JPH1029806A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
- Publication number
- JPH1029806A JPH1029806A JP20796196A JP20796196A JPH1029806A JP H1029806 A JPH1029806 A JP H1029806A JP 20796196 A JP20796196 A JP 20796196A JP 20796196 A JP20796196 A JP 20796196A JP H1029806 A JPH1029806 A JP H1029806A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone
- discharge
- ozone generating
- ground electrode
- discharge electrode
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- Pending
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 所望のオゾン発生量に制御でき、かつ短時間
にオゾン発生量を安定して供給するオゾン発生装置を提
供する。 【解決手段】 放電電極１と接地電極２と放電電極１と
接地電極２との間に設けた誘電体層３とからなるオゾン
発生素子１０と、オゾン発生素子１０に放電電圧を印加
する高周波高電圧電源７と、オゾン発生素子１０と高周
波高電圧電源７との間に直列にコンデンサを備えたオゾ
ン発生装置において、前記コンデンサは静電容量可変コ
ンデンサ８としたものである。
にオゾン発生量を安定して供給するオゾン発生装置を提
供する。 【解決手段】 放電電極１と接地電極２と放電電極１と
接地電極２との間に設けた誘電体層３とからなるオゾン
発生素子１０と、オゾン発生素子１０に放電電圧を印加
する高周波高電圧電源７と、オゾン発生素子１０と高周
波高電圧電源７との間に直列にコンデンサを備えたオゾ
ン発生装置において、前記コンデンサは静電容量可変コ
ンデンサ８としたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、沿面放電によりオ
ゾンを発生させるオゾン発生装置に関する。
ゾンを発生させるオゾン発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、沿面放電式のオゾン発生装置は、
例えば図４に示すように構成されたものが開示されてい
る（例えば、特開平２−１８０７０３号公報）。すなわ
ち、１は放電電極、２は接地された接地電極、３は放電
電極１と接地電極２の間に設けた誘電体層、４は放電電
極１と接地電極２の間に表面漏れ電流が流れるのを防ぐ
ために設けた接地電極２を囲む絶縁体層である。放電電
極１、接地電極２、誘電体層３および絶縁体層４でオゾ
ン発生素子１０を形成している。５はオゾン発生素子１
０を収納するオゾン発生チャンバ、５１は原料ガスを発
生チャンバ６内に供給する供給口、５２はオゾン発生素
子１０で発生したオゾン化ガスを排出する排出口、６は
オゾン濃度測定器、７は電圧あるいは周波数を可変でき
る高周波高電圧電源である。放電電極１と接地電極２の
材料としては、ステンレス鋼（ＳＵＳ３１６）の薄板を
所定の大きさに切断したものを用い、誘電体層３の材料
としては、例えば、特開平５−８９９４１号や特開平６
−１２６１５６号公報に示されているように、アルミナ
などのセラミックスが多く用いられている。放電電極１
と接地電極２との間に高周波高電圧電源７により高周波
高電圧を印加すると、放電電極１の放電面から誘電体層
３の沿面方向に沿って放電が発生する。これが沿面放電
であり、酸素ガスを含有する原料ガスを放電電極面側に
流すことで、原料ガス中の酸素分子が沿面放電領域に存
在すると、その一部がオゾンとなり、オゾン化ガスを得
ることができる。このとき、高周波高電圧電源７の電圧
または周波数を変えることで、オゾン発生量を制御でき
ることが一般に知られている。また、無声放電形オゾン
発生装置において、所定の固定した容量のコンデンサを
印加電圧回路に直列に挿入し、誘電体層の厚さを薄くす
るようにしたものが開示されている（例えば、特開昭６
０−２５１１０５号公報）。
例えば図４に示すように構成されたものが開示されてい
る（例えば、特開平２−１８０７０３号公報）。すなわ
ち、１は放電電極、２は接地された接地電極、３は放電
電極１と接地電極２の間に設けた誘電体層、４は放電電
極１と接地電極２の間に表面漏れ電流が流れるのを防ぐ
ために設けた接地電極２を囲む絶縁体層である。放電電
極１、接地電極２、誘電体層３および絶縁体層４でオゾ
ン発生素子１０を形成している。５はオゾン発生素子１
０を収納するオゾン発生チャンバ、５１は原料ガスを発
生チャンバ６内に供給する供給口、５２はオゾン発生素
子１０で発生したオゾン化ガスを排出する排出口、６は
オゾン濃度測定器、７は電圧あるいは周波数を可変でき
る高周波高電圧電源である。放電電極１と接地電極２の
材料としては、ステンレス鋼（ＳＵＳ３１６）の薄板を
所定の大きさに切断したものを用い、誘電体層３の材料
としては、例えば、特開平５−８９９４１号や特開平６
−１２６１５６号公報に示されているように、アルミナ
などのセラミックスが多く用いられている。放電電極１
と接地電極２との間に高周波高電圧電源７により高周波
高電圧を印加すると、放電電極１の放電面から誘電体層
３の沿面方向に沿って放電が発生する。これが沿面放電
であり、酸素ガスを含有する原料ガスを放電電極面側に
流すことで、原料ガス中の酸素分子が沿面放電領域に存
在すると、その一部がオゾンとなり、オゾン化ガスを得
ることができる。このとき、高周波高電圧電源７の電圧
または周波数を変えることで、オゾン発生量を制御でき
ることが一般に知られている。また、無声放電形オゾン
発生装置において、所定の固定した容量のコンデンサを
印加電圧回路に直列に挿入し、誘電体層の厚さを薄くす
るようにしたものが開示されている（例えば、特開昭６
０−２５１１０５号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来技
術では、オゾン発生量を変えるために、電源出力の電圧
または周波数を可変できる機構を高周波高電圧電源に組
み込む必要があり、コストが高くなるという問題があっ
た。また、電圧あるいは周波数を変えた場合、出力電圧
が安定するまで時間を要し、その結果、オゾン発生量が
安定するまでに時間を要するという問題があった。本発
明は、高価な電源出力の電圧または周波数を可変できる
機構を用いることなく、所望のオゾン発生量に制御で
き、かつ短時間にオゾン発生量を安定して供給できるオ
ゾン発生装置を提供することを目的とするものである。
術では、オゾン発生量を変えるために、電源出力の電圧
または周波数を可変できる機構を高周波高電圧電源に組
み込む必要があり、コストが高くなるという問題があっ
た。また、電圧あるいは周波数を変えた場合、出力電圧
が安定するまで時間を要し、その結果、オゾン発生量が
安定するまでに時間を要するという問題があった。本発
明は、高価な電源出力の電圧または周波数を可変できる
機構を用いることなく、所望のオゾン発生量に制御で
き、かつ短時間にオゾン発生量を安定して供給できるオ
ゾン発生装置を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、放電電極と接地電極と前記放電電極と前
記接地電極との間に設けた誘電体層とからなるオゾン発
生素子と、前記オゾン発生素子に放電電圧を印加する高
周波高電圧電源と、前記オゾン発生素子と前記高周波高
電圧電源との間に直列にコンデンサを備えたオゾン発生
装置において、前記コンデンサは静電容量が可変である
ものである。
め、本発明は、放電電極と接地電極と前記放電電極と前
記接地電極との間に設けた誘電体層とからなるオゾン発
生素子と、前記オゾン発生素子に放電電圧を印加する高
周波高電圧電源と、前記オゾン発生素子と前記高周波高
電圧電源との間に直列にコンデンサを備えたオゾン発生
装置において、前記コンデンサは静電容量が可変である
ものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施例に
ついて説明する。図１は本発明の実施例を示す構成図
で、従来例とほぼ同じ構成であるが、高周波高電圧電源
８と放電電極１との間に静電容量が可変のコンデンサを
接続した点が異なる。すなわち、図において、１は放電
電極、２は接地電極、３は放電電極１と接地電極２との
間に設けた誘電体層、４は絶縁体層で、以上の要素によ
りオゾン発生素子１０を形成している。５はオゾン発生
素子１０を収納するオゾン発生チャンバ、５１は原料ガ
スを発生チャンバ５内に供給する供給口、５２はオゾン
発生素子１０で発生したオゾン化ガスを排出する排出
口、６はオゾン濃度測定器、７は電圧あるいは周波数を
可変できる高周波高電圧電源、８は静電容量可変コンデ
ンサで、放電電極１と直列に接続し、この両端に高周波
高電圧電源７の出力を印加するようにしてある。
ついて説明する。図１は本発明の実施例を示す構成図
で、従来例とほぼ同じ構成であるが、高周波高電圧電源
８と放電電極１との間に静電容量が可変のコンデンサを
接続した点が異なる。すなわち、図において、１は放電
電極、２は接地電極、３は放電電極１と接地電極２との
間に設けた誘電体層、４は絶縁体層で、以上の要素によ
りオゾン発生素子１０を形成している。５はオゾン発生
素子１０を収納するオゾン発生チャンバ、５１は原料ガ
スを発生チャンバ５内に供給する供給口、５２はオゾン
発生素子１０で発生したオゾン化ガスを排出する排出
口、６はオゾン濃度測定器、７は電圧あるいは周波数を
可変できる高周波高電圧電源、８は静電容量可変コンデ
ンサで、放電電極１と直列に接続し、この両端に高周波
高電圧電源７の出力を印加するようにしてある。
【０００６】このような構成により、静電容量可変コン
デンサ８の両端に一定の周波数および一定の電圧を印加
すると、オゾン発生素子１０の放電電極１と接地電極２
との間には、静電容量可変コンデンサ８によって分圧さ
れた電圧が印加され、原料ガスを放電電極１の周辺に流
すことで、オゾン化ガスを発生させる。このとき、静電
容量可変コンデンサ８の静電容量を変えることで、オゾ
ン発生素子１０に印加される電圧が変わり、オゾン発生
量が変化する。図２に静電容量可変コンデンサ８の静電
容量を変えた時のオゾン化ガスの濃度をオゾン濃度測定
器６によって測定した結果を示す。この図から、静電容
量可変コンデンサ８の静電容量を変えることで、オゾン
濃度はほぼ直線的に増減していることがわかる。つま
り、静電容量可変コンデンサ８の静電容量を制御するこ
とでオゾン濃度を制御することができる。また、図３に
（ａ）本発明の実施例と、（ｂ）従来例でのオゾン濃度
を変化させた時の時間変化の一例を示す。これは、オゾ
ン濃度を５０ｐｐｍから９０ｐｐｍにオゾン濃度を変化
させた時の変化の推移を示しており、（ｂ）に示した従
来例ではオゾン濃度はオゾン濃度が変化し始めて３分経
過して安定し始めているのに対し、（ａ）に示した本発
明の実施例では、オゾン濃度が変化し始めて約１分で安
定している。つまりオゾン濃度を短時間に変化できるこ
とがわかる。
デンサ８の両端に一定の周波数および一定の電圧を印加
すると、オゾン発生素子１０の放電電極１と接地電極２
との間には、静電容量可変コンデンサ８によって分圧さ
れた電圧が印加され、原料ガスを放電電極１の周辺に流
すことで、オゾン化ガスを発生させる。このとき、静電
容量可変コンデンサ８の静電容量を変えることで、オゾ
ン発生素子１０に印加される電圧が変わり、オゾン発生
量が変化する。図２に静電容量可変コンデンサ８の静電
容量を変えた時のオゾン化ガスの濃度をオゾン濃度測定
器６によって測定した結果を示す。この図から、静電容
量可変コンデンサ８の静電容量を変えることで、オゾン
濃度はほぼ直線的に増減していることがわかる。つま
り、静電容量可変コンデンサ８の静電容量を制御するこ
とでオゾン濃度を制御することができる。また、図３に
（ａ）本発明の実施例と、（ｂ）従来例でのオゾン濃度
を変化させた時の時間変化の一例を示す。これは、オゾ
ン濃度を５０ｐｐｍから９０ｐｐｍにオゾン濃度を変化
させた時の変化の推移を示しており、（ｂ）に示した従
来例ではオゾン濃度はオゾン濃度が変化し始めて３分経
過して安定し始めているのに対し、（ａ）に示した本発
明の実施例では、オゾン濃度が変化し始めて約１分で安
定している。つまりオゾン濃度を短時間に変化できるこ
とがわかる。
【０００７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、静
電容量可変コンデンサの静電容量を所望の値に変えるこ
とで、放電電極と接地電極との間に印加する電圧を変え
てオゾン発生量を変えるようにしてあるので、コストア
ップにつながる高周波高圧電源の電圧あるいは周波数の
可変機能を付加することなく、また、希望するオゾン濃
度への短時間での変更が可能で、オゾン発生量を安定し
て供給できるオゾン発生装置を提供できる効果がある。
電容量可変コンデンサの静電容量を所望の値に変えるこ
とで、放電電極と接地電極との間に印加する電圧を変え
てオゾン発生量を変えるようにしてあるので、コストア
ップにつながる高周波高圧電源の電圧あるいは周波数の
可変機能を付加することなく、また、希望するオゾン濃
度への短時間での変更が可能で、オゾン発生量を安定し
て供給できるオゾン発生装置を提供できる効果がある。
【図１】 本発明の実施例を示す構成図である。
【図２】 本発明の実施例の静電容量とオゾン濃度との
関係を示すグラフである。
関係を示すグラフである。
【図３】 （ａ）本発明の実施例と（ｂ）従来例のオゾ
ン濃度の時間推移を示すグラフである。
ン濃度の時間推移を示すグラフである。
【図４】 従来例を示す構成図である。
１：放電電極、２：接地電極、３：誘電体層、４：絶縁
体層、５：オゾン発生チャンバ、５１：供給口、５２：
排出口、６：オゾン濃度測定器、７：高周波高電圧電
源、８：静電容量可変コンデンサ
体層、５：オゾン発生チャンバ、５１：供給口、５２：
排出口、６：オゾン濃度測定器、７：高周波高電圧電
源、８：静電容量可変コンデンサ
Claims (1)
- 【請求項１】 放電電極と接地電極と前記放電電極と前
記接地電極との間に設けた誘電体層とからなるオゾン発
生素子と、前記オゾン発生素子に放電電圧を印加する高
周波高電圧電源と、前記オゾン発生素子と前記高周波高
電圧電源との間に直列にコンデンサを備えたオゾン発生
装置において、前記コンデンサは静電容量が可変である
ことを特徴とするオゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20796196A JPH1029806A (ja) | 1996-07-17 | 1996-07-17 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20796196A JPH1029806A (ja) | 1996-07-17 | 1996-07-17 | オゾン発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1029806A true JPH1029806A (ja) | 1998-02-03 |
Family
ID=16548399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20796196A Pending JPH1029806A (ja) | 1996-07-17 | 1996-07-17 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1029806A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6599486B1 (en) | 2000-09-15 | 2003-07-29 | Ozonator, Ltd. | Modular ozone generator system |
| US6726885B2 (en) | 1999-03-05 | 2004-04-27 | Ozonator Limited | Ozone generator and a method for generation of ozone |
-
1996
- 1996-07-17 JP JP20796196A patent/JPH1029806A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6726885B2 (en) | 1999-03-05 | 2004-04-27 | Ozonator Limited | Ozone generator and a method for generation of ozone |
| US6599486B1 (en) | 2000-09-15 | 2003-07-29 | Ozonator, Ltd. | Modular ozone generator system |
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