ、更に、供給されたガスの
過圧力及び装置の作動中に生ずる圧力ショックに起因する損傷又は効率の劣化が
装置の構成要素に生ずるのを防止すべく簡単、コンパクトで且つより経済的な設
計を使用することである。

【００１３】 この目的の更なる面は、ガスチャンバーの境界面に亙って均一な圧力分配をも
たらす設計を提供することである。 本発明の別の面は、誘電体と反対側の境界面との間に配置されたシール部材を
オゾンの反応性作用の結果としての磨耗から保護し得るようにされた設計を提供
することである。

【００１４】

【発明の概要】 本発明の第一の面によれば、高電圧の電極及び電気的隔離要素、好ましくは誘
電体要素が接続され、上記の誘電体要素及び接地電極により画成されたチャンバ
ーが存在する装置を備える、この目的のための上述したオゾン発生器Ｂが提供さ
れる。本発明は、第一の面によれば、圧力平衡状態で作動するように配置され、
これにより、上記チャンバー内の圧力変化が上記装置の両側部に等しい力にて作
用し得るように配置されたオゾン発生器であることを特徴としている。

【００１５】 本発明の第二の面によれば、高電圧の電極と、該高電圧の電極の両側部に配置
された第一及び第二の誘電体要素とを備えるオゾン発生器が提供される。これら
の誘電体要素は、第一及び第二の接地電極に対してそれぞれ密封接続状態に配置
された上記の高電圧の電極の両側に配置され、これにより、各接地電極は、それ
ぞれ、上記第一及び第二の誘電体要素に向けて、第一及び第二の密封チャンバー
の境界を形成するように配置されている。より具体的には、本発明の第三の面に
よれば、２つの均一な密封チャンバーの中央に高電圧の電極が配置され、各チャ
ンバーは、一つの側面において誘電体要素により前記高電圧の電極に対して境界
が形成され、他の側面において接地電極により境界が形成されるオゾン発生器が
提供される。オゾン発生器に対するこの構成において、敏感な誘電体要素は、両
側部から等しいガス圧力及びガス圧力の変化に曝され、これにより圧力は均等と
される。

【００１６】 第四の面によれば、高電圧の電極と、誘電体とを備え、該誘電体は中間の無端
のシール部材とともに反対壁に対して密封チャンバーの境界を形成する、オゾン
発生器が提供される。第四の面によれば、本発明は、チャンバーの外側部分に形
成されて、上記シール部材に隣接して無端状態に延びるリセス部を備え、該リセ
ス部内にて、上記チャンバーへの入口が現れ、これにより、チャンバーはその中
央部分よりも上記リセス部にてより深いことを特徴とする。好ましくは、オゾン
を排出することを目的とする、上記チャンバーからの出口は、オリフィスがチャ
ンバーの中央部分にあるように配置されるようにする。この配置により、供給さ
れた酸素ガス又は酸素濃度の高いガスは、ガスが拡散するための抵抗が最小であ
る上記リセス部を最初に充填し、その後に、チャンバーの中央部分に向けて拡散
するようにされる。均一なガス流の場合、その流れは、入口及び出口の位置に起
因して、チャンバーの周縁からその中央に向けられ、シール部材近くでチャンバ
ーを最初に充填する酸素は、そのシール部材をチャンバー内で発生されたオゾン
から保護する。

【００１７】 本発明の１つの好ましい実施の形態によれば、オゾン発生器は、少なくとも２
つの誘電材料のプレートとこれらのプレートの間に設けられた電極にして高電圧
の高周波数交流電流が印加可能である電極を一体に結合した圧力補償の導入ユニ
ットと、上記ユニットの両側部におけるオゾン発生のための２つの密封スペース
とを備え、これにより、各密封スペースは、誘電材料のプレートと反対側におい
て、接地及び冷却された電極により境界が画され、この電極を通って、酸素ガス
又は酸素濃度の高いガスがこのスペースに供給され、このスペースからオゾンが
排出される。

【００１８】 この配置により、必要なスペースが僅かであり、例えば、高電圧の高周波数交
流電流が印加可能である誘電材料のプレート及び電極を備えるユニットにて、損
傷又は密封上の問題を生ぜずに、依然として高効率を有するコンパクトな設計が
得られる。その理由は、このユニットは、２つの両側部から過圧力及び圧力ショ
ックの双方の影響を同時に受け、また、その形態により、これら過圧力及び圧力
ショックをそれぞれ強制して、互いに補償する、すなわち等しくなるようにする
からである。装置の作動中に開始することのできる、上記過圧力及び圧力ショッ
クを補償することは、装置に安定性をもたせ、これにより装置の交換効率を向上
させることになる。

【００１９】 本発明は、また、第五の面によれば、酸素又は酸素濃度の高いガスを第一のチ
ャンバーに供給するステップと、誘電体を亙って接地電極まで第一のチャンバー
内で放電させる目的のため、高電圧の高周波数交流電流を高圧電極に印加するス
テップとを備える、オゾン発生方法にも関する。この方法は、上記誘電体を備え
るコンパクトなユニットの両側部に等しい程度作用するように強制されるガス圧
力によって、供給されたガスの圧力変化が補償されることを特徴とする。この場
合、コンパクトとは、それ自体の間でユニットに内蔵された構成要素が中間スペ
ース無しで機械的に接続され、これにより、ユニットは、非圧縮可能な本体を実
質的に構成することを意味するものとする。

【００２０】 より正確には、本発明の第六の面によれば、酸素ガス又は酸素濃度の高いガス
を、圧力下において、共通の供給源から２つの均一な密封チャンバー内に導入す
るステップを備え、該チャンバーは、一つのユニットによって互いに境界が形成
され、このユニットは、２つの誘電体要素と、該誘電体要素の間の高電圧の電極
とを備え、高電圧の高周波数交流電流が上記高電圧の電極に印加され、これによ
り、チャンバー内の排出するガスは、上記高電圧の電極と別個の接地電極との間
の放電によってオゾンに変換され、接地電極の各々は、それぞれ、それぞれの誘
電体要素の反対側にてそれぞれ１つのチャンバーの境界を形成する、オゾン発生
方法が提供される。

【００２１】 本発明によるオゾン発生装置の更なる利点及び特徴は、添付図面に関して以下
に完全に説明する。

【００２２】

【好ましい実施の形態の詳細な説明】

図１及び図２を参照すると、オゾン発生のための装置、オゾン発生装置、すな
わちオゾン発生器が第一の好ましい実施の形態にて概略図的に図示されている。

【００２３】 特に、図２から明らかであるように、上記オゾン発生装置内でオゾンを発生さ
せる密封スペースすなわちチャンバー１は、一側面においては、誘電材料、好ま
しくはセラミック、ガラス又は同様の材料、のプレート２により境界が形成され
、その反対側面においては、例えばアルミニウム、ステンレス鋼等から成る、好
ましくは熱伝導率に優れる点でアルミニウムから成る、接地及び冷却された電極
３により境界が形成されている。例えば、アルミニウム、銅又は別の導電性材料
から成る電極４であって、高電圧の高周波数交流電流が印加可能である電極４は
、誘電材料のプレート２の前記密封したスペース／チャンバー１と反対側に配置
される。誘電材料のプレート２及び各電極３、４は、総て、上記の目的に適した
寸法及び形状とされる。実施の形態に述べられた詳細は、例えば、略正方形の四
辺形プレート形状であるが、このプレートは、また、矩形、円形、三角形、五角
形、六角形等にすることもできる。

【００２４】 オゾン発生器を簡単で且つ経済的な方法で設計するため、二重の効果を有する
本発明によれば、誘電材料から成る第二のプレート２´は、電極４に対して、誘
電材料から成る第一のプレート２と反対側に配置され、この電極４には、高電圧
の高周波数交流電流が印加可能となっている。フォイル又は薄板金属の形態であ
ることが好ましい電極４は、誘電材料プレート２、２´の間に適当にクランプさ
れるか、又は例えばプレート２、２´の一方又は双方にスクリーン印刷されてプ
レート上に一種の被覆を形成するが、例えば図１及び図２のようなプレート形状
を有する他の適当な設計のものとしてもよい。交流電流源に接続するための必要
な接続部材は図示されていない。電極４の実施の形態と関係なく、スペース「パ
ケット」を殆ど必要としないコンパクトなユニットが本発明に従って提供され、
このユニットは、電極４と、誘電材料から成る２つのプレート２、２´とから成
り、反対方向に作用する２つの外部圧力に抵抗し、その圧力を吸収し且つこれら
圧力を互いに強制的に補償し、等しくなるようにする能力を備えている。誘電材
料から成る第二のプレート２´は、上記第二のプレート２´と対向する位置に配
置された第二の接地及び冷却された電極３´と共に、オゾンを発生させるための
第二の密封スペース１´の画成する。

【００２５】 接地及び冷却された電極３、３´は、接地されたブロック、好ましくは上述し
た金属の１つにより形成され、また、作動中その必要な冷却を実現し得るように
冷却媒質又は冷却媒質用の管路（図示せず）を有する。接地及び冷却された電極
３、３´内で、すなわち、上記金属ブロックには、好ましくはそれぞれの密封し
たスペース１、１´に対し酸素ガス又は酸素濃度の高いガスを供給するため形成
された入口及び出口手段、好ましくは入口通路５、５´と、オゾンをそれぞれの
スペース１、１´から運び出すそれぞれの出口通路６、６´とを更に備えている
。それぞれ酸素ガス又は酸素濃度の高いガス及びオゾンに対するこれらの通路５
、５´、６、６´は、次のようにして上記金属ブロック３、３´に形成される。
すなわち、金属ブロックが他の構成要素と共にオゾン発生器に組み立てられたと
き、通路５、５´は互いに対し実質的に反対方向に延び、通路６、６´は互いに
対し反対方向に、すなわち互いに対し鏡像状態に延びる。これにより、酸素ガス
又は酸素濃度の高いガスは、オゾン発生器の密封したスペース１、１´内に、各
スペースの略同一箇所から流れ込み、同様に、各スペースの略同一箇所から流れ
出す。

【００２６】 オゾンガス又は酸素濃度の高いガスがオゾン発生器の中央に配置された密封ス
ペース内に導入される既知のオゾン発生器の実施形態の幾つかにおいて（例えば
、上述した国際出願第９７０１５０７号参照）、しばしば誘電材料として使用さ
れるセラミック材料は、例えばセラミック材料のプレートの間で発生した過圧力
に起因して亀裂を生じ、接地及び冷却された電極（金属ブロック）に向けてプレ
ートを外方に押し付けたり、又は密封されたスペースに対するシール部材が破断
したり、接着剤ラインが剥がれたりする等のことが生じやすい。

【００２７】 異なる方向から酸素ガス又は酸素濃度の高いガスが供給される二重密封式のス
ペース又はチャンバー１、１´を有する本発明のオゾン発生装置の実施形態は、
酸素ガス又は酸素濃度の高いガスの加圧及び圧力ショックによりそれぞれ発生さ
れた圧力差に起因する誘電材料のプレート２、２´の損傷のおそれを解消する。
これは、プレート２、２´に対し２つの方向から同時に圧力を付与することによ
り、または、プレートが中間の電極４と共に圧力補償可能に形成される結果、上
記異なる方向から加えられた圧力が、例えば圧力ショックに起因して変化すると
きに、互いに補償し等しくなることにより、達成される。誘電材料から成るプレ
ート２、２´及び中間電極４は、例えば、協働して上記圧力補償を行う構成要素
を更に含む圧力補償導入装置内の１つから必要な支持体を実現する必要がある。
プレート２、２´及び中間電極４は、また、例えば、上述したところに従って、
上記の構成要素の間に何ら内部スペースを有しない圧力補償の導入装置となるよ
うに接続することで、必要な支持体を提供することもでき、また、電極４は、プ
レート形状を有するとき、図１及び図２に図示するような中実体に形成し、又は
、例えば、多かれ少なかれ有孔のプレートとして形成してもよい。酸素ガス又は
酸素濃度の高いガスがスペース１、１´に供給されるとき、プレート２、２´は
互いに押し付けられる。オゾン発生装置の上記の実施の形態は、１５００ｋＰａ
（１５バール）に近い圧力にて酸素ガス又は酸素濃度の高いガスを供給すること
を許容し、その結果、効率が向上し且つより大きい収率となる。圧力補償の導入
装置は、また、装置に寄与し、変換効率が向上した状態でより安定的な作動が得
られるようにする。

【００２８】 誘電材料のプレート２、２´と、接地及び冷却された電極３、３´により、そ
れぞれ境界が形成された各密封スペース１、１´は、また、それぞれプレート２
、２´と電極３、３´との間を延びる少なくとも１つの無端のシール部材７によ
り境界が形成される（図２参照）。最適な密封効果を実現するため、シール部材
は、例えば、シリコーンゴムのようなオゾンに対して比例的に抵抗性のある弾性
材料で出来たＯリング７から成ることが好ましい。誘電材料から成るプレート２
、２´及び接地及び冷却された電極３、３´は、それぞれシール部材と圧力によ
ってのみ接触し且つその長手方向に向けて互いに対しある程度まで可動である。
この目的に適した配置は既知と考えられるので、本明細書ではより詳細には説明
も図示もしない。これと代替的に、シール部材７は、部分２、３及び２´、３´
により画成される密封スペース１、１´において、形成又は配置するようにして
もよい。それぞれのシール部材７の外側には、好ましくはポリテトラフルオルエ
チレン又はポリテトラフルオルエチレン状材料のような非導電性材料から成る少
なくとも１つのリング１０であることが適当であり、このリングは、密封したス
ペース１、１´内の圧力に起因してシール部材が外方に移動するのを防止すると
共に、電極３、３´及び４との間にて、及びその端縁部分に沿った方向への火花
を防止する。

【００２９】 上記の説明から明らかであるように、プレート２、２´は、誘電体として機能
する。電極４が交流電流源に接続され、電極３、３´がアースに接続されると、
プレート２、２´を貫いて放電が生ずる。交流電流における適当な電圧は、６，
０００乃至３０，０００Ｖの範囲にあることが好ましい一方、交流電流の周波数
は、２乃至１００ｋＨｚの範囲にあることが好ましい。この放電の結果として、
密封したスペース１、１´内の酸素の一部はオゾンに変換される。収率は、オゾ
ン発生装置からの通路６を通って流れるガスの容積の約２０％に達する。

【００３０】 通路５、５´を介して高圧力にてオゾン発生器の密封したスペース１、１´内
に伝達される酸素ガス又は酸素濃度の高いガスは、密封したスペース１、１´を
通ってオゾンに対する出口通路６（図１に一点鎖線の矢印で図示）に向けて不規
則に流れ、又はスペースを通る螺旋状経路内を進む。酸素ガス又は酸素濃度の高
いガス、及びオゾンに対する通路（図示せず）は、この目的のため、各密封スペ
ース１、１´内に形成され、最適なオゾンの発生のため所望の形状を持たせるこ
とができる。２つの密封したスペース１、１´を有する、図面１、図２に図示し
た実施の形態において、これらの通路は、互いに対して略反対方向に、すなわち
鏡像にて延びるように配置されることが好ましい。酸素ガス又は酸素濃度の高い
ガスの流入によって誘電材料のプレート２、２´に作用する圧力は、これにより
、密封したスペース１、１´の双方に同様に分配され、それ自体に反作用する。

【００３１】 誘電材料のプレート２、２´に対する適当な作動温度は、約２０℃であるが、
より高温度も許容される。しかし、熱に変換される供給された電気エネルギの約
８０％は冷却しなければならない。これは、接地及び冷却された電極３、３´、
すなわち冷却媒質を有するか又は冷却媒質を持つ通路を有する金属ブロックを介
して行われることが好ましい。

【００３２】 平滑な面を有する接地及び冷却された電極３、３´のプレート２、２´と、少
なくとも１つの無端のシール部材７とにより画成された、オゾンを発生させる上
述の密封スペース１、１´の場合、スペースの厚さは、主として、スペースの周
りのシール部材の厚さに依存する。何らかの理由のため、上記密封スペース１、
１´のより大きい容積が望まれるならば、これは、例えば、各接地及び冷却され
た電極３、３´について、密封スペースの境界を形成する側部にリセス部８を設
けることにより、容易に実現可能である。このように、図１及び図２には、本発
明によるオゾン発生装置の好ましい実施の形態が図示されており、そのそれぞれ
スペース１、１´は主として上記リセス部８により形成され、該リセス部の寸法
は、スペースの主要部分がリセス部により画成され、スペースの寸法（厚さ）の
主要部分がリセス部の深さにより画成される程度に設定される。

【００３３】 オゾンの発生を最適にするためには、電極の間の放電にて実現されるいわゆる
コロナ効果が可能な限り均一であるようにすること、すなわち、誘電体及び酸素
の存在を介して放電が生ずる全表面に亙って均一に分配されるようにする必要が
ある。一方、このためには、上記誘電体と接地電極との間には均一な距離が必要
とされる。

【００３４】 このため、最適なオゾンの発生を実現し、しかも冷却効果を向上させるため、
本発明の１つの実施の形態には、コロナ効果を促進する構造体９が設けられ、こ
の構造体は、電極３、３´、４の間の放電を促進する設計とされており、また、
図１及び図２に図示した実施の形態にて密封したスペース１、１´の双方に配置
され又は形成される（図２を参照することが好ましい）。１つの実施の形態にて
、上記構造体は主として網９として形成される。所望の均一な距離を実現するた
め、ステンレス鋼で出来ていることが好ましい網９は、接地及び冷却された電極
３、３´に隣接してそれぞれの密封スペース１、１´内、すなわち図示した実施
の形態においてそのリセス部８内に配置された別個の部分にて構成される。これ
と代替的に、この網は、直接、接地及び冷却された電極３、３´それぞれの表面
（例えば、リセス部８の底部）に直接形成してもよく、このリセス部は密封した
スペース１、１´に面し且つ該スペースの境界を画する。網構造体は、例えば、
押し抜き加工、フライス削り、エッチング又はレーザによる切断によって上記面
に形成することができる。構造体が接地電極の表面に形成される１つの実施の形
態は、別個の構造体９を有する実施の形態と比較して、オゾン発生器内により少
ない部品を備える、より簡単な構造であることを意味する。

【００３５】 上述したオゾン発生装置は、オゾンの製造を更に向上させることが望まれるな
らば、同一型式の１つ以上の他の装置を各装置の積層体のマニホルドを有する装
置に取り付けることができる。かかる取り付けを容易にし、しかも本発明による
１つの代替的な実施の形態を許容するため、図１及び図２に図示した実施の形態
の特定の改変が可能であり、例えば、その２つの両側部にリセス部８と、誘電材
料プレート２、２´の上述した相応する配置を有し、また、上記接地及び冷却さ
れた電極の両側部にて交流電流源に接続される電極４とを備える接地及び冷却さ
れた電極３、３´の１つ以上を形成することが可能である。このように、必要と
され又は所望であるとき、誘電材料の更なるプレートを、接地及び冷却された電
極３の側部に配置し、又は図１及び図２に図示した実施の形態において、その反
対側部に、すなわち、密封したスペース１、１´を画成する側と反対側の接地及
び冷却された電極３、３´に配置し、それぞれの更なるプレートと接地及び冷却
された電極との間にて更なる密封スペースが画成され、また、高電圧の高周波数
交流電流が印加可能な第二の電極を上記１つの又は２つ以上の更なる密封スペー
スと反対側のそれぞれの更なる誘電材料のプレートの側に配置することができる
。

【００３６】 更なる拡張が為されないならば、誘電材料のプレート２及び電極４に対する支
持体が必要である。 更に、勿論本発明によるオゾン発生装置の上述した更なる実施の形態は、１つ
又は２つ以上の接地及び冷却された電極の両側部に上記リセス部が存在せずに形
成することも可能であることを理解すべきである。

【００３７】 図３及び図４において、本発明の第二の好ましい実施の形態が図示されており
、この第二の実施の形態は、多くの面にて、図１及び図２に図示した第一の実施
の形態に類似している。同一の又は相応する部品を説明するとき、図１及び図２
にて使用した参照番号と同一の番号を図３及び図４にて使用する。

【００３８】 このように、図３において、高電圧の高周波数交流電流が印加可能である、高
電圧の電極４を有するオゾン発生器が図示されている。この高電圧の電極は、そ
の両側部にて上記高電圧の電極４の上に誘電体要素２、２´が取り付けられるこ
とが好ましい第一及び第二の誘電体要素２、２´の間に配置されている。図３に
おいて、それぞれの誘電体要素２、２´は、高電圧の電極４の位置を明確に示す
目的のためにのみ高電圧の電極４からある距離にて図示されている。第一の誘電
体要素２は、高電圧の電極４のその反対側部にて、酸素ガス又は酸素濃度の高い
ガスからオゾンを発生させ得るようにされたチャンバー１を画成する。第一の接
地電極３は、第一の誘電体要素２のチャンバー１の反対側で第一のチャンバー１
を画成する。これに相応して、第二の誘電体要素２´は、高電圧の電極４の反対
側部にて第二のチャンバー１´を画成し、該第二のチャンバー１´が第一のチャ
ンバー１に対して均一である。第二の接地電極３´は、上記第二の誘電体要素２
´のチャンバー１´の反対側部にて上記第二のチャンバー１´を画成する。接地
電極３、３´の各々において、酸素ガス又は酸素濃度の高いガスに対する共通の
供給源に接続し得るようにされた入口通路５、５´がそれぞれ配置されている。
更に、出口通路６、６´は、接地電極３、３´内にそれぞれ配置される。該出口
通路がオゾンを排出し得るようにされている。チャンバー１、１´の各々は、そ
れぞれその境界を画する誘電体要素２、２´の間にあり、接地電極３、３´は、
それぞれ無端状態に延びるシール部材７、７´により密封されている。このため
、各シール部材７、７´に対し、密封リセス部１１、１１´はそれぞれ接地電極
３、３´内に配置されている。更に、支持リング１０が上記シール部材７、７´
の外側で上記接地電極３、３´の間に配置され、上記支持リング１０に対し、外
側リセス部１２、１２´に対しそれぞれの接地電極３、３´が配置されている。

【００３９】 図３及び図４に図示した上記第二の実施の形態は、２つの面にて、図１及び図
２に図示した第一の実施の形態と相違する。例えば、第二の実施の形態は、内部
リセス部１３、１３´がそれぞれの密封リセス部１１、１１´内で直ちに無端状
態に延びるそれぞれの接地電極３、３´内に配置されることを特徴とする。この
ように、これらの内部リセス部１３、１３´は、それぞれのチャンバー１、１´
内に配置され、それぞれのチャンバー内で該チャンバーのそれぞれの中央部分よ
りも深い深さを有する周縁部分を画成する。

【００４０】 図３及び図４から明確に明らかであるように、上記入口通路５、５´は、それ
ぞれこれらの内部リセス部１３、１３´内のそれぞれのチャンバー１、１´に現
れる。この構造により、チャンバー１、１´に供給される、ガス、好ましくは酸
素ガスは、流れ抵抗はそれぞれのチャンバー１、１´の比較的より浅い中央部分
の内方よりも比較的より深いリセス部１３、１３´の方が小さいため、最初に、
上記内部リセス部１３、１３´を充填するように運ばれる。それまでそれぞれの
チャンバー１、１´の中央に配されたそれぞれの出口通路６、６´に向けてガス
が流れないから、チャンバーの全周から多少なりともチャンバーに亙る均一な圧
力分配が実現される。更に、新鮮なガスは、それぞれのリセス部１３、１３´内
に連続的に供給され、これにより、それぞれのシール部材７、７´とそれぞれの
チャンバー１、１´内で発生されたオゾンとの間に障壁を形成し、該オゾンは、
チャンバーがそれぞれの出口通路６、６´に向けて流れ易くなる。オゾンの比較
的反応性の特徴は、シール部材７、７´が破損する虞れがあることを意味するか
ら、この障壁効果は、特に好都合である。このため、シール部材に隣接して延び
る内部リセス部と、上記リセス部内に現れる入口通路と、チャンバーの中央部分
内に現れる出口通路とを有する構造は、抵抗を増し且つ製品の有効寿命を保証す
る。

【００４１】 図３及び図４に図示した実施の形態の別の特徴は、図４に図示した円形の形状
である。この図において、接地電極３は、チャンバー１に面する側から示してあ
る。入口通路５及び出口通路６が現れる箇所にて、接地電極３の異なるリセス部
１１、１２、１３は、接地電極の外周に多数の同心状円を形成することが明確に
理解される。内部リセス部１３を最初に充填する供給されたガスは、その後、等
しく長い距離にわたって出口通路６まで流れ、その結果、チャンバー１全体に圧
力が均一に分配されることになる点で、この円形の形状は好都合である。円形の
形状に続く隅部が存在しないことは、また、ガス圧力が高圧のときに好都合であ
る。

【００４２】 シール部材７、７´をオゾンから保護し得るようにされたリセス部１３、１３
´は、勿論、例えば、図１に図示するような、円形以外の異なる形状のオゾン発
生器にて具体化可能である。

【００４３】 図１及び図２に図示した実施の形態に従って、接地電極３、３´は、例えば、
それぞれのチャンバー１、１´に面する接地電極３、３´の面に網パターンを配
置した、コロナ効果の促進機構の構造とすることができる。また、第一の実施の
形態のその他の上記に説明した特徴は、勿論、第二の実施の形態にても適用可能
である。このことは、例えば、高電圧の電極４及び誘電体要素２、２´の設計及
び接地電極３、３´の冷却、また、更なるガスチャンバーを画成し得るように配
置された両側部式接地電極３、３´の実施の形態にも当て嵌まる。

【００４４】 本発明の図３のこの実施の形態は、図２の場合と同様に、誘電体要素２に作用
する応力、及び主として酸素ガス又は酸素濃度の高いガスを入口通路５、５´に
供給すべくオゾン発生器に接続されたガス供給装置内のガス圧力の変化に起因す
る応力を低下させる設計とされている。この解決策は、物理上の基本的原理の１
つ、すなわち、圧力の補償を許容する構造によりその応力を低下させ又は解消す
ることが可能であるという原理に基づくものである。図面に図示した実施の形態
によれば、共通の供給源から２つの均一な密封チャンバー１、１´の圧力下にて
運ばれる酸素ガス又は酸素濃度の高いガスによりこの圧力補償が実現され、それ
らの間のこれらのチャンバーは、２つの誘電体要素２、２´とそれら誘電体要素
間の高電圧の電極とを備えるユニットにより画成される。このように、ガス供給
装置から生ずる圧力の変化は、２つの対向するチャンバー１、１´内に等しい圧
力変化を生じさせ、これにより、チャンバーの間に配置されたユニットに作用す
る力は何ら発生されない。

【００４５】 両側チャンバーは、そのそれぞれの入口通路５、５´及び出口通路６、６´が
上記ユニットの両側部の相応する位置に配置されているため、供給される高圧力
に対して比較的影響を受けないオゾン発生器が得られる。

【００４６】 オゾン発生器をガス供給装置に適宜に接続するためには、入口通路５、５´は
、図３に図示するように、同一側に配置されることが好ましい。入口通路及び出
口通路の双方が接地電極３、３´の側からアクセス可能であるから、第二の実施
の形態に従って積層されたオゾン発生器の積重ね体からより大型のオゾン発生器
装置を容易に形成することができる。

【００４７】 図面に図示しない１つの代替的な実施の形態において、オゾン発生器は、第一
及び第二の側部を有し、少なくとも部分的に有孔であり、これによりガスが上記
第一の側部から上記第二の側部まで透過可能であるユニットを備えている。この
ユニットは、誘電材料で被覆された高電圧の電極を備えている。好ましくは、こ
のユニットは、誘電材料で被覆した高電圧の電極を含む網構造体を備えるように
する。オゾン発生器において、ユニットはチャンバー内に配置され、該チャンバ
ーは、少なくとも部分的に接地電極により画成される。誘電材料は高電圧の電極
をチャンバーから隔てるが、ユニットはガスに対して透過性であるから、上記チ
ャンバー内で生ずるガス圧力の変化は、前記ユニットの両側部に伝達され、これ
により、ユニットの側部に作用する力は何ら生じない。チャンバーは、上記接地
電極の間でチャンバー内にユニットが配置された状態で２つの対向する接地電極
を備える構造とすることができる。該チャンバーは、ガス、好ましくは酸素ガス
又は酸素濃度の高いガスに対する入口通路と、好ましくはオゾンを含むガスに対
する出口通路とを備える構造とされている。１つの実施の形態においては、チャ
ンバーに対する２つの入口通路を、上記ユニットの各側部に一つずつ配置し、２
つの出口通路も同様に、前記ユニットの両側に配置するようにしてもよい。

【００４８】 本発明の更なる実施の形態において、酸素ガス又は酸素濃度の高いガスをオゾ
ンに変換するチャンバーを備え、該チャンバーを画成する面が、プレートに代え
て、共通の軸線を有する同心状の管にて形成され、これにより、チャンバーもま
た管状であるようにする。チャンバーの管状の境界を形成する内面は、従来技術
の教示に従って、第一の管状の誘電材料から成っている。上記チャンバーの反対
側部にて第一の誘電体要素に隣接して、すなわち、誘電体チューブの内部に高電
圧の電極が配置される。

【００４９】 この実施の形態の第一改変例では、高電圧の電極は、第一の誘電体チューブの
反対側部において第二の管状の誘電体要素と係合する。この第二の管状の誘電体
要素は、今度は、その内側に第二のチャンバーを画成する。それぞれのチャンバ
ーは、境界を形成する各誘電体チューブの反対側において、接地された金属チュ
ーブによって境界が形成される。更に、オゾン発生器は、それぞれのチャンバー
に対する各１つの入口通路を有する構造とされ、該入口通路は、酸素ガス又は酸
素濃度の高いガスをそれぞれのチャンバーに供給し得るよう共通のガス供給装置
に接続可能に配置されている。このように、オゾン発生器は一連の同心状管を備
え、これら同心状管において、２つの誘電体要素及びその間に配置された電極が
１つのユニットを構成する。上述した構造において、オゾン発生器に接続された
ガス供給装置から生ずる圧力変化はその内部及び外側の双方から上記ユニットに
影響を与える。

【００５０】 管状の実施形態の第二改変例では、管状ユニットは、誘電材料で被覆されたガ
ス透過性の高電圧の電極にて形成され、これにより、該ユニットは外部及び内部
を有する管状の網構造体を形成することが好ましい。該ユニットは、管状チャン
バー内に配置され、網構造体の透過性の特徴は、ユニットの一側部にて圧力変化
を生じさせ、その反対側の側部にて相応する圧力変化を生じさせる。

【００５１】 本発明の管状の実施形態において、上記ユニットは、オゾン発生器の各端部に
て、Ｏリングを介在させた状態で接地した金属チューブに向けて密封されること
が好ましい。それぞれの接地した金属チューブの各端部にて、リセス部が形成さ
れ、チャンバーを対向する誘電体チューブ要素に向けて密封し得る構造としたＯ
リングに隣接してチャンバー内を延びるようにすることが好ましい。チャンバー
の深い部分を形成するこのリセス部に上記入口通路が現れることが好ましい一方
、上記出口通路は、接地した金属チューブの中央に現れることが好ましい。この
配置により、供給された酸素ガス又は酸素濃度の高いガスは上記リセス部を最初
に充填し、これにより、隣接するＯリングをチャンバー内で発生されたオゾンに
対して保護する。

【００５２】 当該技術分野の当業者には、上記の説明から、本発明による装置は、本発明の
着想及び目的から逸脱せずに、特許請求の範囲内で改変し且つ変更することが可
能であることが明らかである。このように、装置の細部が相違する実施の形態は
図面に図示し且つ上述したものと相違する可能性がある。材料の選択は、また上
記に提案したものとは相違する可能性もある。上述した作動パラメータも適用例
及び所望の効果に依存して変更可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明によるオゾン発生器の第一の好ましい実施の形態の概略図的な斜視図で
ある。

【図２】 図１によるオゾン発生器の概略図的な長手方向断面図である。

【図３】 本発明によるオゾン発生器の第二の好ましい実施の形態の概略図的な断面図で
ある。

【図４】 そのチャンバーの内部から見た、図３によるオゾン発生器の一部分の概略図で
ある。

【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書

【提出日】平成１３年４月１９日（２００１．４．１９）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１１

【補正方法】変更

【補正の内容】

【００１１】 フランス、リリーにて１９９５年５月１５−１８日に開催された第１２回世界
オゾン会議（ｔｈｅ １２^th Ｗｏｒｌｄ Ｏｚｏｎｅ Ｃｏｎｇｒｅｓｓ）に
てＶｏｌ．２、５１−５８ページの三菱電機株式会社のＭ．クズモト、Ｙ．タバ
タ及びＳ．ヤギによる「静粛な放電により極めて狭小な空隙内での高密度オゾン
の発生（Ｈｉｇｈ Ｄｅｎｓｉｔｙ Ｏｚｏｎｅ Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ Ｉｎ
ａ Ｖｅｒｙ Ｎａｒｒｏｗ Ｇａｐ Ｂｙ Ｓｉｌｅｎｔ Ｄｉｓｃｈａｒ
ｇｅ）」に更に別のオゾン発生器の設計が示されている。この提案された設計に
は、セラミックプレートと接地電極との間に薄い円形の一側部放電チャンバーが
開示されている。チャンバーへのガス入口は、チャンバーの周縁に配置される一
方、出口は、接地電極の穴を通じてチャンバーの中央に配置されている。セラミ
ックプレートは、チャンバーの反対側部にて、未知の型式の応力障壁プレートに
対して座す一方、該応力障壁プレートは金属プレートに隣接している。この応力
障壁プレートに向けて、セラミックプレートは、金属層にて被覆されており、こ
のことは、高電圧の電極を形成することになる。チャンバーの深さは、その内部
に配置された金属スペーサによって画定され、また、該チャンバーは半径方向に
延びる支持要素を備えている。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５２

【補正方法】変更

【補正の内容】

【００５２】 当該技術分野の当業者には、上記の説明から、本発明による装置は、本発明の
着想及び目的から逸脱せずに、特許請求の範囲内で改変し且つ変更することが可
能であることが明らかである。

【手続補正書】

【提出日】平成１３年１０月２日（２００１．１０．２）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ )，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ， ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ， ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，Ｃ Ｕ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ， ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，Ｌ Ｋ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ， ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，Ｔ Ｍ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ ，ＺＡ，ＺＷ

Claims (40)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高電圧電極（４）と、 この高電圧電極（４）の両側に配置された第一（２）及び第二（２´）の誘電
   体要素と、 前記高電圧電極（４）の両側の誘電体要素（２、２´）がシール状態でそれぞ
   れ取り付けられる第一（３）及び第二（３´）の接地電極にして、それぞれ第一
   （１）及び第二（１´）の密閉されたチャンバーをそれぞれ前記第一（２）及び
   第二（２´）の誘電体要素側に画成する第一（３）及び第二（３´）の接地電極
   と、 を備えたオゾン発生器。
2. 【請求項２】 前記第一及び第二のチャンバーは、実質的に同一であり、前
   記高電圧電極の両側で対称に配置される請求項１のオゾン発生器。
3. 【請求項３】 前記高電圧電極（４）に、高電圧の講習は交流電圧を印加す
   る電源に接続可能な接続部材を設けた請求項１又は２のオゾン発生器。
4. 【請求項４】 前記高電圧電極（４）は、誘電体要素（２、２´）の間にク
   ランプ止めされる請求項３のオゾン発生器。
5. 【請求項５】 高電圧電極（４）は、誘電体要素（２、２´）の一方又は双
   方に金属被覆として形成又は配置される請求項３のオゾン発生器。
6. 【請求項６】 前記高電圧電極（４）は、金属フォイル又は金属シートから
   成る請求項１から請求項５のいずれか一つのオゾン発生器。
7. 【請求項７】 前記誘電体要素（２、２´）は、大部分平坦で、平行に配置
   された本体から成る請求項１から請求項６のいずれか一つのオゾン発生器。
8. 【請求項８】 各チャンバーは、酸素ガス又は酸素リッチガスを供給する入
   口手段（５、５´）と、オゾンを排出する出口手段（６、６´）とを備える請求
   項１から請求項７のいずれか一つのオゾン発生器。
9. 【請求項９】 各接地電極（３、３´）は、冷却媒体を備えるか冷却媒体用
   の甘露を有するかした金属ブロックから成る請求項１から請求項８のいずれか一
   つのオゾン発生器。
10. 【請求項１０】 各チャンバーに対する前記入口手段及び出口手段は、前記
    金属ブロック（３、３´）に形成された入口通路（５、５´）と出口通路（６、
    ６´）とを備え、前記２つのチャンバーに対する前記入口通路（５、５´）は、
    加圧されたガスのための共通の導管に接続されるようになっている請求項８と組
    み合わせた請求項９のオゾン発生器。
11. 【請求項１１】 ２つの金属ブロック（３、３´）における酸素ガス或いは
    酸素リッチガス及びオゾンの通路（５及び６それぞれ）は、金属ブロック（３、
    ３´）をオゾン発生器内で組み立てた後、互いに対して実質的に反対方向に延び
    るように形成される請求項１０のオゾン発生器。
12. 【請求項１２】 各密閉されたチャンバー（１、１´）は、主としてそれぞ
    れの接地電極（３、３´）に作られた凹部（８）により形成される請求項１から
    請求項１１のいずれか一つのオゾン発生器。
13. 【請求項１３】 各密閉されたチャンバー（１、１´）は、それぞれ誘電体
    要素（２、２´）と接地電極（３、３´）との間で無端状態に延びる少なくとも
    １つのシール部材（７、７´）により画成される請求項１から請求項１２のいず
    れか一つのオゾン発生器。
14. 【請求項１４】 前記シール部材はＯリング（７、７´）で構成される請求
    項１３のオゾン発生器。
15. 【請求項１５】 凹部（１３、１３´）が、各接地電極（３、３´）におい
    て前記シール部材（７、７´）の内側で隣接して、前記シール部材に近接して無
    端状態に延びように配置され、この凹部（１３、１３´）内に、前記入口通路（
    ５、５´）が開口している請求項１０と組み合わせた請求項１３又は請求項１４
    のオゾン発生器。
16. 【請求項１６】 電気絶縁部材から成るリング（１０）が、各シール部材（
    ７、７´）の外側に配置され、各チャンバー（１、１´）の外側を火花から保護
    するようにした請求項１３から請求項１５のいずれか一つのオゾン発生器。
17. 【請求項１７】 酸素ガス又は酸素リッチガス及びオゾンの流れの制御通路
    が、ガスの流れをチャンバー内の所定の方向に導くように、各密閉されたチャン
    バー（１、１´）の内側に形成された請求項１から請求項１６のいずれか一つの
    オゾン発生器。
18. 【請求項１８】 前記流れの制御通路は、互いに略反対方向に延びるように
    配置された請求項１７のオゾン発生器。
19. 【請求項１９】 各密閉されたチャンバー内に配置されるか又は形成される
    構造体（９）を備え、この構造体は、高電圧電極（４）から誘電体（２、２´）
    を経由して各チャンバー（１、１´）内の接地電極（３、３´）に至る放電にお
    けるコロナ効果の発生を促進し得るように形成される請求項１から請求項１８の
    いずれか一つのオゾン発生器。
20. 【請求項２０】 前記構造体は、主として網部材（９）として形成される請
    求項１９のオゾン発生器。
21. 【請求項２１】 構造体（９）は、各密閉されたチャンバー（１、１´）内
    に配置された別個の部分から成る請求項１９又は請求項２０のオゾン発生器。
22. 【請求項２２】 各密閉されたチャンバー（１、１´）内の前記構造体（９
    ）は、各接地電極（３、３´）に形成されたパターンである請求項２０又は請求
    項２１のオゾン発生器。
23. 【請求項２３】 環状のシール部材（７、７´）は、各誘電体部材（２、２
    ´）と接地電極（３、３´）の間に配置され、これにより、前記各チャンバーを
    円形ディスク形状に画成し、各接地電極は、酸素ガス又は酸素リッチガスを供給
    し得るようにされた入口通路（５、５´）と、オゾンを各チャンバー（１、１´
    ）から排出し得るようにされた出口通路（６、６´）とを有する請求項１のオゾ
    ン発生器。
24. 【請求項２４】 各チャンバーに対する前記入口通路（５、５´）は、チャ
    ンバー（１、１´）の周縁部分において、前記シール部材（７、７´）の近傍に
    開口し、前記出口通路は、チャンバーの中央に開口する請求項２３のオゾン発生
    器。
25. 【請求項２５】 凹部（１３、１３´）が、前記接地電極において、チャン
    バーの周縁部分に、前記シール部材内側の同心リング状に広がって形成され、前
    記入口通路は、この凹部（１３、１３´）内に開口する請求項２４のオゾン発生
    器。
26. 【請求項２６】 ２つの同一の密閉されたチャンバー（１、１´）の間の中
    央に配置された高電圧電極（４）を備えるオゾン発生器であって、各チャンバー
    は、一方の側部においては、前記高電圧電極に対して誘電体（２、２´）によっ
    て境界が形成され、他方の側部においては、接地電極（３、３´）によって境界
    が形成されるオゾン発生器。
27. 【請求項２７】 １つのユニットを備え、このユニット内で、高電圧電極（
    ４）と誘電体要素（２、２´）が一体に結合され、前記誘電体要素及び接地電極
    （３、３´）により画成されたチャンバー（１、１´）を備えるオゾン発生器に
    おいて、 圧力平衡状態で作動し得るようにされ、これにより、前記チャンバー内の圧力
    の変化は前記ユニットの両側に等しい力で作用するようになっていることを特徴
    とするオゾン発生器。
28. 【請求項２８】 前記ユニットの両側に同一のガス圧力を発生させるように
    された請求項２７のオゾン発生器。
29. 【請求項２９】 ２つのチャンバー（１、１´）を備え、前記ユニットは、
    前記高電圧電極（４）の両側で前記高電圧電極（４）と結合された２つの誘電体
    要素（２、２´）を備え、これにより、それぞれの誘電体要素が、接地電極（３
    、３´）側において、チャンバーの境界を形成する請求項２８のオゾン発生器。
30. 【請求項３０】 前記チャンバー同士は、大部分において同一であり且つ前
    記ユニットの両側に対称に配置されている請求項２９のオゾン発生器。
31. 【請求項３１】 前記ユニット両側の前記チャンバーのそれぞれは、対応す
    る接地電極によって画成されるものであり、これらの各接地電極は、対応する誘
    電体材料に対して、無端状態で延びるシール部材（７、７´）を介して接続され
    るものである請求項３０のオゾン発生器。
32. 【請求項３２】 前記誘電体要素は、主として平坦な円形の本体から成る請
    求項３１のオゾン発生器。
33. 【請求項３３】 高電圧電極（４）と、誘電体（２、２´）とを備え、この
    誘電体は、無端のシール部材（７、７´）を介して反対壁（３、３´）に相対し
    て、密閉されたチャンバー（１、１´）の境界を形成するオゾン発生器において
    、 凹部（１３、１３´）が、チャンバーの外側に、前記シール部材の近傍におい
    て無端状態で延びて形成され、この凹部（１３、１３´）内に、前記チャンバー
    への入口（５、５´）が開口し、これにより、前記チャンバーは、前記凹部（１
    ３、１３´）において、中央部分よりも、より深くなっていることを特徴とする
    オゾン発生器。
34. 【請求項３４】 チャンバーからの出口（６、６´）は、チャンバーの中央
    部分に開口している請求項３３のオゾン発生器。
35. 【請求項３５】 圧力下の酸素ガス又は酸素リッチガスが共通の供給源から
    ２つの均一な密閉されたチャンバー（１、１´）内に運ばれ、これらのチャンバ
    ーの間には、２つの誘電体要素（２、２´）とその間の高電圧電極（４）とを備
    えたユニットにより境界が形成されており、 高電圧の高周波交流電流が前記高電圧電極（４）に印加され、 前記チャンバー（１、１´）内に存在する酸素ガスが、前記高電圧電極（４）
    と別個の接地電極（３、３´）との間の放電によりオゾンに変換され、各接地電
    極は、各誘電体要素の両側で各チャンバーの境界を形成しているオゾン発生方法
    。
36. 【請求項３６】 各誘電体要素と接地電極は、実質的に平坦であり、かつ環
    状に延びるシール部材によって一体に結合され、これにより各チャンバーを平坦
    な環形状に画成し、酸素ガス又は酸素リッチガスが各チャンバー内にその周縁部
    分から導入され、オゾンがチャンバーの中央部分においてチャンバーから排出さ
    れる請求項３５の方法。
37. 【請求項３７】 各チャンバー内に運ばれたガスは、シール部材（７、７´
    ）に隣接して接地要素に設けられた環状に延びる凹部（１３、１３´）によって
    、チャンバーの周縁部分に最初に充填される請求項３６の方法。
38. 【請求項３８】 酸素ガス又は酸素リッチガスは、略同一位置において各密
    閉されたチャンバー内に導入され、オゾンは、略同一位置において各密閉された
    チャンバーから排出される請求項３５から請求項３７のいずれか一つの方法。
39. 【請求項３９】 酸素ガス又は酸素リッチガスを第一のチャンバーに供給す
    るステップと、 高電圧の高周波交流電流を高電圧電極（４）に印加して、第一のチャンバー内
    の誘電体を経由して接地電極（３、３´）に至る放電を生じさせるステップと、 を備えるオゾン発生方法において、 供給されたガスの圧力変化は、前記誘電体を備えるコンパクトなユニットの両
    側に等しい力が作用するようにされた前記チャンバー内の圧力変化によって、等
    しくされることを特徴とするオゾン発生方法。
40. 【請求項４０】 酸素ガス又は酸素リッチガスは、同一の供給源から同一の
    割合で前記第一のチャンバー及び第二のチャンバーに供給され、前記コンパクト
    なユニットは、前記チャンバーの間に仕切り壁を形成する請求項３９の方法。