JP2004158373A - エキシマランプ - Google Patents
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Abstract
【課題】安全性を高め、高効率で経済性の優れた誘電体バリア放電または高周波放電を利用したエキシマランプを提供すること。
【解決手段】同軸円筒状に形成された内管１１および外管１２よりなる放電管１０を含み、内管１１に形成された内側電極１３と外管１２に形成された外側電極１４との間に高電圧を印加して、内管１１と外管１２との間の放電空間に封入されたガスを放電発光させるエキシマランプにおいて、外側電極１４を絶縁材料で被覆１５して露出させないように構成したものである。
【選択図】 図２
【解決手段】同軸円筒状に形成された内管１１および外管１２よりなる放電管１０を含み、内管１１に形成された内側電極１３と外管１２に形成された外側電極１４との間に高電圧を印加して、内管１１と外管１２との間の放電空間に封入されたガスを放電発光させるエキシマランプにおいて、外側電極１４を絶縁材料で被覆１５して露出させないように構成したものである。
【選択図】 図２
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、誘電体バリア放電または高周波放電を利用したエキシマランプに関し、特に、安全性を高め、高効率で経済性の優れたエキシマランプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
エキシマランプは、半導体集積回路、液晶表示パネルおよびプリント回路基板などの電子部品の製造工程における紫外線露光装置等に広く使用されている。エキシマランプに関する従来技術は、例えば特開２０００−２２３０７８号公報の「高輝度光照射装置」および特開２００１−２３５７７号公報の「誘電体バリア放電ランプ」などに開示されている。
【０００３】
このような従来のエキシマランプは、基本的には、図４に示すように、同軸状に配置された内管１１および外管１２よりなる放電管１０を備え、ゲッター３が封入されており、内管１１の内表面に形成された内側電極１３および外管の外表面に形成された外側電極１４の間に高電圧交流電源２から電圧を印加することにより、内管１１と外管１２との間の放電空間１７に封入された希ガス（アルゴンガス、クリプトンガス、キセノンガスなどの希ガス）をエキシマ放電させて紫外線を発光させている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来のエキシマランプにおいては、網組したシームレス状の網状電極や穿孔した金属板の板状電極を外管１２に巻き付けることにより外側電極１４を形成している。
【０００５】
このような従来の外側電極１４は、金属部分が露出して外気に曝されているので、安全性に欠け、電極の消耗や金属イオンの発散による汚染を生じることがあった。
【０００６】
そのために、被照射物とランプとを遮断するために、高価な石英板やジャケット管などによってランプを隔離しながら光線を照射していた。そこで、この発明は、このような課題を解決するために考えられたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明のエキシマランプは、同軸円筒状に形成された内管および外管よりなる放電管を含み、前記内管に形成された内側電極と前記外管に形成された外側電極との間に高電圧を印加して、上記内管と前記外管との間の放電空間に封入されたガスを放電発光させるエキシマランプにおいて、上記外側電極を絶縁材料で被覆して露出させないように構成したものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明によるエキシマランプの外側電極の実施形態の構成を図面に基づいて説明する。
【０００９】
（第１の実施形態）
このエキシマランプは、図４に示す従来例と同様に、同軸状の内管１１および外管１２よりなり、その両端を接合部１６により接合して閉端とした放電管１０と、内管１１の内表面に形成された内側電極１３および外管１２の外表面に設けられた外側電極１４とにより構成される。
【００１０】
図１の斜視図（ａ）および断面図（ｂ）に示すように、外側電極１４は、例えば６角形の細線１４ｂによる多数の開口１４ａを有するハニカム構造の網状電極である。この外側電極１４は、好ましくは金、銀、プラチナ、ニッケルまたはクロムなどの金属またはこれら２種類以上の金属の合金により形成される。
【００１１】
そして、図１の断面図（ｃ）に示すように、金属の外側電極１４を予め絶縁材料で被覆１５する。この被覆方法としては、金属の外側電極１４にスパッタ、蒸着、カルコゲナイトなどにより絶縁材料の被覆１５を形成する。この絶縁性被覆１５の材料として、光透過性がよく、耐熱性のＳｉＯ２、アルミナ、フッ化マグネシウムなどが適している。
【００１２】
このように絶縁性被覆１５を形成した金属の外側電極１４を、図２の斜視図に示すように、放電管１０の外管１２の外表面に焼結法などにより密着させる。
【００１３】
（第２の実施形態）
図３の断面図（ａ）に示すように、放電管１０の外管１２の外表面に予め金属の外側電極１４を形成し、図３の断面図（ｂ）に示すように、外側電極１４および外管１２の外表面に光透過性がよく、耐熱性の絶縁性被覆１５を形成する。
【００１４】
（その他の実施形態）
内側電極は、図４に示すように内管１１の内表面に被着形成する代わりに、内管内に挿通された棒状の電極であってもよい。また、内管内には冷却流体を流してもよい。網状電極は、所定の開口率が得られる限り、ハニカム構造以外の任意の網状電極パターンであってもよいのである。
【００１５】
【発明の効果】
以上の実施の形態に基づく説明から明らかなように、この発明のエキシマランプによると、放電管の外管の外表面に形成した金属の外側電極を絶縁材料で被覆することにより、外側電極の酸化や消耗を抑制できるので、ランプと被照射物との間に石英板やジャケット管を設ける必要がなく、ランプを被照射物に接近可能であるから、照射効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるエキシマランプの外側電極の第１実施形態の構成を示す平面図（ａ）、断面図（ｂ）、絶縁性被覆を形成した状態を示す断面図（ｃ）、
【図２】絶縁性被覆を形成した外側電極をエキシマランプに適用した状態を示す斜視図、
【図３】この発明によるエキシマランプの外側電極の第２実施形態の構成を示す断面図である、
【図４】従来のエキシマランプの縦断面図である。
【符号の説明】
１０ 放電管
１１ 内管
１２ 外管
１３ 内側電極
１４ 外側電極（網状電極）
１４ａ 開口
１４ｂ 細線
１５ 絶縁性被覆
【発明の属する技術分野】
この発明は、誘電体バリア放電または高周波放電を利用したエキシマランプに関し、特に、安全性を高め、高効率で経済性の優れたエキシマランプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
エキシマランプは、半導体集積回路、液晶表示パネルおよびプリント回路基板などの電子部品の製造工程における紫外線露光装置等に広く使用されている。エキシマランプに関する従来技術は、例えば特開２０００−２２３０７８号公報の「高輝度光照射装置」および特開２００１−２３５７７号公報の「誘電体バリア放電ランプ」などに開示されている。
【０００３】
このような従来のエキシマランプは、基本的には、図４に示すように、同軸状に配置された内管１１および外管１２よりなる放電管１０を備え、ゲッター３が封入されており、内管１１の内表面に形成された内側電極１３および外管の外表面に形成された外側電極１４の間に高電圧交流電源２から電圧を印加することにより、内管１１と外管１２との間の放電空間１７に封入された希ガス（アルゴンガス、クリプトンガス、キセノンガスなどの希ガス）をエキシマ放電させて紫外線を発光させている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来のエキシマランプにおいては、網組したシームレス状の網状電極や穿孔した金属板の板状電極を外管１２に巻き付けることにより外側電極１４を形成している。
【０００５】
このような従来の外側電極１４は、金属部分が露出して外気に曝されているので、安全性に欠け、電極の消耗や金属イオンの発散による汚染を生じることがあった。
【０００６】
そのために、被照射物とランプとを遮断するために、高価な石英板やジャケット管などによってランプを隔離しながら光線を照射していた。そこで、この発明は、このような課題を解決するために考えられたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明のエキシマランプは、同軸円筒状に形成された内管および外管よりなる放電管を含み、前記内管に形成された内側電極と前記外管に形成された外側電極との間に高電圧を印加して、上記内管と前記外管との間の放電空間に封入されたガスを放電発光させるエキシマランプにおいて、上記外側電極を絶縁材料で被覆して露出させないように構成したものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明によるエキシマランプの外側電極の実施形態の構成を図面に基づいて説明する。
【０００９】
（第１の実施形態）
このエキシマランプは、図４に示す従来例と同様に、同軸状の内管１１および外管１２よりなり、その両端を接合部１６により接合して閉端とした放電管１０と、内管１１の内表面に形成された内側電極１３および外管１２の外表面に設けられた外側電極１４とにより構成される。
【００１０】
図１の斜視図（ａ）および断面図（ｂ）に示すように、外側電極１４は、例えば６角形の細線１４ｂによる多数の開口１４ａを有するハニカム構造の網状電極である。この外側電極１４は、好ましくは金、銀、プラチナ、ニッケルまたはクロムなどの金属またはこれら２種類以上の金属の合金により形成される。
【００１１】
そして、図１の断面図（ｃ）に示すように、金属の外側電極１４を予め絶縁材料で被覆１５する。この被覆方法としては、金属の外側電極１４にスパッタ、蒸着、カルコゲナイトなどにより絶縁材料の被覆１５を形成する。この絶縁性被覆１５の材料として、光透過性がよく、耐熱性のＳｉＯ２、アルミナ、フッ化マグネシウムなどが適している。
【００１２】
このように絶縁性被覆１５を形成した金属の外側電極１４を、図２の斜視図に示すように、放電管１０の外管１２の外表面に焼結法などにより密着させる。
【００１３】
（第２の実施形態）
図３の断面図（ａ）に示すように、放電管１０の外管１２の外表面に予め金属の外側電極１４を形成し、図３の断面図（ｂ）に示すように、外側電極１４および外管１２の外表面に光透過性がよく、耐熱性の絶縁性被覆１５を形成する。
【００１４】
（その他の実施形態）
内側電極は、図４に示すように内管１１の内表面に被着形成する代わりに、内管内に挿通された棒状の電極であってもよい。また、内管内には冷却流体を流してもよい。網状電極は、所定の開口率が得られる限り、ハニカム構造以外の任意の網状電極パターンであってもよいのである。
【００１５】
【発明の効果】
以上の実施の形態に基づく説明から明らかなように、この発明のエキシマランプによると、放電管の外管の外表面に形成した金属の外側電極を絶縁材料で被覆することにより、外側電極の酸化や消耗を抑制できるので、ランプと被照射物との間に石英板やジャケット管を設ける必要がなく、ランプを被照射物に接近可能であるから、照射効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるエキシマランプの外側電極の第１実施形態の構成を示す平面図（ａ）、断面図（ｂ）、絶縁性被覆を形成した状態を示す断面図（ｃ）、
【図２】絶縁性被覆を形成した外側電極をエキシマランプに適用した状態を示す斜視図、
【図３】この発明によるエキシマランプの外側電極の第２実施形態の構成を示す断面図である、
【図４】従来のエキシマランプの縦断面図である。
【符号の説明】
１０ 放電管
１１ 内管
１２ 外管
１３ 内側電極
１４ 外側電極（網状電極）
１４ａ 開口
１４ｂ 細線
１５ 絶縁性被覆
Claims (3)
- 同軸円筒状に形成された内管および外管よりなる放電管を含み、前記内管に形成された内側電極と前記外管に形成された外側電極との間に高電圧を印加して、上記内管と前記外管との間の放電空間に封入されたガスを放電発光させるエキシマランプにおいて、上記外側電極を絶縁材料で被覆して露出させないことを特徴とするエキシマランプ。
- 予め絶縁材料で被覆した電極を外管の表面に密着させることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
- 外管の表面に予め外側電極を形成したのち、外管の表面を光透過性の絶縁材料で被覆したことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002325036A JP2004158373A (ja) | 2002-11-08 | 2002-11-08 | エキシマランプ |
| CNA2003101034789A CN1499569A (zh) | 2002-11-08 | 2003-11-07 | 受激准分子灯 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002325036A JP2004158373A (ja) | 2002-11-08 | 2002-11-08 | エキシマランプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004158373A true JP2004158373A (ja) | 2004-06-03 |
Family
ID=32804392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002325036A Pending JP2004158373A (ja) | 2002-11-08 | 2002-11-08 | エキシマランプ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004158373A (ja) |
| CN (1) | CN1499569A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008146906A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Toshiba Corp | 紫外線発生装置 |
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|---|---|---|---|---|
| JP6828822B2 (ja) * | 2017-09-04 | 2021-02-10 | 株式会社島津製作所 | 高周波電源ｕｖランプモニタおよびこれを用いた全有機炭素計 |
| CN112043970A (zh) * | 2020-10-10 | 2020-12-08 | 罗璐 | 一种准分子真空紫外美容仪 |
| CN112117181A (zh) * | 2020-10-10 | 2020-12-22 | 罗璐 | 一种准分子灯及美容仪 |
-
2002
- 2002-11-08 JP JP2002325036A patent/JP2004158373A/ja active Pending
-
2003
- 2003-11-07 CN CNA2003101034789A patent/CN1499569A/zh active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008146906A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Toshiba Corp | 紫外線発生装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1499569A (zh) | 2004-05-26 |
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Legal Events
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Effective date: 20041124 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050701 |
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Effective date: 20050705 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051101 |