JP2002517072A5 - - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】 閉鎖ボリュームを定めるハウジング、このハウジングは少なくとも一つの導電性壁を含む；
該閉鎖ボリューム内に位置する導電性部材；および
該閉鎖ボリューム内で該導電性部材と該ハウジングの導電性壁との間に位置する複数の誘電体を含む放射発生ランプであって、
ここに、該複数の誘電体の少なくとも一つがエネルギー放射を発生できるガスを含み、
ここに、該複数の誘電体の第２のものがエネルギー放射で処理される第１の液体を含み、
ここに、該複数の誘電体の第３のものが第２の液体を含み、
ここに、該ガスが該第１および第２の液体の間に位置することを特徴とする該放射発生ランプ。
【請求項２】 該導電性部材が高圧ＡＣエネルギー電源と電気的接続している請求項１に記載の放射発生ランプ。
【請求項３】 該導電性部材がパイプである請求項１に記載の放射発生ランプ。
【請求項４】 該パイプが該第１または第２の液体の供給源と導通している請求項３に記載の放射発生ランプ。
【請求項５】 該第１または第２の液体が該パイプを通って該定められたボリュームに流入する請求項３に記載の放射発生ランプ。
【請求項６】 該第１または第２の液体が冷却剤として働く請求項５に記載の放射発生ランプ。
【請求項７】 該ハウジングが該パイプ用の入口をさらに含み、該ハウジングが該パイプを通って該ハウジングに流入する該第１または第２の液体の流出を許可するように適合された出口をさらに含む請求項３に記載の放射発生ランプ。
【請求項８】 該ガスがガス閉鎖容器内に含有されるエキシマーガスである請求項１に記載の放射発生ランプ。
【請求項９】 該ガス閉鎖容器が第１および第２の壁によって定められ、該第１および第２の壁は各々該複数の誘電体のうちの一つを含む請求項８に記載の放射発生ランプ。
【請求項１０】 該ガス閉鎖容器の第１および第２の壁が水晶で作製されている請求項９に記載の放射発生ランプ。
【請求項１１】 該ガスがキセノン、臭素およびそれらの混合物よりなる群から選択されるエキシマーガスである請求項１に記載の放射発生ランプ。
【請求項１２】 該第１および第２の液体が同一である請求項１に記載の放射発生ランプ。
【請求項１３】 該ガスがガス閉鎖容器内部にあり、該ガス閉鎖容器が、該導電性部材および該導電性ハウジングから、それぞれ、該第１および第２の液体によって電気的に隔離されている請求項１２に記載の放射発生ランプ。
【請求項１４】 第１および第２の間隔を開けて配置された電極ならびに該第１および第２の間隔を開けて配置された電極の間に位置する放電発生できるガスを含有するガス閉鎖容器を含む放電アッセンブリーであって、該第１の電極と該ガス閉鎖容器との間に第１の液体および該ガス閉鎖容器と該第２の電極との間に第２の液体を含むことを特徴とする該放電アッセンブリー。
【請求項１５】 第１の電極がパイプであって、第１および第２の液体のうちの少なくとも１が該パイプを通過する請求項１４に記載の放電アッセンブリー。
【請求項１６】 該第２の電極がハウジングの壁であって、該第１の電極、ガス閉鎖容器およびガスが該ハウジング内に位置する請求項１４に記載の放電アッセンブリー。
【請求項１７】 放射発生ランプである請求項１４に記載の放電アッセンブリー。
【請求項１８】 該ガス閉鎖容器が水晶で作製された１以上の誘電体壁によって定められる請求項１７に記載の放電アッセンブリー。
【請求項１９】 該第１および第２の液体が同一組成を有する請求項１４に記載の放電アッセンブリー。
【請求項２０】 該ガスがエキシマーガスである請求項１４に記載の放電アッセンブリー。
【請求項２１】 第１および第２の液体のうち少なくとも一つが誘電体冷却液体として働く請求項１４に記載の放電アッセンブリー。
【請求項２２】 第１および第２の液体のうち少なくとも一つが該ガスからの放電で処理される液体である請求項１４に記載の放電アッセンブリー。
【請求項２３】 放射発生ランプで液体を処理する方法であって、
（ａ）第１および第２の電極を含む処理チャンバーおよび該第１および第２の電極の間に位置する放電発生できるガスを含有するガス閉鎖容器を供給し；
（ｂ）該第１の電極と該ガス閉鎖容器との間に第１の液体を導入し、該第１の液体は少なくともある部分該第１の電極と該ガス閉鎖容器との間の誘電体として働く；次いで、
（ｃ）該第２の電極と該ガス閉鎖容器との間に第２の液体を導入し、該第２の液体は少なくともある部分該第２の電極と該ガス閉鎖容器との間の第２の誘電体として働く該方法。
【請求項２４】 該第１の電極がパイプを含み、該第１および第２の液体のうち少なくとも一つが該パイプを通して導入される請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】 該第１および第２の液体のうち少なくとも一つが出口を通って該処理チャンバーから流出する請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】 該ガス閉鎖容器が第１および第２の壁によって定められ、該第１および第２の誘電体壁が水晶で作製されている請求項２３に記載の方法。
【請求項２７】 該第１および第２の液体のうち少なくとも一つが該ガスからの放電によって処理される液体である請求項２３に記載の方法。
【請求項２８】 該処理される液体が、他の液体が該処理チャンバーに導入される速度を超える速度にて、該処理チャンバーに導入される請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】 該ガスがエキシマーガスであって、該処理が該第１および第２の液体のうちの少なくとも一つの精製を含む請求項２３に記載の方法。