JP2009218055A - エキシマランプ及び当該エキシマランプの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、誘電体材料より構成される放電容器の内部に形成された密閉空間に放電用ガスが封入され、金属薄膜よりなる一対の電極が前記密閉空間を挟んで前記放電容器の外表面に形成され、各々の電極に給電するための各々のリード線が各々の電極にロウ材を介して電気的に接続されたエキシマランプにおいて、前記ロウ材の周囲には保護膜が形成されていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
同図に示すエキシマランプAは、誘電体材料からなる直方体形状の放電容器Bの内部に形成された密閉空間Sにエキシマ分子を生成するガスが封入されていると共に、放電容器Bの密閉空間Sを挟んで対向する位置に設けられた一対の電極C、Dとを備えている。各々の電極C、Dは、ニッケル又はクロムなどの金属薄膜を真空蒸着することによって形成されている。一方の電極Dは、紫外線を取り出すためにリード線を付設する端部を除きメッシュ状に形成されている。電極Dの端部には、剥きだしになった複数本の芯線をほぐした状態にしたリード線Eの芯線部Eaがロウ材Fを用いることによってロウ付けされている。
1.放電容器の外表面に金属薄膜よりなる電極を形成する工程
2.1の工程の後にロウ材を加熱溶融させることにより外部電極とリード線とをロウ材を介して電気的に接続する工程
3.2の工程の後にロウ材の周囲にポリシラザン溶液を塗布すると共に乾燥させてロウ材の周囲に保護膜を形成する工程
エキシマランプ100は、誘電体材料である合成石英ガラスより構成された、四隅に丸みを有する扁平な角筒形状の放電容器1を有している。放電容器1の内部に形成された密閉空間Sには、例えばキセノンガスなどの希ガスや、希ガスに塩素ガスなどのハロゲンガスを混合したものが放電ガスとして充填されており、ガスの種類によって異なる波長のエキシマ光を発光させることができる。放電ガスは、通常は、10〜100KPa程度の圧力で充填されている。
<第1の工程>
図3(イ)に示すように、合成石英ガラスよりなる扁平な筒状の放電容器1の上方側に位置する平坦壁11上に上記した金属を印刷又は蒸着することによって金属薄膜よりなる電極3を形成する。
<第2の工程>
第1の工程の後に、図3(ロ)に示すように、リード線15の芯線部15aを電極3上に配置した状態で両者の近傍にロウ材17の塊を配置して300℃程度の温度でロウ材を加熱して溶融させる。溶融したロウ材を常温まで自然冷却することによって芯線部15aと電極3とを固定する。
<第3の工程>
第2の工程の後に、図3(ハ)に示すように、ロウ材17の周囲にハケを用いて塗布したポリシラザン溶液18´に対し大気中で90℃程度の温度で1時間の熱処理を行う。ポリシラザン溶液18´を常温まで自然冷却して乾燥させることによって、図3(ニ)に示すようにロウ材17の周囲にシリカよりなる保護膜18を形成する。
紫外線照射処理装置は、窒素などの不活性ガスが充填された筐体40内に配置されたエキシマランプ100から放射される紫外線を、複数のローラー42よって筐体40の下方を水平方向に搬送される被処理体Wに対して照射して、該被処理体Wの表面の洗浄などの処理を行うものである。被処理体Wは、シリコンウェハ基板、液晶ディスプレイ製造用、プラズマディスプレイパネル製造用などのフラットパネルディスプレイ製造用のガラス基板等である。これらの基板の表面は、各製造工程経過により状態が異なっており、レジスト、透明導電膜、電気回路などを施した状態とされている。
図5に示す形態によれば、リード線15は、芯線部15a、被覆部15bの他に、芯線部15aを束ねるニッケル製のスリーブ19と当該スリーブ19に溶接された板状の給電端子20とを備えている。リード線15は、板状の接続端子20がロウ材17によって電極3に固定されることにより、給電端子20を介して電極3に電気的に接続されている。スリーブ19および給電端子20は、エキシマランプの周囲に発生したオゾンによって酸化することに伴って劣化することを防止するため、それぞれ耐オゾン性材料によって構成されている。例えば、スリーブ19はニッケル、給電端子20はニッケルによって構成されている。
また、薄板状の給電端子20を設けることにより、芯線部15a或いは芯線部15aを束ねるスリーブ19を電極3に対して直接的にロウ付けする場合に比べると、電極3との接触面積を確保することができると共に熱容量を電極3に近似させることができるのでロウ材17による固定を容易に行うことができる。そのため、給電端子20と電極3との機械的な接続強度が高くなり、リード線15と電極3との電気的接続の信頼性を高いものとすることができる。板状の給電端子20は、その熱容量が電極3の熱容量に近いことが好ましい。
また、ロウ材17の周囲の他、導電性ペースト21の周囲にも保護膜18が形成されているので、耐オゾン性の低い材料によって構成される導電性ペースト21がエキシマランプの周囲に発生したオゾンによって酸化して劣化する心配がない。
1 放電容器
3 電極
3a リード線固定部
3b 放電形成部
4 電極
11 平坦壁
12 平坦壁
13 湾曲部
14 給電装置
15 リード線
15a 芯線
15b 被覆部
16 リード線
17 ロウ材
18 保護膜
19 スリーブ
20 給電端子
21 導電性ペースト
Claims (7)
- 誘電体材料より構成される放電容器の内部に形成された密閉空間に放電用ガスが封入され、金属薄膜よりなる一対の電極が前記密閉空間を挟んで前記放電容器の外表面に形成され、各々の電極に給電するための各々のリード線が各々の電極にロウ材を介して電気的に接続されたエキシマランプにおいて、
前記ロウ材の周囲には保護膜が形成されていることを特徴とするエキシマランプ。 - 前記リード線には板状の給電端子が接続されており、当該給電端子と前記電極とが前記ロウ材によって接続されていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記給電端子の周囲に前記保護膜が形成されていることを特徴とする請求項2に記載のエキシマランプ。
- 前記保護膜がシリカよりなることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記保護膜がポリシラザン溶液を塗布乾燥させることによって形成されていることを特徴とする請求項4に記載のエキシマランプ。
- 前記電極は、前記リード線が接続された箇所とそれ以外の箇所とが離反していると共に当該リード線が接続された箇所とそれ以外の箇所とが導電性ペーストによって電気的に接続され、当該導電性ペーストの周囲には前記保護膜が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 誘電体材料より構成される放電容器の内部に形成された密閉空間に放電用ガスが封入され、金属薄膜よりなる一対の電極が前記密閉空間を挟んで前記放電容器の外表面に形成され、各々の電極に給電するための各々のリード線が各々の電極にロウ材を介して電気的に接続されたエキシマランプの製造方法において、以下の工程を備えることを特徴とする。
1.放電容器の外表面に金属薄膜よりなる電極を形成する工程
2.1の工程の後にロウ材を加熱溶融させることにより外部電極とリード線とをロウ材を介して電気的に接続する工程
3.2の工程の後にロウ材の周囲にポリシラザン溶液を塗布し、シリカに転化させてロウ材の周囲に保護膜を形成する工程
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