JP3593934B2 - 誘電体バリア放電ランプ照射装置 - Google Patents
誘電体バリア放電ランプ照射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3593934B2 JP3593934B2 JP30142499A JP30142499A JP3593934B2 JP 3593934 B2 JP3593934 B2 JP 3593934B2 JP 30142499 A JP30142499 A JP 30142499A JP 30142499 A JP30142499 A JP 30142499A JP 3593934 B2 JP3593934 B2 JP 3593934B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lamp
- power supply
- dielectric barrier
- discharge
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は誘電体バリア放電を用いた誘電体バリア放電ランプを用いた照射装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１３に従来例の誘電体バリア放電ランプの概略説明図を示す。図１３の（イ）は、該ランプの縦断正面図、（ロ）は該ランプの縦断側面図、（ハ）は該ランプの給電部の詳細な構造を示した斜視図である。該ランプは、二重円筒管状の光透過性の誘電体で構成された放電容器１０と該放電容器１０の外円筒部１０１の外表面１５に網状の第１の電極１１と該放電容器１０の内円筒部１０２を構成する誘電体を介して配置された半円筒状の第２の電極１２とを持ち、該第２の電極１２を該放電容器１０の内円筒部１０２に密着固定させるバネ性を有した第２の電極の保持部品１６に接続した銅製給電部３１と銅線を用いた銅製給電経路３２と該給電経路の一部として構成された銅製コネクター３３を持つ誘電体バリア放電ランプであって、該放電容器１０の内部には放電用ガスとして例えばキセノンが充填されている。
【０００３】
該ランプは、前記電極１１、１２の間に高周波電圧を印加することにより、放電容器内に誘電体バリア放電が発生し、該放電が放電用ガスを励起しエキシマ分子を形成することにより、該放電用ガスの組成に固有のエキシマ光を発生出来る。該ランプは、例えば半導体や液晶の光洗浄工程に利用する紫外線照射用光源として、また、蛍光体を介して利用する読み取り用光源として広く用いられている。
【０００４】
前記構成の誘電体バリア放電ランプは、点灯動作時の印加電圧が、非常に高く、且つ高周波での点灯を行い、該高電圧、高周波の点灯条件下では放電容器内で発生する誘電体バリア放電以外に、大気と接している電極表面や放電容器の近傍においても微弱な電気放電、例えばコロナ放電などが発生し、大気中の酸素が該電気放電によって励起状態となり微量のオゾンが生成される。一般的にオゾンは強い酸化性を持ち、前記の電気放電によって生成されたオゾン量が微量であっても、周辺装置や処理工程に悪影響を及ぼす場合がある。
【０００５】
該ランプの放電用ガスを適宜選択することにより２００ｎｍ以下の短波長の光、いわゆる真空紫外光を発生させることが出来る。該真空紫外光は一般的に知られている様に、酸素によって吸収される。該ランプを大気中で点灯すると発生した光の大部分が酸素によって吸収され、該ランプからの光出力は激減する事になる。例えば、放電用ガスにキセノンを選択した場合、中心発光波長はλ＝１７２ｎｍとなり、該波長での酸素の吸収係数は１５ｃｍ-1 と大きく、ランプからの距離が約３ｍｍ程度でその光の放射強度は１／２乃至１／３程度になる。真空紫外光を吸収した酸素は、多量のオゾンを生成する源となり、オゾンの持つ強い酸化性により周辺装置や処理工程に悪影響を及ぼす場合がある。
【０００６】
前記の真空紫外光が酸素により吸収されて光出力が激減する事や該吸収による多量のオゾン発生、更には大気と接している電極表面や放電容器近傍で発生する前記電気放電により生成された微量のオゾンによる装置の酸化等に伴う不具合を回避する為に、従来は該ランプから放射される光を取り出す光透過性部材で構成された窓部を持つランプハウス内に該ランプを配置し、該ランプハウスに窒素ガスを流し大気と置換させランプハウス内の酸素濃度を極力下げるという方法がとられていた。
【０００７】
例えば公開特許公報特開平７−２８８１０９では、キセノンを主成分とする放電用ガスを充たした誘電体バリア放電ランプを、少なくとも一部が偏平な紫外エキシマ光を取り出す窓部材で前方をおおった筐体内、いわゆるランプハウスに、ヘリウム、ネオン、クリプトン、アルゴン、キセノン、水素、窒素、から選択された少なくとも一
種のガスとともに配置することが開示されている。
【０００８】
【０００９】
前記照射装置には、前記ランプハウスに隣接して隔壁で覆われた電気部品収納部が設けられており、該電気部品収納部は、高周波電圧発生用のコイルや前記ランプの出力モニター用回路等の電気部品が収納されている。該電気部品各々は、該ランプハウスと該電気部品収納部とを隔てる隔壁にネジ等を用いて機械的に固定されている。
【００１０】
そして、該ランプハウスの照射用窓部から照射された真空紫外光が、照射装置の外で酸素と反応しオゾンが生成され、該オゾンが該照射装置の電気部品収納部に装置外部より周り込み、内部の電気部品を徐々に酸化腐食させ、例えば高周波電圧発生用コイル等を動作不能にするという問題があった。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
前記ランプハウスに隣接する電気部品収納部内に配置された電気部品に対するオゾンによる酸化腐食を押さえ、長時間装置を点灯使用しても安定な誘電体バリア放電ランプ照射装置を提供する事にある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【００１６】
本発明における誘電体バリア放電ランプ照射装置は、少なくとも一部を誘電体で構成された放電容器と該放電容器に設けられた第１の電極と該誘電体を介して配置された第２の電極とを有する誘電体バリア放電ランプを具備し、該ランプから放射される光を取り出す光透過性部材で構成された窓部を持つランプハウスと、該ランプハウスに隣接する隔壁で覆われた電気部品収納部とを持ち、該電気部品収納部の内部圧力が照射装置周辺の圧力より高くなるようにすることを特徴とする。
【００１７】
上記構成の照射装置において、前記電気部品収納部内の圧力を高くするために窒素ガスを該電気部品収納部内に封入、又は流すことにより、例えば照射装置外部周辺の圧力より１０乃至１０００Ｐａ程度の加圧状態を作ることを特徴とする。該装置内に封入、又は流すガスは窒素の他に、ヘリウム、ネオン、クリプトン、アルゴン、キセノン、水素、から選択された少なくとも一種のガスを使用する事が出来る。該電気部品収納部内にガスを流す場合、オゾンを含まないクリーンエアーを使用することもできる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の具体的な実施例について説明する。図１（イ）は、誘電体バリア放電ランプを備えた照射装置の第一の実施例を示す説明図である。図１（イ）に示すように、誘電体バリア放電ランプ４を備えた照射装置１は、ランプハウス２と電気部品収納部２１とから成り、該ランプハウス２には、光透過性部材である石英ガラスで構成された窓部３があり、誘電体バリア放電ランプ４より放射される光が反射板５で反射され該窓部３から照射される。該ランプ４は、耐オゾン性材料であるアルミニウムで構成されたランプ固定用ブロック６に固定され該固定用ブロック６を介して電気的に接地されている。また、該ランプ４の第２の電極へ保持部品に取り付けられた給電部１３及び給電経路１４を通って高周波電圧が印加されている。該給電経路１４は、ランプハウス２に隣接した電気部品収納部２１にランプハウス２の隔壁に設けられた給電経路の一部を成すコネクタ−８を介して高周波電圧発生用コイル２３に接続されている。電気部品収納部２１には、該高周波電圧発生用コイル２３の他に、該ランプの出力モニター用回路等の制御用回路２２が収納されている。該制御用回路２２や前記高周波電圧発生用コイル２３は、電気部品収納部２１とランプハウス２とを隔てる隔壁上にネジにより機械的に固定されている。ランプからの給電部１３や、給電経路１４には、耐オゾン性材料であるＮｉ材やＮｉ合金が使用されている。また、ランプ側、及び照射装置側に配置された給電経路の一部を成すコネクター８にはＮｉ材を被覆している。更に、ランプハウス２には、窒素ガス置換用のガス導入口９Ａとガス排出口９Ｂが設けられている。該照射装置に設置された該ランプ４は、二重円筒管状の石英ガラス製放電容器を持ち、放電用ガスにはキセノンガスを用い、封入圧４０ｋＰａで封入した。該ランプの点灯周波数を約２０ｋＨｚ、印加電圧を６ｋＶの条件で点灯させたところ、長時間点灯後でも該ランプの給電部１３、給電経路１４、及びコネクター８には、オゾンによる酸化及び酸化腐食による導電性劣化やコネクターが外れなくなるなどの不具合は見られなかった。
【００１９】
図１（ロ）に第二の実施例として示した該照射装置は、前記構成と同等の構成において、ランプハウスに隣接する電気部品収納部に窒素ガス置換のための電気部品収納部用ガス導入口９Ｃ、電気部品収納部用ガス排出口９Ｄが設けられている。該電気部品収納部２１に窒素ガスを照射装置１周辺より３００Ｐａ加圧になるように流した。電気部品収納部の圧力を照射装置周辺より高くすることで、照射装置外部より巻き込まれるオゾンを回避できる。該照射装置に設置された該ランプの点灯周波数を約２０ｋＨｚ、印加電圧を６ｋＶの条件で点灯させたところ、長時間点灯後でも該照射装置１の該ランプ給電部１３、給電経路１４、該ランプと該照射装置を接続している給電経路の一部を成すコネクター８、電気部品収納部２１内の高周波電圧発生コイル２３等の各部品は、オゾンによる酸化、更には酸化腐食によってコネクターが外れなくなるなどの不具合、更に給電経路や各電気部品の導電性劣化は見られなかった。
【００２０】
第三の実施例として、図２（イ）に複数本の誘電体バリア放電ランプを具備した照射装置を示す。照射装置１は、石英ガラスで構成された窓部３を持つランプハウス２内に複数本の誘電体バリア放電ランプ４を具備し、各ランプには反射板５が配置されアルミニウムで構成されたランプ固定用ブロック６上に設置され、ガス導入口９Ａより窒素ガスを１０ｌ／ｍｉｎ〜２０ｌ／ｍｉｎ流している。更に、該ランプハウスに隣接する電気部品収納部２１には、高周波電圧発生用コイル２３や制御基板２２が配置され、高周波電圧発生用コイル２３には給電部１３、給電経路１４、該給電経路の一部を成すコネクター８を介してランプハウス２内の該ランプ４に高周波高電圧を給電している。該装置に配置された該ランプ４の給電部１３及び該装置の給電経路１４には、耐オゾン性材料であるＮｉ合金が使用されており、コネクター８には同じく耐オゾン性材料として金が被覆されているため、オゾンによる酸化、及び酸化腐食による導電性劣化やコネクターが外れなくなるなどの不具合は見られなかった。図２（ロ）は、第四の実施例であり、図２（イ）と同一構成の誘電体バリア放電ランプ照射装置において、電気部品収納部用ガス導入部９Ｃと電気部品収納部用ガス排出部９Ｄが備えられており、該ガス導入部９Ｃと該ガス排出部９Ｄとを用いて窒素ガスを流量１０ｌ／ｍｉｎ〜２０ｌ／ｍｉｎ程度流して加圧している。これにより、電気部品収納部２１内へのオゾンの進入が押さえられる。該照射装置に設置された該ランプの点灯周波数を約２０ｋＨｚ、各ランプの印加電圧を６ｋＶの条件で点灯させたところ、長時間点灯後でも該照射装置１の該ランプ給電部１３、照射装置の給電経路１４、該給電経路の一部を成すコネクター８、電気部品収納部２１内の高周波電圧発生コイル２３等の各部品には、オゾンによる酸化及び酸化腐食による給電経路や各電気部品の導電性劣化やコネクターが外れなくなるなどの不具合は見られなかった。
【００２１】
第五の実施例として、図３（イ）にランプ固定用ブロックに固定しない構造の照射装置を示す。照射装置１は、石英ガラスで構成された窓部３を持つランプハウス２内にランプ両端を固定し、該窓部より放射する。窓面とは反対側に放射された光も反射板５を使って効率良く取出している。また、電極１５の電気的接続は、給電経路１４Ｂ、端子１８を介してランプハウスに接地している。ガス導入口９Ａより窒素ガスを１０ｌ／ｍｉｎ〜２０ｌ／ｍｉｎ流している。更に、該ランプハウスに隣接する電気部品収納部２１には、高周波電圧発生用コイル２３や制御基板２２が配置され、高周波電圧発生用コイル２３には給電部１３、給電経路１４Ａ、該給電経路の一部を成すコネクター８を介してランプハウス２内の該ランプ４に高周波高電圧を給電している。該装置に配置された該ランプ４の給電部１３及び該装置の給電経路１４Ａ、１４Ｂには、耐オゾン性材料であるＮｉ合金が使用されており、また、該給電経路の一部を成すコネクター８、端子８はＮｉ材を被覆しているため、オゾンによる酸化、及び酸化腐食による導電性劣化やコネクターが外れなくなるなどの不具合は見られなかった。図３（ロ）は、第六の実施例であり、図３（イ）と同一構成の誘電体バリア放電ランプ照射装置において、電気部品収納部用ガス導入部９Ｃと電気部品収納部用ガス排出部９Ｄが備えられており、該ガス導入部９Ｃと該ガス排出部９Ｄとを用いて窒素ガスを流量１０ｌ／ｍｉｎ〜２０ｌ／ｍｉｎ程度流して加圧している。これにより、電気部品収納部２１内へのオゾンの進入が押さえられる。該照射装置に設置された該ランプの点灯周波数を約２０ｋＨｚ、各ランプの印加電圧を６ｋＶの条件で点灯させたところ、長時間点灯後でも該照射装置１の該ランプ給電部１３、照射装置の給電経路１４Ａ、１４Ｂ、該給電経路の一部を成すコネクター８や端子１８、電気部品収納部２１内の高周波電圧発生コイル２３等の各部品には、オゾンによる酸化及び酸化腐食による給電経路や各電気部品の導電性劣化やコネクターが外れなくなるなどの不具合は見られなかった。
【００２２】
前記の実施例一から四に記載の照射装置に配置された誘電体バリア放電ランプについての詳細な構成を図４に示す。図４（イ）は該ランプの縦断正面図、（ロ）は縦断側面図、（ハ）は該ランプの給電部の詳細な構造を示す斜視図である。この誘電体バリア放電ランプは、光透過性の誘電体で構成された二重円筒管状の放電容器１０と、該放電容器１０の外円筒部１０１の外表面１５に形成された網状の第１の電極１１と該放電容器１０の内円筒部１０２を構成する誘電体を介して配置された半円筒状の第２の電極１２より成り、該第１の電極１１はランプ取り付け部であるランプ固定用ブロック等を介して接地されており、第２の電極１２を該放電容器１０の内円筒部１０２に密着固定させるバネ性を有した第２の電極の保持部品１６に取り付けられた給電部１３及び給電経路１４、該給電経路の一部を成すコネクター８を介して高周波電圧発生用コイルに電気的に接続されている。第２の電極１２側の該給電部１３及び給電経路１４、コネクター８には、Ｎｉ等が耐オゾン性材料として用いられている。該放電容器１０には放電用ガスとして例えばキセノンガス等の希ガスや希ガスとハロゲンガスとの混合ガスが封入され、第１の電極１１と第２の電極１２との間に誘電体である該放電容器１０を介して高周波電圧が印加され、誘電体バリア放電により放電用ガスがエキシマ分子を構成し、放電用ガス固有のエキシマ光、例えばキセノンガスが封入されている場合では、波長λ＝１７２ｎｍの真空紫外光が生成される。
【００２３】
前記照射装置の実施例五、六に記載の照射装置に配置された誘電体バリア放電ランプについての詳細な構成を図５に示す。図４に示した前記構成と同等の構成において、該第１の電極１１の電気的接続は給電経路１４Ｂ、端子１８を介してランプハウスに接地することでおこなっているものであり、Ｎｉ材等が耐オゾン性材料として用いられている。
【００２４】
本発明の照射装置に備えられた誘電体バリア放電ランプは、前記図４、図５の形態に限定するものではなく、種々の変更が可能である。
【００２５】
例えば、少なくとも一部を誘電体材料で構成された放電容器の形状としては、箱状、平板状、その他の形状であっても良い。また、放電容器の構造は、図４、図５に示したような二重円筒管構造以外に図６、図７に示すような一重円筒管構造の放電容器でも良く、誘電体１０を介して配置された一対の電極１１、１２の内、一方の電極１２が放電容器１０内に配置され、該放電容器１０内に充填された放電用ガスで覆われる構造の誘電体バリア放電ランプを構成することもできる。
【００２６】
図６は、一重円筒管構造の放電容器を持つ誘電体バリア放電ランプの形態を示す一例であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は縦断側面図を示したものである。図においては、光透過性の誘電体で構成された一重円筒管構造の放電容器１０と該放電容器１０の外表面１５上に配置した網状の第１の電極１１と該放電容器１０内部の放電用ガスが充填される空洞部に配置された第２の電極１２を具備し、該第２の電極の一部に接続された耐オゾン性材料で構成された給電部１３と耐オゾン性材料で構成された給電経路１４や該給電経路の一部を成すコネクター８を持つ誘電体バリア放電ランプであって、放電容器１０の内部には放電用ガスとしてキセノンが充填され、該第２の電極は放電用ガスで覆われている。
【００２７】
図７は、一重円筒管構造の放電容器を持つ誘電体バリア放電ランプの形態を示す第２の例であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は縦断側面図を示したものである。図においては、光透過性の誘電体で構成された放電容器１０と該放電容器１０の外表面１５上に形成された板状の第１の電極１１と該放電容器１０の内部の放電用ガスが充填される空洞部に配置された第２の電極１２を具備し、該第２の電極の一部に接続された耐オゾン性材料で構成された給電部１３と耐オゾン性材料で構成された給電経路１４や該給電経路の一部を成すコネクター８を持つ誘電体バリア放電ランプであって、放電容器１０の内部には放電用ガスとしてキセノンが充填され、該第２の電極１２は放電用ガスで覆われている。第２の電極１２の一方の端部は、放電容器１０の内部に位置している。
【００２８】
尚、図６、図７に示した一重円筒管構造の放電容器を持つ誘電体バリア放電ランプにおいて、第２の電極の形状は、図に示したものには限らない。
【００２９】
また、電極の配置は、図４から図７に示したような一方の電極を放電容器の外面に配置した形状だけでなく、図８、図９に示すような一対の電極を放電容器の内部に配置する形状、図１０に示すような一対の電極とも放電容器の外面に配置する形状、更に図１１に示すような複数本の電極を放電容器の内部に配置する形状などでも良い。
【００３０】
図８は、本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第５の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。第１の電極１１、及び第２の電極１２が円筒管状の放電管１０の内部に配置され、該電極は各々誘電体１０Ｂで覆われている。
【００３１】
図９は、本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第６の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。第１の電極１１、及び第２の電極１２が円筒管状の放電管１０の内部に配置され、該電極の一つが誘電体１０Ｂで覆わ、他の一つが放電管内に封入された希ガスで覆われている。
【００３２】
図１０は、本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第７の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。第１の電極１１、及び第２の電極１２が円筒管状の放電管１０の外表面上に配置されている。該電極の各々の形状は、一枚の板状電極からなり該放電管の円周上に形成されている。
【００３３】
図１１は、本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第８の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。該ランプには、複数本の電極が放電管１０の内部に配置され、第１の電極１１を構成するグループと第２の電極１２を構成するグループとが該放電管内に交互に配置されている。該電極を成す一つのグループは、誘電体１０Ｂで覆わており、他の一つのグループは放電管内に封入された希ガスで覆われている。
【００３４】
放電容器を構成する誘電体材料としては、石英ガラス以外に、例えばサファイア、フッ化マグネシウム、フッ化カルシウム等の真空紫外光を透過する材料、更には一部に光透過性を持たない誘電体を用いても良い。
【００３５】
放電用ガスとしては、キセノンガス以外の希ガス、例えば、クリプトン、アルゴン等を用いる事ができる。また、これらの希ガスとハロゲンガスとの混合ガスを用いることもできる。
【００３６】
誘電体バリア放電ランプにおける給電経路１４と電極の保持部品１６との接続方法としては、スリーブなどを用いて電極に直接カシメる以外に、ネジなどによる固定、耐オゾン製金属を用いたろう付け、直接溶着、更には給電経路１４を巻きつけるだけでの固定等でもよい。また、同様な方法で、給電経路１４を電極に直接接続する事もできる。
【００３７】
また、給電経路１４が接続される該給電経路の一部を成すコネクター８は、はめ込み式のコネクター以外に、ばねの力で固定するもの、圧着端子等を用いてネジで固定するもの、給電経路１４を直接ネジで固定するもの、図１２のように間接的に固定するもの、給電経路同士を直接巻き付けるだけのもの等がある。また、ランプの電極を装置側の給電経路に直接接続したものでも良い。
【００３８】
図１２は、本発明の誘電体バリア放電ランプにおける給電部のその他の形状を示す説明図であって、（イ）は正面図、（ロ）は横断側面図である。該給電部の形状は、給電経路１４を板状部材等により挟んで、該ランプの電極と電気的に接合したものである。図１２では、該板状部材としてネジ止め用の穴が開いている一対の金属板が使用され、ネジによって該給電経路を固定している。
【００３９】
【発明の効果】
本発明によれば、ランプハウスに隣接した電気部品収納部内の圧力を周辺より高くすることにより、微小なオゾンの進入を押さえ、該電気部品収納部に配置された各種電気部品がオゾンによって酸化腐食されることが無く、長期間装置を点灯使用しても安定な誘電体バリア放電ランプを用いた照射装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における誘電体バリア放電ランプ照射装置の構成の一例を示す概略説明図であり、（イ）は給電部及び給電経路に耐オゾン性材料を用いた第１の実施例、（ロ）は第１の実施例に加えて電気部品収納部にガスを流し加圧にした第２の実施例である。
【図２】本発明における誘電体バリア放電ランプ照射装置の構成の一例を示す概略説明図であり、（イ）は該ランプを複数本配置し給電部及び給電経路に耐オゾン性材料を用いた第３の実施例、（ロ）は第３の実施例に加えて電気部品収納部にガスを流して加圧にした第４の実施例である。
【図３】本発明における誘電体バリア放電ランプ照射装置の構成の一例を示す概略説明図であり、（イ）は接地された給電経路に固定用ブロックを用いない第五の実施例、（ロ）は第五の実施例に加えて電気部品収納部にガスを流し加圧にした第六の実施例である。
【図４】本発明における誘電体バリア放電ランプの構成の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図、（ハ）は給電部の詳細を示す斜視図である。
【図５】本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第４の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
【図６】一重円筒管構造の放電容器を持つ誘電体バリア放電ランプの形態を示す一例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
【図７】一重円筒管構造の放電容器を持つ誘電体バリア放電ランプの形態を示す第二の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
【図８】本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第５の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
【図９】本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第６の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
【図１０】本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第７の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
【図１１】本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第８の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
【図１２】本発明の誘電体バリア放電ランプにおける給電部の他の形状を示す概略図であって、（イ）は正面図、（ロ）は側面図である。
【図１３】従来の誘電体バリア放電ランプの構成を示す一例の説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図、（ハ）は給電部の詳細を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ 照射装置
２ ランプハウス
３ 窓部
４ 誘電体バリア放電ランプ
５ 反射板
６ ランプ固定用ブロック
７ 光透過性窓部材固定部
８ コネクター
９Ａ ガス導入口
９Ｂ ガス排出口
９Ｃ 電気部品収納部用ガス導入口
９Ｄ 電気部品収納部用ガス排出口
１０ 放電容器
１０Ｂ 放電管内に配置された電極を覆う誘電体
１０１ 放電容器の外円筒部
１０２ 放電容器の内円筒部
１１ 第１の電極
１２ 第２の電極
１３ 給電部
１４ 給電経路
１４Ａ 給電経路
１４Ｂ 接地される側の給電経路
１５ 放電容器の外表面
１６ 第２の電極の保持部品
１８ 第４の実施例における端子
２１ 電気部品収納部
２２ 制御基板
２３ 高周波電圧発生用コイル
３１ 従来の誘電体バリア放電ランプの銅製給電部
３２ 従来の誘電体バリア放電ランプの銅製給電経路
３３ 従来の誘電体バリア放電ランプの銅製コネクター
【発明が属する技術分野】
本発明は誘電体バリア放電を用いた誘電体バリア放電ランプを用いた照射装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１３に従来例の誘電体バリア放電ランプの概略説明図を示す。図１３の（イ）は、該ランプの縦断正面図、（ロ）は該ランプの縦断側面図、（ハ）は該ランプの給電部の詳細な構造を示した斜視図である。該ランプは、二重円筒管状の光透過性の誘電体で構成された放電容器１０と該放電容器１０の外円筒部１０１の外表面１５に網状の第１の電極１１と該放電容器１０の内円筒部１０２を構成する誘電体を介して配置された半円筒状の第２の電極１２とを持ち、該第２の電極１２を該放電容器１０の内円筒部１０２に密着固定させるバネ性を有した第２の電極の保持部品１６に接続した銅製給電部３１と銅線を用いた銅製給電経路３２と該給電経路の一部として構成された銅製コネクター３３を持つ誘電体バリア放電ランプであって、該放電容器１０の内部には放電用ガスとして例えばキセノンが充填されている。
【０００３】
該ランプは、前記電極１１、１２の間に高周波電圧を印加することにより、放電容器内に誘電体バリア放電が発生し、該放電が放電用ガスを励起しエキシマ分子を形成することにより、該放電用ガスの組成に固有のエキシマ光を発生出来る。該ランプは、例えば半導体や液晶の光洗浄工程に利用する紫外線照射用光源として、また、蛍光体を介して利用する読み取り用光源として広く用いられている。
【０００４】
前記構成の誘電体バリア放電ランプは、点灯動作時の印加電圧が、非常に高く、且つ高周波での点灯を行い、該高電圧、高周波の点灯条件下では放電容器内で発生する誘電体バリア放電以外に、大気と接している電極表面や放電容器の近傍においても微弱な電気放電、例えばコロナ放電などが発生し、大気中の酸素が該電気放電によって励起状態となり微量のオゾンが生成される。一般的にオゾンは強い酸化性を持ち、前記の電気放電によって生成されたオゾン量が微量であっても、周辺装置や処理工程に悪影響を及ぼす場合がある。
【０００５】
該ランプの放電用ガスを適宜選択することにより２００ｎｍ以下の短波長の光、いわゆる真空紫外光を発生させることが出来る。該真空紫外光は一般的に知られている様に、酸素によって吸収される。該ランプを大気中で点灯すると発生した光の大部分が酸素によって吸収され、該ランプからの光出力は激減する事になる。例えば、放電用ガスにキセノンを選択した場合、中心発光波長はλ＝１７２ｎｍとなり、該波長での酸素の吸収係数は１５ｃｍ-1 と大きく、ランプからの距離が約３ｍｍ程度でその光の放射強度は１／２乃至１／３程度になる。真空紫外光を吸収した酸素は、多量のオゾンを生成する源となり、オゾンの持つ強い酸化性により周辺装置や処理工程に悪影響を及ぼす場合がある。
【０００６】
前記の真空紫外光が酸素により吸収されて光出力が激減する事や該吸収による多量のオゾン発生、更には大気と接している電極表面や放電容器近傍で発生する前記電気放電により生成された微量のオゾンによる装置の酸化等に伴う不具合を回避する為に、従来は該ランプから放射される光を取り出す光透過性部材で構成された窓部を持つランプハウス内に該ランプを配置し、該ランプハウスに窒素ガスを流し大気と置換させランプハウス内の酸素濃度を極力下げるという方法がとられていた。
【０００７】
例えば公開特許公報特開平７−２８８１０９では、キセノンを主成分とする放電用ガスを充たした誘電体バリア放電ランプを、少なくとも一部が偏平な紫外エキシマ光を取り出す窓部材で前方をおおった筐体内、いわゆるランプハウスに、ヘリウム、ネオン、クリプトン、アルゴン、キセノン、水素、窒素、から選択された少なくとも一
種のガスとともに配置することが開示されている。
【０００８】
【０００９】
前記照射装置には、前記ランプハウスに隣接して隔壁で覆われた電気部品収納部が設けられており、該電気部品収納部は、高周波電圧発生用のコイルや前記ランプの出力モニター用回路等の電気部品が収納されている。該電気部品各々は、該ランプハウスと該電気部品収納部とを隔てる隔壁にネジ等を用いて機械的に固定されている。
【００１０】
そして、該ランプハウスの照射用窓部から照射された真空紫外光が、照射装置の外で酸素と反応しオゾンが生成され、該オゾンが該照射装置の電気部品収納部に装置外部より周り込み、内部の電気部品を徐々に酸化腐食させ、例えば高周波電圧発生用コイル等を動作不能にするという問題があった。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
前記ランプハウスに隣接する電気部品収納部内に配置された電気部品に対するオゾンによる酸化腐食を押さえ、長時間装置を点灯使用しても安定な誘電体バリア放電ランプ照射装置を提供する事にある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【００１６】
本発明における誘電体バリア放電ランプ照射装置は、少なくとも一部を誘電体で構成された放電容器と該放電容器に設けられた第１の電極と該誘電体を介して配置された第２の電極とを有する誘電体バリア放電ランプを具備し、該ランプから放射される光を取り出す光透過性部材で構成された窓部を持つランプハウスと、該ランプハウスに隣接する隔壁で覆われた電気部品収納部とを持ち、該電気部品収納部の内部圧力が照射装置周辺の圧力より高くなるようにすることを特徴とする。
【００１７】
上記構成の照射装置において、前記電気部品収納部内の圧力を高くするために窒素ガスを該電気部品収納部内に封入、又は流すことにより、例えば照射装置外部周辺の圧力より１０乃至１０００Ｐａ程度の加圧状態を作ることを特徴とする。該装置内に封入、又は流すガスは窒素の他に、ヘリウム、ネオン、クリプトン、アルゴン、キセノン、水素、から選択された少なくとも一種のガスを使用する事が出来る。該電気部品収納部内にガスを流す場合、オゾンを含まないクリーンエアーを使用することもできる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の具体的な実施例について説明する。図１（イ）は、誘電体バリア放電ランプを備えた照射装置の第一の実施例を示す説明図である。図１（イ）に示すように、誘電体バリア放電ランプ４を備えた照射装置１は、ランプハウス２と電気部品収納部２１とから成り、該ランプハウス２には、光透過性部材である石英ガラスで構成された窓部３があり、誘電体バリア放電ランプ４より放射される光が反射板５で反射され該窓部３から照射される。該ランプ４は、耐オゾン性材料であるアルミニウムで構成されたランプ固定用ブロック６に固定され該固定用ブロック６を介して電気的に接地されている。また、該ランプ４の第２の電極へ保持部品に取り付けられた給電部１３及び給電経路１４を通って高周波電圧が印加されている。該給電経路１４は、ランプハウス２に隣接した電気部品収納部２１にランプハウス２の隔壁に設けられた給電経路の一部を成すコネクタ−８を介して高周波電圧発生用コイル２３に接続されている。電気部品収納部２１には、該高周波電圧発生用コイル２３の他に、該ランプの出力モニター用回路等の制御用回路２２が収納されている。該制御用回路２２や前記高周波電圧発生用コイル２３は、電気部品収納部２１とランプハウス２とを隔てる隔壁上にネジにより機械的に固定されている。ランプからの給電部１３や、給電経路１４には、耐オゾン性材料であるＮｉ材やＮｉ合金が使用されている。また、ランプ側、及び照射装置側に配置された給電経路の一部を成すコネクター８にはＮｉ材を被覆している。更に、ランプハウス２には、窒素ガス置換用のガス導入口９Ａとガス排出口９Ｂが設けられている。該照射装置に設置された該ランプ４は、二重円筒管状の石英ガラス製放電容器を持ち、放電用ガスにはキセノンガスを用い、封入圧４０ｋＰａで封入した。該ランプの点灯周波数を約２０ｋＨｚ、印加電圧を６ｋＶの条件で点灯させたところ、長時間点灯後でも該ランプの給電部１３、給電経路１４、及びコネクター８には、オゾンによる酸化及び酸化腐食による導電性劣化やコネクターが外れなくなるなどの不具合は見られなかった。
【００１９】
図１（ロ）に第二の実施例として示した該照射装置は、前記構成と同等の構成において、ランプハウスに隣接する電気部品収納部に窒素ガス置換のための電気部品収納部用ガス導入口９Ｃ、電気部品収納部用ガス排出口９Ｄが設けられている。該電気部品収納部２１に窒素ガスを照射装置１周辺より３００Ｐａ加圧になるように流した。電気部品収納部の圧力を照射装置周辺より高くすることで、照射装置外部より巻き込まれるオゾンを回避できる。該照射装置に設置された該ランプの点灯周波数を約２０ｋＨｚ、印加電圧を６ｋＶの条件で点灯させたところ、長時間点灯後でも該照射装置１の該ランプ給電部１３、給電経路１４、該ランプと該照射装置を接続している給電経路の一部を成すコネクター８、電気部品収納部２１内の高周波電圧発生コイル２３等の各部品は、オゾンによる酸化、更には酸化腐食によってコネクターが外れなくなるなどの不具合、更に給電経路や各電気部品の導電性劣化は見られなかった。
【００２０】
第三の実施例として、図２（イ）に複数本の誘電体バリア放電ランプを具備した照射装置を示す。照射装置１は、石英ガラスで構成された窓部３を持つランプハウス２内に複数本の誘電体バリア放電ランプ４を具備し、各ランプには反射板５が配置されアルミニウムで構成されたランプ固定用ブロック６上に設置され、ガス導入口９Ａより窒素ガスを１０ｌ／ｍｉｎ〜２０ｌ／ｍｉｎ流している。更に、該ランプハウスに隣接する電気部品収納部２１には、高周波電圧発生用コイル２３や制御基板２２が配置され、高周波電圧発生用コイル２３には給電部１３、給電経路１４、該給電経路の一部を成すコネクター８を介してランプハウス２内の該ランプ４に高周波高電圧を給電している。該装置に配置された該ランプ４の給電部１３及び該装置の給電経路１４には、耐オゾン性材料であるＮｉ合金が使用されており、コネクター８には同じく耐オゾン性材料として金が被覆されているため、オゾンによる酸化、及び酸化腐食による導電性劣化やコネクターが外れなくなるなどの不具合は見られなかった。図２（ロ）は、第四の実施例であり、図２（イ）と同一構成の誘電体バリア放電ランプ照射装置において、電気部品収納部用ガス導入部９Ｃと電気部品収納部用ガス排出部９Ｄが備えられており、該ガス導入部９Ｃと該ガス排出部９Ｄとを用いて窒素ガスを流量１０ｌ／ｍｉｎ〜２０ｌ／ｍｉｎ程度流して加圧している。これにより、電気部品収納部２１内へのオゾンの進入が押さえられる。該照射装置に設置された該ランプの点灯周波数を約２０ｋＨｚ、各ランプの印加電圧を６ｋＶの条件で点灯させたところ、長時間点灯後でも該照射装置１の該ランプ給電部１３、照射装置の給電経路１４、該給電経路の一部を成すコネクター８、電気部品収納部２１内の高周波電圧発生コイル２３等の各部品には、オゾンによる酸化及び酸化腐食による給電経路や各電気部品の導電性劣化やコネクターが外れなくなるなどの不具合は見られなかった。
【００２１】
第五の実施例として、図３（イ）にランプ固定用ブロックに固定しない構造の照射装置を示す。照射装置１は、石英ガラスで構成された窓部３を持つランプハウス２内にランプ両端を固定し、該窓部より放射する。窓面とは反対側に放射された光も反射板５を使って効率良く取出している。また、電極１５の電気的接続は、給電経路１４Ｂ、端子１８を介してランプハウスに接地している。ガス導入口９Ａより窒素ガスを１０ｌ／ｍｉｎ〜２０ｌ／ｍｉｎ流している。更に、該ランプハウスに隣接する電気部品収納部２１には、高周波電圧発生用コイル２３や制御基板２２が配置され、高周波電圧発生用コイル２３には給電部１３、給電経路１４Ａ、該給電経路の一部を成すコネクター８を介してランプハウス２内の該ランプ４に高周波高電圧を給電している。該装置に配置された該ランプ４の給電部１３及び該装置の給電経路１４Ａ、１４Ｂには、耐オゾン性材料であるＮｉ合金が使用されており、また、該給電経路の一部を成すコネクター８、端子８はＮｉ材を被覆しているため、オゾンによる酸化、及び酸化腐食による導電性劣化やコネクターが外れなくなるなどの不具合は見られなかった。図３（ロ）は、第六の実施例であり、図３（イ）と同一構成の誘電体バリア放電ランプ照射装置において、電気部品収納部用ガス導入部９Ｃと電気部品収納部用ガス排出部９Ｄが備えられており、該ガス導入部９Ｃと該ガス排出部９Ｄとを用いて窒素ガスを流量１０ｌ／ｍｉｎ〜２０ｌ／ｍｉｎ程度流して加圧している。これにより、電気部品収納部２１内へのオゾンの進入が押さえられる。該照射装置に設置された該ランプの点灯周波数を約２０ｋＨｚ、各ランプの印加電圧を６ｋＶの条件で点灯させたところ、長時間点灯後でも該照射装置１の該ランプ給電部１３、照射装置の給電経路１４Ａ、１４Ｂ、該給電経路の一部を成すコネクター８や端子１８、電気部品収納部２１内の高周波電圧発生コイル２３等の各部品には、オゾンによる酸化及び酸化腐食による給電経路や各電気部品の導電性劣化やコネクターが外れなくなるなどの不具合は見られなかった。
【００２２】
前記の実施例一から四に記載の照射装置に配置された誘電体バリア放電ランプについての詳細な構成を図４に示す。図４（イ）は該ランプの縦断正面図、（ロ）は縦断側面図、（ハ）は該ランプの給電部の詳細な構造を示す斜視図である。この誘電体バリア放電ランプは、光透過性の誘電体で構成された二重円筒管状の放電容器１０と、該放電容器１０の外円筒部１０１の外表面１５に形成された網状の第１の電極１１と該放電容器１０の内円筒部１０２を構成する誘電体を介して配置された半円筒状の第２の電極１２より成り、該第１の電極１１はランプ取り付け部であるランプ固定用ブロック等を介して接地されており、第２の電極１２を該放電容器１０の内円筒部１０２に密着固定させるバネ性を有した第２の電極の保持部品１６に取り付けられた給電部１３及び給電経路１４、該給電経路の一部を成すコネクター８を介して高周波電圧発生用コイルに電気的に接続されている。第２の電極１２側の該給電部１３及び給電経路１４、コネクター８には、Ｎｉ等が耐オゾン性材料として用いられている。該放電容器１０には放電用ガスとして例えばキセノンガス等の希ガスや希ガスとハロゲンガスとの混合ガスが封入され、第１の電極１１と第２の電極１２との間に誘電体である該放電容器１０を介して高周波電圧が印加され、誘電体バリア放電により放電用ガスがエキシマ分子を構成し、放電用ガス固有のエキシマ光、例えばキセノンガスが封入されている場合では、波長λ＝１７２ｎｍの真空紫外光が生成される。
【００２３】
前記照射装置の実施例五、六に記載の照射装置に配置された誘電体バリア放電ランプについての詳細な構成を図５に示す。図４に示した前記構成と同等の構成において、該第１の電極１１の電気的接続は給電経路１４Ｂ、端子１８を介してランプハウスに接地することでおこなっているものであり、Ｎｉ材等が耐オゾン性材料として用いられている。
【００２４】
本発明の照射装置に備えられた誘電体バリア放電ランプは、前記図４、図５の形態に限定するものではなく、種々の変更が可能である。
【００２５】
例えば、少なくとも一部を誘電体材料で構成された放電容器の形状としては、箱状、平板状、その他の形状であっても良い。また、放電容器の構造は、図４、図５に示したような二重円筒管構造以外に図６、図７に示すような一重円筒管構造の放電容器でも良く、誘電体１０を介して配置された一対の電極１１、１２の内、一方の電極１２が放電容器１０内に配置され、該放電容器１０内に充填された放電用ガスで覆われる構造の誘電体バリア放電ランプを構成することもできる。
【００２６】
図６は、一重円筒管構造の放電容器を持つ誘電体バリア放電ランプの形態を示す一例であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は縦断側面図を示したものである。図においては、光透過性の誘電体で構成された一重円筒管構造の放電容器１０と該放電容器１０の外表面１５上に配置した網状の第１の電極１１と該放電容器１０内部の放電用ガスが充填される空洞部に配置された第２の電極１２を具備し、該第２の電極の一部に接続された耐オゾン性材料で構成された給電部１３と耐オゾン性材料で構成された給電経路１４や該給電経路の一部を成すコネクター８を持つ誘電体バリア放電ランプであって、放電容器１０の内部には放電用ガスとしてキセノンが充填され、該第２の電極は放電用ガスで覆われている。
【００２７】
図７は、一重円筒管構造の放電容器を持つ誘電体バリア放電ランプの形態を示す第２の例であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は縦断側面図を示したものである。図においては、光透過性の誘電体で構成された放電容器１０と該放電容器１０の外表面１５上に形成された板状の第１の電極１１と該放電容器１０の内部の放電用ガスが充填される空洞部に配置された第２の電極１２を具備し、該第２の電極の一部に接続された耐オゾン性材料で構成された給電部１３と耐オゾン性材料で構成された給電経路１４や該給電経路の一部を成すコネクター８を持つ誘電体バリア放電ランプであって、放電容器１０の内部には放電用ガスとしてキセノンが充填され、該第２の電極１２は放電用ガスで覆われている。第２の電極１２の一方の端部は、放電容器１０の内部に位置している。
【００２８】
尚、図６、図７に示した一重円筒管構造の放電容器を持つ誘電体バリア放電ランプにおいて、第２の電極の形状は、図に示したものには限らない。
【００２９】
また、電極の配置は、図４から図７に示したような一方の電極を放電容器の外面に配置した形状だけでなく、図８、図９に示すような一対の電極を放電容器の内部に配置する形状、図１０に示すような一対の電極とも放電容器の外面に配置する形状、更に図１１に示すような複数本の電極を放電容器の内部に配置する形状などでも良い。
【００３０】
図８は、本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第５の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。第１の電極１１、及び第２の電極１２が円筒管状の放電管１０の内部に配置され、該電極は各々誘電体１０Ｂで覆われている。
【００３１】
図９は、本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第６の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。第１の電極１１、及び第２の電極１２が円筒管状の放電管１０の内部に配置され、該電極の一つが誘電体１０Ｂで覆わ、他の一つが放電管内に封入された希ガスで覆われている。
【００３２】
図１０は、本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第７の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。第１の電極１１、及び第２の電極１２が円筒管状の放電管１０の外表面上に配置されている。該電極の各々の形状は、一枚の板状電極からなり該放電管の円周上に形成されている。
【００３３】
図１１は、本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第８の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。該ランプには、複数本の電極が放電管１０の内部に配置され、第１の電極１１を構成するグループと第２の電極１２を構成するグループとが該放電管内に交互に配置されている。該電極を成す一つのグループは、誘電体１０Ｂで覆わており、他の一つのグループは放電管内に封入された希ガスで覆われている。
【００３４】
放電容器を構成する誘電体材料としては、石英ガラス以外に、例えばサファイア、フッ化マグネシウム、フッ化カルシウム等の真空紫外光を透過する材料、更には一部に光透過性を持たない誘電体を用いても良い。
【００３５】
放電用ガスとしては、キセノンガス以外の希ガス、例えば、クリプトン、アルゴン等を用いる事ができる。また、これらの希ガスとハロゲンガスとの混合ガスを用いることもできる。
【００３６】
誘電体バリア放電ランプにおける給電経路１４と電極の保持部品１６との接続方法としては、スリーブなどを用いて電極に直接カシメる以外に、ネジなどによる固定、耐オゾン製金属を用いたろう付け、直接溶着、更には給電経路１４を巻きつけるだけでの固定等でもよい。また、同様な方法で、給電経路１４を電極に直接接続する事もできる。
【００３７】
また、給電経路１４が接続される該給電経路の一部を成すコネクター８は、はめ込み式のコネクター以外に、ばねの力で固定するもの、圧着端子等を用いてネジで固定するもの、給電経路１４を直接ネジで固定するもの、図１２のように間接的に固定するもの、給電経路同士を直接巻き付けるだけのもの等がある。また、ランプの電極を装置側の給電経路に直接接続したものでも良い。
【００３８】
図１２は、本発明の誘電体バリア放電ランプにおける給電部のその他の形状を示す説明図であって、（イ）は正面図、（ロ）は横断側面図である。該給電部の形状は、給電経路１４を板状部材等により挟んで、該ランプの電極と電気的に接合したものである。図１２では、該板状部材としてネジ止め用の穴が開いている一対の金属板が使用され、ネジによって該給電経路を固定している。
【００３９】
【発明の効果】
本発明によれば、ランプハウスに隣接した電気部品収納部内の圧力を周辺より高くすることにより、微小なオゾンの進入を押さえ、該電気部品収納部に配置された各種電気部品がオゾンによって酸化腐食されることが無く、長期間装置を点灯使用しても安定な誘電体バリア放電ランプを用いた照射装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における誘電体バリア放電ランプ照射装置の構成の一例を示す概略説明図であり、（イ）は給電部及び給電経路に耐オゾン性材料を用いた第１の実施例、（ロ）は第１の実施例に加えて電気部品収納部にガスを流し加圧にした第２の実施例である。
【図２】本発明における誘電体バリア放電ランプ照射装置の構成の一例を示す概略説明図であり、（イ）は該ランプを複数本配置し給電部及び給電経路に耐オゾン性材料を用いた第３の実施例、（ロ）は第３の実施例に加えて電気部品収納部にガスを流して加圧にした第４の実施例である。
【図３】本発明における誘電体バリア放電ランプ照射装置の構成の一例を示す概略説明図であり、（イ）は接地された給電経路に固定用ブロックを用いない第五の実施例、（ロ）は第五の実施例に加えて電気部品収納部にガスを流し加圧にした第六の実施例である。
【図４】本発明における誘電体バリア放電ランプの構成の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図、（ハ）は給電部の詳細を示す斜視図である。
【図５】本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第４の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
【図６】一重円筒管構造の放電容器を持つ誘電体バリア放電ランプの形態を示す一例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
【図７】一重円筒管構造の放電容器を持つ誘電体バリア放電ランプの形態を示す第二の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
【図８】本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第５の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
【図９】本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第６の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
【図１０】本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第７の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
【図１１】本発明における誘電体バリア放電ランプの形態を示す第８の例の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。
【図１２】本発明の誘電体バリア放電ランプにおける給電部の他の形状を示す概略図であって、（イ）は正面図、（ロ）は側面図である。
【図１３】従来の誘電体バリア放電ランプの構成を示す一例の説明図であって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図、（ハ）は給電部の詳細を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ 照射装置
２ ランプハウス
３ 窓部
４ 誘電体バリア放電ランプ
５ 反射板
６ ランプ固定用ブロック
７ 光透過性窓部材固定部
８ コネクター
９Ａ ガス導入口
９Ｂ ガス排出口
９Ｃ 電気部品収納部用ガス導入口
９Ｄ 電気部品収納部用ガス排出口
１０ 放電容器
１０Ｂ 放電管内に配置された電極を覆う誘電体
１０１ 放電容器の外円筒部
１０２ 放電容器の内円筒部
１１ 第１の電極
１２ 第２の電極
１３ 給電部
１４ 給電経路
１４Ａ 給電経路
１４Ｂ 接地される側の給電経路
１５ 放電容器の外表面
１６ 第２の電極の保持部品
１８ 第４の実施例における端子
２１ 電気部品収納部
２２ 制御基板
２３ 高周波電圧発生用コイル
３１ 従来の誘電体バリア放電ランプの銅製給電部
３２ 従来の誘電体バリア放電ランプの銅製給電経路
３３ 従来の誘電体バリア放電ランプの銅製コネクター
Claims (1)
- 少なくとも一部を誘電体で構成された放電容器と該放電容器に設けられた第１の電極と該誘電体を介して配置された第２の電極とを有する誘電体バリア放電ランプを具備し、該ランプから放射される光を取り出す光透過性部材で構成された窓部を持つランプハウスと、該ランプハウスに隣接する隔壁で覆われた電気部品収納部とを持つ照射装置において、
該電気部品収納部の内部圧力が照射装置周辺の圧力より高くなるようにしたことを特徴とする誘電体バリア放電ランプ照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30142499A JP3593934B2 (ja) | 1999-10-22 | 1999-10-22 | 誘電体バリア放電ランプ照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30142499A JP3593934B2 (ja) | 1999-10-22 | 1999-10-22 | 誘電体バリア放電ランプ照射装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004203500A Division JP3891192B2 (ja) | 2004-07-09 | 2004-07-09 | 誘電体バリア放電ランプ照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001126664A JP2001126664A (ja) | 2001-05-11 |
| JP3593934B2 true JP3593934B2 (ja) | 2004-11-24 |
Family
ID=17896722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30142499A Expired - Fee Related JP3593934B2 (ja) | 1999-10-22 | 1999-10-22 | 誘電体バリア放電ランプ照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3593934B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005022586A1 (ja) | 2003-08-29 | 2005-03-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 光源装置、照明装置、及び液晶表示装置 |
| US7446477B2 (en) * | 2004-07-06 | 2008-11-04 | General Electric Company | Dielectric barrier discharge lamp with electrodes in hexagonal arrangement |
| JP5311271B2 (ja) * | 2008-03-10 | 2013-10-09 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ及び当該エキシマランプの製造方法 |
| JP5200763B2 (ja) * | 2008-08-26 | 2013-06-05 | 東芝ライテック株式会社 | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
-
1999
- 1999-10-22 JP JP30142499A patent/JP3593934B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001126664A (ja) | 2001-05-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW567517B (en) | Dielectric barrier excimer lamp and ultraviolet light beam irradiating apparatus with the lamp | |
| US6426053B1 (en) | Hybrid ozone generator | |
| US6858988B1 (en) | Electrodeless excimer UV lamp | |
| CN112735938A (zh) | 一种准分子紫外光源装置 | |
| JP3593934B2 (ja) | 誘電体バリア放電ランプ照射装置 | |
| JPH10112290A (ja) | 希ガス放電ランプ | |
| JP3891192B2 (ja) | 誘電体バリア放電ランプ照射装置 | |
| WO2005098904A1 (ja) | 誘電体バリア放電ランプ | |
| JP3637697B2 (ja) | 紫外線ランプおよびその点灯装置 | |
| JP3598970B2 (ja) | 誘電体バリア放電ランプ装置 | |
| JP2775698B2 (ja) | 誘電体バリヤ放電ランプ装置 | |
| KR100615765B1 (ko) | 유전체 배리어 방전램프 조명장치 및 자외선 조사장치 | |
| JP3596582B2 (ja) | 放電ランプおよび処理装置 | |
| CN215266190U (zh) | 一种准分子紫外光源装置 | |
| JPH0714553A (ja) | 誘電体バリヤ放電ランプ | |
| JP2001155686A (ja) | 誘電体バリアエキシマランプ | |
| KR102451427B1 (ko) | 삼중관형 엑시머 램프 | |
| JP2004158373A (ja) | エキシマランプ | |
| JP3660057B2 (ja) | 流体処理装置 | |
| JPH1064478A (ja) | 冷陰極蛍光放電ランプ及び殺菌ユニット | |
| JP4731005B2 (ja) | 無電極放電ランプ点灯装置および流体処理装置 | |
| JP2002358924A5 (ja) | ||
| JPH11283578A (ja) | 放電ランプおよび放電ランプ装置 | |
| JP2002175781A (ja) | 放電ランプ及び紫外線照射装置 | |
| WO2004036619A1 (ja) | 紫外線照射装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040428 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040511 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040709 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040810 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040823 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080910 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090910 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100910 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110910 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120910 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130910 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130910 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140910 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |