JP5027672B2 - 誘電バリア放電ランプのためのランプホルダ - Google Patents

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Description

本発明は、誘電バリア放電(DBD)ランプ(1)のためのランプホルダに関し、特に、処理システム又は反応装置又はハウジング又は放射装置において、DBDランプによって、流体及び/又はガス及び/又は固体材料のような媒体を放射するためのランプホルダに関する。
従来の水銀ベースの放電ランプの代替手段として、誘電バリア放電ランプは、特に、狭いスペクトルで高い効率にて高強度で高出力のUV光を発生させる光源として重要性を高めている。これらのランプの基本的な原理は、誘電バリア放電によるエキシマ放射の発生である。
代表的に、これらのランプは、円筒形、ドーム形状、又は同軸的な構造を有し、内部及び/又は外部の水流によって冷却される。同軸的なデザインの場合、ランプは通常、石英の内管と外管とを備え、これらが互いに同軸に配置され、軸線方向両端部で溶融され、ギャップ形態の環状の放電空間が両者の間に形成される。
UVの多数の用途、例えば、処理、表面の活性化及びクリーニング、流体及びガスの殺菌、ラッカー、インク、塗料などの硬化、オゾンの発生などでは、好ましくは狭く且つ輪郭が明確なスペクトル幅で高い放射強度の放射を行う高強度で高出力のUV源が必要とされる。
多くの場合、電気エネルギーは、ランプの外面及び/又は内面に又はその近くに設けた電極を介し、容量性のカップリングを用いて放電ガスに供給される。好ましくは2つの電極が使用され、すなわち、同軸のデザインの場合、ランプの内管の内側に配置される内側電極と、ランプの外側に接続される外側電極とが用いられる。電極は、関連する石英管の外面に接着又は塗布された、金属、金属コーティング、金属グリッド又はメッシュ又は金属ストライプを介した石英管への電気的に直接接触の形態で実現される。変形例としては、電気的な接触は、例えば、冷却媒体又は石英管に接触している処理すべき媒体などの中間的な液体層を介して達成される。この場合、ロッド又はコイルの形態の電極が使用され、これらが媒体に接触させられる。
高出力の誘電バリア放電ランプの放電ガスの充填圧力が、数百ミリバールから1バールの範囲であるのが典型的なるので、数kVの作動電圧が必要とされる。ランプの温度を許容レベルに保つために、液体(例えば、水)又はガス(例えば、空気、窒素)などの冷却媒体が、同軸のランプの内管に通されるのが好ましい。
これらのすべての機能は、ランプホルダは、ランプを固定し、冷却媒体の内部回路を処理すべき媒体に対して密封する特別な手段を備えるランプホルダを必要としている。さらに、ランプに冷却媒体を供給し、ランプに電気的に接触するため、ホルダ又はハウジングには関連するフィードスルーを設ける必要がある。このようなハウジングを備えた放射装置は、例えば米国特許第6,294,869号明細書に開示されている。
しかしながら、これら及びその他のホルダ又はハウジングは、通常、いくつかの不都合を有する。一般的に、上述した特別な機能は、複数の構成要素を必要とし、それらはしばしばホルダ又はハウジングの複雑でかさばる構造と接続される。さらに、これらのホルダ又はハウジングの大部分は、それらが設計されたひとつの特定用途だけに適する。別の不都合は、ハウジングの部品又は構成要素が、少なくとも一方向に向けてランプから放出された光のかなりの部分を遮ることである。
本発明のひとつの目的は、非常にフレキシブルに広範囲の異なる用途に使用できる、誘電バリア放電ランプのためのランプホルダを提供することである。
本発明の他の目的は、比較的簡単な構造を有し、比較的低コストで製造できる、このようなランプホルダを提供することである。
本発明の別の目的は、ランプから放出された光が、ホルダの構成要素のいずれによっても少なくとも実質的に遮られないように設計されたランプホルダを提供することである。
これらの目的の少なくとも一つは、請求項1に記載された特に誘電バリア放電ランプのためのランプホルダによって解決され、該ランプホルダは、
ランプの第1の軸線方向端部にあてられる第1の端キャップと、ランプの第2の軸線方向端部にあてられる第2の端キャップと、
第1及び第2の端キャップの間に延びる電極を備え、
前記電極の少なくとも一つの軸線方向端部は、隣接する端キャップに軸線方向にあたるように形成され且つ前記隣接する端キャップを貫通し、前記ランプ内の内部空間に媒体を出し入れする略軸線方向のボアまたは中空の管を備え、前記電極はさらに、ネジ取付部を備え、締め付けによって、第1及び第2の端キャップを介してランプの軸線方向両端に軸線方向の圧力を加えることができるように構成されていることを特徴とする。
この解決策のひとつの利点は、著しく簡易な構造を有し、例えば、米国特許第6,294,869号明細書に開示された従来のランプホルダに比べて、容易かつ迅速に組み立てられるという事実であって、というのは、ひとつだけのネジ取付部が必要であり、取り付け及びランプの両方の軸線方向端部に軸線圧力を作用させるためにこれを締め付ければ良いからである。
ネジ取付部を適切に締めることによって、電極と両方の端キャップとの間の両方に、また、両方の端キャップとランプの隣接する軸線方向端部との間に、軸線方向圧力が加えられ、特に同軸又は円筒形のDBDランプの場合に、ランプの内部空間を外部に対して確実に密封することができる。
その上、ネジ取付部の寸法決めすることによって、通常はDBDランプの長さを増加させる、さらに大きな幾何学的公差を補償することができる。
従属請求項は、本発明の有利な実施形態を開示している。
請求項2は、電極と関連する端キャップとの間に非常に簡単な当接部を備えた実施形態に関する。
請求項3は、適合する電極に組み合わせられたネジ取付部の好ましい実施形態に関する。
請求項4及び請求項5は、すべての電気的及び流体的な接続がホルダのひとつの軸線方向端部において行われ、他方の軸線方向端部は完全に閉じて電気的に絶縁される利点を有している。
請求項6の利点は、ランプの内部空間の密封がさらに向上し、ランプの放電空間内の活性ガス放電は、ランプの長さに沿った放電空間の所定部分に形成され、例えば、ホルダの特定の手段で影になることに起因する放射された光の損失を防止する。
請求項7乃至請求項9は、ランプの外部に対するホルダのシールの有利な配置に関する。
本発明の更なる詳細、特徴、及び利点については、以下の例示的な説明において、本発明の好ましい実施形態を添付図面を参照して開示される。
図1は、本発明の第1の実施形態によるランプホルダの主要な構成要素を示した長手方向の断面図であって、好ましくは長手方向に延びる誘電バリア放電(DBD)ランプ1であるランプ1を備えている。
ランプホルダは、処理システム又は反応装置又はハウジング又は放射装置において、DBDランプが発生させる放射によって、流体及び/又はガス及び/又は固体材料のような媒体を処理する。
ランプ1は、石英内管11と石英外管12とを備え、これらは互いに同軸に配置されている。管11,12は、軸線方向両端部で互いに溶融され、両者の間に環状の放電空間13が形成されている。
目的とする用途に応じて、放電空間13内の放電ガスは、希ガス(例えば、キセノン、アルゴン、又はネオン)、ハロゲン(F2、J2、Cl2)、水銀(Hg)、または、これらの物質の混合物である。さらに、管11,12の少なくとも一つには、特別な蛍光コーティングが塗布され、ガス放電の放出放射を別の(詳細には長い)波長の放射に変換する。
液体又はガスの媒体を処理する場合には、この媒体は好ましくは外管12の外側に沿って流れ、一方、液体又はガスの冷却媒体が内管11に囲まれたランプ1の内部空間14を通って流れる。しかしながら、内部空間14を処理すべき媒体の案内に使用し、冷却媒体を外管12の外側に沿って流しても良い。
ランプ1は、ホルダによって取り付けられ、ホルダは、ランプ1の第1の軸線方向端部に軸線方向にあてられる第1の端キャップ21と、ランプ1の第2の軸線方向端部に軸線方向にあてられる第2の端キャップ31とを備えている。さらに、ホルダは多機能な電極を備え、この電極は、ランプ1の第1の軸線方向端部にある第1の接続部分23と、ランプ1の第2の軸線方向端部にある第2の接続部分33と、両接続部分23,33間にある第1及び第2のリンク24,34とから形成され、リンク24,34はネジ取付部SFによって互いに接続されている。
図2は、片方の端キャップ21(31)と、片方の電極の接続部分23(33)とを示した拡大詳細図であって、この実施形態においては、ランプ1の軸線方向両端部でそれぞれ同一である。
端キャップ21,31は、内径および外径を有する実質的に環状の形状を有し、これら内径及び外径は、端キャップの幅(ランプ1の軸線に対して垂直な方向の)が、内管11と外管12との間の環状ギャップの幅に対応するように寸法決めされている。これにより、ランプ1の軸線方向端部の面、すなわち内管11及び外管12が互いに接続されている領域は、軸線方向に端キャップ21,31にあてられ又は当接する。これらの面と関連する端キャップ21,31の間には、それぞれの第1の密封リング22,32が設けられ、ランプ1の内部空間14を外部に対して密封する。さらに、端キャップ21,31の内径には電気のフィードスルー29,39が設けられ、それぞれ接続部分23,33を挿入する孔を形成している。
より詳しくは、電極の第1の接続部分23は、第1の直径を有する所定長の第1の部分とともに延び、第1の直径が第1の端キャップ21の内径(フィードスルー29)と実質的に等しくなっている。第2の部分は、第1の端キャップ21の内径に比べて大きな外径を有し、半径方向に延びた肩部の形状で第1の端キャップ21の外面にあてられている。
これに対応して、電極の第2の接続部分33は、第1の直径を有する所定長の第1の部分とともに延び、第2の端キャップ31のフィードスルーを通り、第2の接続部分33の第2の部分は第2の大きな直径を有し、半径方向に延びた肩部の形状で第2の端キャップ31の外面にあてられている。
第1及び第2の接続部分23,33には、それぞれ、軸線ボア25;35の形態の供給及び/又は排出パイプが設けられ、これは、ボアの軸線方向一端に設けられランプ1の外部へ通じる第1の開口部25a;35aを有している。他端には、孔の形態の第2の開口部25b;35bが設けられ、この開口部は、略半径方向に延び、ランプ1の内部空間14の軸線ボア25,35と接続されるように位置決めされている。
第1のリンク24は第1の接続部分23に続き、第2のリンク34は第2の接続部分33に続き、それぞれランプ1の内部空間14に入り込み、両方のリンク24,34はネジ取付部SFによって互いに接続されている。
内部空間14のランプ1の外部に対する密封を維持又は確保するために、第2の密封リング27,37が、各端キャップ21,31と隣接する第1及び第2の接続部分23,33の間に設けられる。
さらに、各外側リング28,38が、第1及び第2の端キャップ21,31の外周と、処理システム又は反応装置又はハウジング又は放射装置の壁との間に設けられるのが好ましい。これらの外側密封リング28,38は、ランプ1の外面の外側にある媒体がシステムから漏出するあらゆるリスクを回避する。これにより、ランプ1自体と、このような壁との間には、シールは必要とされない。
ランプ1とランプホルダ2,3とを組み立てるためには、第1及び第2の端キャップ21,31を、第1の密封リング22,32とともに、ランプ1の軸線方向端部に配置する。次に、第1及び第2の接続部分23,33を、第1及び第2のリンク24,34とともに、関連する第1及び第2の端キャップ21,33のフィードスルー29,39に、そして、ランプ1の内部空間14の中に挿入する。最後に、接続部分23,33を互いに回転させることによって、ネジ取付部SFを介して両方のリンク24,34が螺合され、接続部分23,33と端キャップ21,31と第1の密封リング22,32を介して、ランプ1の軸線方向端部に充分に高い圧力を軸線方向に加え、ランプ1を両者間で固定し、内部空間14をランプ1の外部に対して密封する。
これにより、ランプホルダ2,3はランプ1長さへの適合が完了し、また、ランプ1の長さの公差が容易に補償される。
ランプ1の一方の電気接触は、好ましくは冷却媒体(又は処理すべき媒体)である導電性の流体又はガス媒体によって実現され、媒体は、軸線ボア25,35を通して、一方の接続部分23,33の孔25b,35bに供給され、ランプ1の内部空間14に流入し、孔35b,25bと他方の接続部分33,23の軸線ボア35,25を通ってこの空間14から排出される。
変形例としては、ランプ1の内部空間14に供給されるのが非導電性の媒体である場合には、内管11の内面に導電性コーティングが設けられ、少なくとも一つの接続部分23,33及び/又は少なくとも一つのリンク24,34に接続される。
他の電気接触は、ランプ1の外管12の外側に沿って流れる導電性の流体又はガスの媒体によって実現され、媒体は好ましくは、処理すべき媒体(又は冷却媒体)である。
図3乃至図5は、本発明による第2の実施形態のランプホルダを示している。図1及び図2と同一の又は対応する部品には、同一の参照符号を付し、以下、第1の実施形態と比較した実質的な相違点について説明する。
ホルダは、ランプ1の軸線方向一端部に第1の端キャップ21を備え、ランプ1の軸線方向他端部に第2の端キャップ31aを備えている。第1の端キャップ21については、図4により詳しく拡大して示しており、第2の端キャップ31aについては、図5により詳しく拡大して示している。
このホルダも再びDBDランプ1を取り付けるためのもので、ランプ1は、図1を参照して上述したように、第1の内管11と第2の外管12とを備え、これらは軸線方向端部で溶融されて環状の放電空間13を形成している。
ホルダの両方の端キャップ21,31aは、ランプ1の軸線方向端部の面、すなわち内管11及び外管12が互いに接続されている領域が、端キャップ21,31aにあてられ又は当接するように寸法決めされている。これらの面と隣接する端キャップ21,31aとの間には、それぞれ第1の密封リング22,32が設けられている。
第1の端キャップ21は、第1の貫通孔29の形態である電気的なフィードスルーを備えている。さらに、第1の端キャップ21は、ランプ1の外部へ通じる第1の開口部26aを有する第2の貫通孔26を備えている。他端には、ランプ1の内部空間14へ通じる第2の開口部26bが設けられ、ランプ1の内部空間14と外部とが接続される。
図5に示すように、第2の端キャップ31aには、ネジボア39が設けられている。
さらに、ホルダは多機能の電極を備え、電極は、第1の軸線方向端部に第1の開口部25を備え、第2の端部の領域に第2の開口部25bを備えている中空の管24aの形態を有している。
この管24aは、その第1の端部が、第1の端キャップ21内の第1の貫通孔29に通って延びている(図4)。第2の端部には、その外面に、第2の端キャップ31aのネジボア39にねじ込まれるネジ部SF1が設けられている(図5)。
第1の端部を第1の孔29内に固定するため、ランプ1の軸線方向両端部に対する両端キャップ21,31aの圧力を可変にするため、そして、ランプ1の長さに適応して補償するために、カウンタナットSF2が設けられ、管24aの第1の端部に螺合して第1の端キャップ21に当接する。
管24aの第2の開口部25bは、半径方向のボアの形態に設けられ、管24aの内部空間をランプ1の内部空間14に接続させる。
ランプ1の内部空間14を外部に対して密封するため、管24aと第1の端キャップ21との間には第2の密封リング27が設けられる。最後に、図2を参照して説明したように、外側密封リング28が設けられる。
この構成によれば、好ましくは冷却媒体(又は処理すべき媒体)は、例えば管24aと管24aの端部のボア25bを通って、ランプ1の内部空間14に流入し、第1の端キャップ21内の第2の貫通孔26を通って流出する(逆もまた同様)。
この実施形態の主な利点は、電極及び冷却媒体のためのすべての接続がランプ1の片側で行われ、他方の側は完全に閉じられて電気的に絶縁されるという事実である。これにより、ランプ1は流れシステム内で容易に、例えば、単に他方の側を処理反応器内の媒体に水没させるだけで実施される。
図6は、本発明の第3の実施形態によるランプホルダにおける第1の端キャップ21aを示している。図1及び図2と同一の又は対応する部品には、同一の参照符号を付しており、以下、第1及び第2の実施形態と比較した実質的な相違点について説明する。
第1の端キャップ21a、ランプ1の軸線方向端部の面、すなわち、内管11及び外管12の領域が互いに接続されている領域が、端キャップ21aにあてられ又は当接するように寸法決めされている。これらの面と第1の端キャップ21aとの間には、第1の密封リング22が設けられる。
第1の端キャップ21aは、第1の貫通孔29の形態である電気的なフィードスルーを備えている。さらに、図4に示した第2の実施形態における第1の端キャップと同様に、端キャップ21aには第2の貫通孔26が設けられ、ランプ1の外部への第1の開口部26aを備えている。他端には、ランプ1の内部空間14への第2の開口部26bが設けられ、ランプ1の内部空間14とランプ1の外部とが接続されている。
第1及び第2の実施形態とは対照的に、この端キャップ21aは、細長い部分201を備え、この部分が内部空間14の部分B内に延び、且つ空間14内の媒体が少なくとも部分Bに入ることを実質的に防ぐように形成されている。
第2の端キャップ(図示せず)は好ましくは、図5に示すように設けられるが、好ましくは、ランプ1の内部空間14に延びる細長い部分を備えている。
図5に示すように、内側電極は、第1の端部に第1の開口部25aを有し、第2の端部に第2の開口部を有する中空管24aの形態に設けられる。
管24aは、その第1の端部が第1の端キャップ21a内の第1の貫通孔29に通って延び、図4に示すように、第1の端キャップ21aに対してカウンタナットによって固定される。管24aの第2の端部は、好ましくは図5に示すように設けられ、外面のネジSF1は、第2の端キャップのネジボアに螺入される。
管24aの第2の開口部は、再び、好ましくは、ボアの形態に設けられ、管24aの内部空間を図5に示すようにランプ1の内部空間14に接続し、好ましくは、冷却媒体(又は処理すべき媒体)は第2の貫通孔26を介して内部空間14に入り、第2の端キャップの管24aに設けた第2の開口部を介し、この管24aを通してこの空間14から排出されるが(逆もまた同様)、これは図3を参照して説明した通りである。
ランプ1の内部空間14を外部に対して密封するために、管24aと第1の端キャップ21との間に第2の密封リング27aが設けられる。さらに、第3の密封リング27bは、細長い部分201の内側軸線方向端部と、ランプ1の内管11の内面との間に設けられる。
上述したように、この第3の実施形態によるランプホルダの第2の端キャップは好ましくは、図5に示すように設けられ、管24aの第2の端部は螺入される。ランプ1に軸線圧力を作用させ、密封を達成し、ランプの長さに適応して補償するため、再び、カウンタナットSF2は管24aの第1の端部に螺着され第1の端キャップ21aに対して当接する。
第2の実施形態の利点に加えて、この第3の実施形態の細長い部分201によって、内部空間14内の媒体と、内管11における半径方向に隣接する内面との間の直接的な接触は、部分Bにおいて防止される。
これは、ランプ1の外部に対する内部空間14の密封を改善するだけではない。ランプ1の電気接触が内部空間14内の媒体によって実現される場合には、細長い部分201は、細長い部分201と半径方向に隣接した放電空間13内(すなわち、図6の部分B)で、少なくとも実質的にガス放電が点火しないという効果を有する。その結果、少なくとも主たるガス放電は、細長い部分201の内側端部の間でのみ点火する(図6の放電空間13の部分Aに対応する)。
これは、たとえランプ1が導電性で外管12に接触する媒体の中に沈められて作動する場合であっても、ガス放電が発生するランプ1の活性空間Aが形成されるという利点を有する。
好ましくは、それぞれの細長い部分201の長さは、例えば端キャップ又はその他の手段で影になるランプ1のそれらの軸線方向端部部分Bが、光を発生させず、従ってこのような影に起因してエネルギーの損失が生じないように選ばれる。
一般的に、このような部分は、内部空間14内を流れる媒体のための貫通孔が設けられるならば、端キャップの間の内部空間14内の所望の長さに配置される。
本発明によるすべてのホルダについてのひとつの利点は、代表的な誘電バリア放電ランプの幾何学的な公差が、上述した端キャップの接続によって補償されることである。これらの公差は、ランプの長さと直径が大きくなると増加して、主として溶融工程によって引き起こされる。このようなランプの通常の公差は、約0.5mmから約数mmに至り、従来のほとんどのホルダのリークフリーシステムでは補償することができない。
本発明によるホルダと共に使用される代表的な誘電バリア放電ランプは、長さが約10cm〜約1mであり、直径が約1cm〜約10cmである。
本発明によるランプホルダは、あらゆる高出力のDBDランプに用いることができ、ランプは好ましくは同軸的なバーナーデザインを有し、例えば、内部空間14を流通する内部の水などの内部の流体又はガスの流れによって冷却される。多機能のホルダによって、安全で確実なランプ内面への接触と、リークフリーな冷却水の供給が実現され、かさばるランプハウジングを必要とすることもない。
最後に、本発明によるランプホルダは、流れる媒体の処理にVUV又はUVCの放射が使用される、あらゆる流動式又はバッチ式の反応システムにおいて、特に、媒体が水であって、ランプの外被が水と直接接触する場合において、液体冷却されるDBDランプを容易に実現することが可能になる。
図1は、本発明の第1の実施形態を示した長手方向の断面図である。 図2は、図1の一部分を長手方向に破断して示した詳細図である。 図3は、本発明の第2の実施形態を示した長手方向の断面図である。 図4は、図3の第1の部分を長手方向に破断して示した詳細図である。 図5は、図3の第2の部分を長手方向に破断して示した詳細図である。 図6は、本発明の第3の実施形態の一部分を長手方向に破断して示した詳細図である。

Claims (10)

  1. 第1および第2の軸線方向端と、冷却媒体または処理すべき媒体を案内する内部空間と、を備えた誘電バリア放電ランプのためのランプホルダであって、
    それぞれが前記ランプの第1および第2の軸線方向端部に軸線方向にあたる第1および第2の端キャップと、
    電極と、を備え、該電極が、
    それぞれが前記第1および第2の端キャップを貫通して延び且つそれぞれが前記第1および第2の端キャップに軸線方向にあたる第1および第2の接続部分であって、各接続部分が前記内部空間に前記媒体を出し入れする少なくとも実質的に軸線方向のボアを備えている接続部分と、
    それぞれが前記第1および第2の接続部分に続き前記ランプの内部空間に入る第1および第2のリンクと、を備え、締め付けにより前記ランプの前記第1および第2の軸線方向端に前記第1および第2の接続部分および前記第1および第2の端キャップを介して軸線方向圧力をかけることができるように前記両リンクがネジ取付部によって互いに連結可能である、
    ことを特徴とするランプホルダ。
  2. 第1および第2の軸線方向端と、冷却媒体または処理すべき媒体を案内する内部空間と、を備えた誘電バリア放電ランプのためのランプホルダであって、
    前記ランプの第1の軸線方向端に軸線方向にあたる第1の端キャップであって、前記内部空間に前記媒体を出し入れする第1および第2の貫通孔を備えた第1の端キャップと、
    前記ランプの第2の軸線方向端に軸線方向にあたり、ネジ付きボアを備えた第2の端キャップと、
    第1の軸線方向端に前記第1の端キャップの第1の貫通孔を貫通して延びる第1の開口を備えた中空チューブの形状の電極と、を備え、前記電極の第2の軸線方向端が、
    前記第2の端キャップのネジ付きボアに前記チューブをねじ込むことができるネジ取付部と、前記ランプの内部空間への第2の開口とを、備えている、
    ことを特徴とするランプホルダ。
  3. 前記第1及び第2の接続部分が、前記第1および第2の端キャップにあたる径方向に延びる肩部を、それぞれ、備えている、
    請求項1に記載のランプホルダ。
  4. 前記軸線方向ボアは、一方の軸線方向の端に設けられた前記ランプ外への第1の開口と、略径方向に延び前記軸線方向ボアを前記ランプの内部空間に接続する孔の形態の第2の開口とを備えている、
    請求項1に記載のランプホルダ。
  5. 前記電極の第1の軸線方向端は、締め付けにより前記ランプの第1および第2の軸線方向端に前記第1および第2のキャップを介して軸線方向圧力をかけるため、カウンタナットをねじ込んで第1の端キャップに当接させるネジ部を備えている、
    請求項2に記載のランプホルダ。
  6. 少なくとも一方の端キャップが、前記内部空間の領域内に延び前記媒体が該領域に入らないように形成された細長い部分を備えている、
    請求項1または2に記載のランプホルダ。
  7. 第1の密封リングが、前記第1及び第2の端キャップのそれぞれと前記ランプの軸線方向端との間に設けられている、
    請求項1に記載のランプホルダ。
  8. 第2の密封リングが、第1及び第2の端キャップのそれぞれと電極との間に設けられている、
    請求項1に記載のランプホルダ。
  9. 3の密封リングが、前記細長い部分の内側軸線方向端と、ランプの内管の内面との間に設けられている、
    請求項6に記載のランプホルダ。
  10. 請求項1ないし9のいずれかに記載のランプホルダを備え、誘電バリア放電ランプによって、流体及び/又はガス及び/又は固体物質のような媒体に放射を行う処理システム又は反応装置又はハウジング又は放射装置。
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