JPS6325203A - オゾン発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、空気または酸素を原料として無声放電により
オゾンを発生させるようにしたオゾン発生装置に関する
。

［従来の技術］ 周知のように、オゾンは強力な酸化力をもっているので
、古くから酸化剤として化学工業に用いられているほか
、各種の水の殺菌、脱臭、脱色等にも広く利用され、ま
た、近年はファインケミカル用としての用途にも広く用
いられている。

ところで、オゾン発生方法としては、紫外線エネルギー
を酸素に照射する方法、水を電気分解する方法等もある
が、工業用として多量のオゾン東連続的に発生するには
、通常無声放電による方法が多く採用されている。この
方法は、相対向して設けられた１対の電極の間に空隙を
形成すると共に、これら電極の一方または双方の電極面
に誘電体を取付けた上で、前記両電極の間に交流電圧を
印加させる。このようにすると、誘電体を介して両電極
間に無声放電が持続して発生するから、この空隙に乾燥
した空気又は酸素ガスを流通させて；　　　　　オゾン
を発生させる方法である。

しかして、この方法においては放電により多量の熱が発
生し、この熱により空隙を流通する空気又は酸素ガスの
温度があがり、またその熱によって電極や誘電体の温度
を上界させてしまう。ところが、オゾンは温度が高くな
ると即座に分解し酸素になってしまうので、効率的にオ
ゾンを発生させるためには冷却することが必要となる。

そこで、実用的には第６図および第７図に示すような構
造のオゾン発生装置が一般に用いられている。以下、こ
の従来型について説明する。すなわち、一方の電極とし
ては符号１で示すステンレス円筒を用いると共に、誘電
体としては前記ステンレス円筒と同心的に配置したガラ
ス円筒２を用い、このガラス円筒の内面に金属を真空蒸
着する等の手段によって導電性被膜３を形成させて、こ
れを他方の電極としたものが多く用いられている。なお
、第６図において符号４で示す部材は、金属材から形成
された缶体であって、このものの内部に前記のステンレ
ス製円筒１が仕切板５ａ及び５ｂを介して溶接により水
密が維持されるようにして取付けられている。また、こ
のステンレス円筒１の内側には、スペーサ６を介して一
端を封じたガラス円筒２が該円筒１に対し略同心状に取
付けられ、このガラス円筒２とステンレス円筒１との間
には空隙７が形成され、この空隙７は、通常１〜３Ｉｌ
ｌｌの間隔に保たれている。なお、ガラス円筒２の内面
には導電性波Ｉ！３が塗布又は蒸着により設けられ、こ
の導電性被膜３にブラシ状の接触子８が接触している。

この接触子８には導線９が接続され、この導線は絶縁管
１０を介して缶体４の端板４ａを貫通して外部に導かれ
た上で、電源装置１１に接続されている。

一方、缶体４の内側における外周部には、仕切られた冷
却水室１２が形成されると共に、缶体の上部には空気又
は酸素ガス（以下原料ガスという）室１３が、またその
下部には生成したオゾンと原料ガスが混合した混合ガス
室１４が形成されている。

しかして、冷却水室１２には供給口１２ａと排出口１２
ｂがそれぞれ設けられ、原料ガス室１３には供給ロ１３
ａ１混合ガス室１４には排、出口１４ａがそれぞれ設け
られている。

なお、スペーサ９は、第８図に示すようにステンレス線
を巻回したコイルばねを輪状にしたもので、空隙７を原
料ガスやオゾンと原料ガスの混合ガスを流通させるのに
支障を与えないような構成とされている。又、缶体４は
接地されている。

以上のように構成された缶体４とｌ’ｌ性被膜３の間に
電源装置１１を介して高圧交流を印加すると、誘電体と
なるガラス円筒２に電荷が蓄積されてゆき、これが空隙
７の絶縁が破壊されるレベルに達すると、細かい放電柱
が接続的に発生するようになる。この放電柱は、印加電
圧と周波数によって数が増減する。放電している空隙７
に供給口１３ａから原料ガス室１３を経由して原料ガス
を供給すると、原料ガス中の酸素原子の一部は電子と衝
突し、活性化酸素が生成し、次いでオゾンが生成する。

ここで、一般に放電のエネルギーのうち、オ・シン生成
に寄与する分は僅か１０％程度で、残りの９０％程度の
エネルギーは熱となるから、放電により多量の熱が発生
し、これが空隙７の温度を上背させる。この部分の温度
が上昇すると、オゾンが速かに分解して元の酸素に戻る
ので、この熱エネルギーを除去するために冷却水室１２
に冷Ｕ」水を供給して冷却するようにしているのである
。

以上の説明は、１組のオゾン発生￥装置について述べた
ものであるが、多数組の装置を並列にして人容聞のオゾ
ン発生装置として用いることも従来から行われている。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、上述のような構成を有する従来型のオゾン発
生装置は、通常の用途にお、いては有効な装置であった
が、近年のファインケミカル用に適用した場合には下記
のような難点があるため、満足のゆくものではなくなっ
ているのが実情である。

すなわち、ファインケミカル用、例えば集積回路製造工
場で用いられるオゾンは、このオゾン化酸素中に極めて
微量であっても不純物が含まれていると集積回路に不純
物の微粒子が付着して回路構成に欠陥を発生させるため
、オゾン化酸素の純度を高くすることが要求されると共
に、一方では強い酸化力を必要とするため、オシ・ン化
酸素の濃度も一般に１０．０重量パーセント以上の高濃
度を要求されるようになっている。しかし、従来型のオ
ゾン発生装置でｔま下記に述べるような理由から、上記
の高純度ならびに高濃度のオゾンを生成させることがで
きず、改良が求められていた。すなわち、従来型のオゾ
ン発生装置では、放電時にステンレス円筒１およびスペ
ーサ６の表面に電子が衝突するが、この衝突により円筒
およびスペーサ表面の金属微粒子が該電子で叩き出され
てオゾン化酸素に混入し、その純度が損なわれるもので
ある。−方、放電による多量の発生熱により空隙７の部
位の温度は上昇するが、この部位は一方の側面のみ、す
なわち、外周面に接する冷Ｗ水室１２の側から冷却され
るだけであるから充分には冷却されず、このため空隙７
の部位の温度が大きく上冒し、オゾン化酸素の濃度を充
分に高められないという欠点があった。例えば冷Ｗ水と
して２０℃の水道水を用い、原料ガスとして純酸素を用
いた場合でも、得られるイオン化酸素の最高濃度は６．
５重Ｍパーセント程度にとどまるものであった。このた
め、従来から下記のような工夫が試みられている。すな
わら、オゾン発生部の外周を形成するステンレス円筒（
第６〜７図に符号１で示す円筒）の内側に硝子やセラミ
ックスなどのｍ１体をライニングし、電子が金属表面に
直接衝突するのを回避しようとするものである。しかし
、この試みは、金属とこの金属の表面にライニングされ
る誘電体の熱膨張係数が相違するため誘電体に亀裂や火
影れなどが発生し、しかもこの発生部分からは短絡が生
じて大電流が流れ、誘電体はもとより金属電極が破壊さ
れるに至るものである。したがって、電子が直接金属表
面に衝突することを防止しようとする所期の目的が達成
されず、所期の高純度のオゾン化酸素は到底１ｑられな
いものである。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、高純度で且つ高Ｑ度のオゾン化ガスが得られ
、しかも構造が簡単で長期間の使用に耐え、環境衛生的
にも害毒を発生することのない新規なオゾン発生装置を
得ることを目的とする。

この目的を達するため、本発明にあっては、オゾン発生
装置を次のような構成としたものである。

すなわち、冷却水の循環を可能とした缶体の内部におい
て、該缶体を貫通するように、外筒および内筒から成る
内外二重の筒体をほぼ同心状に配設すると共に、該筒体
を何れも石英材または硝子材で構成させた上で、少くと
も前記内筒の内周面に放電電極としての３！Ｊ電性被膜
を設け、更に前記外筒と内筒との間に原料ガスの流通杼
路を形成させ、かつ前記内筒の内側を外気に対し連通状
態として、その下部に冷却空気を送り出すための給気装
置を取付け、一方、前記の放電電極に対して高圧交流電
源を接続したことを特徴とするオゾン発生装囮に係るも
のである。

［作　　用］ 本発明によれば、オゾンの発生に必要な無声放電は石英
材または硝子材の誘電体からなる内、外画円筒の間隙内
で行なわれて、電子が直接金属面に衝突することがない
ので、発生オゾン化ガス中に金属微粒子などの異物が混
入することがない。

また、前記無声放電が生起する個所、すなわち内外両円
筒は、その内周面と外周面とが、それぞれ冷却空気なら
びに冷却水で冷却されるから、当該ガスの温度が過度に
上昇することがないので、発生オゾン化ガス中のオゾン
濃度が所望の高さに高められる。その上、電極が露出し
ている前記内筒の冷却媒体として空気を用いたから、水
を使用する場合に較べ媒体の絶縁性に格別の考慮を払う
必要がない点で実用性が高い。更にまた必要に応じ、導
電性被膜からなる電極の端部近傍で発生し易い沿面放電
を防ぐための手段を組込むこともできるので、その場合
には悪臭の原因となる装置外へのオゾンの漏洩ないしは
不要部分でのオゾンの発生を未然に防止し、環境衛生的
にも有用性の高い装置が得られる。

［実施例］ 以下、本発明を実施例に即して具体的に説明する。本発
明のオゾン発生装置は、第１〜２図において、両端を開
基され内部を冷却水の循環路とされた金属材でなる筒状
の缶体２０と、この缶体２０の内部において、該缶体２
０の中央部を負通し、かつ石英材または硝子材と導電性
被膜とを主要部材とする断面中空のオゾン発生部２３を
主体とする装置である。

缶体２０の上下両端部には、中央部に貫通穴２４ａ、２
６ａを有する支持部材としての蓋体２４と２６とが配設
され、このうら、下側の蓋体２６の上面にフランジ２５
を介して前記の缶体２０をボルト締めし、一方、前記の
オゾン発生部は、これを前記蓋体と締付金具３３ａ、３
３ｂならびに弾力性を有するＯリングとを介して側方か
ら抱き込むようにして固定するのである（第４図参照）
。なお、前記の蓋体２４．２６に近接した部分には冷却
水室２７に連通ずる冷却水の排出口２７ｂならびに供給
口２７ａが設けられており、また前記缶体２０の下端開
口部には、侵で詳しく述べるように、冷即用送風機２８
を装着する。

オゾン発生部２３は、管径の異なる円筒状の外筒２１と
内筒２２とで形成し、これらを略同心状に配置して両者
間に空隙２９を形成させ、かつこの空隙２９の間隔は、
通常は１〜３ｍｍに保っておく。外筒２１と内ｎ２２の
両端面は、これら内外両筒と同一の材料からなるリング
状の封止部材３０ａ、３０ｂを用いて溶着密封する。オ
ゾン発生部２３の下端部にはオゾン化ガスの排出口２９
ａを該発生部２３の軸線に対して直角方向に溶着形成さ
せ、上端部には原料ガスの供給口２９ｂを該発生部２３
に対し平行に導出する。また、本発明においては、前記
オゾン発生部２３の主要部材である内外両円筒を、次の
ような誘電体で構成させるものである。すなわち、溶融
石英を代表例とする透明石英ガラス材、または溶融シリ
カからなる不透明石英ガラス材、若しくはケイ酸塩ガラ
スに代表される一般的ガラス材で構成され、これらのう
ち、電気絶縁耐力に優れる透明石英ガラス材を用いるの
が望ましく、その場合には他の素材を用いるのに較べ、
オゾン発生効率を向上させることができる。

外筒２１の外周面と内＠２２の内周面には、それぞれ例
えば銀系のフィラーとエポキシ樹脂をバインダーとする
導電性塗料を塗布し、これを放電電極３１および３２と
する。なお、この放電電極としては前記塗料に限らず、
水をベースとじたコロイド状黒鉛の濃縮体を塗布して形
成してもよく、また、アルミニウム等の全屈蒸着膜によ
り形成させても差支えなく、更に、金属溶射により電極
を形成させてもよい。但し、冷却水に接する外筒２１側
の電極３１は、これを耐水性の電極とすることを不可欠
とする。また、前記放電電極３１．３２の軸線方向にお
ける長さ（高さ）は、内外両筒ともほぼ同長とする場合
と後記のように、その高さを異ならしめる場合とがある
。

ところで、前記のように構成させたオゾン発生部２３を
缶体２０に装着する場合について説明すると、当該オゾ
ン発生部２３を貫通穴２６ｂ、２４ａを介して缶体２０
に挿通して、電極３１．３２の両端部が第１〜２図の装
置にあっては、蓋体２４．２６の内側に配置されるよう
に位置決めする。ちなみに、オゾン発生部２３における
原料ガス供給口２９ｂは、缶体２０の上部蓋体２４から
上方へ突出し、オゾン化ガスυ１出口２９ａは下部蓋体
２６の下方において装置外に突出するように設ける。な
お、外筒２１の外周面と蓋体貫通穴２４ａ　、２６ａ面
との間は前記の０リングおよび締め金具３３ａ１３３ｂ
を介して水密に保持されるように締め付ける。

次に、第１〜２図の実施例に特有な部分について説明す
ると、この実施例においては内筒２２の内周面に形成し
た導電性被膜３２の端部近傍、すなわち該端部とこの端
部に連接する内筒２２の内周面部分に、局部的に、例え
ばシリコンゴムなどの絶縁材３４ａ、３４ｂを塗布被覆
し、一方、外筒２１と蓋体２４．２Ｇの締結部近傍をも
同様な絶縁材３５ａ、３５ｂで隠蔽する。ここに述べる
絶縁材は、後で詳しく述べるが、電圧印加時に発生する
沿面放電を防止するためのものである。

次に、第１図および第３図に基き、電源に対する接続関
係について説明する。本装置における内筒側の導電性液
１１！２３２と、外筒側の同被膜３１の間に図に符号３
６で示す交流電源装置を接続する。すなわち、前記内筒
２２の内周面上方に、−例として第３図に示すような弾
性を具備した環状の導電リング３８を装着し、この部分
に前記電源３６の高圧部導線３７ａを接続すると共に、
他方の導線３７ｂについては、これを外側電極３１に連
ね、かつ冷却室２７内を通ってｍ体２０の外側に引出し
た導線３９の部分に接続した上で、これを接地するもの
である。なお、前記の導電リングに代えて第８図に示し
たような金属ブラシ状の接触子８を用いることもできる
。

また、冷却室２７内に引通させた前記の引出用導線３９
は、缶体内を循環する冷却水として電気伝導性を有しな
い純水を使用したときのみ取付ける必要があり、そうで
ない場合には付設する必要がない。

すなわち、冷却水として、通常の水道水またはそれと同
程度の高い電気伝導度を有する水を用いたとぎには、外
筒２１に接する冷却水そのものが接地電極になり得るか
らである。

更にまた本発明においては、前記缶体２０の下部開口側
に、給気装置としての送風機２８を取付けるもので、こ
の場合該送風機の支持金具４１を図示のような円錐形状
とし、かつ側面を密閉式として内筒２２の内部への通風
効果を向上させるようにしたものである。

ちなみに前記実施例においては、内外両円筒２１．２２
の双方に導電性被膜３１．３２を形成させているが、外
筒２２の外周面口と缶体２０の間の冷却室２７内に、水
道水等の電導性を有する冷却媒体と流通させる際には、
当該冷却Ｉｓ体そのものが電気的にみて他方の接地電極
として橢能する。したがってこの場合には外側の導電性
液Ｉ！１ｉ１３１を必らずしも形成させることを要しな
い。しかし、ファインケミカル用としては、冷却水とし
て純水を供給する場合が多いので、このような場合には
前記被膜３２を形成させ、かつ導体３９等を設けること
が必要となる。

進んで、先に述べた絶縁材３４．３５による沿面放電の
防止機能について説明する。第４図（イ）に示すように
導電性被膜３１と３２との間に高電圧を印加すると、図
に実線で示すように空隙２９内で無声放電が生ずる。こ
のとき、誘電体は電気伝導性が悲いので、被膜３２と内
ｎ２２の内側との間にも大きな電位差が生じ、そのため
導電性被膜３２の端部３２ｂの近傍で、破線で示すよう
な内筒２２の内面に沿った放電現象、いわゆる沿面放電
が発生する。このため、内筒２２の内部を流通する冷却
空気中の酸素が前記沿面放電によってオゾン化され、こ
のオゾンが冷却空気の出口である内筒２２の一端からそ
のまま外部へ放出されることとなる。かかる現象により
悪臭を右するオゾンがたとえ微量であれ装置外に漏洩す
ることは、好ましくない。

そこで本発明においては、必要に応じ、前記の沿面放電
を防ぐ手段を組込むことができるようにしたものであっ
て、その−例が前記第１図に符号３４ａおよび３４ｂで
示づ絶縁被覆である。これらの絶縁被覆は前記の沿面放
電が発生でる部位を、絶縁材で覆うことにより絶縁効果
が得られ、それによって無用な放電は生起しなくなるの
である。なお、前記のような絶縁被覆を施さない場合で
も、第４図口に示すように相対抗する電極間の相対距離
、すなわちそれぞれの導電性被膜の各端部３１ｂと３２
ｂ間の間隔りを少くとも５０ｍｍ以上にとれば、前記沿
面放電は生じないので、この場合に（ま絶縁材で被覆す
る必要がない。

ちなみに、外側電極３１の近傍に配置された益体２４お
よび２６との関係でも、前記の沿面放電が生じないよう
にするためには、次のような配慮をするのが望ましい。

一つは第４図ｑに示寸ように蓋体２６と電極端部３１ｂ
、３２ｂとの間隔を少くもなくも５０ＩＩＩｌ１以上と
して、放電が生じないだけの十分な距離をおく方法、第
二は、当該蓋体部分そのものを絶縁体で構成させる方法
であって、蓋体２４．２６ならびに締め金具３３を、例
えばテフロンなどの電気絶縁材で形成させるようになす
。第三は、第１図に明示するように、図中符号３５ａお
よび３５ｂで示す絶縁材で当該部位を被覆する方法であ
る。ちなみに、外側電極を綱部するための冷却媒体とし
て電気伝導性のよい水道水等を用いた場合には、外側電
極３１と蓋体２６との関係では沿面放電が発生する余地
がないが、この場合においても内側電極３２との間では
、沿面放電が生ずることが考えられる。

しかし、この場合においても第４図０に示すように該電
極３２と蓋体２Ｇとの相対距離を大きくって沿面放電が
生じない程度の間隔を設けておくのがよい。

第５図は、本発明によるオゾン発生装置の他の実施例を
示すもので、前記実施例と異なる部分は、原料ガスの供
給口とオゾン化ガスの排出口とを共に缶体に設けるよう
に構成した点である。なお、前記実施例と同一部材には
同一符号を付し、重複した説明は省略する。

図において、缶体４０の上下両端部には閉塞蓋体４１ａ
、４１ｂが設けられ、更にこれら蓋体の内側にそれぞれ
仕切板４２ａ、４２ｂを取付けてイオン化ガス室４８ａ
と原料ガス室４８ｂとを区画形成する。イオン発生部４
３は、外筒４４と内８４５からなり、外筒４４の上下両
端における側方に開孔４４ａおよび４４ｂを穿設し、こ
れら開口部をそれぞれ原料ガスの導入口ならびにイオン
化ガスの排出口とする。なお、イオン発生部４３はＯリ
ング４６ａ　、　４６ｂを介して前記の仕切板４２ａ、
４２ｂに対しても気密状態で支持されている。また、こ
の実施例においては、符号４９で示す円錐体形状の支持
板を装置の装置の上方に取付け、この支持板を介して冷
却空気を送り込むための給気装置２８を装着した。符号
５０は、支持板４９と缶体４０端面との間に形成させた
冷却空気室である。

ちなみに、本実施例においては蓋体４１ａ、４１ｂと内
側電極３２の端部との間の間隔は球面放電が生じない充
分な間隔に設定されているので、蓋体の近傍には前記実
施例における絶縁材で被覆する必要がない。

なお、本装置を第５図に示すように構成させたときには
、第１〜２図の場合に較べ装置全体をコンパクトにまと
めることができる。

本発明の装置は、上記のような構成を有するものであっ
て、当該装置の供給ロ２７ａ１排出口２７ｂを通じて冷
却室２７内に冷却水を循環させ、一方、冷却空気を送１
１１ｉ２８を介してオゾン発生部における内筒２２の内
部に流通させる。かかる状態下に供給口２９ｂから、原
料ガスとしての酸素または乾燥空気を放電域をなす空隙
２９内に向って供給すると共に、電源装置３６から導１
Ｉ３７ａおよび導電リング３８を介して交流高電圧を両
’；ｊ［ｉ３１．３２間に印加すると、誘電体で構成さ
れた内、外筒２２と２１の間に電荷が蓄積されてゆき、
これが空隙２９の絶縁が破壊されるレベルに達すると、
前記両電極間の空隙２９内で無声放電が発生する。これ
により空隙２９内の原料ガスがオゾン化し、このオゾン
化ガスが連続して排出口２９ａから導出される。

第５図に示す構成の装置にあっても前記と同様に作用し
、冷却水は供給ロ２７ａ１排出口２７ｂを介して冷却室
２７を循環流通する。一方、冷却空気は送１！１８１２
８を介して内筒４５の内部に送り込まれ、かくして効率
的な冷却作用の下に、原料ガスがオゾン化されて排出口
２９ａより取り出されるのである。

すなわち、前記実施例の場合と同様に、高純度且つ高Ｓ
度のイオン化ガスが開孔４４ａおよびイオン化ガス室４
８ｂを経由して機外に導出される。

［効　　果］ 本発明の装置によれば、前記の無声放電域に金属材料や
有機物質が全く用いられていないので、従来のオゾン発
生装置におけるように、金属やその他の微粒子が電子に
よって叩き出されることがなく、したがって高純度のオ
ゾン化ガスが得られる。また、オゾン発生部２３の発熱
部である外筒２１の外周面は、これを゛外側から冷却水
により積極的に冷却させると共に、他方の内筒２２の内
周面をも冷却空気により強制的に冷却するようにしてい
るので、空隙２９内の温度が過度に上昇することもなく
、したがって従来のオゾン発生装置では得られない高濃
度のオゾン化ガスが得られる。

したがってまた、本発明によれば、ファインケミカル用
として要請される強い酸化力をもち、しかも製品に欠陥
を生じさせることのない高濃度且つ高純度のオゾン化ガ
スが連続して得られるのである。その上、沿面放電を防
ぐ必要がある場合にも、前述のように冷却空気が流通す
る内筒側の導電性被膜３２の端部近傍ならびに外筒２１
と蓋体２４．２Ｇの締結部近傍を、絶縁被覆するか、あ
るいは相対向する電極の相対距離を離すかして無用な放
電現象を抑止することかできるという効果を発揮し、環
境衛生的にも害毒を誘発することのない安全なイオン発
生装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発−明によるオゾン発生装置の一実施例の縦
断面図、第２図は第１図の■−■線における断面図、第
３図は第１図のオゾン発生装置におけるリング状接触子
の斜視図、第４図は第１図のＡ部の拡大図、第５図は本
発明によるオゾン発生装置の他の実施例の縦断面図、第
６図はオゾン発生装置の従来例の縦断面図、第７図は第
６図の■−■線における断面図、第８図は第６図のオゾ
ン発生装置におけるスペーサの平面図である。 ２０．４０・・・缶体、２１．４４・・・外筒、２２．
４５・・・内筒、２３．４３・・・イオン発生部、２７
・・・冷却水室、２８・・・送風機、２９・・・空隙、
３１．３２・・・導電性被膜、３４．３５・・・絶縁材
、３６・・・電源装置、３８・・・接触子、３９・・・
可撓性導体、４２・・・仕切板、４８ａ・・・原料ガス
室、４８ｂ・・・イオン化ガス室。 出　願　人　　日本オゾン株式会礼 代　　理　　人　　　芦　　１）　直　　衛第１図 第５図 第２図 ！ 第３図 第４図（イ） 第４図（０） ９１６図 第７因　　　　　第８図 手続補正書゛ 昭和６２年１０月１６日 持詐庁長官　小川邦夫　殿 １、事（１の表示 昭和６１年特許願第１６８０７７号 ２．５？明の名称 オゾン発生装置 ３、補正をする省 事件との関係　　特￥１出願人 日本オゾン株式公判 ４、代理人 〒１０５東京都港１メ西新橋１−１８−１４小甲会館５
、補＋［の対象 明［１よ中「特ム′１請求の範囲」　１発明の詳細な説
明」６、補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙のとおり訂正する。 （２）明［１害第１０頁第９行の「そのＦ部］を「その
上部または一ト部」と訂正する。 （３）同、第１１頁１８行の［金属材でなる１を「金Ｉ
ＩＭ材からなるＪと訂正′する。 （４）同、第１２頁第１行〜２行の「・・・発生部を１
体とする必要である」の記載を「オゾン発、生部２３と
で、イの主体が構成されている。Ｊとａ■正する。 （５）同、第１１頁第１行の［外筒２２の外周面口」を
「外商２２の外周面」と訂正する。 （６）同、第１８頁第１３行の「相対抗する」を「相対
向する」と訂正する。 （７）同、第１９頁第２行の１°少く−６なくも」を１
少くも」と、また同頁第１０行の［例１１　Ｊを［冷Ｉ
Ｎにそれぞれ■」正する。 （８）同、第２０頁第７行へ・８行の「イオン化ガス室
４８ａと原料ガス室」を１原料ガス室４８ａとイオン化
ガス室」と訂正し、また、同頁第１０行と第１４行の「
イオン発生部４３」をそれぞれ「イオン発生部４０ａ」
と訂ｊ］する。 （９）同、同頁第１６行の「装置の」を削除する。 （１０）同、第２１頁第２行の１球面ｔＩｌ電」を「沿
面放電」と訂正し、また、同頁第１８行の「外筒２２と
２１の聞［の次に１（第５図の実施例では４５と４４の
聞）」を加入りる。 （１１）ｌｉｉｌ、第２２頁第３行の「連続して排出口
２９ａ」の次に［または２９ｂ（第５図）］を加入し、
また、同頁第１９行の「外筒２１」の次に「または４４
」を加入する。 （１２）ｌｉｊｌ、第２３頁第１行の「他方の内筒２２
」の次に「または４５］を加入する。 （１３）第１図、第４図及び第５図を別紙の通り訂正す
る。 以　　　　上 ［別　　紙］ 特許請求の範囲 １　冷加水の循環を１１能とした缶体の内部において、
該主体を１通するように、外筒Ｊ３よび内筒から成る内
外二重の筒体をほぼ同心状に配設すると共に、該筒体を
何れも石英材または硝子材で構成させた、Ｌで、少くと
も前記内筒の内周面に放電電極としての導電性被膜を設
け、更に前記外筒と内筒との間に原料ガスの流通経路を
形成させ、かつ前記内筒の内側を外気に対し連通状態と
して、その、ｈＭまたは下部に冷却空気を送り出Ｊため
の給気装置を取付け、一方、前記の放電電極に対してａ
圧交流電源を接続したことを特徴とするオゾン発生装置
。 ２　前記外筒の外周面と前記内筒の内周面とに、ほぼ同
一の高さを有する導電性被膜を形成させ、かつ内筒側の
導電性被膜の上−ト両端部を電気的絶縁物質で被覆する
と共に、外筒側の上下両端部近傍における外筒の支持部
材を電気的絶縁物質とするか、或いは前記支持部材を非
絶縁物質としたとぎは、該支持部材と外筒との境界部分
を絶縁物質で被覆した特許請求の範囲第１　Ｉｎ記載の
オゾン発生装置。 ３　前記外筒の外周面と前記内筒の内周面とに、それぞ
れ形成させた導電性被膜の良ざを、内筒側を外筒側に対
して長くし、その間の長さの差を少くも５０＃１ｍとし
た特許請求の範囲第１項または第２項記載のオゾン発生
装置。 ４　前記外筒および内筒を溶融石英材で形成した特許請
求の範囲第１項ないし第３項の何れかに記載のオゾン発
生装置。 ５　前記導電性被膜を金属粉をフィラーとした樹脂材で
形成した特許請求の範囲第１項ないし第４項の何れかに
記載のオゾン発生装置。 第１図 第４図（イ） 第４図（ロ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　冷却水の循環を可能とした缶体の内部において、該
   缶体を貫通するように、外筒および内筒から成る内外二
   重の筒体をほぼ同心状に配設すると共に、該筒体を何れ
   も石英材または硝子材で構成させた上で、少くとも前記
   内筒の内周面に放電電極としての導電性被膜を設け、更
   に前記外筒と内筒との間に原料ガスの流通経路を形成さ
   せ、かつ前記内筒の内側を外気に対し連通状態として、
   その下部に冷却空気を送り出すための給気装置を取付け
   、一方、前記の放電電極に対して高圧交流電源を接続し
   たことを特徴とするオゾン発生装置。 ２　前記外筒の外周面と前記内筒の内周面とに、ほぼ同
   一の高さを有する導電性被膜を形成させ、かつ内筒側の
   導電性被膜の上下両端部を電気的絶縁物質で被覆すると
   共に、外筒側の上下両端部近傍における外筒の支持部材
   を電気的絶縁物質とするか、或いは前記支持部材を非絶
   縁物質としたときは、該支持部材と外筒との境界部分を
   絶縁物質で被覆した特許請求の範囲第１項記載のオゾン
   発生装置。 ３　前記外筒の外周面と前記内筒の内周面とに、それぞ
   れ形成させた導電性被膜の長さを、内筒側を外筒側に対
   して長くし、その間の長さの差を少くも５０ｍｍとした
   特許請求の範囲第１項または第２項記載のオゾン発生装
   置。 ４　前記外筒および内筒を溶融石英材で形成した特許請
   求の範囲第１項ないし第３項の何れかに記載のオゾン発
   生装置。 ５　前記導電性被膜を金属粉をフィラーとした樹脂材で
   形成した特許請求の範囲第１項ないし第４項の何れかに
   記載のオゾン発生装置。