JPH0727168B2 - 放電灯の冷却液循環システム - Google Patents
放電灯の冷却液循環システムInfo
- Publication number
- JPH0727168B2 JPH0727168B2 JP1159045A JP15904589A JPH0727168B2 JP H0727168 B2 JPH0727168 B2 JP H0727168B2 JP 1159045 A JP1159045 A JP 1159045A JP 15904589 A JP15904589 A JP 15904589A JP H0727168 B2 JPH0727168 B2 JP H0727168B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling liquid
- cooling
- heat dissipation
- filtering
- light emitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/024—Arrangements for thermal management
- H01S5/02407—Active cooling, e.g. the laser temperature is controlled by a thermo-electric cooler or water cooling
- H01S5/02423—Liquid cooling, e.g. a liquid cools a mount of the laser
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
- G03B27/02—Exposure apparatus for contact printing
- G03B27/14—Details
- G03B27/26—Cooling
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V29/00—Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
- F21V29/50—Cooling arrangements
- F21V29/56—Cooling arrangements using liquid coolants
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V29/00—Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
- F21V29/50—Cooling arrangements
- F21V29/56—Cooling arrangements using liquid coolants
- F21V29/59—Cooling arrangements using liquid coolants with forced flow of the coolant
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V29/00—Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
- F21V29/50—Cooling arrangements
- F21V29/60—Cooling arrangements characterised by the use of a forced flow of gas, e.g. air
- F21V29/67—Cooling arrangements characterised by the use of a forced flow of gas, e.g. air characterised by the arrangement of fans
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B21/00—Projectors or projection-type viewers; Accessories therefor
- G03B21/14—Details
- G03B21/16—Cooling; Preventing overheating
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、放電灯の冷却液循環システムに係り、特に写
真製版工程などに使用される超高圧水銀灯および使用フ
ィルタに対し有効な冷却液循環システムに関する。
真製版工程などに使用される超高圧水銀灯および使用フ
ィルタに対し有効な冷却液循環システムに関する。
従来、この種の放電灯の冷却液循環システムは、例えば
写真製版に適用されている。この写真製版にあっては、
真空フレーム中に刷版材と画像形成をなすためのフィル
ムとを装着し、真空フレーム内を真空引きして刷版材と
フィルムとを密着させ、光源装置からの紫外光線を照射
させていた。この露光照射にあっては、大きな光量を必
要とするため発光部からの発熱も大きくなる。そのた
め、発光部のみが冷却液が循環される透明ジャケット管
内に配置され、発熱による温度上昇の防止がなされてい
た。
写真製版に適用されている。この写真製版にあっては、
真空フレーム中に刷版材と画像形成をなすためのフィル
ムとを装着し、真空フレーム内を真空引きして刷版材と
フィルムとを密着させ、光源装置からの紫外光線を照射
させていた。この露光照射にあっては、大きな光量を必
要とするため発光部からの発熱も大きくなる。そのた
め、発光部のみが冷却液が循環される透明ジャケット管
内に配置され、発熱による温度上昇の防止がなされてい
た。
また、冷却液の脱気方法（濾過方法）として特開昭49−
71777号で示すように、放電灯を冷却する冷却水の一部
を分岐してイオン交換器を介して脱気塔７に導いてい
る。そして、前記脱気塔７の構成は、垂設したカラム
と、このカラムの上端および下端にそれぞれ設けた流体
入口および流体出口と、前記カラム10内において上部空
間13に続いて形成したラシヒリングを充填してなる充填
物領域と、前記上部空間13を減圧する排気ポンプとから
構成されている。
71777号で示すように、放電灯を冷却する冷却水の一部
を分岐してイオン交換器を介して脱気塔７に導いてい
る。そして、前記脱気塔７の構成は、垂設したカラム
と、このカラムの上端および下端にそれぞれ設けた流体
入口および流体出口と、前記カラム10内において上部空
間13に続いて形成したラシヒリングを充填してなる充填
物領域と、前記上部空間13を減圧する排気ポンプとから
構成されている。
したがって、流体入口から流入した冷却液は、充填物領
域の充填物に衝突して攪拌効果を受けると共に、充填物
の表面に沿って流れるときに水の表面積が増大されるた
め、前記上部空間の減圧により水中に溶解している気体
および混入している気泡が発散させられ、排気ポンプに
より前記気泡が排気させられる。
域の充填物に衝突して攪拌効果を受けると共に、充填物
の表面に沿って流れるときに水の表面積が増大されるた
め、前記上部空間の減圧により水中に溶解している気体
および混入している気泡が発散させられ、排気ポンプに
より前記気泡が排気させられる。
しかしながら、従来は、光源装置から所定の紫外光線を
得るために光学的フィルターを光源体とは別途設けてい
た。そのために、熱線による光学的フィルターの温度上
昇防止が困難であった。また、従来使用の冷却液循環装
置では、冷却水槽に戻った冷却水が水槽内の濾過材の抵
抗によって水槽の上蓋から溢れてしまうという問題点も
あった。
得るために光学的フィルターを光源体とは別途設けてい
た。そのために、熱線による光学的フィルターの温度上
昇防止が困難であった。また、従来使用の冷却液循環装
置では、冷却水槽に戻った冷却水が水槽内の濾過材の抵
抗によって水槽の上蓋から溢れてしまうという問題点も
あった。
また、冷却液の脱気方法の構成では、充填物領域と、前
記充填物領域の直下に形成された冷却水の流下領域とが
１対１で構成されているため、脱気済の冷却水の処理能
力が直ぐに飽和することで、冷却水が溢れてしまう。
記充填物領域の直下に形成された冷却水の流下領域とが
１対１で構成されているため、脱気済の冷却水の処理能
力が直ぐに飽和することで、冷却水が溢れてしまう。
本発明は、上記問題点を解決して、装置が大型化するこ
となく、光学的フィルタの温度上昇防止が容易であり、
しかも冷却水槽に戻った冷却水があふれることがないよ
うにした放電灯の冷却液循環システムの提供を課題とす
る。
となく、光学的フィルタの温度上昇防止が容易であり、
しかも冷却水槽に戻った冷却水があふれることがないよ
うにした放電灯の冷却液循環システムの提供を課題とす
る。
この発明は、上記の課題を解決するため、冷却液に対し
て絶縁構造とした光源体の電力端子用両電極に取り付け
たジャケット管を所定波長成分波長成分の紫外線を透過
させるフィルタに形成し、前記ジャケット管の端部に設
けた供給口と排出口とを介して冷却液をジャケット管中
に流通させ、前記冷却液を冷却液供給装置を介して循
環、濾過する冷却液循環システムにおいて、 前記冷却液供給装置は、冷却液供給部と、循環ポンプ
と、放熱装置とを備え、前記冷却液供給部は、濾過済の
前記冷却液を蓄える冷却液備蓄部と、この冷却液備蓄部
の上部側に懸下されたメッシュ網で包囲する濾過剤を備
えると共に、冷却液を自然落下させて濾過する冷却液濾
過手段と、この冷却液濾過手段内の冷却液の流路内に発
生する気泡を分岐させて放出路へ開放させる気泡分岐手
段とを備え、前記冷却液備蓄部の所定位置に水位センサ
ーを設けた冷却液循環システムとして構成した。
て絶縁構造とした光源体の電力端子用両電極に取り付け
たジャケット管を所定波長成分波長成分の紫外線を透過
させるフィルタに形成し、前記ジャケット管の端部に設
けた供給口と排出口とを介して冷却液をジャケット管中
に流通させ、前記冷却液を冷却液供給装置を介して循
環、濾過する冷却液循環システムにおいて、 前記冷却液供給装置は、冷却液供給部と、循環ポンプ
と、放熱装置とを備え、前記冷却液供給部は、濾過済の
前記冷却液を蓄える冷却液備蓄部と、この冷却液備蓄部
の上部側に懸下されたメッシュ網で包囲する濾過剤を備
えると共に、冷却液を自然落下させて濾過する冷却液濾
過手段と、この冷却液濾過手段内の冷却液の流路内に発
生する気泡を分岐させて放出路へ開放させる気泡分岐手
段とを備え、前記冷却液備蓄部の所定位置に水位センサ
ーを設けた冷却液循環システムとして構成した。
また、前記放熱装置は、空冷式放熱装置または液冷放熱
装置であって、前記冷却液供給部による濾過工程前に配
設する構成とすると都合がよい。
装置であって、前記冷却液供給部による濾過工程前に配
設する構成とすると都合がよい。
光源体の発熱により熱を奪った冷却液は、冷却液濾過手
段側に流入され濾過材により濾過されて冷却液備蓄部に
貯えられる。このとき、濾過材を通過する際に、冷却液
濾過手段内に設けた放出路により気泡が分岐させられる
と共に、圧力も除かれるため、流入される冷却液は、自
然落下し、濾過材を拡散させることはない。また、濾過
された冷却液は、冷却液濾過手段を懸下している冷却液
備蓄部に貯えられることにより、冷却液濾過手段の体積
を越える冷却液を濾過しても、冷却液備蓄部に冷却液が
貯えることが可能となる。また、水位センサーを設けて
いるため、冷却液が冷却液備蓄部の所定量を越えても適
切な対応が可能となる。
段側に流入され濾過材により濾過されて冷却液備蓄部に
貯えられる。このとき、濾過材を通過する際に、冷却液
濾過手段内に設けた放出路により気泡が分岐させられる
と共に、圧力も除かれるため、流入される冷却液は、自
然落下し、濾過材を拡散させることはない。また、濾過
された冷却液は、冷却液濾過手段を懸下している冷却液
備蓄部に貯えられることにより、冷却液濾過手段の体積
を越える冷却液を濾過しても、冷却液備蓄部に冷却液が
貯えることが可能となる。また、水位センサーを設けて
いるため、冷却液が冷却液備蓄部の所定量を越えても適
切な対応が可能となる。
また、冷却液は、空冷式または液冷式放熱装置が、前記
冷却液供給部による濾過工程前に配設されているため、
昇温した冷却液は、放熱装置で冷却された後、冷却液濾
過手段で濾過されるので、冷却液濾過手段の温度上昇を
最小限に抑えることが可能となる。
冷却液供給部による濾過工程前に配設されているため、
昇温した冷却液は、放熱装置で冷却された後、冷却液濾
過手段で濾過されるので、冷却液濾過手段の温度上昇を
最小限に抑えることが可能となる。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は片持支持方式の光源装置の断面図であって、１
は両極絶縁型超高圧水銀灯からなる管状の発光部であ
る。発光部１は、透明円筒形状であり、その両端部に形
成された第一絶縁部３と第二絶縁部６は発光管本体（お
よび両電極端子5,8）よりやや大径の円柱形状で、絶縁
性の高いステアタイトで形成している。
は両極絶縁型超高圧水銀灯からなる管状の発光部であ
る。発光部１は、透明円筒形状であり、その両端部に形
成された第一絶縁部３と第二絶縁部６は発光管本体（お
よび両電極端子5,8）よりやや大径の円柱形状で、絶縁
性の高いステアタイトで形成している。
ジャケット管２は透明略円筒形状であり、第１ジャケッ
ト管10aと，第２ジャケット管10bとにより構成されてい
る。このジャケット管２の片端部に設けられる受け部９
は、受け具17,締付具16,パッキン18,そしてＯリング19
とから構成している。第２ジャケット管10bと受け具17
がパッキン18を介して密に組付き、その受け具17に締付
具16を螺合組付けし両者間のＯリング19を弾圧し、第一
絶縁部３の外周面に弾接することによって第一絶縁部３
と受け部９との組付きを密なものとしている。締付具16
を緩めることによって、Ｏリング19は原形復帰し、第一
絶縁部３と受け部９との密な組付きが解かれることにな
る。
ト管10aと，第２ジャケット管10bとにより構成されてい
る。このジャケット管２の片端部に設けられる受け部９
は、受け具17,締付具16,パッキン18,そしてＯリング19
とから構成している。第２ジャケット管10bと受け具17
がパッキン18を介して密に組付き、その受け具17に締付
具16を螺合組付けし両者間のＯリング19を弾圧し、第一
絶縁部３の外周面に弾接することによって第一絶縁部３
と受け部９との組付きを密なものとしている。締付具16
を緩めることによって、Ｏリング19は原形復帰し、第一
絶縁部３と受け部９との密な組付きが解かれることにな
る。
装着部４は、保持金具11,固定金具15,締付ネジ12,そし
て複数のパッキン18とから構成している。保持金具11の
上面外周端部に第２ジャケット管10bの外方に突出した
端部をパッキン18を介して載置し、その端部を固定金具
15を保持金具11に螺合組付けすることによって強固に組
付けるものとしている。
て複数のパッキン18とから構成している。保持金具11の
上面外周端部に第２ジャケット管10bの外方に突出した
端部をパッキン18を介して載置し、その端部を固定金具
15を保持金具11に螺合組付けすることによって強固に組
付けるものとしている。
発光部１は、保持金具11に直接組付けるもので、その組
付けは、発光部１が挿通した保持金具11に締付ネジ12を
螺合組付けして係止段部７（ここではフランジ形状とし
ている）を押圧し、その係止段部７を組付段部20にパッ
キン18を介して押しつけることによって達成するもので
ある。ここでの係止段部７はフランジ形状としている
が、単なる段部とする等、組付段部20に当接する形状で
あれば良い。
付けは、発光部１が挿通した保持金具11に締付ネジ12を
螺合組付けして係止段部７（ここではフランジ形状とし
ている）を押圧し、その係止段部７を組付段部20にパッ
キン18を介して押しつけることによって達成するもので
ある。ここでの係止段部７はフランジ形状としている
が、単なる段部とする等、組付段部20に当接する形状で
あれば良い。
第２図（Ａ）は光源装置の全体的な構成を示す説明図、
第２図（Ｂ）は反射板の取付け状態を示す側面図であっ
て、発光部１の背面及び側面には反射鏡21が設けられ光
が前方に向けて照射されるようになっている。また、こ
の発光部１の装着部４と反射鏡21とは、補助取付板22に
よって一体になされている。補助取付板22は支柱23の先
端に設けられている。支柱23は、途中に止めグリップ24
を有し、長さが任意に変更設定できるようになってい
る。25は電源及び冷却液供給部であって、発光部１と電
源及び冷却液供給部25との間がダクトコード26によって
連結されている。
第２図（Ｂ）は反射板の取付け状態を示す側面図であっ
て、発光部１の背面及び側面には反射鏡21が設けられ光
が前方に向けて照射されるようになっている。また、こ
の発光部１の装着部４と反射鏡21とは、補助取付板22に
よって一体になされている。補助取付板22は支柱23の先
端に設けられている。支柱23は、途中に止めグリップ24
を有し、長さが任意に変更設定できるようになってい
る。25は電源及び冷却液供給部であって、発光部１と電
源及び冷却液供給部25との間がダクトコード26によって
連結されている。
第３図は電源及び冷却液供給部25内に内蔵されている冷
却液供給装置のブロック図である。この冷却液供給装置
49は、同図に示すように、装置内冷却液供給部27と循環
ポンプ28と、放熱装置（ラジエータ）29とを備えてい
る。放熱装置（ラジエータ）29は空冷式または液冷式で
あって、装置内冷却液供給部27の濾過工程の前に配置さ
れる。従って、冷却液の容量は、光源冷却部２（ジャケ
ット管）内冷却液と、装置内冷却液供給部27の冷却液備
蓄部48内冷却液と、該冷却備蓄部48と光源冷却部（ジャ
ケット管）２との間に介在する放熱装置29、循環ポンプ
28、各装置間を接続するホース、の各内部の冷却液容量
との合計であって、冷却液備蓄槽の容量が小さくてす
み、装置が小型化できる。
却液供給装置のブロック図である。この冷却液供給装置
49は、同図に示すように、装置内冷却液供給部27と循環
ポンプ28と、放熱装置（ラジエータ）29とを備えてい
る。放熱装置（ラジエータ）29は空冷式または液冷式で
あって、装置内冷却液供給部27の濾過工程の前に配置さ
れる。従って、冷却液の容量は、光源冷却部２（ジャケ
ット管）内冷却液と、装置内冷却液供給部27の冷却液備
蓄部48内冷却液と、該冷却備蓄部48と光源冷却部（ジャ
ケット管）２との間に介在する放熱装置29、循環ポンプ
28、各装置間を接続するホース、の各内部の冷却液容量
との合計であって、冷却液備蓄槽の容量が小さくてす
み、装置が小型化できる。
第４図は装置内冷却液供給部27を示し、槽30の上部には
冷却液流入用パイプ31が設けられ、このパイプ31は放熱
装置（ラジエータ）29を介して発光部１の装着部４に設
けられた発光部冷却液排出口14に、ダクトコード26によ
って連結されている。槽30の下部には冷却液排出口32が
設けられ、槽30内と装着部４の発光部冷却液流入口13と
が循環ポンプ28を介して再びダクトコード26によって連
結されている。槽30内には、クリーナタンク33が懸下さ
れている。クリーナタンク33の下部には、クリーナタン
ク冷却液排出口34が形成されている。クリーナタンク33
には、上，下にメッシュ網35が配置されたイオン交換用
樹脂，活性炭等からなる濾過材36が内蔵されている。そ
して、矢印Ａで示すように冷却液流入用パイプ31から流
入する冷却液を圧力を解除して自然落下で通過させる冷
却液濾過手段47を形成し濾過して冷却液備蓄部48に貯え
る。そして冷却液排出口32へと流出するようになし、光
源装置の汚れ発生，酸化等を防止するようにしている。
また、槽30の上部には、蓋37が取付けられ、そこに空気
排出口38が設けられ、冷却液に混入した空気を矢印Ｂで
示すように外部に排出する気泡の分岐手段46を形成する
ようになっている。なお、空気排出口38は、蓋37部分以
外の、槽30の上部適宜位置に設けるようにしてもよい。
冷却液流入用パイプ31が設けられ、このパイプ31は放熱
装置（ラジエータ）29を介して発光部１の装着部４に設
けられた発光部冷却液排出口14に、ダクトコード26によ
って連結されている。槽30の下部には冷却液排出口32が
設けられ、槽30内と装着部４の発光部冷却液流入口13と
が循環ポンプ28を介して再びダクトコード26によって連
結されている。槽30内には、クリーナタンク33が懸下さ
れている。クリーナタンク33の下部には、クリーナタン
ク冷却液排出口34が形成されている。クリーナタンク33
には、上，下にメッシュ網35が配置されたイオン交換用
樹脂，活性炭等からなる濾過材36が内蔵されている。そ
して、矢印Ａで示すように冷却液流入用パイプ31から流
入する冷却液を圧力を解除して自然落下で通過させる冷
却液濾過手段47を形成し濾過して冷却液備蓄部48に貯え
る。そして冷却液排出口32へと流出するようになし、光
源装置の汚れ発生，酸化等を防止するようにしている。
また、槽30の上部には、蓋37が取付けられ、そこに空気
排出口38が設けられ、冷却液に混入した空気を矢印Ｂで
示すように外部に排出する気泡の分岐手段46を形成する
ようになっている。なお、空気排出口38は、蓋37部分以
外の、槽30の上部適宜位置に設けるようにしてもよい。
39は槽30内壁に設けた水位センサーであって、冷却液が
適量あることを検知するものであり、かつ、液漏れが生
じている場合の異常を検出する液漏れ検出器を兼ねて自
然蒸発および液漏れを検出する。
適量あることを検知するものであり、かつ、液漏れが生
じている場合の異常を検出する液漏れ検出器を兼ねて自
然蒸発および液漏れを検出する。
次に、上記構成による実施例を写真製版に用いる場合に
ついて説明する。写真製版手段は、第５図に示すように
被照射体である刷版構成基板40上に接着剤41によって接
着された刷版感光層42を設けて刷版基板43が形成され、
この刷版基板43上に画像形成フィルム44を配し真空中で
行なうものである。そして、画像形成フィルム44のポジ
ティブ部44aでは遮断され、ネガティブ部44bでは通過す
る波長の紫外線Ｃを照射させる。その結果、刷版感光層
42は、ネガティブ部44bに対応した部分42aが感光し写真
製版がなされる。
ついて説明する。写真製版手段は、第５図に示すように
被照射体である刷版構成基板40上に接着剤41によって接
着された刷版感光層42を設けて刷版基板43が形成され、
この刷版基板43上に画像形成フィルム44を配し真空中で
行なうものである。そして、画像形成フィルム44のポジ
ティブ部44aでは遮断され、ネガティブ部44bでは通過す
る波長の紫外線Ｃを照射させる。その結果、刷版感光層
42は、ネガティブ部44bに対応した部分42aが感光し写真
製版がなされる。
感光剤によって吸収する波長が異なるため照射する紫外
線の波長を予め設定する必要がある。例えば、第６図に
示すように、吸収する波長が夫々波長λ１＝200〜300n
m,λ２＝200〜400nm,λ３＝300〜400nmのように異なる
感光剤を選択的に使用するときは、紫外線の波長を最適
な状態に設定する必要がある。そこで、発光部１の紫外
線主スペクトルがλ１′＝253.7nmのときには、光学的
フィルター効果がλ１″＝200nm〜4mμの石英ガラスフ
ィルターを用いる。発光部１の紫外線主スペクトルがλ
２′＝360nmのときには、λ２″＝310nm〜2mμの曹達ガ
ラス及び鉛ガラスフィルターを用いる。発光部１の紫外
線主スペクトルがλ３′＝414nmのときには、λ３″＝3
00nm〜4mμの曹達ガラス及び石英ガラスフィルターを用
いる。
線の波長を予め設定する必要がある。例えば、第６図に
示すように、吸収する波長が夫々波長λ１＝200〜300n
m,λ２＝200〜400nm,λ３＝300〜400nmのように異なる
感光剤を選択的に使用するときは、紫外線の波長を最適
な状態に設定する必要がある。そこで、発光部１の紫外
線主スペクトルがλ１′＝253.7nmのときには、光学的
フィルター効果がλ１″＝200nm〜4mμの石英ガラスフ
ィルターを用いる。発光部１の紫外線主スペクトルがλ
２′＝360nmのときには、λ２″＝310nm〜2mμの曹達ガ
ラス及び鉛ガラスフィルターを用いる。発光部１の紫外
線主スペクトルがλ３′＝414nmのときには、λ３″＝3
00nm〜4mμの曹達ガラス及び石英ガラスフィルターを用
いる。
従って、用いる感光剤の種類によって予め発光部１の種
類を選定すると共に、フィルター効果を第1,第２のジャ
ケット管10a,10bの選定によって設定する。そして、外
側空間と内側空間内とに矢印Ｄ（第１図参照）で示すよ
うに冷却液を循環させ発光部１を発光させれば、所定の
波長の紫外線Ｃを発光装置外部に至らしめることができ
る。
類を選定すると共に、フィルター効果を第1,第２のジャ
ケット管10a,10bの選定によって設定する。そして、外
側空間と内側空間内とに矢印Ｄ（第１図参照）で示すよ
うに冷却液を循環させ発光部１を発光させれば、所定の
波長の紫外線Ｃを発光装置外部に至らしめることができ
る。
冷却液の循環は、第１図に示すように発光部冷却液流入
口13から外側空間内に流入し、内側空間を通過して発熱
する発光部１を冷却し、発光部冷却液排出口14から排出
される。この冷却液の流れは、電源及び冷却液供給部25
の循環用ポンプ28によって発生される。そして、温度上
昇した冷却液は、空冷式また液冷式ラジエータ29によっ
て再び冷却され、常時、発光部１には冷却された状態で
供給されるようになっている。
口13から外側空間内に流入し、内側空間を通過して発熱
する発光部１を冷却し、発光部冷却液排出口14から排出
される。この冷却液の流れは、電源及び冷却液供給部25
の循環用ポンプ28によって発生される。そして、温度上
昇した冷却液は、空冷式また液冷式ラジエータ29によっ
て再び冷却され、常時、発光部１には冷却された状態で
供給されるようになっている。
この冷却液は、前記内側と外側の空間を通過することに
よって汚れるが、槽30内のクリーナタンク33を通過する
ことによって濾過され再び前記外側と内側の空間へと送
られる。クリーナタンク33内では、冷却液が濾過材36を
通過するものであるが、このとき冷却液が濾過材36を舞
い立たせてしまうものである。しかし、濾過材36は、メ
ッシュ網35で上，下が押えられているため、メッシュか
ら外部へは排出されない。また、クリーナタンク33部分
で冷却液には空気が混入し、泡が発生し易い。この泡
は、槽30内での流路抵抗を増大させ、冷却液を円滑に流
すことができず、しかも槽30からあふれさせてしまう等
の阻害を発生させるものである。しかし、この混入した
空気は空気排出口38から外部へと排出されるので泡の発
生が防止されると共に、水圧が解除されて槽30に流入す
る冷却液は自然落下でクリーナーを通る。
よって汚れるが、槽30内のクリーナタンク33を通過する
ことによって濾過され再び前記外側と内側の空間へと送
られる。クリーナタンク33内では、冷却液が濾過材36を
通過するものであるが、このとき冷却液が濾過材36を舞
い立たせてしまうものである。しかし、濾過材36は、メ
ッシュ網35で上，下が押えられているため、メッシュか
ら外部へは排出されない。また、クリーナタンク33部分
で冷却液には空気が混入し、泡が発生し易い。この泡
は、槽30内での流路抵抗を増大させ、冷却液を円滑に流
すことができず、しかも槽30からあふれさせてしまう等
の阻害を発生させるものである。しかし、この混入した
空気は空気排出口38から外部へと排出されるので泡の発
生が防止されると共に、水圧が解除されて槽30に流入す
る冷却液は自然落下でクリーナーを通る。
このようにして、発光部１からの光は、フィルタ機能を
有するジャケット管10a,10bの光学的フィルター効果に
よって熱線が遮断され、冷却液によって冷却される。そ
して、所定の紫外線のみが外部に放射される。また、放
射された紫外線は反射鏡21によって有効に画像形成フィ
ルム44,刷版基板43に至らしめられる。しかも、所望の
紫外線は、ジャケット管10a,10bを所望の光学的フィル
ター効果を呈するものに交換することによって得られ
る。
有するジャケット管10a,10bの光学的フィルター効果に
よって熱線が遮断され、冷却液によって冷却される。そ
して、所定の紫外線のみが外部に放射される。また、放
射された紫外線は反射鏡21によって有効に画像形成フィ
ルム44,刷版基板43に至らしめられる。しかも、所望の
紫外線は、ジャケット管10a,10bを所望の光学的フィル
ター効果を呈するものに交換することによって得られ
る。
なお、上述の本発明の一実施例においては、二重構造の
ジャケット管10a,10bを用いて両端を支持する両持支持
方式であったが、第７図（Ａ）に示すように一重構造の
ジャケット管でもよい。
ジャケット管10a,10bを用いて両端を支持する両持支持
方式であったが、第７図（Ａ）に示すように一重構造の
ジャケット管でもよい。
第７図（Ａ）は一重構造ジャケット管の一方端の構成を
示す断面図である。同図において、１は発光部、３は絶
縁部、５は電力端子用電極、51は支持体50への係止部で
ある。一重構造のジャケット管52の先端は支持体50にＯ
リングパッキング53を介して固定ネジ54によって締付け
られている。支持体50から突出している発光部１の係止
部51の先端外周は、受け具55とワッシャー56とを介して
支持体の先端部50′と螺合する固定ネジ57によって締付
けられている。また、支持体50の内部に設けられジャケ
ット管52と発光部１の係止部との間にある注入口59には
内部を空洞に形成されて冷却液を運ぶ支持管50に連結さ
れている。60は支持体先端部50′と受け具55との間に設
けたＯリングパッキング、61は受け具55とワッシャー56
との間に設けるＯリングパッキングである。
示す断面図である。同図において、１は発光部、３は絶
縁部、５は電力端子用電極、51は支持体50への係止部で
ある。一重構造のジャケット管52の先端は支持体50にＯ
リングパッキング53を介して固定ネジ54によって締付け
られている。支持体50から突出している発光部１の係止
部51の先端外周は、受け具55とワッシャー56とを介して
支持体の先端部50′と螺合する固定ネジ57によって締付
けられている。また、支持体50の内部に設けられジャケ
ット管52と発光部１の係止部との間にある注入口59には
内部を空洞に形成されて冷却液を運ぶ支持管50に連結さ
れている。60は支持体先端部50′と受け具55との間に設
けたＯリングパッキング、61は受け具55とワッシャー56
との間に設けるＯリングパッキングである。
さらに、両持支持方式では、第７図（Ａ）に示すよう
に、装着された発光部１の両端を電気的に絶縁する碍子
の絶縁部３で止め、該碍子を介して、冷却液の漏水絶縁
は、Ｏリングパッキング61をワッシャーリング56を介し
て固定ネジ57で止め、発光部１の両電極端子５を冷却用
ジャケット管52の外部に突出させている。このため、発
光部１の両電極は冷却液に対して絶縁されている。
に、装着された発光部１の両端を電気的に絶縁する碍子
の絶縁部３で止め、該碍子を介して、冷却液の漏水絶縁
は、Ｏリングパッキング61をワッシャーリング56を介し
て固定ネジ57で止め、発光部１の両電極端子５を冷却用
ジャケット管52の外部に突出させている。このため、発
光部１の両電極は冷却液に対して絶縁されている。
第７図（Ｂ），第７図（Ｃ）は水銀灯の発光部に一重ジ
ャケット管を着脱する手順の説明用図である。第７図
（Ｂ）に示すように、一重構造のジャケット管52の両端
に、それぞれ固定ネジ54a,54bを挿入して、支持体50aお
よび50bを挿入し、冷却液導管の先端を注入口（または
排出口）59に位置合わせして（第７図（Ａ）参照）固定
する。次いで、ジャケット管52の内部に高圧水銀灯の発
光部１を挿入する。次いで、発光部１の左，右端側の係
止部51に、受け具55,Oリングパッキング61,ワッシャー5
6を介在させると共に、支持体先端部50′と受け具55と
の間にＯリングパッキング60を介在させて、固定ネジ57
によって締付ける。
ャケット管を着脱する手順の説明用図である。第７図
（Ｂ）に示すように、一重構造のジャケット管52の両端
に、それぞれ固定ネジ54a,54bを挿入して、支持体50aお
よび50bを挿入し、冷却液導管の先端を注入口（または
排出口）59に位置合わせして（第７図（Ａ）参照）固定
する。次いで、ジャケット管52の内部に高圧水銀灯の発
光部１を挿入する。次いで、発光部１の左，右端側の係
止部51に、受け具55,Oリングパッキング61,ワッシャー5
6を介在させると共に、支持体先端部50′と受け具55と
の間にＯリングパッキング60を介在させて、固定ネジ57
によって締付ける。
ジャケット管52の内側から発光部１を取り出す手順は前
記の組立て手順を逆に実施すればよい。
記の組立て手順を逆に実施すればよい。
なおまた、本発明は写真製版用のみならず、各種の光源
用としての光源装置にも適用できることは勿論である。
用としての光源装置にも適用できることは勿論である。
この発明は、濾過手段にて冷却液を濾過することにより
冷却液の汚れを除去することができる。また、気泡分岐
手段にて冷却液に混入する気泡を分岐すると共に、冷却
液を自然落下させて圧力を解除してから濾過手段にて冷
却液の濾過を行うようにしたので、従来のように圧力を
もった冷却液の流入による、活性炭や樹脂部材からなる
濾過材の細流化の事態が生じにくくなる。したがって、
この細流化された濾過材の拡散による冷却液汚濁の発生
を抑えることができ、濾過材や冷却液の寿命を延ばすこ
とが可能となることから経済性に優れると共に、メンテ
ナンスの回数を減少させることができる。また、冷却液
備蓄部の上部側に冷却液濾過手段を懸下する構成として
いるので、流入した冷却液の量が排出する量より多くな
っても、濾過された冷却液が冷却液備蓄部に貯えられる
ため、冷却液供給手段から濾過済の冷却液がすぐに溢れ
出ることはない。さらに、冷却液備蓄部内に水位センサ
ーが設けられているため、冷却液の貯えが一定量を越え
ると水位センサーが作動するので、液漏れを未然に防ぐ
ことができると共に、液漏れが起こったとしても迅速に
対応することができ、液漏れによる放電灯の異常な加熱
を防ぐことができるなど優れた効果を奏する。
冷却液の汚れを除去することができる。また、気泡分岐
手段にて冷却液に混入する気泡を分岐すると共に、冷却
液を自然落下させて圧力を解除してから濾過手段にて冷
却液の濾過を行うようにしたので、従来のように圧力を
もった冷却液の流入による、活性炭や樹脂部材からなる
濾過材の細流化の事態が生じにくくなる。したがって、
この細流化された濾過材の拡散による冷却液汚濁の発生
を抑えることができ、濾過材や冷却液の寿命を延ばすこ
とが可能となることから経済性に優れると共に、メンテ
ナンスの回数を減少させることができる。また、冷却液
備蓄部の上部側に冷却液濾過手段を懸下する構成として
いるので、流入した冷却液の量が排出する量より多くな
っても、濾過された冷却液が冷却液備蓄部に貯えられる
ため、冷却液供給手段から濾過済の冷却液がすぐに溢れ
出ることはない。さらに、冷却液備蓄部内に水位センサ
ーが設けられているため、冷却液の貯えが一定量を越え
ると水位センサーが作動するので、液漏れを未然に防ぐ
ことができると共に、液漏れが起こったとしても迅速に
対応することができ、液漏れによる放電灯の異常な加熱
を防ぐことができるなど優れた効果を奏する。
また、冷却液を放熱装置にて冷却した後に濾過工程に導
く構成により、濾過材を包囲するメッシュ網などの冷却
液供給部における金属部分の腐食の進行を遅らせること
ができる。
く構成により、濾過材を包囲するメッシュ網などの冷却
液供給部における金属部分の腐食の進行を遅らせること
ができる。
第１図は本発明に係る片持支持方式の光源装置の一実施
例を示す要部の断面図、第２図（Ａ）は本発明に係る光
源装置の一実施例における全体的な構成を示す斜視図、
第２図（Ｂ）は第３図の反射鏡の取付け状態を示す側面
図、第３図は冷却液循環装置のブロック図、第４図は本
発明に係る光源装置の一実施例における冷却液供給部を
示す断面図、第５図は本発明が適用される写真製版を示
す断面図、第６図は本発明の説明に供するための紫外線
主スペクトラムを示す特性図、第７図（Ａ）は本発明に
係る両持支持方式の光源装置の実施例におけるジャケッ
ト管を示す断面図、第７図（Ｂ），第７図（Ｃ）は高圧
水銀灯の発光部に一重構造のジャケット管を着脱する手
順の説明図である。 １…発光部、10a…第１のジャケット管、10b…第２のジ
ャケット管、25…電源及び冷却液供給部、26…ダクトコ
ード、27…冷却液供給部、28…循環ポンプ、29…放熱装
置、30…槽、33…クリーナタンク、35…メッシュ網、36
…濾過材、38…空気排出口、39…液漏れ検出器、43…刷
版基板、44…画像形成フィルム、46…気泡の分岐手段、
47…冷却液濾過手段、48…冷却液備蓄部、49…冷却液供
給装置。
例を示す要部の断面図、第２図（Ａ）は本発明に係る光
源装置の一実施例における全体的な構成を示す斜視図、
第２図（Ｂ）は第３図の反射鏡の取付け状態を示す側面
図、第３図は冷却液循環装置のブロック図、第４図は本
発明に係る光源装置の一実施例における冷却液供給部を
示す断面図、第５図は本発明が適用される写真製版を示
す断面図、第６図は本発明の説明に供するための紫外線
主スペクトラムを示す特性図、第７図（Ａ）は本発明に
係る両持支持方式の光源装置の実施例におけるジャケッ
ト管を示す断面図、第７図（Ｂ），第７図（Ｃ）は高圧
水銀灯の発光部に一重構造のジャケット管を着脱する手
順の説明図である。 １…発光部、10a…第１のジャケット管、10b…第２のジ
ャケット管、25…電源及び冷却液供給部、26…ダクトコ
ード、27…冷却液供給部、28…循環ポンプ、29…放熱装
置、30…槽、33…クリーナタンク、35…メッシュ網、36
…濾過材、38…空気排出口、39…液漏れ検出器、43…刷
版基板、44…画像形成フィルム、46…気泡の分岐手段、
47…冷却液濾過手段、48…冷却液備蓄部、49…冷却液供
給装置。
Claims (2)
- 【請求項１】冷却液に対して絶縁構造とした光源体の電
力端子用両電極に取り付けたジャケット管を所定波長成
分の紫外線を透過させるフィルタに形成し、前記ジャケ
ット管の端部に設けた供給口と排出口とを介して冷却液
をジャケット管中に流通させ、前記冷却液を冷却液供給
装置を介して循環、濾過する冷却液循環システムにおい
て、 前記冷却液供給装置は、冷却液供給部と、循環ポンプ
と、放熱装置とを備え、前記冷却液供給部は、濾過済の
前記冷却液を蓄える冷却液備蓄部と、この冷却液備蓄部
の上部側に懸下されたメッシュ網で包囲する濾過剤を備
えると共に、冷却液を自然落下させて濾過する冷却液濾
過手段と、この冷却液濾過手段内の冷却液の流路内に発
生する気泡を分岐させて放出路へ開放させる気泡分岐手
段とを備え、 前記冷却液備蓄部の所定位置に水位センサーを設けたこ
とを特徴とする冷却液循環システム。 - 【請求項２】前記放熱装置は、空冷式放熱装置または液
冷放熱装置であって、前記冷却液供給部による濾過工程
前に配設される請求項に記載の冷却液循環システム。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1159045A JPH0727168B2 (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | 放電灯の冷却液循環システム |
| US07/430,264 US5147130A (en) | 1989-06-21 | 1989-11-02 | Cooling liquid recirculation system for light source unit |
| KR1019890017415A KR970011204B1 (ko) | 1989-06-21 | 1989-11-29 | 광원장치의 냉각액 순환시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1159045A JPH0727168B2 (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | 放電灯の冷却液循環システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0324533A JPH0324533A (ja) | 1991-02-01 |
| JPH0727168B2 true JPH0727168B2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=15685025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1159045A Expired - Fee Related JPH0727168B2 (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | 放電灯の冷却液循環システム |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5147130A (ja) |
| JP (1) | JPH0727168B2 (ja) |
| KR (1) | KR970011204B1 (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4203840C1 (ja) * | 1992-02-10 | 1993-06-24 | Heraeus Instruments Gmbh, 6450 Hanau, De | |
| JPH06331812A (ja) * | 1993-05-18 | 1994-12-02 | Ekuesutorian:Kk | 冷却反射鏡装置 |
| US5504666A (en) * | 1994-07-29 | 1996-04-02 | 475231 B.C. Ltd. | Light bulb cooling jacket and heat dissipation system |
| US5647662A (en) * | 1995-10-06 | 1997-07-15 | Ziegler; Byron J. | Apparatus for cooling a light beam |
| US6179434B1 (en) | 1999-02-03 | 2001-01-30 | Illumitech, Llc. | Modular lighting system for product display unit |
| JP3458757B2 (ja) * | 1999-03-30 | 2003-10-20 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
| US6495800B2 (en) | 1999-08-23 | 2002-12-17 | Carson T. Richert | Continuous-conduction wafer bump reflow system |
| US6621199B1 (en) * | 2000-01-21 | 2003-09-16 | Vortek Industries Ltd. | High intensity electromagnetic radiation apparatus and method |
| US6755518B2 (en) * | 2001-08-30 | 2004-06-29 | L&P Property Management Company | Method and apparatus for ink jet printing on rigid panels |
| US6558017B1 (en) | 2001-12-18 | 2003-05-06 | Illumitech, Inc. | Lighting system employing bi-directional optics for illuminating product display unit |
| US7781947B2 (en) * | 2004-02-12 | 2010-08-24 | Mattson Technology Canada, Inc. | Apparatus and methods for producing electromagnetic radiation |
| ATE464524T1 (de) * | 2005-02-18 | 2010-04-15 | Ebm Papst St Georgen Gmbh & Co | Wärmetauscher |
| CN101128902B (zh) * | 2005-02-21 | 2010-10-13 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 用于电介质阻挡放电灯的灯座 |
| US20080074880A1 (en) * | 2006-09-21 | 2008-03-27 | Keen Stephen B | Apparatus and method for removing heat from plant growth light bulbs |
| US7824056B2 (en) * | 2006-12-29 | 2010-11-02 | Hussmann Corporation | Refrigerated merchandiser with LED lighting |
| US8558436B2 (en) | 2011-09-13 | 2013-10-15 | Switch Bulb Company, Inc. | Scavengers for reducing contaminants in liquid-filled LED bulbs |
| KR101953442B1 (ko) * | 2016-12-05 | 2019-02-28 | (주)쎄미시스코 | 수냉각이 가능한 광 소결 장치 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3372740A (en) * | 1966-01-12 | 1968-03-12 | Westinghouse Electric Corp | Lighting luminaire which is liquid cooled |
| US3624380A (en) * | 1970-04-22 | 1971-11-30 | Integrated Dev & Mfg Co | Lighting arrangement |
| US3739215A (en) * | 1970-12-24 | 1973-06-12 | Yoshio Yazaki | High pressure mercury vapor lamp provided with a cooling water jacket |
| JPS4952541U (ja) * | 1972-08-10 | 1974-05-09 | ||
| JPS4971777A (ja) * | 1972-11-15 | 1974-07-11 | ||
| JPS5219582B2 (ja) * | 1973-07-18 | 1977-05-28 | ||
| JPS5520570B2 (ja) * | 1974-03-29 | 1980-06-03 | ||
| US4047561A (en) * | 1974-10-18 | 1977-09-13 | General Electric Company | Cooling liquid de-gassing system |
| CH583378A5 (ja) * | 1975-04-08 | 1976-12-31 | Bbc Brown Boveri & Cie | |
| JPS5243364A (en) * | 1975-10-01 | 1977-04-05 | Hitachi Ltd | Power semiconductor device and process for production of same |
| JPS5795209U (ja) * | 1980-12-02 | 1982-06-11 | ||
| US4509104A (en) * | 1982-04-27 | 1985-04-02 | Dainichi-Nippon Cables, Ltd. | High temperature resistant lighting device |
| JPS6063963U (ja) * | 1983-10-05 | 1985-05-07 | 三菱電機株式会社 | レ−ザ装置 |
| JPS61250631A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-07 | Riso Kagaku Corp | ガラスシリンダ式複写装置 |
| US4813477A (en) * | 1987-01-30 | 1989-03-21 | Hansen David W | Heat exchanger-filter apparatus for hydrostatic system |
| JPH0682941B2 (ja) * | 1987-10-22 | 1994-10-19 | 富士通株式会社 | 冷却液供給装置 |
| US4937717A (en) * | 1988-06-09 | 1990-06-26 | Betzvog Jr John M | Lighting system for hazardous areas |
-
1989
- 1989-06-21 JP JP1159045A patent/JPH0727168B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1989-11-02 US US07/430,264 patent/US5147130A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-11-29 KR KR1019890017415A patent/KR970011204B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5147130A (en) | 1992-09-15 |
| KR970011204B1 (ko) | 1997-07-08 |
| KR910000356A (ko) | 1991-01-29 |
| JPH0324533A (ja) | 1991-02-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0727168B2 (ja) | 放電灯の冷却液循環システム | |
| US8256901B2 (en) | Image projection apparatus and method of cooling an image projection apparatus | |
| KR101285067B1 (ko) | 마이크로 프로세서용 냉각 시스템 | |
| US8444918B2 (en) | Water purifier | |
| KR102424836B1 (ko) | 조사(照射) 장치 및 방법 | |
| JP2005010630A (ja) | 液晶プロジェクタ | |
| WO2006019219A2 (en) | Cooling apparatus of looped heat pipe structure | |
| TWI754667B (zh) | 紫外線照射裝置及方法 | |
| JP3439679B2 (ja) | 高輝度光照射装置 | |
| JP7230624B2 (ja) | 流体殺菌装置 | |
| JP2018069144A (ja) | 水処理装置 | |
| CN216273221U (zh) | 杀菌模组 | |
| JP6565418B2 (ja) | 車両の電池冷却機構 | |
| JP2004154722A (ja) | 紫外線照射装置 | |
| JP2005072216A (ja) | 液冷システムおよびこれを用いた電子機器 | |
| CN216792673U (zh) | 一种具有散热结构的曝光机灯 | |
| JP2001225067A (ja) | 紫外線照射装置 | |
| JP2000048745A (ja) | Ｘ線管装置 | |
| JP2005215022A (ja) | 光学要素用吸熱装置及びプロジェクタ装置 | |
| US20230212038A1 (en) | Water treatment system | |
| JPH0743540B2 (ja) | 光源装置 | |
| CN212658941U (zh) | 一种干膜曝光系统 | |
| WO2002059048A1 (fr) | Dispositif de traitement de liquides par rayonnement ultraviolet | |
| CN209929669U (zh) | 一种ip68防护级承压式激光灯灯箱 | |
| CN214976396U (zh) | 一种光刻胶供给管路清洗系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |