JP2001126664A - 誘電体バリア放電ランプ及び誘電体バリア放電ランプ照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 誘電体バリア放電ランプ照射装置において、
誘電体バリア放電ランプの給電部と給電経路及び該照射
装置の電気部品収納部内に配置された電気部品とに対す
るオゾンによる酸化腐食を押さえ、該ランプの長寿命
化、及び該装置の安定した点灯時間の長期化を実現す
る。 【解決手段】 誘電体バリア放電ランプ４に設けられた
一方の電極に接続された給電部１３を持ち、該給電部１
３を介して該ランプ４と照射装置１とをつなぐ給電経路
１４に耐オゾン性材料を用いることを特徴とする。ま
た、誘電体バリア放電ランプ照射装置１は、該ランプ４
から放射される光を取り出す光透過性部材で構成された
窓部３を持つランプハウス２を持ち、該ランプハウス２
に隣接する電気部品収納部２１の内部圧力が照射装置１
周辺の圧力より高くなるようにすることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は誘電体バリア放電を
用いた誘電体バリア放電ランプ、及び該ランプを用いた
照射装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１３に従来例の誘電体バリア放電ラン
プの概略説明図を示す。図１３の（イ）は、該ランプの
縦断正面図、（ロ）は該ランプの縦断側面図、（ハ）は
該ランプの給電部の詳細な構造を示した斜視図である。
該ランプは、二重円筒管状の光透過性の誘電体で構成さ
れた放電容器１０と該放電容器１０の外円筒部１０１の
外表面１５に網状の第１の電極１１と該放電容器１０の
内円筒部１０２を構成する誘電体を介して配置された半
円筒状の第２の電極１２とを持ち、該第２の電極１２を
該放電容器１０の内円筒部１０２に密着固定させるバネ
性を有した第２の電極の保持部品１６に接続した銅製給
電部３１と銅線を用いた銅製給電経路３２と該給電経路
の一部として構成された銅製コネクター３３を持つ誘電
体バリア放電ランプであって、該放電容器１０の内部に
は放電用ガスとして例えばキセノンが充填されている。

【０００３】該ランプは、前記電極１１、１２の間に高
周波電圧を印加することにより、放電容器内に誘電体バ
リア放電が発生し、該放電が放電用ガスを励起しエキシ
マ分子を形成することにより、該放電用ガスの組成に固
有のエキシマ光を発生出来る。該ランプは、例えば半導
体や液晶の光洗浄工程に利用する紫外線照射用光源とし
て、また、蛍光体を介して利用する読み取り用光源とし
て広く用いられている。

【０００４】前記構成の誘電体バリア放電ランプは、点
灯動作時の印加電圧が、非常に高く、且つ高周波での点
灯を行い、該高電圧、高周波の点灯条件下では放電容器
内で発生する誘電体バリア放電以外に、大気と接してい
る電極表面や放電容器の近傍においても微弱な電気放
電、例えばコロナ放電などが発生し、大気中の酸素が該
電気放電によって励起状態となり微量のオゾンが生成さ
れる。一般的にオゾンは強い酸化性を持ち、前記の電気
放電によって生成されたオゾン量が微量であっても、周
辺装置や処理工程に悪影響を及ぼす場合がある。

【０００５】該ランプの放電用ガスを適宜選択すること
により２００ｎｍ以下の短波長の光、いわゆる真空紫外
光を発生させることが出来る。該真空紫外光は一般的に
知られている様に、酸素によって吸収される。該ランプ
を大気中で点灯すると発生した光の大部分が酸素によっ
て吸収され、該ランプからの光出力は激減する事にな
る。例えば、放電用ガスにキセノンを選択した場合、中
心発光波長はλ＝１７２ｎｍとなり、該波長での酸素の
吸収係数は１５ｃｍ^-1と大きく、ランプからの距離が約
３ｍｍ程度でその光の放射強度は１／２乃至１／３程度
になる。真空紫外光を吸収した酸素は、多量のオゾンを
生成する源となり、オゾンの持つ強い酸化性により周辺
装置や処理工程に悪影響を及ぼす場合がある。

【０００６】前記の真空紫外光が酸素により吸収されて
光出力が激減する事や該吸収による多量のオゾン発生、
更には大気と接している電極表面や放電容器近傍で発生
する前記電気放電により生成された微量のオゾンによる
装置の酸化等に伴う不具合を回避する為に、従来は該ラ
ンプから放射される光を取り出す光透過性部材で構成さ
れた窓部を持つランプハウス内に該ランプを配置し、該
ランプハウスに窒素ガスを流し大気と置換させランプハ
ウス内の酸素濃度を極力下げるという方法がとられてい
た。

【０００７】例えば公開特許公報特開平７−２８８１０
９では、キセノンを主成分とする放電用ガスを充たした
誘電体バリア放電ランプを、少なくとも一部が偏平な紫
外エキシマ光を取り出す窓部材で前方をおおった筐体
内、いわゆるランプハウスに、ヘリウム、ネオン、クリ
プトン、アルゴン、キセノン、水素、窒素、から選択さ
れた少なくとも一種のガスとともに配置することが開示
されている。

【０００８】該照射装置では、酸素の吸収による真空紫
外光の極端な減衰は解消されるが、窒素置換後でもラン
プハウス内に残存する微小の酸素や該ランプハウスのも
つ微小な隙間等から若干の酸素が混入し、ランプハウス
内に１０ｐｐｍ以下程度の微量のオゾンが生成される。
上記程度の微量のオゾンであっても、該照射装置を長時
間点灯使用した場合、前記ランプの給電部、及び給電経
路に使用している銅製の給電部材が該オゾンにより徐々
に酸化腐食され、導電性不良をおこしランプが点灯しな
くなるという問題があった。また、ランプと照射装置と
をつなぐ給電経路の一部であるコネクターが酸化腐食に
より外れなくなるなどの問題もあった。

【０００９】また、前記照射装置には、前記ランプハウ
スに隣接して隔壁で覆われた電気部品収納部が設けられ
ており、該電気部品収納部は、高周波電圧発生用のコイ
ルや前記ランプの出力モニター用回路等の電気部品が収
納されている。該電気部品各々は、該ランプハウスと該
電気部品収納部とを隔てる隔壁にネジ等を用いて機械的
に固定されている。前記の該ランプハウス内で生成され
たごく微量のオゾンが、前記電気部品収納部へ電気部品
固定用ネジ部等のごく微小隙間を通って進入し、該電気
部品を徐々に酸化腐食して行く場合もある。

【００１０】また、該ランプに高周波電圧を印加する給
電経路は，該電気部品収納部から該ランプハウス内に該
隔壁に設けられた該給電経路の一部を成すコネクターを
介して取り込まれている。前記の該ランプハウス内で生
成されたごく微量のオゾンは、前記電気部品収納部内へ
例えば電気部品固定用ネジ部等のごく微小隙間を通って
進入し、給電経路部材を徐々に酸化腐食して行くという
問題があった。更に、該ランプハウスの照射用窓部から
照射された真空紫外光が、照射装置の外で酸素と反応し
オゾンが生成され、該オゾンが該照射装置の電気部品収
納部に装置外部より周り込み、内部の電気部品を徐々に
酸化腐食させ、例えば高周波電圧発生用コイル等を動作
不能にするという問題があった。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】前記照射装置に具備し
た前記ランプの給電部とコネクター部分を含む給電経路
に対するオゾンによる酸化腐食、及び前記ランプハウス
に隣接する電気部品収納部内に配置された電気部品と給
電経路に対するオゾンによる酸化腐食を押さえ、長寿命
の誘電体バリア放電ランプ、及び長時間装置を点灯使用
しても安定な誘電体バリア放電ランプ照射装置を提供す
る事にある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明における誘電体バ
リア放電ランプは、少なくとも一部を誘電体で構成され
た放電容器と該放電容器に設けられた第１の電極と該誘
電体を介して配置された第２の電極とを有し、該第１及
び第２の電極に接続された給電部と給電経路を具備した
誘電体バリア放電ランプにおいて、少なくとも該給電
部、及び該給電経路の一部に耐オゾン性材料を使用、も
しくは被覆したことを特徴とする。

【００１３】上記の耐オゾン性材料としてＮｉ、または
Ｎｉ合金、もしくは他の耐オゾン性金属を用いることも
出来る。

【００１４】本発明における誘電体バリア放電ランプ照
射装置は、少なくとも該給電経路の一部に耐オゾン性材
料を使用、もしくは被覆したことを特徴とする。

【００１５】上記記載の照射装置は、耐オゾン性材料と
してＮｉ、またはＮｉ合金、もしくは他の耐オゾン性金
属、例えばアルミニウムやステンレス、金等を用いるこ
とも出来る。

【００１６】本発明における誘電体バリア放電ランプ照
射装置は、誘電体バリア放電ランプを具備し、該ランプ
から放射される光を取り出す光透過性部材で構成された
窓部を持つランプハウスと、該ランプハウスに隣接する
隔壁で覆われた電気部品収納部とを持ち、該電気部品収
納部の内部圧力が照射装置周辺の圧力より高くなるよう
にすることを特徴とする。

【００１７】上記構成の照射装置において、前記電気部
品収納部内の圧力を高くするために窒素ガスを該電気部
品収納部内に封入、又は流すことにより、例えば照射装
置外部周辺の圧力より１０乃至１０００Ｐａ程度の加圧
状態を作ることを特徴とする。該装置内に封入、又は流
すガスは窒素の他に、ヘリウム、ネオン、クリプトン、
アルゴン、キセノン、水素、から選択された少なくとも
一種のガスを使用する事が出来る。該電気部品収納部内
にガスを流す場合、オゾンを含まないクリーンエアーを
使用することもできる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の具体的な実施例
について説明する。図１（イ）は、誘電体バリア放電ラ
ンプを備えた照射装置の第一の実施例を示す説明図であ
る。図１（イ）に示すように、誘電体バリア放電ランプ
４を備えた照射装置１は、ランプハウス２と電気部品収
納部２１とから成り、該ランプハウス２には、光透過性
部材である石英ガラスで構成された窓部３があり、誘電
体バリア放電ランプ４より放射される光が反射板５で反
射され該窓部３から照射される。該ランプ４は、耐オゾ
ン性材料であるアルミニウムで構成されたランプ固定用
ブロック６に固定され該固定用ブロック６を介して電気
的に接地されている。また、該ランプ４の第２の電極へ
保持部品に取り付けられた給電部１３及び給電経路１４
を通って高周波電圧が印加されている。該給電経路１４
は、ランプハウス２に隣接した電気部品収納部２１にラ
ンプハウス２の隔壁に設けられた給電経路の一部を成す
コネクタ−８を介して高周波電圧発生用コイル２３に接
続されている。電気部品収納部２１には、該高周波電圧
発生用コイル２３の他に、該ランプの出力モニター用回
路等の制御用回路２２が収納されている。該制御用回路
２２や前記高周波電圧発生用コイル２３は、電気部品収
納部２１とランプハウス２とを隔てる隔壁上にネジによ
り機械的に固定されている。ランプからの給電部１３
や、給電経路１４には、耐オゾン性材料であるＮｉ材や
Ｎｉ合金が使用されている。また、ランプ側、及び照射
装置側に配置された給電経路の一部を成すコネクター８
にはＮｉ材を被覆している。更に、ランプハウス２に
は、窒素ガス置換用のガス導入口９Ａとガス排出口９Ｂ
が設けられている。該照射装置に設置された該ランプ４
は、二重円筒管状の石英ガラス製放電容器を持ち、放電
用ガスにはキセノンガスを用い、封入圧４０ｋＰａで封
入した。該ランプの点灯周波数を約２０ｋＨｚ、印加電
圧を６ｋＶの条件で点灯させたところ、長時間点灯後で
も該ランプの給電部１３、給電経路１４、及びコネクタ
ー８には、オゾンによる酸化及び酸化腐食による導電性
劣化やコネクターが外れなくなるなどの不具合は見られ
なかった。

【００１９】図１（ロ）に第二の実施例として示した該
照射装置は、前記構成と同等の構成において、ランプハ
ウスに隣接する電気部品収納部に窒素ガス置換のための
電気部品収納部用ガス導入口９Ｃ、電気部品収納部用ガ
ス排出口９Ｄが設けられている。該電気部品収納部２１
に窒素ガスを照射装置１周辺より３００Ｐａ加圧になる
ように流した。電気部品収納部の圧力を照射装置周辺よ
り高くすることで、照射装置外部より巻き込まれるオゾ
ンを回避できる。該照射装置に設置された該ランプの点
灯周波数を約２０ｋＨｚ、印加電圧を６ｋＶの条件で点
灯させたところ、長時間点灯後でも該照射装置１の該ラ
ンプ給電部１３、給電経路１４、該ランプと該照射装置
を接続している給電経路の一部を成すコネクター８、電
気部品収納部２１内の高周波電圧発生コイル２３等の各
部品は、オゾンによる酸化、更には酸化腐食によってコ
ネクターが外れなくなるなどの不具合、更に給電経路や
各電気部品の導電性劣化は見られなかった。

【００２０】第三の実施例として、図２（イ）に複数本
の誘電体バリア放電ランプを具備した照射装置を示す。
照射装置１は、石英ガラスで構成された窓部３を持つラ
ンプハウス２内に複数本の誘電体バリア放電ランプ４を
具備し、各ランプには反射板５が配置されアルミニウム
で構成されたランプ固定用ブロック６上に設置され、ガ
ス導入口９Ａより窒素ガスを１０ｌ／ｍｉｎ〜２０ｌ／
ｍｉｎ流している。更に、該ランプハウスに隣接する電
気部品収納部２１には、高周波電圧発生用コイル２３や
制御基板２２が配置され、高周波電圧発生用コイル２３
には給電部１３、給電経路１４、該給電経路の一部を成
すコネクター８を介してランプハウス２内の該ランプ４
に高周波高電圧を給電している。該装置に配置された該
ランプ４の給電部１３及び該装置の給電経路１４には、
耐オゾン性材料であるＮｉ合金が使用されており、コネ
クター８には同じく耐オゾン性材料として金が被覆され
ているため、オゾンによる酸化、及び酸化腐食による導
電性劣化やコネクターが外れなくなるなどの不具合は見
られなかった。図２（ロ）は、第四の実施例であり、図
２（イ）と同一構成の誘電体バリア放電ランプ照射装置
において、電気部品収納部用ガス導入部９Ｃと電気部品
収納部用ガス排出部９Ｄが備えられており、該ガス導入
部９Ｃと該ガス排出部９Ｄとを用いて窒素ガスを流量１
０ｌ／ｍｉｎ〜２０ｌ／ｍｉｎ程度流して加圧してい
る。これにより、電気部品収納部２１内へのオゾンの進
入が押さえられる。該照射装置に設置された該ランプの
点灯周波数を約２０ｋＨｚ、各ランプの印加電圧を６ｋ
Ｖの条件で点灯させたところ、長時間点灯後でも該照射
装置１の該ランプ給電部１３、照射装置の給電経路１
４、該給電経路の一部を成すコネクター８、電気部品収
納部２１内の高周波電圧発生コイル２３等の各部品に
は、オゾンによる酸化及び酸化腐食による給電経路や各
電気部品の導電性劣化やコネクターが外れなくなるなど
の不具合は見られなかった。

【００２１】第五の実施例として、図３（イ）にランプ
固定用ブロックに固定しない構造の照射装置を示す。照
射装置１は、石英ガラスで構成された窓部３を持つラン
プハウス２内にランプ両端を固定し、該窓部より放射す
る。窓面とは反対側に放射された光も反射板５を使って
効率良く取出している。また、電極１５の電気的接続
は、給電経路１４Ｂ、端子１８を介してランプハウスに
接地している。ガス導入口９Ａより窒素ガスを１０ｌ／
ｍｉｎ〜２０ｌ／ｍｉｎ流している。更に、該ランプハ
ウスに隣接する電気部品収納部２１には、高周波電圧発
生用コイル２３や制御基板２２が配置され、高周波電圧
発生用コイル２３には給電部１３、給電経路１４Ａ、該
給電経路の一部を成すコネクター８を介してランプハウ
ス２内の該ランプ４に高周波高電圧を給電している。該
装置に配置された該ランプ４の給電部１３及び該装置の
給電経路１４Ａ、１４Ｂには、耐オゾン性材料であるＮ
ｉ合金が使用されており、また、該給電経路の一部を成
すコネクター８、端子８はＮｉ材を被覆しているため、
オゾンによる酸化、及び酸化腐食による導電性劣化やコ
ネクターが外れなくなるなどの不具合は見られなかっ
た。図３（ロ）は、第六の実施例であり、図３（イ）と
同一構成の誘電体バリア放電ランプ照射装置において、
電気部品収納部用ガス導入部９Ｃと電気部品収納部用ガ
ス排出部９Ｄが備えられており、該ガス導入部９Ｃと該
ガス排出部９Ｄとを用いて窒素ガスを流量１０ｌ／ｍｉ
ｎ〜２０ｌ／ｍｉｎ程度流して加圧している。これによ
り、電気部品収納部２１内へのオゾンの進入が押さえら
れる。該照射装置に設置された該ランプの点灯周波数を
約２０ｋＨｚ、各ランプの印加電圧を６ｋＶの条件で点
灯させたところ、長時間点灯後でも該照射装置１の該ラ
ンプ給電部１３、照射装置の給電経路１４Ａ、１４Ｂ、
該給電経路の一部を成すコネクター８や端子１８、電気
部品収納部２１内の高周波電圧発生コイル２３等の各部
品には、オゾンによる酸化及び酸化腐食による給電経路
や各電気部品の導電性劣化やコネクターが外れなくなる
などの不具合は見られなかった。

【００２２】前記の実施例一から四に記載の照射装置に
配置された誘電体バリア放電ランプについての詳細な構
成を図４に示す。図４（イ）は該ランプの縦断正面図、
（ロ）は縦断側面図、（ハ）は該ランプの給電部の詳細
な構造を示す斜視図である。この誘電体バリア放電ラン
プは、光透過性の誘電体で構成された二重円筒管状の放
電容器１０と、該放電容器１０の外円筒部１０１の外表
面１５に形成された網状の第１の電極１１と該放電容器
１０の内円筒部１０２を構成する誘電体を介して配置さ
れた半円筒状の第２の電極１２より成り、該第１の電極
１１はランプ取り付け部であるランプ固定用ブロック等
を介して接地されており、第２の電極１２を該放電容器
１０の内円筒部１０２に密着固定させるバネ性を有した
第２の電極の保持部品１６に取り付けられた給電部１３
及び給電経路１４、該給電経路の一部を成すコネクター
８を介して高周波電圧発生用コイルに電気的に接続され
ている。第２の電極１２側の該給電部１３及び給電経路
１４、コネクター８には、Ｎｉ等が耐オゾン性材料とし
て用いられている。該放電容器１０には放電用ガスとし
て例えばキセノンガス等の希ガスや希ガスとハロゲンガ
スとの混合ガスが封入され、第１の電極１１と第２の電
極１２との間に誘電体である該放電容器１０を介して高
周波電圧が印加され、誘電体バリア放電により放電用ガ
スがエキシマ分子を構成し、放電用ガス固有のエキシマ
光、例えばキセノンガスが封入されている場合では、波
長λ＝１７２ｎｍの真空紫外光が生成される。

【００２３】前記照射装置の実施例五、六に記載の照射
装置に配置された誘電体バリア放電ランプについての詳
細な構成を図５に示す。図４に示した前記構成と同等の
構成において、該第１の電極１１の電気的接続は給電経
路１４Ｂ、端子１８を介してランプハウスに接地するこ
とでおこなっているものであり、Ｎｉ材等が耐オゾン性
材料として用いられている。

【００２４】本発明の照射装置に備えられた誘電体バリ
ア放電ランプは、前記図４、図５の形態に限定するもの
ではなく、種々の変更が可能である。

【００２５】例えば、少なくとも一部を誘電体材料で構
成された放電容器の形状としては、箱状、平板状、その
他の形状であっても良い。また、放電容器の構造は、図
４、図５に示したような二重円筒管構造以外に図６、図
７に示すような一重円筒管構造の放電容器でも良く、誘
電体１０を介して配置された一対の電極１１、１２の
内、一方の電極１２が放電容器１０内に配置され、該放
電容器１０内に充填された放電用ガスで覆われる構造の
誘電体バリア放電ランプを構成することもできる。

【００２６】図６は、一重円筒管構造の放電容器を持つ
誘電体バリア放電ランプの形態を示す一例であって、
（イ）は縦断正面図、（ロ）は縦断側面図を示したもの
である。図においては、光透過性の誘電体で構成された
一重円筒管構造の放電容器１０と該放電容器１０の外表
面１５上に配置した網状の第１の電極１１と該放電容器
１０内部の放電用ガスが充填される空洞部に配置された
第２の電極１２を具備し、該第２の電極の一部に接続さ
れた耐オゾン性材料で構成された給電部１３と耐オゾン
性材料で構成された給電経路１４や該給電経路の一部を
成すコネクター８を持つ誘電体バリア放電ランプであっ
て、放電容器１０の内部には放電用ガスとしてキセノン
が充填され、該第２の電極は放電用ガスで覆われてい
る。

【００２７】図７は、一重円筒管構造の放電容器を持つ
誘電体バリア放電ランプの形態を示す第２の例であっ
て、（イ）は縦断正面図、（ロ）は縦断側面図を示した
ものである。図においては、光透過性の誘電体で構成さ
れた放電容器１０と該放電容器１０の外表面１５上に形
成された板状の第１の電極１１と該放電容器１０の内部
の放電用ガスが充填される空洞部に配置された第２の電
極１２を具備し、該第２の電極の一部に接続された耐オ
ゾン性材料で構成された給電部１３と耐オゾン性材料で
構成された給電経路１４や該給電経路の一部を成すコネ
クター８を持つ誘電体バリア放電ランプであって、放電
容器１０の内部には放電用ガスとしてキセノンが充填さ
れ、該第２の電極１２は放電用ガスで覆われている。第
２の電極１２の一方の端部は、放電容器１０の内部に位
置している。

【００２８】尚、図６、図７に示した一重円筒管構造の
放電容器を持つ誘電体バリア放電ランプにおいて、第２
の電極の形状は、図に示したものには限らない。

【００２９】また、電極の配置は、図４から図７に示し
たような一方の電極を放電容器の外面に配置した形状だ
けでなく、図８、図９に示すような一対の電極を放電容
器の内部に配置する形状、図１０に示すような一対の電
極とも放電容器の外面に配置する形状、更に図１１に示
すような複数本の電極を放電容器の内部に配置する形状
などでも良い。

【００３０】図８は、本発明における誘電体バリア放電
ランプの形態を示す第５の例の概略を示す説明図であっ
て、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
第１の電極１１、及び第２の電極１２が円筒管状の放電
管１０の内部に配置され、該電極は各々誘電体１０Ｂで
覆われている。

【００３１】図９は、本発明における誘電体バリア放電
ランプの形態を示す第６の例の概略を示す説明図であっ
て、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
第１の電極１１、及び第２の電極１２が円筒管状の放電
管１０の内部に配置され、該電極の一つが誘電体１０Ｂ
で覆わ、他の一つが放電管内に封入された希ガスで覆わ
れている。

【００３２】図１０は、本発明における誘電体バリア放
電ランプの形態を示す第７の例の概略を示す説明図であ
って、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図であ
る。第１の電極１１、及び第２の電極１２が円筒管状の
放電管１０の外表面上に配置されている。該電極の各々
の形状は、一枚の板状電極からなり該放電管の円周上に
形成されている。

【００３３】図１１は、本発明における誘電体バリア放
電ランプの形態を示す第８の例の概略を示す説明図であ
って、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図であ
る。該ランプには、複数本の電極が放電管１０の内部に
配置され、第１の電極１１を構成するグループと第２の
電極１２を構成するグループとが該放電管内に交互に配
置されている。該電極を成す一つのグループは、誘電体
１０Ｂで覆わており、他の一つのグループは放電管内に
封入された希ガスで覆われている。

【００３４】放電容器を構成する誘電体材料としては、
石英ガラス以外に、例えばサファイア、フッ化マグネシ
ウム、フッ化カルシウム等の真空紫外光を透過する材
料、更には一部に光透過性を持たない誘電体を用いても
良い。

【００３５】放電用ガスとしては、キセノンガス以外の
希ガス、例えば、クリプトン、アルゴン等を用いる事が
できる。また、これらの希ガスとハロゲンガスとの混合
ガスを用いることもできる。

【００３６】誘電体バリア放電ランプにおける給電経路
１４と電極の保持部品１６との接続方法としては、スリ
ーブなどを用いて電極に直接カシメる以外に、ネジなど
による固定、耐オゾン製金属を用いたろう付け、直接溶
着、更には給電経路１４を巻きつけるだけでの固定等で
もよい。また、同様な方法で、給電経路１４を電極に直
接接続する事もできる。

【００３７】また、給電経路１４が接続される該給電経
路の一部を成すコネクター８は、はめ込み式のコネクタ
ー以外に、ばねの力で固定するもの、圧着端子等を用い
てネジで固定するもの、給電経路１４を直接ネジで固定
するもの、図１２のように間接的に固定するもの、給電
経路同士を直接巻き付けるだけのもの等がある。また、
ランプの電極を装置側の給電経路に直接接続したもので
も良い。

【００３８】図１２は、本発明の誘電体バリア放電ラン
プにおける給電部のその他の形状を示す説明図であっ
て、（イ）は正面図、（ロ）は横断側面図である。該給
電部の形状は、給電経路１４を板状部材等により挟ん
で、該ランプの電極と電気的に接合したものである。図
１２では、該板状部材としてネジ止め用の穴が開いてい
る一対の金属板が使用され、ネジによって該給電経路を
固定している。

【００３９】

【発明の効果】本発明によれば、誘電体バリア放電ラン
プの高周波電圧の給電部、給電経路に耐オゾン性材料を
用いる事により、該ランプを長時間点灯してもランプハ
ウス内に生成される極微量のオゾンによって該給電部、
該給電経路腐食されること無く、安定した長寿命の誘電
体バリア放電ランプ、及び長時間の点灯使用をしても安
定な誘電体バリア放電ランプ照射装置を提供できる。更
に、ランプハウスに隣接した電気部品収納部内の圧力を
周辺より高くすることにより、微小なオゾンの進入を押
さえ、該電気部品収納部に配置された各種電気部品がオ
ゾンによって酸化腐食されることが無く、長期間装置を
点灯使用しても安定な誘電体バリア放電ランプを用いた
照射装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明における誘電体バリア放電ランプ照射
装置の構成の一例を示す概略説明図であり、（イ）は給
電部及び給電経路に耐オゾン性材料を用いた第１の実施
例、（ロ）は第１の実施例に加えて電気部品収納部にガ
スを流し加圧にした第２の実施例である。

【図２】 本発明における誘電体バリア放電ランプ照射
装置の構成の一例を示す概略説明図であり、（イ）は該
ランプを複数本配置し給電部及び給電経路に耐オゾン性
材料を用いた第３の実施例、（ロ）は第３の実施例に加
えて電気部品収納部にガスを流して加圧にした第４の実
施例である。

【図３】 本発明における誘電体バリア放電ランプ照射
装置の構成の一例を示す概略説明図であり、（イ）は接
地された給電経路に固定用ブロックを用いない第五の実
施例、（ロ）は第五の実施例に加えて電気部品収納部に
ガスを流し加圧にした第六の実施例である。

【図４】 本発明における誘電体バリア放電ランプの構
成の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、
（ロ）は横断側面図、（ハ）は給電部の詳細を示す斜視
図である。

【図５】 本発明における誘電体バリア放電ランプの形
態を示す第４の例の概略を示す説明図であって、（イ）
は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。

【図６】 一重円筒管構造の放電容器を持つ誘電体バリ
ア放電ランプの形態を示す一例の概略を示す説明図であ
って、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図であ
る。

【図７】 一重円筒管構造の放電容器を持つ誘電体バリ
ア放電ランプの形態を示す第二の例の概略を示す説明図
であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図で
ある。

【図８】 本発明における誘電体バリア放電ランプの形
態を示す第５の例の概略を示す説明図であって、（イ）
は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。

【図９】 本発明における誘電体バリア放電ランプの形
態を示す第６の例の概略を示す説明図であって、（イ）
は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。

【図１０】 本発明における誘電体バリア放電ランプの
形態を示す第７の例の概略を示す説明図であって、
（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。

【図１１】 本発明における誘電体バリア放電ランプの
形態を示す第８の例の概略を示す説明図であって、
（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。

【図１２】 本発明の誘電体バリア放電ランプにおける
給電部の他の形状を示す概略図であって、（イ）は正面
図、（ロ）は側面図である。

【図１３】 従来の誘電体バリア放電ランプの構成を示
す一例の説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）
は横断側面図、（ハ）は給電部の詳細を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１ 照射装置 ２ ランプハウス ３ 窓部 ４ 誘電体バリア放電ランプ ５ 反射板 ６ ランプ固定用ブロック ７ 光透過性窓部材固定部 ８ コネクター ９Ａ ガス導入口 ９Ｂ ガス排出口 ９Ｃ 電気部品収納部用ガス導入口 ９Ｄ 電気部品収納部用ガス排出口 １０ 放電容器 １０Ｂ 放電管内に配置された電極を覆う誘電体 １０１ 放電容器の外円筒部 １０２ 放電容器の内円筒部 １１ 第１の電極 １２ 第２の電極 １３ 給電部 １４ 給電経路 １４Ａ 給電経路 １４Ｂ 接地される側の給電経路 １５ 放電容器の外表面 １６ 第２の電極の保持部品 １８ 第４の実施例における端子 ２１ 電気部品収納部 ２２ 制御基板 ２３ 高周波電圧発生用コイル ３１ 従来の誘電体バリア放電ランプの銅製給電部 ３２ 従来の誘電体バリア放電ランプの銅製給電経路 ３３ 従来の誘電体バリア放電ランプの銅製コネクター

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも一部を誘電体で構成された放
   電容器と該放電容器に設けられた第１の電極と該誘電体
   を介して配置された第２の電極とを有し、該第１及び第
   ２の電極に接続された給電部と給電経路を具備した誘電
   体バリア放電ランプにおいて、少なくとも該給電部、及
   び該給電経路の一部に耐オゾン性材料を使用、もしくは
   被覆したことを特徴とする誘電体バリア放電ランプ
2. 【請求項２】 請求項１に記載の耐オゾン性材料がＮ
   ｉ、またはＮｉ合金、もしくは他の耐オゾン性金属であ
   ることを特徴とする。
3. 【請求項３】 少なくとも一部を誘電体で構成された放
   電容器と該放電容器に設けられた第１の電極と該誘電体
   を介して配置された第２の電極とを有し、該第１及び第
   ２の電極に接続された給電部を持つ誘電体バリア放電ラ
   ンプと該ランプと照射装置をつなぐ給電経路を具備した
   照射装置において、少なくとも該給電経路の一部に耐オ
   ゾン性材料を使用、もしくは被覆したことを特徴とする
   誘電体バリア放電ランプ照射装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の耐オゾン性材料がＮ
   ｉ、またはＮｉ合金、もしくは他の耐オゾン性金属であ
   ることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ照射装置
5. 【請求項５】 誘電体バリア放電ランプを具備し、該ラ
   ンプから放射される光を取り出す光透過性部材で構成さ
   れた窓部を持つランプハウスと、該ランプハウスに隣接
   する隔壁で覆われた電気部品収納部とを持つ照射装置に
   おいて、該電気部品収納部の内部圧力が照射装置周辺の
   圧力より高くなるようにしたことを特徴とする誘電体バ
   リア放電ランプ照射装置