JPH08248199A - 紫外線照射装置 - Google Patents
紫外線照射装置Info
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- JPH08248199A JPH08248199A JP5222795A JP5222795A JPH08248199A JP H08248199 A JPH08248199 A JP H08248199A JP 5222795 A JP5222795 A JP 5222795A JP 5222795 A JP5222795 A JP 5222795A JP H08248199 A JPH08248199 A JP H08248199A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 発生する紫外線を有効に利用しうる、簡単な
構造で紫外線照射効率の高い紫外線照射装置を提供す
る。 【構成】 原料ガス導入口９を有するテフロン板６、６
と内面にアルミ蒸着したステンレス電解研磨管４とで円
筒容器を構成する。この円筒容器内に一対のグラスライ
ニング電極１、１を容器長手方向に沿って配置する。容
器中心部の長手方向には、被処理流体の流通する石英ガ
ラス管５が配置されている。
構造で紫外線照射効率の高い紫外線照射装置を提供す
る。 【構成】 原料ガス導入口９を有するテフロン板６、６
と内面にアルミ蒸着したステンレス電解研磨管４とで円
筒容器を構成する。この円筒容器内に一対のグラスライ
ニング電極１、１を容器長手方向に沿って配置する。容
器中心部の長手方向には、被処理流体の流通する石英ガ
ラス管５が配置されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、紫外線を用いて超純水
装置や排水処理回収装置や原子力発電所一次冷却水等の
中の有機物質（ＴＯＣ）を分解するのに好適な紫外線照
射装置に関する。
装置や排水処理回収装置や原子力発電所一次冷却水等の
中の有機物質（ＴＯＣ）を分解するのに好適な紫外線照
射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】特定
の気体を封入した容器内に一定電圧を負荷して放電を行
わせることにより特定波長の紫外線を取り出し、この紫
外線を被処理液に照射して化学変化を起こそうとする場
合、発生した紫外線はランダムな方向に放射されるた
め、お互いに衝突してそのエネルギーが減衰される。例
えば、この種の装置として、図１６に示すように、内側
の石英ガラス管５１に金属メッキ５２（または金属蒸着
もしくは金属溶射）を施し、その外側の石英ガラス管５
３に金網５４を巻きつけ、この金網５４を水槽５５内の
被処理水５６から隔離するために、さらにその外側に石
英ガラス管５７が配され、石英ガラス管５１、５３で形
成される密閉空間５８内には希ガスが封入され、電源５
９により金属メッキ５２と金網５４との間に一定電圧を
印加し、もって放電を行わしめる構造のものが知られて
いる。しかし、このように金網保護用の石英ガラス管５
７を設置すると、石英ガラス管５７および密閉空間６０
に紫外線が吸収されるため、紫外線照射効率が低くな
る。その結果、目的とする被処理水５６中の有機物分解
処理効率が低下してしまう。また、内面側の紫外線は有
効に利用できないという欠点がある。さらに、石英ガラ
ス管５１や５３を複雑な形状に加工する必要があるた
め、水処理用の大型設備に適用するのは困難である。
の気体を封入した容器内に一定電圧を負荷して放電を行
わせることにより特定波長の紫外線を取り出し、この紫
外線を被処理液に照射して化学変化を起こそうとする場
合、発生した紫外線はランダムな方向に放射されるた
め、お互いに衝突してそのエネルギーが減衰される。例
えば、この種の装置として、図１６に示すように、内側
の石英ガラス管５１に金属メッキ５２（または金属蒸着
もしくは金属溶射）を施し、その外側の石英ガラス管５
３に金網５４を巻きつけ、この金網５４を水槽５５内の
被処理水５６から隔離するために、さらにその外側に石
英ガラス管５７が配され、石英ガラス管５１、５３で形
成される密閉空間５８内には希ガスが封入され、電源５
９により金属メッキ５２と金網５４との間に一定電圧を
印加し、もって放電を行わしめる構造のものが知られて
いる。しかし、このように金網保護用の石英ガラス管５
７を設置すると、石英ガラス管５７および密閉空間６０
に紫外線が吸収されるため、紫外線照射効率が低くな
る。その結果、目的とする被処理水５６中の有機物分解
処理効率が低下してしまう。また、内面側の紫外線は有
効に利用できないという欠点がある。さらに、石英ガラ
ス管５１や５３を複雑な形状に加工する必要があるた
め、水処理用の大型設備に適用するのは困難である。
【０００３】本発明は従来の技術の有するこのような問
題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、発生
する紫外線を有効に利用しうる、簡単な構造で紫外線照
射効率の高い紫外線照射装置を提供することにある。
題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、発生
する紫外線を有効に利用しうる、簡単な構造で紫外線照
射効率の高い紫外線照射装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の要旨は、ガスを封入した容器の内面を紫外線
反射材料で構成するとともに該容器内に少なくとも一対
のグラスライニング電極を配置して放電空間を形成し、
紫外線透過材料からなる被処理流体の流通する管体を上
記容器中心部に配置したことを特徴とする紫外線照射装
置を第一の発明とし、ガスを封入した紫外線透過材料か
らなる容器内に少なくとも一対のグラスライニング電極
を配置して放電空間を形成するとともに該容器の中心部
に紫外線反射材料を配置し、上記容器の外側に配置した
外壁管内面と容器外面との間に形成された開口部に被処
理流体を流通させることを特徴とする紫外線照射装置を
第二の発明とし、上記第一または第二の発明において、
電極が内面側を金属材料とし、外面側をグラスライニン
グ材料とする管状構造であって、内面側の金属材料を貫
通するように冷媒流通経路を形成したことを特徴とする
紫外線照射装置を第三の発明とし、平行に配置した平板
状グラスライニング電極間を紫外線透過窓を有する電気
絶縁材料で接続することによって形成した容器内にガス
を封入して放電空間を形成し、該放電空間内に紫外線反
射板を配置することを特徴とする紫外線照射装置を第四
の発明とし、平行に配置した平板状グラスライニング電
極間を紫外線反射材料からなる内面を有する筒体で接続
することによって形成した容器内にガスを封入して放電
空間を形成し、紫外線透過材料からなる被処理流体の流
通する管体を上記電極または筒体を貫通するように配置
したことを特徴とする紫外線照射装置を第五の発明と
し、平行に配置した平板状グラスライニング電極間を電
気絶縁材料で接続することによって形成した容器内にガ
スを封入して放電空間を形成し、上記各電極に複数の紫
外線透過窓を分散して配置したことを特徴とする紫外線
照射装置を第六の発明とし、上記第四の発明において、
紫外線反射板の形状が曲面状であることを特徴とする紫
外線照射装置を第七の発明とし、上記第一、第二、第
三、第四、第五、第六または第七の発明において、容器
内に封入するガスが、希ガスまたは希ガスとハロゲンガ
スとの混合ガスであることを特徴とする紫外線照射装置
を第八の発明とする。
に本発明の要旨は、ガスを封入した容器の内面を紫外線
反射材料で構成するとともに該容器内に少なくとも一対
のグラスライニング電極を配置して放電空間を形成し、
紫外線透過材料からなる被処理流体の流通する管体を上
記容器中心部に配置したことを特徴とする紫外線照射装
置を第一の発明とし、ガスを封入した紫外線透過材料か
らなる容器内に少なくとも一対のグラスライニング電極
を配置して放電空間を形成するとともに該容器の中心部
に紫外線反射材料を配置し、上記容器の外側に配置した
外壁管内面と容器外面との間に形成された開口部に被処
理流体を流通させることを特徴とする紫外線照射装置を
第二の発明とし、上記第一または第二の発明において、
電極が内面側を金属材料とし、外面側をグラスライニン
グ材料とする管状構造であって、内面側の金属材料を貫
通するように冷媒流通経路を形成したことを特徴とする
紫外線照射装置を第三の発明とし、平行に配置した平板
状グラスライニング電極間を紫外線透過窓を有する電気
絶縁材料で接続することによって形成した容器内にガス
を封入して放電空間を形成し、該放電空間内に紫外線反
射板を配置することを特徴とする紫外線照射装置を第四
の発明とし、平行に配置した平板状グラスライニング電
極間を紫外線反射材料からなる内面を有する筒体で接続
することによって形成した容器内にガスを封入して放電
空間を形成し、紫外線透過材料からなる被処理流体の流
通する管体を上記電極または筒体を貫通するように配置
したことを特徴とする紫外線照射装置を第五の発明と
し、平行に配置した平板状グラスライニング電極間を電
気絶縁材料で接続することによって形成した容器内にガ
スを封入して放電空間を形成し、上記各電極に複数の紫
外線透過窓を分散して配置したことを特徴とする紫外線
照射装置を第六の発明とし、上記第四の発明において、
紫外線反射板の形状が曲面状であることを特徴とする紫
外線照射装置を第七の発明とし、上記第一、第二、第
三、第四、第五、第六または第七の発明において、容器
内に封入するガスが、希ガスまたは希ガスとハロゲンガ
スとの混合ガスであることを特徴とする紫外線照射装置
を第八の発明とする。
【０００５】本発明における放電には、無声放電、コロ
ナ放電およびグロー放電が含まれる。紫外線反射材料と
しては、例えば、金属材料の全面にアルミを蒸着したも
のや金属材料の表面を研磨仕上げしたもの、反射面に誘
電体多層膜をコーティングした反射鏡またはガラス部分
が合成石英ガラスである鏡などを使用することができ
る。
ナ放電およびグロー放電が含まれる。紫外線反射材料と
しては、例えば、金属材料の全面にアルミを蒸着したも
のや金属材料の表面を研磨仕上げしたもの、反射面に誘
電体多層膜をコーティングした反射鏡またはガラス部分
が合成石英ガラスである鏡などを使用することができ
る。
【０００６】紫外線透過材料としては、例えば、石英ガ
ラスまたはＣａＦ2 を使用することができる。封入ガス
として、Ｎ2 、Ｈ2 、Ｄ2 （重水素）、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａ
ｒ、Ｋｒ、Ｘｅ、Ｆ2 、Ｃｌ2 、Ｂｒ2 、ＨＣｌ、ＳＦ
6 等の単独のものまたは複数を混合したものを使用する
ことができる。好ましくは、希ガスまたは希ガスとハロ
ゲンガスとの混合ガスを封入するのがよい。
ラスまたはＣａＦ2 を使用することができる。封入ガス
として、Ｎ2 、Ｈ2 、Ｄ2 （重水素）、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａ
ｒ、Ｋｒ、Ｘｅ、Ｆ2 、Ｃｌ2 、Ｂｒ2 、ＨＣｌ、ＳＦ
6 等の単独のものまたは複数を混合したものを使用する
ことができる。好ましくは、希ガスまたは希ガスとハロ
ゲンガスとの混合ガスを封入するのがよい。
【０００７】紫外線反射板の形状は曲面状でも平板状で
もよいが、曲面状の方が集光しやすいのでより好まし
い。曲面状のものとしては、球面状または凹レンズ状の
ものを使用することができる。
もよいが、曲面状の方が集光しやすいのでより好まし
い。曲面状のものとしては、球面状または凹レンズ状の
ものを使用することができる。
【０００８】
【作用】内面が紫外線反射材料で構成された容器（図１
の４）内にある種のガスを封入し、容器内に配置した少
なくとも一対のグラスライニング電極間（図１の１、
１）に所定の電圧を印加すると放電が起こる。これをプ
ラズマ状態といい、ある種の発光現象が起こる。そのエ
ネルギーにより、封入ガスとして希ガスまたは希ガスと
ハロゲンガスとの混合ガスを用いた場合、これらのガス
が励起されて２量体（いわゆる「エキシマ」）が生成
し、そのエキシマが分解するとき、単一波長の紫外線が
発生する。この容器中心部に紫外線透過材料からなる管
体（図１の５）を入れると、発生した紫外線は容器内面
で反射増幅されて管体に向けて集中的に照射され、この
管体内を流通する被処理流体の化学反応が促進される。
の４）内にある種のガスを封入し、容器内に配置した少
なくとも一対のグラスライニング電極間（図１の１、
１）に所定の電圧を印加すると放電が起こる。これをプ
ラズマ状態といい、ある種の発光現象が起こる。そのエ
ネルギーにより、封入ガスとして希ガスまたは希ガスと
ハロゲンガスとの混合ガスを用いた場合、これらのガス
が励起されて２量体（いわゆる「エキシマ」）が生成
し、そのエキシマが分解するとき、単一波長の紫外線が
発生する。この容器中心部に紫外線透過材料からなる管
体（図１の５）を入れると、発生した紫外線は容器内面
で反射増幅されて管体に向けて集中的に照射され、この
管体内を流通する被処理流体の化学反応が促進される。
【０００９】また、容器が紫外線透過材料からなる場合
（図２の１２）、発生した紫外線の一部は容器を直接透
過し、他の紫外線は容器の中心部に配置した紫外線反射
材料（図２の１３）で反射された後容器を透過し、この
ようにして強度を高められた紫外線により容器外面側を
流通する被処理流体の化学反応が促進される。
（図２の１２）、発生した紫外線の一部は容器を直接透
過し、他の紫外線は容器の中心部に配置した紫外線反射
材料（図２の１３）で反射された後容器を透過し、この
ようにして強度を高められた紫外線により容器外面側を
流通する被処理流体の化学反応が促進される。
【００１０】また、平行に配置した平板状グラスライニ
ング電極（図３の１８、１８）と電気絶縁材料（図３の
２２）で囲まれた容器内に希ガスまたは希ガスとハロゲ
ンガスとの混合ガスを封入し、平板状電極間に所定の電
圧を印加すると放電が起こり、同上作用により単一波長
の紫外線が発生する。放電空間内に曲面状の紫外線反射
板（図３の２４）がある場合、発生した紫外線は紫外線
反射板で反射増幅されて紫外線透過窓を透過し、強度の
高い紫外線が照射され、被処理流体の化学反応が促進さ
れる。
ング電極（図３の１８、１８）と電気絶縁材料（図３の
２２）で囲まれた容器内に希ガスまたは希ガスとハロゲ
ンガスとの混合ガスを封入し、平板状電極間に所定の電
圧を印加すると放電が起こり、同上作用により単一波長
の紫外線が発生する。放電空間内に曲面状の紫外線反射
板（図３の２４）がある場合、発生した紫外線は紫外線
反射板で反射増幅されて紫外線透過窓を透過し、強度の
高い紫外線が照射され、被処理流体の化学反応が促進さ
れる。
【００１１】さらに、平行に配置した平板状グラスライ
ニング電極（図１０の３１、３２または図１２の３６、
３７）と紫外線反射材料からなる内面を有する筒体（図
１０の３４または図１２の３８）で囲まれた容器内に希
ガスまたは希ガスとハロゲンガスとの混合ガスを封入
し、平板状電極間に所定の電圧を印加すると放電が起こ
り、同上作用により単一波長の紫外線が発生する。発生
した紫外線は筒体内面で反射増幅されて電極または筒体
を貫通するように配置した紫外線透過材料からなる管体
（図１０の３５または図１２の３９）に向けて集中的に
照射され、この管体内を流通する被処理流体の化学反応
が促進される。
ニング電極（図１０の３１、３２または図１２の３６、
３７）と紫外線反射材料からなる内面を有する筒体（図
１０の３４または図１２の３８）で囲まれた容器内に希
ガスまたは希ガスとハロゲンガスとの混合ガスを封入
し、平板状電極間に所定の電圧を印加すると放電が起こ
り、同上作用により単一波長の紫外線が発生する。発生
した紫外線は筒体内面で反射増幅されて電極または筒体
を貫通するように配置した紫外線透過材料からなる管体
（図１０の３５または図１２の３９）に向けて集中的に
照射され、この管体内を流通する被処理流体の化学反応
が促進される。
【００１２】そして、平行に配置した平板状グラスライ
ニング電極（図１４の４１、４１）の各々に複数の紫外
線透過窓（図１４の４２）が分散して配置されている場
合、放電空間（図１４の４５）で発生した紫外線はいず
れかの紫外線透過窓を透過し、被処理流体に照射されて
所定の化学反応が促進される。
ニング電極（図１４の４１、４１）の各々に複数の紫外
線透過窓（図１４の４２）が分散して配置されている場
合、放電空間（図１４の４５）で発生した紫外線はいず
れかの紫外線透過窓を透過し、被処理流体に照射されて
所定の化学反応が促進される。
【００１３】かくして本発明によれば、発生した紫外線
を遮るものはなく、高効率で被処理物に照射され、被処
理物の化学反応が促進される。
を遮るものはなく、高効率で被処理物に照射され、被処
理物の化学反応が促進される。
【００１４】さらに、電極が冷媒流通経路を有する管状
構造であれば、電極内に冷媒を通入することにより、電
極温度が一定以下に保持され、よりスムーズに放電現象
が進行する。
構造であれば、電極内に冷媒を通入することにより、電
極温度が一定以下に保持され、よりスムーズに放電現象
が進行する。
【００１５】
【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。図１は本
発明の紫外線照射装置の断面図であり、図１（ａ）は縦
断面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図で
ある。図１において、１はグラスライニング２を施した
金属管３（外径１０mm、長さ１０００mm）からなる電極
で、一対の電極１、１が内面にアルミ蒸着したステンレ
ス電解研磨管４内の長手方向に亘って配置されている。
さらにステンレス電解研磨管４の中心部長手方向には、
石英ガラス管５（外径１０mm、長さ１０００mm）が配置
されている。６は電気絶縁性のテフロン板で、装置内外
を隔離するとともに、電極１、石英ガラス管５を固定す
るものである。金属管３内の冷媒流通経路７には、通入
口８から冷却水が通入される。９は封入ガス導入口であ
る。１０は交流電源であり、絶縁被覆電線１１を経て金
属管３と接続されている。
発明の紫外線照射装置の断面図であり、図１（ａ）は縦
断面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図で
ある。図１において、１はグラスライニング２を施した
金属管３（外径１０mm、長さ１０００mm）からなる電極
で、一対の電極１、１が内面にアルミ蒸着したステンレ
ス電解研磨管４内の長手方向に亘って配置されている。
さらにステンレス電解研磨管４の中心部長手方向には、
石英ガラス管５（外径１０mm、長さ１０００mm）が配置
されている。６は電気絶縁性のテフロン板で、装置内外
を隔離するとともに、電極１、石英ガラス管５を固定す
るものである。金属管３内の冷媒流通経路７には、通入
口８から冷却水が通入される。９は封入ガス導入口であ
る。１０は交流電源であり、絶縁被覆電線１１を経て金
属管３と接続されている。
【００１６】上記のような構造の紫外線照射装置を用い
て紫外線照射実験を行ったので、以下に説明する。
て紫外線照射実験を行ったので、以下に説明する。
【００１７】通入口８から金属管３内の冷媒流通経路７
に冷却水を通入し、封入ガス導入口９から装置内にＸｅ
ガスを導入し、石英ガラス管５内に原子力発電所１次冷
却水を流した。そして、電源１０により電極１、１間に
５ｋＶ、２０ｋＨｚの電圧を印加したところ、電極１、
１間に放電が起こり、Ｘｅガスのエキシマが生成すると
ともに速やかに分解して１７２ｎｍの単一波長の紫外線
が発生した。このようにして装置内で発生して不特定の
方向に散乱する紫外線はステンレス電解研磨管４の表面
で反射増幅されて中心部に位置する石英ガラス管５に向
けて集中的に照射され、石英ガラス管５内を流通する原
子力発電所一次冷却水中の有機物が迅速に分解され、炭
酸ガス等に変化したことが確認できた。
に冷却水を通入し、封入ガス導入口９から装置内にＸｅ
ガスを導入し、石英ガラス管５内に原子力発電所１次冷
却水を流した。そして、電源１０により電極１、１間に
５ｋＶ、２０ｋＨｚの電圧を印加したところ、電極１、
１間に放電が起こり、Ｘｅガスのエキシマが生成すると
ともに速やかに分解して１７２ｎｍの単一波長の紫外線
が発生した。このようにして装置内で発生して不特定の
方向に散乱する紫外線はステンレス電解研磨管４の表面
で反射増幅されて中心部に位置する石英ガラス管５に向
けて集中的に照射され、石英ガラス管５内を流通する原
子力発電所一次冷却水中の有機物が迅速に分解され、炭
酸ガス等に変化したことが確認できた。
【００１８】図２は本発明の紫外線照射装置の別の例を
示す断面図であり、図２（ａ）は縦断面図、図２（ｂ）
は図２（ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図である。図２におい
て、１２は石英ガラス管であり、この石英ガラス管１２
内には、一対の電極１、１とともに、その中心部にはス
テンレス電解研磨管１３が長手方向に亘って配置されて
いる。１４は被処理水通入口１５、排出口１６を有する
外壁管である。
示す断面図であり、図２（ａ）は縦断面図、図２（ｂ）
は図２（ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図である。図２におい
て、１２は石英ガラス管であり、この石英ガラス管１２
内には、一対の電極１、１とともに、その中心部にはス
テンレス電解研磨管１３が長手方向に亘って配置されて
いる。１４は被処理水通入口１５、排出口１６を有する
外壁管である。
【００１９】この図２の装置の場合も図１の装置と同様
の作用で電極１、１間での放電により紫外線が発生す
る。発生した紫外線の一部は石英ガラス管１２を透過
し、他の紫外線はステンレス電解研磨管１３の外面で反
射された後石英ガラス管１２を透過し、このようにして
強度を高められた紫外線により外壁管１４と石英ガラス
管１２との間の開口部１７を流通する被処理水中の有機
物は効率的に分解される。
の作用で電極１、１間での放電により紫外線が発生す
る。発生した紫外線の一部は石英ガラス管１２を透過
し、他の紫外線はステンレス電解研磨管１３の外面で反
射された後石英ガラス管１２を透過し、このようにして
強度を高められた紫外線により外壁管１４と石英ガラス
管１２との間の開口部１７を流通する被処理水中の有機
物は効率的に分解される。
【００２０】上記ステンレス電解研磨管４、１３に用い
られるステンレス管としては、電解研磨仕上げしたもの
の他に、電解研磨後に酸化性雰囲気中で高温酸化処理し
た後さらに酸液によりウエットエッチング処理を施した
ステンレス電解研磨管を使用することができる。
られるステンレス管としては、電解研磨仕上げしたもの
の他に、電解研磨後に酸化性雰囲気中で高温酸化処理し
た後さらに酸液によりウエットエッチング処理を施した
ステンレス電解研磨管を使用することができる。
【００２１】図３は本発明の紫外線照射装置の別の例を
示し、図３（ａ）は縦断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）
のＣ−Ｃ矢視断面図である。図３において、１８は金属
板１９にグラスライニング２ａを施した平板状電極で、
平行に配置した両電極１８、１８をＣａＦ2 製の紫外線
透過窓２０および封入ガス導入口２１を有するテフロン
板２２で接続することによって容器２３を形成した。こ
の容器２３内にはアルミを蒸着した金属板からなる球面
状の紫外線反射板２４が設置されており、紫外線反射板
２４の曲率中心は紫外線透過窓２０上に位置している。
このような構造の紫外線照射装置によれば、同上作用で
容器２３内の放電空間で発生した紫外線は、紫外線反射
板２４で反射増幅されて紫外線透過窓２０に集中的に照
射され、外部にある被処理物の化学反応が促進される。
示し、図３（ａ）は縦断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）
のＣ−Ｃ矢視断面図である。図３において、１８は金属
板１９にグラスライニング２ａを施した平板状電極で、
平行に配置した両電極１８、１８をＣａＦ2 製の紫外線
透過窓２０および封入ガス導入口２１を有するテフロン
板２２で接続することによって容器２３を形成した。こ
の容器２３内にはアルミを蒸着した金属板からなる球面
状の紫外線反射板２４が設置されており、紫外線反射板
２４の曲率中心は紫外線透過窓２０上に位置している。
このような構造の紫外線照射装置によれば、同上作用で
容器２３内の放電空間で発生した紫外線は、紫外線反射
板２４で反射増幅されて紫外線透過窓２０に集中的に照
射され、外部にある被処理物の化学反応が促進される。
【００２２】図４は、図３の装置における平板状の紫外
線透過窓２０に代えて凹レンズ状の紫外線透過窓２５を
使用したもので、このようにすると集光後に紫外線を拡
散することができるため、窓を小さくすることが可能に
なる。
線透過窓２０に代えて凹レンズ状の紫外線透過窓２５を
使用したもので、このようにすると集光後に紫外線を拡
散することができるため、窓を小さくすることが可能に
なる。
【００２３】図５は、図３の装置における紫外線透過窓
２０および紫外線反射板２４を２組設けた場合を示す図
である。このようにすると、被処理流体が複数ある場合
に好都合である。
２０および紫外線反射板２４を２組設けた場合を示す図
である。このようにすると、被処理流体が複数ある場合
に好都合である。
【００２４】図６は、図４の装置における矩形状のテフ
ロン板２２に代えて、同図に示すように、紫外線反射板
２４近傍を該反射板の形状に沿うように球面状とし、同
時に紫外線反射板２４から紫外線透過窓２５にかけて縮
径状にしたテフロン板２６を使用した場合を示す図であ
る。
ロン板２２に代えて、同図に示すように、紫外線反射板
２４近傍を該反射板の形状に沿うように球面状とし、同
時に紫外線反射板２４から紫外線透過窓２５にかけて縮
径状にしたテフロン板２６を使用した場合を示す図であ
る。
【００２５】図７は、図４の装置における矩形状のテフ
ロン板２２に代えて円形のテフロン板２７を使用した場
合を示す図である。
ロン板２２に代えて円形のテフロン板２７を使用した場
合を示す図である。
【００２６】図８は、図３の装置における平板状の紫外
線透過窓２０を小さくして複数個の小型紫外線透過窓２
８を設けた場合を示す図である。
線透過窓２０を小さくして複数個の小型紫外線透過窓２
８を設けた場合を示す図である。
【００２７】図９は、図８の装置において、容器内の一
方の端面側に被処理水の通入口２９と排出口３０を設け
た場合を示す図である。このように、容器内に放電空間
と被処理水の流通部を併せて形成することで、装置のコ
ンパクト化を図ることができる。
方の端面側に被処理水の通入口２９と排出口３０を設け
た場合を示す図である。このように、容器内に放電空間
と被処理水の流通部を併せて形成することで、装置のコ
ンパクト化を図ることができる。
【００２８】図１０は、金属板の全面にグラスライニン
グを施した平板状電極３１、３２を平行に配置し、これ
ら両電極の間を封入ガス導入口３３を有する円筒体３４
で接続し、紫外線透過材料からなる被処理流体の流通す
る管体３５を円筒体３４の直径方向を貫通するように配
置した場合を示す図である。この円筒体３４の内面は紫
外線反射材料で構成されている。図１１は図１０の装置
の横断面図である。
グを施した平板状電極３１、３２を平行に配置し、これ
ら両電極の間を封入ガス導入口３３を有する円筒体３４
で接続し、紫外線透過材料からなる被処理流体の流通す
る管体３５を円筒体３４の直径方向を貫通するように配
置した場合を示す図である。この円筒体３４の内面は紫
外線反射材料で構成されている。図１１は図１０の装置
の横断面図である。
【００２９】図１２は、金属板の全面にグラスライニン
グを施した平板状電極３６、３７を平行に配置し、これ
ら両電極の間を円筒体３８で接続し、紫外線透過材料か
らなる被処理流体の流通する管体３９を電極３６、３７
間を貫通するように配置した場合を示す図である。円筒
体３８の内面は紫外線反射材料で構成されている。図１
３は図１２の装置の断面を示し、４０は封入ガス導入口
である。
グを施した平板状電極３６、３７を平行に配置し、これ
ら両電極の間を円筒体３８で接続し、紫外線透過材料か
らなる被処理流体の流通する管体３９を電極３６、３７
間を貫通するように配置した場合を示す図である。円筒
体３８の内面は紫外線反射材料で構成されている。図１
３は図１２の装置の断面を示し、４０は封入ガス導入口
である。
【００３０】図１４、図１５に示す例は、金属板の全面
にグラスライニングを施した平板状電極４１に複数個の
ＣａＦ2 製の紫外線透過窓４２を開設し、この平板状電
極４１、４１を平行に配置して両電極の間を封入ガス導
入口４３を有するテフロン板４４で接続して放電空間４
５を有する容器４６を形成した場合を示す図である。
にグラスライニングを施した平板状電極４１に複数個の
ＣａＦ2 製の紫外線透過窓４２を開設し、この平板状電
極４１、４１を平行に配置して両電極の間を封入ガス導
入口４３を有するテフロン板４４で接続して放電空間４
５を有する容器４６を形成した場合を示す図である。
【００３１】本発明の紫外線照射装置は、上記実施例に
示した冷却水中の有機物質の分解以外にも気体中の有機
物質の除去や固体表面の改質にも利用することができ
る。
示した冷却水中の有機物質の分解以外にも気体中の有機
物質の除去や固体表面の改質にも利用することができ
る。
【００３２】
【発明の効果】本発明に係る紫外線照射装置は簡単な構
造だから、水処理用の大型設備などにも適用可能であ
り、グラスライニング電極を使用するので、漏電・腐食
などの問題が起こらないという効果に加えて、特に次の
ような効果が期待できる。 請求項１、２、４、５、７または８記載の紫外線照
射装置によれば、発生した紫外線は紫外線反射材料で反
射増幅されて被処理物に照射されるので、紫外線照射効
率が向上する。 請求項６記載の紫外線照射装置によれば、放電空間
内で発生し、ランダムな方向に放射される紫外線は、い
ずれかの紫外線透過窓を経て装置外部の被処理物に向け
て照射されるので、紫外線のエネルギーの利用効率が向
上する。 請求項３記載の紫外線照射装置によれば、電極温度
が一定以下に保持されるので、よりスムーズに放電が進
行する。
造だから、水処理用の大型設備などにも適用可能であ
り、グラスライニング電極を使用するので、漏電・腐食
などの問題が起こらないという効果に加えて、特に次の
ような効果が期待できる。 請求項１、２、４、５、７または８記載の紫外線照
射装置によれば、発生した紫外線は紫外線反射材料で反
射増幅されて被処理物に照射されるので、紫外線照射効
率が向上する。 請求項６記載の紫外線照射装置によれば、放電空間
内で発生し、ランダムな方向に放射される紫外線は、い
ずれかの紫外線透過窓を経て装置外部の被処理物に向け
て照射されるので、紫外線のエネルギーの利用効率が向
上する。 請求項３記載の紫外線照射装置によれば、電極温度
が一定以下に保持されるので、よりスムーズに放電が進
行する。
【００３３】 請求項７記載の紫外線照射装置によれ
ば、紫外線反射板の形状が曲面状であるから、集光しや
すくなる。
ば、紫外線反射板の形状が曲面状であるから、集光しや
すくなる。
【図１】図１（ａ）は本発明の紫外線照射装置の縦断面
図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図であ
る。
図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図であ
る。
【図２】図２（ａ）は本発明の紫外線照射装置の別の実
施例の縦断面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ矢視
断面図である。
施例の縦断面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ矢視
断面図である。
【図３】図３（ａ）は本発明の紫外線照射装置のさらに
別の実施例の縦断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＣ−
Ｃ矢視断面図である。
別の実施例の縦断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＣ−
Ｃ矢視断面図である。
【図４】図３の装置における平板状の紫外線透過窓に代
えて凹レンズ状の紫外線透過窓を使用した場合を示す断
面図である。
えて凹レンズ状の紫外線透過窓を使用した場合を示す断
面図である。
【図５】図３の装置における紫外線透過窓と紫外線反射
板を２組設けた場合を示す断面図である。
板を２組設けた場合を示す断面図である。
【図６】図４の装置における矩形状のテフロン板に代え
て、紫外線反射板および紫外線透過窓の形状に沿うよう
なテフロン板を使用した場合を示す断面図である。
て、紫外線反射板および紫外線透過窓の形状に沿うよう
なテフロン板を使用した場合を示す断面図である。
【図７】図４の装置における矩形状のテフロン板に代え
て円形のテフロン板を使用した場合を示す断面図であ
る。
て円形のテフロン板を使用した場合を示す断面図であ
る。
【図８】図３の装置における平板状の紫外線透過窓を小
さくして複数個の小型紫外線透過窓を設けた場合を示す
断面図である。
さくして複数個の小型紫外線透過窓を設けた場合を示す
断面図である。
【図９】図８の装置において、容器内の一方の端面側に
被処理水の通入口と排出口を設けた場合を示す断面図で
ある。
被処理水の通入口と排出口を設けた場合を示す断面図で
ある。
【図１０】本発明の紫外線照射装置のさらに別の実施例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図１１】図１０の装置の横断面図である。
【図１２】本発明の紫外線照射装置のさらに別の実施例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図１３】図１３（ａ）は図１２の装置の縦断面図、図
１３（ｂ）は図１２の装置のＤ−Ｄ矢視断面図である。
１３（ｂ）は図１２の装置のＤ−Ｄ矢視断面図である。
【図１４】本発明の紫外線照射装置のさらに別の実施例
を示す縦断面図である。
を示す縦断面図である。
【図１５】図１４の装置の斜視図である。
【図１６】従来の紫外線照射装置の縦断面図である。
１…電極 ２、２ａ…グラスライニング ３…金属管 ４、１３…ステンレス電解研磨管 ５、１２…石英ガラス管 ７…冷媒流通経路 １４…外壁管 １８、３１、３２、３６、３７、４１…平板状電極 １９…金属板 ２０、２５、４２…紫外線透過窓 ２４…紫外線反射板
Claims (8)
- 【請求項１】 ガスを封入した容器の内面を紫外線反射
材料で構成するとともに該容器内に少なくとも一対のグ
ラスライニング電極を配置して放電空間を形成し、紫外
線透過材料からなる被処理流体の流通する管体を上記容
器中心部に配置したことを特徴とする紫外線照射装置。 - 【請求項２】 ガスを封入した紫外線透過材料からなる
容器内に少なくとも一対のグラスライニング電極を配置
して放電空間を形成するとともに該容器の中心部に紫外
線反射材料を配置し、上記容器の外側に配置した外壁管
内面と容器外面との間に形成された開口部に被処理流体
を流通させることを特徴とする紫外線照射装置。 - 【請求項３】 電極が内面側を金属材料とし、外面側を
グラスライニング材料とする管状構造であって、内面側
の金属材料を貫通するように冷媒流通経路を形成したこ
とを特徴とする請求項１または２記載の紫外線照射装
置。 - 【請求項４】 平行に配置した平板状グラスライニング
電極間を紫外線透過窓を有する電気絶縁材料で接続する
ことによって形成した容器内にガスを封入して放電空間
を形成し、該放電空間内に紫外線反射板を配置すること
を特徴とする紫外線照射装置。 - 【請求項５】 平行に配置した平板状グラスライニング
電極間を紫外線反射材料からなる内面を有する筒体で接
続することによって形成した容器内にガスを封入して放
電空間を形成し、紫外線透過材料からなる被処理流体の
流通する管体を上記電極または筒体を貫通するように配
置したことを特徴とする紫外線照射装置。 - 【請求項６】 平行に配置した平板状グラスライニング
電極間を電気絶縁材料で接続することによって形成した
容器内にガスを封入して放電空間を形成し、上記各電極
に複数の紫外線透過窓を分散して配置したことを特徴と
する紫外線照射装置。 - 【請求項７】 紫外線反射板の形状が曲面状であること
を特徴とする請求項４記載の紫外線照射装置。 - 【請求項８】 容器内に封入するガスが、希ガスまたは
希ガスとハロゲンガスとの混合ガスであることを特徴と
する請求項１、２、３、４、５、６または７記載の紫外
線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5222795A JPH08248199A (ja) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | 紫外線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5222795A JPH08248199A (ja) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | 紫外線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08248199A true JPH08248199A (ja) | 1996-09-27 |
Family
ID=12908863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5222795A Pending JPH08248199A (ja) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | 紫外線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08248199A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10106507A (ja) * | 1996-09-27 | 1998-04-24 | Toshiba Lighting & Technol Corp | 紫外線ランプおよびその点灯装置 |
| JP2002517072A (ja) * | 1998-05-26 | 2002-06-11 | トライトン・サラシック・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 高電力紫外線発生用ランプ |
| JP2009230867A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Ushio Inc | エキシマランプ |
-
1995
- 1995-03-13 JP JP5222795A patent/JPH08248199A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10106507A (ja) * | 1996-09-27 | 1998-04-24 | Toshiba Lighting & Technol Corp | 紫外線ランプおよびその点灯装置 |
| JP2002517072A (ja) * | 1998-05-26 | 2002-06-11 | トライトン・サラシック・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 高電力紫外線発生用ランプ |
| JP2009230867A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Ushio Inc | エキシマランプ |
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