JPH07288112A - 誘電体バリヤ放電ランプ装置 - Google Patents
誘電体バリヤ放電ランプ装置Info
- Publication number
- JPH07288112A JPH07288112A JP10160994A JP10160994A JPH07288112A JP H07288112 A JPH07288112 A JP H07288112A JP 10160994 A JP10160994 A JP 10160994A JP 10160994 A JP10160994 A JP 10160994A JP H07288112 A JPH07288112 A JP H07288112A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- dielectric barrier
- barrier discharge
- electrode
- discharge lamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 光透過性の導電性電極が被照射体の化学的性
質に影響されず、固体の被処理体を挿入しても電極を傷
つけたり位置ずれさせず、被照射体の温度を上げず、内
側管外面電極を強固に保持し、処理管を用意に脱着出
来、導電性の被照射体でも安全に処理できる高信頼の誘
電体バリヤ放電ランプ装置を提供する。 【構成】 外側管３と内側管２とを同軸的に配置した放
電容器に、誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形
成する放電用ガスを充填し、内側管の一部はエキシマ分
子からの放射光に対して光透過性で誘電体バリヤ放電の
誘電体を兼ね、その外面に誘電体バリヤ放電用の光透過
性の第一の電極５を設けた誘電体バリヤ放電ランプと、
内側管の内側に同軸的に配置され、第一の電極を保持す
る電極保護管４と、その内側に離間して同軸的に配置し
た反応管９と、これらを一体に組み立てる組立手段とか
ら構成する。
質に影響されず、固体の被処理体を挿入しても電極を傷
つけたり位置ずれさせず、被照射体の温度を上げず、内
側管外面電極を強固に保持し、処理管を用意に脱着出
来、導電性の被照射体でも安全に処理できる高信頼の誘
電体バリヤ放電ランプ装置を提供する。 【構成】 外側管３と内側管２とを同軸的に配置した放
電容器に、誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形
成する放電用ガスを充填し、内側管の一部はエキシマ分
子からの放射光に対して光透過性で誘電体バリヤ放電の
誘電体を兼ね、その外面に誘電体バリヤ放電用の光透過
性の第一の電極５を設けた誘電体バリヤ放電ランプと、
内側管の内側に同軸的に配置され、第一の電極を保持す
る電極保護管４と、その内側に離間して同軸的に配置し
た反応管９と、これらを一体に組み立てる組立手段とか
ら構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、光化学反応用
の紫外線光源として使用される放電ランプの一種で、誘
電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成し、該エキ
シマ分子から放出される光を利用するいわゆる誘電体バ
リヤ放電ランプを使用した誘電体バリヤ放電ランプ装置
の改良に関する。
の紫外線光源として使用される放電ランプの一種で、誘
電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成し、該エキ
シマ分子から放出される光を利用するいわゆる誘電体バ
リヤ放電ランプを使用した誘電体バリヤ放電ランプ装置
の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】本発明に関連した技術としては、例え
ば、米国特許４８３７４８４があり、そこには、放電容
器にエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、誘電
体バリヤ放電（別名オゾナイザ放電あるいは無声放電。
電気学会発行改訂新版「放電ハンドブック」平成１年６
月再販７刷発行第２６３ページ参照）によってエキシマ
分子を形成せしめ、該エキシマ分子から放射される光を
取り出す放射器、すなわち誘電体バリヤ放電ランプにつ
いて記載されており、該放電容器は概略円筒状であり、
該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘
電体を兼ねており、該誘電体の内側管は該エキシマ分子
から放射される光に対して光透過性であり、該光透過性
誘電体内壁の少なくとも一部に導電性網状電極が設けら
れた誘電体バリヤ放電ランプの構造が記載されている。
上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、従来の低圧水
銀放電ランプや高圧アーク放電ランプには無い種々の特
長を有しているため有用である。しかし、光透過性の誘
電体を該誘電体バリヤ放電ランプの内側管として使用
し、該光透過性誘電体の外面の少なくとも一部に導電性
網状電極が設けられた電体バリヤ放電ランプ装置におい
ては、該網状電極が被照射体もしくは被処理物に対して
腐食性をもつ場合、電極の腐食問題が発生したり、ま
た、固体の被処理体を挿入すると該電極を傷つけたり位
置ずれを生じさせたり、さらに、誘電体バリヤ放電ラン
プの温度の影響を被照射体に及してしまったり、該誘電
体バリヤ放電ランプの内側管の外面に配置される該導電
性網状電極の保持が困難であり、また、被処理物によっ
て光透過性誘電体である該誘電体バリヤ放電ランプの内
側管の光透過率が損なわれるとその交換やクリーニング
が困難であるという問題があった。
ば、米国特許４８３７４８４があり、そこには、放電容
器にエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、誘電
体バリヤ放電（別名オゾナイザ放電あるいは無声放電。
電気学会発行改訂新版「放電ハンドブック」平成１年６
月再販７刷発行第２６３ページ参照）によってエキシマ
分子を形成せしめ、該エキシマ分子から放射される光を
取り出す放射器、すなわち誘電体バリヤ放電ランプにつ
いて記載されており、該放電容器は概略円筒状であり、
該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘
電体を兼ねており、該誘電体の内側管は該エキシマ分子
から放射される光に対して光透過性であり、該光透過性
誘電体内壁の少なくとも一部に導電性網状電極が設けら
れた誘電体バリヤ放電ランプの構造が記載されている。
上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、従来の低圧水
銀放電ランプや高圧アーク放電ランプには無い種々の特
長を有しているため有用である。しかし、光透過性の誘
電体を該誘電体バリヤ放電ランプの内側管として使用
し、該光透過性誘電体の外面の少なくとも一部に導電性
網状電極が設けられた電体バリヤ放電ランプ装置におい
ては、該網状電極が被照射体もしくは被処理物に対して
腐食性をもつ場合、電極の腐食問題が発生したり、ま
た、固体の被処理体を挿入すると該電極を傷つけたり位
置ずれを生じさせたり、さらに、誘電体バリヤ放電ラン
プの温度の影響を被照射体に及してしまったり、該誘電
体バリヤ放電ランプの内側管の外面に配置される該導電
性網状電極の保持が困難であり、また、被処理物によっ
て光透過性誘電体である該誘電体バリヤ放電ランプの内
側管の光透過率が損なわれるとその交換やクリーニング
が困難であるという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、光透
過性の導電性電極が被照射体の化学的性質に影響される
ことなく、また、固体の被処理体を挿入しても該電極を
傷つけたり位置ずれさせずに処理する事が出来、被照射
体の温度を上げず、内側管の外面の導電性網状電極を強
固に保持し、反応管を容易に脱着出来、さらに、導電性
の被照射体でも安全に処理することができる高信頼の誘
電体バリヤ放電ランプ装置を提供することである。
過性の導電性電極が被照射体の化学的性質に影響される
ことなく、また、固体の被処理体を挿入しても該電極を
傷つけたり位置ずれさせずに処理する事が出来、被照射
体の温度を上げず、内側管の外面の導電性網状電極を強
固に保持し、反応管を容易に脱着出来、さらに、導電性
の被照射体でも安全に処理することができる高信頼の誘
電体バリヤ放電ランプ装置を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記本発明の目的は、外
形が筒状である外側管と内側管とを同軸的に配置するこ
とによって形成した中空筒状の放電空間を有する放電容
器に、誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成す
る放電用ガスが充填され、該内側管の少なくとも一部
は、該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性
でありかつ誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該
内側管の光透過性の部分の外面の少なくとも一部に誘電
体バリヤ放電用の光透過性の第一の電極が設けられた誘
電体バリヤ放電ランプと、該内側管の内側にそれと同軸
的に配置され、該第一の電極を保持もしくは保護する電
極保護管と、該電極保護管の内側にそれと離間してかつ
同軸的に配置された反応管と、該誘電体バリヤ放電ラン
プと電極保護管と反応管とを一体に組み立てる組立手段
とから構成することによって達成される。
形が筒状である外側管と内側管とを同軸的に配置するこ
とによって形成した中空筒状の放電空間を有する放電容
器に、誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成す
る放電用ガスが充填され、該内側管の少なくとも一部
は、該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性
でありかつ誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該
内側管の光透過性の部分の外面の少なくとも一部に誘電
体バリヤ放電用の光透過性の第一の電極が設けられた誘
電体バリヤ放電ランプと、該内側管の内側にそれと同軸
的に配置され、該第一の電極を保持もしくは保護する電
極保護管と、該電極保護管の内側にそれと離間してかつ
同軸的に配置された反応管と、該誘電体バリヤ放電ラン
プと電極保護管と反応管とを一体に組み立てる組立手段
とから構成することによって達成される。
【０００５】具体的には次のとうりの構成が良い。 外形が円筒状である外側管と内側管とを同軸に配置す
ることによって形成した中空円筒状の放電空間を有する
放電容器に、誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を
形成する放電用ガスが充填され、該内側管の少なくとも
一部は、該エキシマ分子から放射される光に対して光透
過性でありかつ誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねてお
り、該内側管の光透過性の部分の外面の少なくとも一部
に誘電体バリヤ放電用の光透過性の第一の電極が設けら
れた誘電体バリヤ放電ランプと、該内側管の内側にそれ
と同軸に配置され、該第一の電極を保持もしくは保護す
る電極保護管と、該電極保護管の内側にそれと離間して
かつ同軸に配置された反応管と、該誘電体バリヤ放電ラ
ンプと電極保護管とを一体に組み立てる組立手段と、該
組立手段を保持する保持板と、該保持板に固定され、前
記反応管を保持する反応管保持部材とから構成する。 外形が円筒状である外側管と内側管とを同軸に配置す
ることによって形成した中空円筒状の放電空間を有する
放電容器に、誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を
形成する放電用ガスが充填され、該内側管の少なくとも
一部は、該エキシマ分子から放射される光に対して光透
過性でありかつ誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねてお
り、該内側管の光透過性の部分の外面の少なくとも一部
に誘電体バリヤ放電用の光透過性の第一の電極が設けら
れた誘電体バリヤ放電ランプと、該内側管の内側にそれ
と同軸に配置され、該第一の電極を保持もしくは保護す
る電極保護管と、該電極保護管の内側にそれと離間して
かつ同軸に配置された反応管と、該誘電体バリヤ放電ラ
ンプと電極保護管とを一体に組み立てる組立手段と、該
組立手段と反応管とを保持する保持板とから構成する。 外形が円筒状である外側管と内側管とを同軸に配置す
ることによって形成した中空円筒状の放電空間を有する
放電容器に、誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を
形成する放電用ガスが充填され、該内側管の少なくとも
一部は、該エキシマ分子から放射される光に対して光透
過性でありかつ誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねてお
り、該内側管の光透過性の部分の外面の少なくとも一部
に誘電体バリヤ放電用の光透過性の第一の電極が設けら
れた誘電体バリヤ放電ランプと、該内側管の内側にそれ
と同軸に配置され、該第一の電極を保持もしくは保護す
る電極保護管と、該電極保護管の内側にそれと離間して
かつ同軸に配置された反応管と、該誘電体バリヤ放電ラ
ンプと電極保護管とを一体に組み立てる組立手段と、該
組立手段と反応管を保持する保持板と、該保持板に固定
された大気誘引具とから構成する。
ることによって形成した中空円筒状の放電空間を有する
放電容器に、誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を
形成する放電用ガスが充填され、該内側管の少なくとも
一部は、該エキシマ分子から放射される光に対して光透
過性でありかつ誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねてお
り、該内側管の光透過性の部分の外面の少なくとも一部
に誘電体バリヤ放電用の光透過性の第一の電極が設けら
れた誘電体バリヤ放電ランプと、該内側管の内側にそれ
と同軸に配置され、該第一の電極を保持もしくは保護す
る電極保護管と、該電極保護管の内側にそれと離間して
かつ同軸に配置された反応管と、該誘電体バリヤ放電ラ
ンプと電極保護管とを一体に組み立てる組立手段と、該
組立手段を保持する保持板と、該保持板に固定され、前
記反応管を保持する反応管保持部材とから構成する。 外形が円筒状である外側管と内側管とを同軸に配置す
ることによって形成した中空円筒状の放電空間を有する
放電容器に、誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を
形成する放電用ガスが充填され、該内側管の少なくとも
一部は、該エキシマ分子から放射される光に対して光透
過性でありかつ誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねてお
り、該内側管の光透過性の部分の外面の少なくとも一部
に誘電体バリヤ放電用の光透過性の第一の電極が設けら
れた誘電体バリヤ放電ランプと、該内側管の内側にそれ
と同軸に配置され、該第一の電極を保持もしくは保護す
る電極保護管と、該電極保護管の内側にそれと離間して
かつ同軸に配置された反応管と、該誘電体バリヤ放電ラ
ンプと電極保護管とを一体に組み立てる組立手段と、該
組立手段と反応管とを保持する保持板とから構成する。 外形が円筒状である外側管と内側管とを同軸に配置す
ることによって形成した中空円筒状の放電空間を有する
放電容器に、誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を
形成する放電用ガスが充填され、該内側管の少なくとも
一部は、該エキシマ分子から放射される光に対して光透
過性でありかつ誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねてお
り、該内側管の光透過性の部分の外面の少なくとも一部
に誘電体バリヤ放電用の光透過性の第一の電極が設けら
れた誘電体バリヤ放電ランプと、該内側管の内側にそれ
と同軸に配置され、該第一の電極を保持もしくは保護す
る電極保護管と、該電極保護管の内側にそれと離間して
かつ同軸に配置された反応管と、該誘電体バリヤ放電ラ
ンプと電極保護管とを一体に組み立てる組立手段と、該
組立手段と反応管を保持する保持板と、該保持板に固定
された大気誘引具とから構成する。
【０００６】上記基本構成に加えて、組立手段に、電極
保護管と反応管との間に流体を供給できる孔を設けるこ
と、そして、反応管の内部、もしくは電極保護管と反応
管との間の、どちらか一方に冷却流体が流され、どちら
か他方に反応物質を供給する。更に第一の電極を金属網
から構成し、アース電位とすること、冷却流体は必要に
応じて、エキシマ分子から放射される光に対して透明で
あること、第二の電極については、必ずしも光透過性は
要求されないので種々の設計が可能であること、これら
の構成によって本発明の目的はより一層達成される。
保護管と反応管との間に流体を供給できる孔を設けるこ
と、そして、反応管の内部、もしくは電極保護管と反応
管との間の、どちらか一方に冷却流体が流され、どちら
か他方に反応物質を供給する。更に第一の電極を金属網
から構成し、アース電位とすること、冷却流体は必要に
応じて、エキシマ分子から放射される光に対して透明で
あること、第二の電極については、必ずしも光透過性は
要求されないので種々の設計が可能であること、これら
の構成によって本発明の目的はより一層達成される。
【０００７】
【作用】外形が概略円筒状である外側管と内側管とを同
軸に配置することによって形成した中空円筒状の放電空
間を有する放電容器に、誘電体バリヤ放電によってエキ
シマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該内側管の
少なくとも一部は、該エキシマ分子から放射される光に
対して光透過性でありかつ該誘電体バリヤ放電の誘電体
を兼ねており、該光透過性の部分の誘電体の外面の少な
くとも一部に光透過性の第一の電極が設けられた誘電体
バリヤ放電ランプと、該誘電体バリヤ放電ランプの内側
管と概略同軸に配置した光透過性の電極保護管と該電極
保護管の内側に概略同軸に配置した光透過性の反応管
と、該誘電体バリヤ放電ランプと該電極保護管と該反応
管を固定するための電気絶縁性の組立手段からなる誘電
体バリヤ放電ランプ装置において、該誘電体バリヤ放電
ランプを光透過性の流体を用いて冷却する手段を設け、
かつ、該電極保護管と該反応管によって形成される円筒
状の空間が該誘電体バリヤ放電ランプの冷却用流体の導
管を兼ねているように構成すると、被照射体は反応管に
よって仕切られた空間に配されるため、被処理体の化学
的性質が光透過性の第一の電極に及ぶ事はなく、固体の
被照射体を投入しても該第一の光透過性の導電性電極を
傷つけたり、位置ずれを生じせしめず、また、光透過性
の流体で誘電体バリヤ放電ランプの内側管が冷却される
と同時に、反応管外壁も冷却されるため、誘電体バリヤ
放電ランプの温度が被処理体に影響を及ぼしにくい誘電
体バリヤ放電ランプ装置が得られる。
軸に配置することによって形成した中空円筒状の放電空
間を有する放電容器に、誘電体バリヤ放電によってエキ
シマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該内側管の
少なくとも一部は、該エキシマ分子から放射される光に
対して光透過性でありかつ該誘電体バリヤ放電の誘電体
を兼ねており、該光透過性の部分の誘電体の外面の少な
くとも一部に光透過性の第一の電極が設けられた誘電体
バリヤ放電ランプと、該誘電体バリヤ放電ランプの内側
管と概略同軸に配置した光透過性の電極保護管と該電極
保護管の内側に概略同軸に配置した光透過性の反応管
と、該誘電体バリヤ放電ランプと該電極保護管と該反応
管を固定するための電気絶縁性の組立手段からなる誘電
体バリヤ放電ランプ装置において、該誘電体バリヤ放電
ランプを光透過性の流体を用いて冷却する手段を設け、
かつ、該電極保護管と該反応管によって形成される円筒
状の空間が該誘電体バリヤ放電ランプの冷却用流体の導
管を兼ねているように構成すると、被照射体は反応管に
よって仕切られた空間に配されるため、被処理体の化学
的性質が光透過性の第一の電極に及ぶ事はなく、固体の
被照射体を投入しても該第一の光透過性の導電性電極を
傷つけたり、位置ずれを生じせしめず、また、光透過性
の流体で誘電体バリヤ放電ランプの内側管が冷却される
と同時に、反応管外壁も冷却されるため、誘電体バリヤ
放電ランプの温度が被処理体に影響を及ぼしにくい誘電
体バリヤ放電ランプ装置が得られる。
【０００８】該誘電体バリヤ放電ランプの内側管に導電
性網状の第一の電極を配置する場合、該導電性網状電極
は、高い光透過率を確保しかつ電極としての特性を損な
わないようにするため、網線の素線径の細いものが使わ
れる事が一般的である。従って、該導電性網状電極の機
械的強度は小さく、該導電性網状電極を誘電体バリヤ放
電ランプの内側管の外面に密着させにくい。従って、適
当な径の光透過性の電極保護管を誘電体バリヤ放電ラン
プの内側管の内部に同軸に配置し、該誘電体バリヤ放電
ランプの内側管と該電極保護管によって導電性網状電極
を挟む事によって、該導電性網状電極は確実に保持され
る。
性網状の第一の電極を配置する場合、該導電性網状電極
は、高い光透過率を確保しかつ電極としての特性を損な
わないようにするため、網線の素線径の細いものが使わ
れる事が一般的である。従って、該導電性網状電極の機
械的強度は小さく、該導電性網状電極を誘電体バリヤ放
電ランプの内側管の外面に密着させにくい。従って、適
当な径の光透過性の電極保護管を誘電体バリヤ放電ラン
プの内側管の内部に同軸に配置し、該誘電体バリヤ放電
ランプの内側管と該電極保護管によって導電性網状電極
を挟む事によって、該導電性網状電極は確実に保持され
る。
【０００９】該誘電体バリヤ放電ランプの内側管に反応
管を概略同軸に配置し、該反応管を簡便に脱着できるよ
うに固定すると、該反応管が汚れたり、光透過率が低下
したりした場合、誘電体バリヤ放電ランプを交換する事
なく、該反応管を容易に清掃或いは交換する事が出来
る。また、一般に誘電体バリヤ放電ランプは、高周波・
高電圧を印加する事によって動作しており、誘電体バリ
ヤ放電ランプの内側管に配置した光透過性の第一の導電
性電極が高電圧になる場合、導電性の被照射体を処理す
る事は安全上好ましくない。しかし、かかる問題は、該
光透過性の導電性電極をアース電位にする事によって解
決できる。
管を概略同軸に配置し、該反応管を簡便に脱着できるよ
うに固定すると、該反応管が汚れたり、光透過率が低下
したりした場合、誘電体バリヤ放電ランプを交換する事
なく、該反応管を容易に清掃或いは交換する事が出来
る。また、一般に誘電体バリヤ放電ランプは、高周波・
高電圧を印加する事によって動作しており、誘電体バリ
ヤ放電ランプの内側管に配置した光透過性の第一の導電
性電極が高電圧になる場合、導電性の被照射体を処理す
る事は安全上好ましくない。しかし、かかる問題は、該
光透過性の導電性電極をアース電位にする事によって解
決できる。
【００１０】
【実施例】本発明の第一の実施例である誘電体バリヤ放
電ランプ装置の概略図を図１に示す。中空円筒状の放電
容器を有する誘電体バリヤ放電ランプ１は、全長約１５
０ｍｍの合成石英ガラス製で、肉厚１ｍｍで外径が約２
２．５ｍｍの内側管２、肉厚１ｍｍで内径が約３６ｍｍ
の外側管３を同軸に配置して中空円筒状の放電空間８を
形成した構成である。内側管２は誘電体バリヤ放電の誘
電体バリヤと光取り出し窓部材を兼用しており、該内側
管２と該内側管２の内側に同軸に配置された外径約２２
ｍｍの電極保護管４で形成された隙間１００には光を透
過する第一の金属製網状電極５が設けられている。外側
管３の外面には光反射板を兼ねたアルミニウム電極６が
設けられている。尚、第一の電極５は、図が繁雑になる
ので省略してある。網状電極５は、素線径０．１ｍｍの
ステンレス線をシームレスに編んだもので円筒状の形状
をしており、軸方向に伸縮性を有している。該円筒状金
属網の中に電極保護管４を挿入し、さらに該円筒状金属
網５と該電極保護管４を内側管２の中に挿入する事によ
って、該内側管の外面に密接された網状電極５が形成さ
れる。放電容器の放電空間８に放電用ガスとして塩素ガ
スを０．４容量％混合したキセノンガスを３００Ｔｏｒ
ｒ封入した。
電ランプ装置の概略図を図１に示す。中空円筒状の放電
容器を有する誘電体バリヤ放電ランプ１は、全長約１５
０ｍｍの合成石英ガラス製で、肉厚１ｍｍで外径が約２
２．５ｍｍの内側管２、肉厚１ｍｍで内径が約３６ｍｍ
の外側管３を同軸に配置して中空円筒状の放電空間８を
形成した構成である。内側管２は誘電体バリヤ放電の誘
電体バリヤと光取り出し窓部材を兼用しており、該内側
管２と該内側管２の内側に同軸に配置された外径約２２
ｍｍの電極保護管４で形成された隙間１００には光を透
過する第一の金属製網状電極５が設けられている。外側
管３の外面には光反射板を兼ねたアルミニウム電極６が
設けられている。尚、第一の電極５は、図が繁雑になる
ので省略してある。網状電極５は、素線径０．１ｍｍの
ステンレス線をシームレスに編んだもので円筒状の形状
をしており、軸方向に伸縮性を有している。該円筒状金
属網の中に電極保護管４を挿入し、さらに該円筒状金属
網５と該電極保護管４を内側管２の中に挿入する事によ
って、該内側管の外面に密接された網状電極５が形成さ
れる。放電容器の放電空間８に放電用ガスとして塩素ガ
スを０．４容量％混合したキセノンガスを３００Ｔｏｒ
ｒ封入した。
【００１１】該誘電体バリヤ放電ランプ１及び該電極保
護管４は、保持板７に取り付けられたフッ素樹脂性のラ
ンプベース１０で保持される。該電極保護管４は、該ラ
ンプベース１０に装着されたＯリング１１で保持される
とともに、間隙１００は大気に対して気密が保たれる。
尚、間隙１０１は接着剤が充填される。該ランプベース
の底部１０２は、該電極保護管４の軸方向の位置ズレを
許容範囲に抑えるよう、該電極保護管４の外径より小さ
い内径にしている。石英ガラス製の反応管９は、電極保
護管４と同軸に配置されており、ランプベース１０に対
向して保持板７に取り付けられた反応管固定具１２、１
３とＯリング１５と締付リング１４で保持されている。
反応管９はＯリング１５で締め付け固定されると同時
に、電極保護管４とランプベース１０からなる冷却用流
体の流路１０３を形成するとともに大気に対して気密を
保つ。リード線１８及び１９を使用して、アルミニウム
電極６及び金属網状電極５に電圧を印加した。リード線
１８は誘電体バリヤ放電ランプ１の内側管２と電極保護
管４の隙間を通った後、ランプベース１０に設けられた
リード線取り出し口１０４より外部に引き出される。ア
ルミニウム電極６を高電圧に、金属網状電極５をアース
電位とした。該誘電体バリヤ放電ランプ１に２０ｋＨ
ｚ，４ｋＶの電圧を印加し、冷却用流体入り口１６から
窒素ガスを１分間当たり３リットル流入した。窒素ガス
は、ランプベース１０を通り、電極保護管４と反応管９
で形成された流路１０３を経て冷却用流体出口１７より
流出する。冷却用流体は、該誘電体バリヤ放電ランプの
光を透過する性質の流体で流路を汚さないものであれ
ば、例えば、冷却空気でもよい。該誘電体バリヤ放電ラ
ンプ装置を水平に設置し、連続で点灯したときの反応管
９の内壁の時間に対する温度変化の一例を図３に示す。
窒素ガスを流すことによって反応管の内壁表面の温度上
昇は、窒素ガスを流さない場合に比べて低く、約１００
℃程度に抑制できることがわかる。長期間使用している
と、反応管内が汚れ誘電体バリヤ放電ランプの光に対す
る透過率が低下することが考えられるが、本発明のよう
に構成すると、反応管固定具１３を緩め、反応管固定Ｏ
リング締付リング１４を取り外すと、容易に反応管９は
脱着できる。反応管固定具１３の内径１０５は、反応管
９の内径より大きく外径より小さい範囲の寸法にしてあ
り、反応管９の有効径を小さくすることなく、反応管９
の端部を保護すると同時に反応管９の軸方向への位置ず
れを許容範囲に抑える構造となっている。
護管４は、保持板７に取り付けられたフッ素樹脂性のラ
ンプベース１０で保持される。該電極保護管４は、該ラ
ンプベース１０に装着されたＯリング１１で保持される
とともに、間隙１００は大気に対して気密が保たれる。
尚、間隙１０１は接着剤が充填される。該ランプベース
の底部１０２は、該電極保護管４の軸方向の位置ズレを
許容範囲に抑えるよう、該電極保護管４の外径より小さ
い内径にしている。石英ガラス製の反応管９は、電極保
護管４と同軸に配置されており、ランプベース１０に対
向して保持板７に取り付けられた反応管固定具１２、１
３とＯリング１５と締付リング１４で保持されている。
反応管９はＯリング１５で締め付け固定されると同時
に、電極保護管４とランプベース１０からなる冷却用流
体の流路１０３を形成するとともに大気に対して気密を
保つ。リード線１８及び１９を使用して、アルミニウム
電極６及び金属網状電極５に電圧を印加した。リード線
１８は誘電体バリヤ放電ランプ１の内側管２と電極保護
管４の隙間を通った後、ランプベース１０に設けられた
リード線取り出し口１０４より外部に引き出される。ア
ルミニウム電極６を高電圧に、金属網状電極５をアース
電位とした。該誘電体バリヤ放電ランプ１に２０ｋＨ
ｚ，４ｋＶの電圧を印加し、冷却用流体入り口１６から
窒素ガスを１分間当たり３リットル流入した。窒素ガス
は、ランプベース１０を通り、電極保護管４と反応管９
で形成された流路１０３を経て冷却用流体出口１７より
流出する。冷却用流体は、該誘電体バリヤ放電ランプの
光を透過する性質の流体で流路を汚さないものであれ
ば、例えば、冷却空気でもよい。該誘電体バリヤ放電ラ
ンプ装置を水平に設置し、連続で点灯したときの反応管
９の内壁の時間に対する温度変化の一例を図３に示す。
窒素ガスを流すことによって反応管の内壁表面の温度上
昇は、窒素ガスを流さない場合に比べて低く、約１００
℃程度に抑制できることがわかる。長期間使用している
と、反応管内が汚れ誘電体バリヤ放電ランプの光に対す
る透過率が低下することが考えられるが、本発明のよう
に構成すると、反応管固定具１３を緩め、反応管固定Ｏ
リング締付リング１４を取り外すと、容易に反応管９は
脱着できる。反応管固定具１３の内径１０５は、反応管
９の内径より大きく外径より小さい範囲の寸法にしてあ
り、反応管９の有効径を小さくすることなく、反応管９
の端部を保護すると同時に反応管９の軸方向への位置ず
れを許容範囲に抑える構造となっている。
【００１２】尚、反応管９の保持は、装置を水平にして
使用する場合はランプベース１０に設けたＯリング１０
６だけでも可能である。尚、１０７、１０８は夫々組立
用のビス（ビス穴）とＯリングを示す。
使用する場合はランプベース１０に設けたＯリング１０
６だけでも可能である。尚、１０７、１０８は夫々組立
用のビス（ビス穴）とＯリングを示す。
【００１３】本実施例においては、被照射体の処理され
る空間２０は該反応管９によって該誘電体バリヤ放電ラ
ンプとは完全に隔離されているため、該誘電体バリヤ放
電ランプの内側管２の外面に設けられた金属網状電極５
は被照射体の化学的性質に影響されることなく、また、
固体の被処理体を挿入しても該金属網状電極５を傷つけ
たり位置ずれさせることなく処理する事が出来、さら
に、冷却用流体によって該反応管９が冷却されるので、
被照射体の温度を上げず、該金属網状電極５を強固に保
持し、反応管９を容易に脱着出来、さらに、導電性の被
照射体でも安全に処理することができる高信頼の誘電体
バリヤ放電ランプ装置が得られる。
る空間２０は該反応管９によって該誘電体バリヤ放電ラ
ンプとは完全に隔離されているため、該誘電体バリヤ放
電ランプの内側管２の外面に設けられた金属網状電極５
は被照射体の化学的性質に影響されることなく、また、
固体の被処理体を挿入しても該金属網状電極５を傷つけ
たり位置ずれさせることなく処理する事が出来、さら
に、冷却用流体によって該反応管９が冷却されるので、
被照射体の温度を上げず、該金属網状電極５を強固に保
持し、反応管９を容易に脱着出来、さらに、導電性の被
照射体でも安全に処理することができる高信頼の誘電体
バリヤ放電ランプ装置が得られる。
【００１４】上記実施例において、空間２０では、例え
ば、ゴム紐の表面改質処理、光ファイバー表面へのコー
ト処理等、線状部材、棒状部材を連続通過させることに
よって種々の被処理物が処理できる。被照射物が液体
で、熱的影響の小さい場合は、空間２０に冷却流体を流
し、流路１０３に被処理物を流しても良い。また、いず
れの場合も、ランプの外方では、エキシマ分子から放射
される光を利用していないので、外側管を金属管で構成
して第二の電極として機能させても良い。
ば、ゴム紐の表面改質処理、光ファイバー表面へのコー
ト処理等、線状部材、棒状部材を連続通過させることに
よって種々の被処理物が処理できる。被照射物が液体
で、熱的影響の小さい場合は、空間２０に冷却流体を流
し、流路１０３に被処理物を流しても良い。また、いず
れの場合も、ランプの外方では、エキシマ分子から放射
される光を利用していないので、外側管を金属管で構成
して第二の電極として機能させても良い。
【００１５】本発明の第二の実施例においては、反応管
固定具１２、１３等の替わりに、保持板７に反応管保持
用Ｏリング２２を配置し、大気誘引具２１を備えた構造
にし、冷却用流体出口１７と誘引用ガス入り口２３を配
管で連結し、冷却用窒素ガスを大気誘引用のガスに利用
する構造にしたものである。大気誘引具２１は、リング
状の空所２１１とリング状のノズル２１２が形成される
ように、２分割されたリング部材２１３と２１４とから
成り、両リング部材をビスなどで一体に固定した部材を
保持板７に固定している。２１５は、Ｏリング２２を押
圧するリング部材である。
固定具１２、１３等の替わりに、保持板７に反応管保持
用Ｏリング２２を配置し、大気誘引具２１を備えた構造
にし、冷却用流体出口１７と誘引用ガス入り口２３を配
管で連結し、冷却用窒素ガスを大気誘引用のガスに利用
する構造にしたものである。大気誘引具２１は、リング
状の空所２１１とリング状のノズル２１２が形成される
ように、２分割されたリング部材２１３と２１４とから
成り、両リング部材をビスなどで一体に固定した部材を
保持板７に固定している。２１５は、Ｏリング２２を押
圧するリング部材である。
【００１６】上記の第二の実施例においては、第一の実
施例と同様に反応管の内部を処理用空所としても良い
し、吸入通過する空気で、オゾンを作り、このオゾンを
噴出させて利用しても良い。
施例と同様に反応管の内部を処理用空所としても良い
し、吸入通過する空気で、オゾンを作り、このオゾンを
噴出させて利用しても良い。
【００１７】
【発明の効果】上記したように、本発明によれば、被照
射体によって網状電極が影響を受けず、逆に被照射体に
対してランプからの温度の影響を及ぼさない、導電性の
被照射体でも安全に処理のできる、非常に使い勝手の良
い誘電体バリヤ放電ランプ装置を提供できる。
射体によって網状電極が影響を受けず、逆に被照射体に
対してランプからの温度の影響を及ぼさない、導電性の
被照射体でも安全に処理のできる、非常に使い勝手の良
い誘電体バリヤ放電ランプ装置を提供できる。
【図１】本発明の誘電体バリヤ放電ランプ装置の実施例
の説明図である。
の説明図である。
【図２】本発明の誘電体バリヤ放電ランプ装置の他の実
施例の説明図である。
施例の説明図である。
【図３】本発明の誘電体バリヤ放電ランプ装置の反応管
の内壁の内面のランプ点灯時間に対する温度変化の説明
図である。
の内壁の内面のランプ点灯時間に対する温度変化の説明
図である。
１ 誘電体バリヤ放電ランプ ２ 内側管 ３ 外側管 ４ 電極保護管 ５ 金属網状電極 ６ アルミニウム電極 ７ 保持板 ８ 放電空間 ９ 反応管 １０ ランプベース １１ 電極保護管固定Ｏリング １２ 反応管固定ベース １３ 反応管固定袋ナット １４ 反応管固定Ｏリング締付リング １５ 反応管固定Ｏリング １６ 冷却用流体入り口 １７ 冷却用流体出口 １８，１９ リード線 ２０ 処理空間 ２１ 大気誘引具 ２２ 固定Ｏリング ２３ 大気誘引用気体入り口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大西 安夫 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内 (72)発明者 松野 博光 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内 (72)発明者 五十嵐龍志 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内
Claims (13)
- 【請求項１】 外形が筒状である外側管と内側管とを同
軸的に配置することによって形成した中空筒状の放電空
間を有する放電容器に、誘電体バリヤ放電によってエキ
シマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該内側管の
少なくとも一部は、該エキシマ分子から放射される光に
対して光透過性でありかつ誘電体バリヤ放電の誘電体を
兼ねており、該内側管の光透過性の部分の外面の少なく
とも一部に誘電体バリヤ放電用の光透過性の第一の電極
が設けられた誘電体バリヤ放電ランプと、 該内側管の内側にそれと同軸的に配置され、該第一の電
極を保持する電極保護管と、 該電極保護管の内側にそれと離間してかつ同軸的に配置
された反応管と、 該誘電体バリヤ放電ランプと電極保護管と反応管とを一
体に組み立てる組立手段と、からなることを特徴とする
誘電体バリヤ放電ランプ装置。 - 【請求項２】 組立手段に、電極保護管と反応管との間
に流体を供給できる孔が設けられてなることを特徴とす
る請求項１に記載の誘電体バリヤ放電ランプ装置。 - 【請求項３】 反応管の内部、もしくは電極保護管と反
応管との間の、どちらか一方に冷却流体が流され、どち
らか他方に反応物質が供給されることを特徴とする請求
項１もしくは請求項２に記載の誘電体バリヤ放電ランプ
装置。 - 【請求項４】 第一の電極が、金属網からなることを特
徴とする請求項１から請求項３に記載の誘電体バリヤ放
電ランプ装置。 - 【請求項５】 外側管が金属からなり、誘電体バリヤ放
電用の第二の電極を兼ねていることを特徴とする請求項
１から請求項４に記載の誘電体バリヤ放電ランプ装置。 - 【請求項６】 外側管が非金属管からなり，誘電体バリ
ヤ放電用の第二の電極がこの外側管の内面もしくは外面
に配置されてなることを特徴とする請求項１から請求項
４に記載の誘電体バリヤ放電ランプ装置。 - 【請求項７】 外形が円筒状である外側管と内側管とを
同軸に配置することによって形成した中空円筒状の放電
空間を有する放電容器に、誘電体バリヤ放電によってエ
キシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該内側管
の少なくとも一部は、該エキシマ分子から放射される光
に対して光透過性でありかつ誘電体バリヤ放電の誘電体
を兼ねており、該内側管の光透過性の部分の外面の少な
くとも一部に誘電体バリヤ放電用の光透過性の第一の電
極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプと、 該内側管の内側にそれと同軸に配置され、該第一の電極
を保持する電極保護管と、 該電極保護管の内側にそれと離間してかつ同軸に配置さ
れた反応管と、 該誘電体バリヤ放電ランプと電極保護管とを一体に組み
立てる組立手段と、 該組立手段を保持する保持板と、 該保持板に固定され、前記反応管を保持する反応管保持
部材とからなることを特徴とする誘電体バリヤ放電ラン
プ装置。 - 【請求項８】 外形が円筒状である外側管と内側管とを
同軸に配置することによって形成した中空円筒状の放電
空間を有する放電容器に、誘電体バリヤ放電によってエ
キシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該内側管
の少なくとも一部は、該エキシマ分子から放射される光
に対して光透過性でありかつ誘電体バリヤ放電の誘電体
を兼ねており、該内側管の光透過性の部分の外面の少な
くとも一部に誘電体バリヤ放電用の光透過性の第一の電
極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプと、 該内側管の内側にそれと同軸に配置され、該第一の電極
を保持する電極保護管と、 該電極保護管の内側にそれと離間してかつ同軸に配置さ
れた反応管と 該誘電体バリヤ放電ランプと電極保護管とを一体に組み
立てる組立手段と、 該組立手段と反応管とを保持する保持板と、からなるこ
とを特徴とする誘電体バリヤ放電ランプ装置。 - 【請求項９】 外形が円筒状である外側管と内側管とを
同軸に配置することによって形成した中空円筒状の放電
空間を有する放電容器に、誘電体バリヤ放電によってエ
キシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該内側管
の少なくとも一部は、該エキシマ分子から放射される光
に対して光透過性でありかつ誘電体バリヤ放電の誘電体
を兼ねており、該内側管の光透過性の部分の外面の少な
くとも一部に誘電体バリヤ放電用の光透過性の第一の電
極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプと、 該内側管の内側にそれと同軸に配置され、該第一の電極
を保持する電極保護管と、 該電極保護管の内側にそれと離間してかつ同軸に配置さ
れた反応管と、 該誘電体バリヤ放電ランプと電極保護管とを一体に組み
立てる組立手段と、 該組立手段と反応管とを保持する保持板と、 該保持板に固定された大気誘引具とからなる誘電体バリ
ヤ放電ランプ装置。 - 【請求項１０】 組立手段に、電極保護管と反応管との
間に、エキシマ分子から放射される光に透明な冷却流体
を供給できる孔を設けてなることを特徴とする請求項７
から請求項９に記載の誘電体バリヤ放電ランプ装置。 - 【請求項１１】 第一の電極が金属網からなることを特
徴とする請求項７から請求項９に記載の誘電体バリヤ放
電ランプ装置。 - 【請求項１２】 第一の電極をアース電位としたことを
特徴とする請求項１１に記載の誘電体バリヤ放電ランプ
装置。 - 【請求項１３】 組立手段に、電極保護管と反応管との
間に、エキシマ分子から放射される光に透明な冷却流体
を供給できる孔を設け、この孔とノズル部材とを連結す
るパイプ部材とを具えてなることを特徴とする請求項９
に記載の誘電体バリヤ放電ランプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10160994A JPH07288112A (ja) | 1994-04-15 | 1994-04-15 | 誘電体バリヤ放電ランプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10160994A JPH07288112A (ja) | 1994-04-15 | 1994-04-15 | 誘電体バリヤ放電ランプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07288112A true JPH07288112A (ja) | 1995-10-31 |
Family
ID=14305147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10160994A Pending JPH07288112A (ja) | 1994-04-15 | 1994-04-15 | 誘電体バリヤ放電ランプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07288112A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1041602A2 (en) * | 1999-03-30 | 2000-10-04 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Cooling system for a dielectric-barrier discharge lamp |
| JP2002517072A (ja) * | 1998-05-26 | 2002-06-11 | トライトン・サラシック・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 高電力紫外線発生用ランプ |
| WO2006087675A2 (en) * | 2005-02-21 | 2006-08-24 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Lamp holder for a dielectric barrier discharge lamp |
| WO2008010132A2 (en) * | 2006-07-13 | 2008-01-24 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Fluid treatment system comprising radiation source module and cooling means |
| CN101835336A (zh) * | 2010-05-21 | 2010-09-15 | 江苏大学 | 一种双介质阻挡放电低温等离子体发生器 |
| JP2017059324A (ja) * | 2015-09-14 | 2017-03-23 | 株式会社オーク製作所 | 紫外線照射装置 |
| KR20190077613A (ko) * | 2007-04-12 | 2019-07-03 | 가부시키가이샤 니콘 | 방전램프, 접속용 케이블, 광원장치 및 노광장치 |
-
1994
- 1994-04-15 JP JP10160994A patent/JPH07288112A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002517072A (ja) * | 1998-05-26 | 2002-06-11 | トライトン・サラシック・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 高電力紫外線発生用ランプ |
| US6570301B1 (en) * | 1999-03-30 | 2003-05-27 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Dielectric barrier discharge lamp device with coupler for coolant fluid flow |
| EP1041602A3 (en) * | 1999-03-30 | 2003-05-28 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Cooling system for a dielectric-barrier discharge lamp |
| EP1041602A2 (en) * | 1999-03-30 | 2000-10-04 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Cooling system for a dielectric-barrier discharge lamp |
| US7855492B2 (en) | 2005-02-21 | 2010-12-21 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Lamp holder for a dielectric barrier discharge lamp |
| WO2006087675A2 (en) * | 2005-02-21 | 2006-08-24 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Lamp holder for a dielectric barrier discharge lamp |
| WO2006087675A3 (en) * | 2005-02-21 | 2006-10-26 | Philips Intellectual Property | Lamp holder for a dielectric barrier discharge lamp |
| WO2008010132A2 (en) * | 2006-07-13 | 2008-01-24 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Fluid treatment system comprising radiation source module and cooling means |
| JP2009542437A (ja) * | 2006-07-13 | 2009-12-03 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 放射線源及び冷却手段を含む流体処理システム |
| WO2008010132A3 (en) * | 2006-07-13 | 2008-03-20 | Philips Intellectual Property | Fluid treatment system comprising radiation source module and cooling means |
| US8834789B2 (en) | 2006-07-13 | 2014-09-16 | Koninklijke Philips N.V. | Fluid treatment system comprising radiation source module and cooling means |
| KR20190077613A (ko) * | 2007-04-12 | 2019-07-03 | 가부시키가이샤 니콘 | 방전램프, 접속용 케이블, 광원장치 및 노광장치 |
| CN101835336A (zh) * | 2010-05-21 | 2010-09-15 | 江苏大学 | 一种双介质阻挡放电低温等离子体发生器 |
| JP2017059324A (ja) * | 2015-09-14 | 2017-03-23 | 株式会社オーク製作所 | 紫外線照射装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6379024B1 (en) | Dielectric barrier excimer lamp and ultraviolet light beam irradiating apparatus with the lamp | |
| JP5027672B2 (ja) | 誘電バリア放電ランプのためのランプホルダ | |
| EP0721204A2 (en) | Dielectric barrier discharge lamp | |
| JP2009542437A (ja) | 放射線源及び冷却手段を含む流体処理システム | |
| CN110459460B (zh) | 准分子光源 | |
| US6858988B1 (en) | Electrodeless excimer UV lamp | |
| KR100697452B1 (ko) | 베이스를 갖는 유전성 배리어 방전 램프 | |
| JPH07288112A (ja) | 誘電体バリヤ放電ランプ装置 | |
| US6525472B2 (en) | Dielectric barrier discharge lamp | |
| KR100961316B1 (ko) | 엑시머 램프 및 자외선 조사장치 | |
| JPH07169443A (ja) | 誘電体バリヤ放電ランプ装置 | |
| JP2020185532A (ja) | 紫外線照射装置、及びこれを備えた気体処理装置 | |
| JP2013118072A (ja) | 紫外線放電ランプ | |
| CN111919279B (zh) | 透光性材料及灯以及气体处理装置及气体处理方法 | |
| JP2015069734A (ja) | エキシマランプ装置および光照射処理装置 | |
| JP2003092084A (ja) | 誘電体バリア放電ランプ装置 | |
| KR102451427B1 (ko) | 삼중관형 엑시머 램프 | |
| CN220526865U (zh) | 紫外线照射装置 | |
| JP3912139B2 (ja) | 放電ランプ装置 | |
| JP7056386B2 (ja) | ガス処理装置およびガス処理方法 | |
| JP2001155686A (ja) | 誘電体バリアエキシマランプ | |
| JP2022170000A (ja) | オゾン発生モジュール、オゾン発生装置、オゾン処理装置およびオゾン発生モジュールの交換方法 | |
| JP2001126664A (ja) | 誘電体バリア放電ランプ及び誘電体バリア放電ランプ照射装置 | |
| JP6670461B2 (ja) | 液体処理用エキシマランプ | |
| JP2024004646A (ja) | バリア放電ランプモジュール、および液体処理装置 |