JPH06331812A - 冷却反射鏡装置 - Google Patents
冷却反射鏡装置Info
- Publication number
- JPH06331812A JPH06331812A JP5151002A JP15100293A JPH06331812A JP H06331812 A JPH06331812 A JP H06331812A JP 5151002 A JP5151002 A JP 5151002A JP 15100293 A JP15100293 A JP 15100293A JP H06331812 A JPH06331812 A JP H06331812A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- reflecting mirror
- reflection mirror
- cooling tank
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V7/00—Reflectors for light sources
- F21V7/10—Construction
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V29/00—Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
- F21V29/50—Cooling arrangements
- F21V29/56—Cooling arrangements using liquid coolants
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V29/00—Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
- F21V29/50—Cooling arrangements
- F21V29/502—Cooling arrangements characterised by the adaptation for cooling of specific components
- F21V29/505—Cooling arrangements characterised by the adaptation for cooling of specific components of reflectors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/181—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
- G02B7/1815—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation with cooling or heating systems
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
〔目的〕反射鏡本体の外壁面に対し冷却液が平面的に行
き渡るようにすると共に、反射鏡本体の肉厚を厚くし反
射鏡本体の過熱が外壁面まで行かないようにして、冷却
液の温度上昇を抑えることにより、長時間の冷却を可能
にするようにした冷却反射鏡を提供することにある。 〔構成〕曲面部10bの反射鏡面10dは光を反射する
鍍金を施し、かつ平面部20aを形成する冷却タンク2
0の両側に、冷却液を供給する供給パイプ20a、20
bを連設すると共に、この供給パイプ20a、20bに
流れる冷却液が冷却タンク20に溜りながら、循環させ
ることにより反射鏡本体10を冷却するようにしてい
る。
き渡るようにすると共に、反射鏡本体の肉厚を厚くし反
射鏡本体の過熱が外壁面まで行かないようにして、冷却
液の温度上昇を抑えることにより、長時間の冷却を可能
にするようにした冷却反射鏡を提供することにある。 〔構成〕曲面部10bの反射鏡面10dは光を反射する
鍍金を施し、かつ平面部20aを形成する冷却タンク2
0の両側に、冷却液を供給する供給パイプ20a、20
bを連設すると共に、この供給パイプ20a、20bに
流れる冷却液が冷却タンク20に溜りながら、循環させ
ることにより反射鏡本体10を冷却するようにしてい
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は反射鏡を冷却するように
した冷却反射鏡であって、詳しく述べると反射鏡に使用
される光源の高熱により、反射鏡が過熱しないようにし
た冷却反射鏡装置に関するものである。
した冷却反射鏡であって、詳しく述べると反射鏡に使用
される光源の高熱により、反射鏡が過熱しないようにし
た冷却反射鏡装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来におけるこの種の反射鏡装置は光源
を使用する反射鏡であり、例えばプリント配線基板の露
光焼付装置に設けられている。光源は水銀ランプが使用
され明るくすることが望まれているが、高熱を発生する
という問題が残されされている。このような高熱をを吸
収するために、鍍金手段において熱吸収するブラック塗
装を反射鏡面に施すこともあるが、古くは反射鏡本体の
背面に放熱フィンを形成し、この放熱フィンの間に冷却
液を流通させるためのパイプを設けると共に、さらに空
気を外部より送り込みながら過熱を抑えるようにしてい
る。
を使用する反射鏡であり、例えばプリント配線基板の露
光焼付装置に設けられている。光源は水銀ランプが使用
され明るくすることが望まれているが、高熱を発生する
という問題が残されされている。このような高熱をを吸
収するために、鍍金手段において熱吸収するブラック塗
装を反射鏡面に施すこともあるが、古くは反射鏡本体の
背面に放熱フィンを形成し、この放熱フィンの間に冷却
液を流通させるためのパイプを設けると共に、さらに空
気を外部より送り込みながら過熱を抑えるようにしてい
る。
【0003】また前記のような冷却液と空冷式には、冷
却液を流通させるためのパイプでは、過熱に対する冷却
能力が弱いために長時間の使用において反射鏡膜の老化
が生じ、また空冷においては露光焼付けをする配線基板
やフィルム等を塵埃によって汚すなどの欠陥があり、こ
のような欠陥を除去するものとして、近時の刊行物に特
公平4−22958号が存在する。すなわちこの発明に
おいては、光源に対する反
却液を流通させるためのパイプでは、過熱に対する冷却
能力が弱いために長時間の使用において反射鏡膜の老化
が生じ、また空冷においては露光焼付けをする配線基板
やフィルム等を塵埃によって汚すなどの欠陥があり、こ
のような欠陥を除去するものとして、近時の刊行物に特
公平4−22958号が存在する。すなわちこの発明に
おいては、光源に対する反
【0004】射鏡の背面、平なコールドミラーの背面、
曲面を有するコールドミラーの背面、透光性の背面に冷
却液を循環流通する冷却パイプを蛇行配設し、パイプ止
めを以て挾持し、この挾持部材としてのパイプ止めの底
面に耐熱性弾性体のシリコンゴムを接着し固定部材に固
定してヒートシンクを形成し、赤外線の熱を透過する反
射鏡や、紫外線のみを反射するコールドミラー類の背面
にヒートシンクの冷却パイプの外表面を圧接し、冷却パ
イプ中の冷却液が流通するようにしている。
曲面を有するコールドミラーの背面、透光性の背面に冷
却液を循環流通する冷却パイプを蛇行配設し、パイプ止
めを以て挾持し、この挾持部材としてのパイプ止めの底
面に耐熱性弾性体のシリコンゴムを接着し固定部材に固
定してヒートシンクを形成し、赤外線の熱を透過する反
射鏡や、紫外線のみを反射するコールドミラー類の背面
にヒートシンクの冷却パイプの外表面を圧接し、冷却パ
イプ中の冷却液が流通するようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前記するように前者の
欠陥を除去するために、後者は冷却液を循環流通する冷
却パイプを蛇行配設し、パイプ止めを以て挾持し、この
挾持部材としてのパイプ止めの底面に、耐熱性弾性体の
シリコンゴムを接着し固定部材に固定して、ヒートシン
クを形成することを必須要件にしているが、冷却パイプ
を蛇行配設することは、冷却パイプ自体を軟質にしなけ
ればならないので、蛇行により曲がり部分が狭くなり、
冷却液の循環時における流通状態を悪くするという欠点
がある。
欠陥を除去するために、後者は冷却液を循環流通する冷
却パイプを蛇行配設し、パイプ止めを以て挾持し、この
挾持部材としてのパイプ止めの底面に、耐熱性弾性体の
シリコンゴムを接着し固定部材に固定して、ヒートシン
クを形成することを必須要件にしているが、冷却パイプ
を蛇行配設することは、冷却パイプ自体を軟質にしなけ
ればならないので、蛇行により曲がり部分が狭くなり、
冷却液の循環時における流通状態を悪くするという欠点
がある。
【0006】また冷却パイプが円形であるから、反射鏡
の長手方向に沿って線接触状態になるから冷却面積が小
さくなるだけでなく、冷却パイプに反射鏡の過熱が伝わ
り易いので、冷却液が長時間の使用において徐々に温ま
り冷却能力を低下させるという欠点があり、またパイプ
止めの挾持としてパイプ止めの底面に耐熱性弾性体のシ
リコンゴムを接着し、固定部材に固定してヒートシンク
を形成するようにしているので、構造が複雑となり組付
けや材料代等において製造コストを高くする等の欠点が
あった。
の長手方向に沿って線接触状態になるから冷却面積が小
さくなるだけでなく、冷却パイプに反射鏡の過熱が伝わ
り易いので、冷却液が長時間の使用において徐々に温ま
り冷却能力を低下させるという欠点があり、またパイプ
止めの挾持としてパイプ止めの底面に耐熱性弾性体のシ
リコンゴムを接着し、固定部材に固定してヒートシンク
を形成するようにしているので、構造が複雑となり組付
けや材料代等において製造コストを高くする等の欠点が
あった。
【0007】本発明の目的は斯かる欠点を除去するため
に、反射鏡本体の外壁面に対し冷却液が平面的に行き渡
るようにすると共に、反射鏡本体の肉厚を厚くし反射鏡
本体の過熱が外壁面まで行かないようにして、冷却液の
温度上昇を抑えることにより、長時間の冷却を可能にす
るようにした冷却反射鏡を提供することにある。
に、反射鏡本体の外壁面に対し冷却液が平面的に行き渡
るようにすると共に、反射鏡本体の肉厚を厚くし反射鏡
本体の過熱が外壁面まで行かないようにして、冷却液の
温度上昇を抑えることにより、長時間の冷却を可能にす
るようにした冷却反射鏡を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための解決手段】本発明は斯かる目的
を達成するために、肉厚を有する複数のック形態によ
り、内面に弧状の曲面部を形成する反射鏡本体と、かつ
この反射鏡本体の外面の平坦部に沿って密接する冷却タ
ンクとから構成され、前記曲面部の反射鏡面は光を反射
する鍍金を施し、かつ平面部を形成する冷却タンクの両
側に、冷却液を供給する供給パイプを連設すると共に、
この供給パイプに流れる冷却液が冷却タンクに溜りなが
ら、循環させることにより反射鏡本体を冷却することに
ある。
を達成するために、肉厚を有する複数のック形態によ
り、内面に弧状の曲面部を形成する反射鏡本体と、かつ
この反射鏡本体の外面の平坦部に沿って密接する冷却タ
ンクとから構成され、前記曲面部の反射鏡面は光を反射
する鍍金を施し、かつ平面部を形成する冷却タンクの両
側に、冷却液を供給する供給パイプを連設すると共に、
この供給パイプに流れる冷却液が冷却タンクに溜りなが
ら、循環させることにより反射鏡本体を冷却することに
ある。
【0009】
【作用】本発明は肉厚を有する複数のブロック形態によ
り、内部に弧状の曲面部を形成する反射鏡本体が冷却タ
ンクと面接触するので、冷却液が全面に広がり有効な働
きとなり、しかも反射鏡本体の肉厚が、長時間の使用に
おいても冷却液を温まらないようにするので、安定した
冷却を可能にし熱による老化を防止できる。
り、内部に弧状の曲面部を形成する反射鏡本体が冷却タ
ンクと面接触するので、冷却液が全面に広がり有効な働
きとなり、しかも反射鏡本体の肉厚が、長時間の使用に
おいても冷却液を温まらないようにするので、安定した
冷却を可能にし熱による老化を防止できる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の冷却反射鏡装置Aの実施例を
図面と共に説明すと、図は本発明の冷却反射鏡装置Aの
一実施例であって、図1は本発明の冷却反射鏡装置Aの
斜視図、図2ないし図4は本発明の冷却反射鏡装置Aの
他の実施例を図示した斜視図、図5ないし図6は本発明
の冷却反射鏡装置Aの冷却タンクの斜視図を表わすもの
である。
図面と共に説明すと、図は本発明の冷却反射鏡装置Aの
一実施例であって、図1は本発明の冷却反射鏡装置Aの
斜視図、図2ないし図4は本発明の冷却反射鏡装置Aの
他の実施例を図示した斜視図、図5ないし図6は本発明
の冷却反射鏡装置Aの冷却タンクの斜視図を表わすもの
である。
【0011】本発明の冷却反射鏡Aについて説明する
と、肉厚を有する複数のブロック10a形態により、内
面に曲面部10bを形成する反射鏡本体10と、かつこ
の反射鏡本体10の外面の平坦面10cに沿って密接す
る冷却タンク20とを設けている。また前記曲面部10
bの反射鏡面10dは光を反射する鍍金を施し、かつ平
面部20aを形成する冷却タンク20の両側に、冷却液
を供給する供給パイプ20a、20bを連設すると共
に、この供給パイプ20a、20bに流れる冷却液が冷
却タンク20に溜りながら、循環させることにより反射
鏡本体10を冷却するようにしている。
と、肉厚を有する複数のブロック10a形態により、内
面に曲面部10bを形成する反射鏡本体10と、かつこ
の反射鏡本体10の外面の平坦面10cに沿って密接す
る冷却タンク20とを設けている。また前記曲面部10
bの反射鏡面10dは光を反射する鍍金を施し、かつ平
面部20aを形成する冷却タンク20の両側に、冷却液
を供給する供給パイプ20a、20bを連設すると共
に、この供給パイプ20a、20bに流れる冷却液が冷
却タンク20に溜りながら、循環させることにより反射
鏡本体10を冷却するようにしている。
【0012】さらに詳しく説明すると、複数のブロック
10aはアルミニウムや真鍮または耐熱樹脂等の材料等
を使用し、また反射鏡本体10の反射鏡面10dとなる
鍍金層は、この反射鏡本体10の曲面部10bの微小な
粗面を被覆し平滑にするニッケル鍍金層と、このニッケ
ル鍍金層を被覆する光沢鍍金層と、この熱線吸収層を被
覆し熱線を透過させる反射熱線透過層とを順次重積形成
している。さらに図1における実施例では、複数のブロ
ック10aの内面に形成する曲面部10bを、自動制御
工作加工機械(不図示)に設けた切削ドリルで穿設する
ようにしている。
10aはアルミニウムや真鍮または耐熱樹脂等の材料等
を使用し、また反射鏡本体10の反射鏡面10dとなる
鍍金層は、この反射鏡本体10の曲面部10bの微小な
粗面を被覆し平滑にするニッケル鍍金層と、このニッケ
ル鍍金層を被覆する光沢鍍金層と、この熱線吸収層を被
覆し熱線を透過させる反射熱線透過層とを順次重積形成
している。さらに図1における実施例では、複数のブロ
ック10aの内面に形成する曲面部10bを、自動制御
工作加工機械(不図示)に設けた切削ドリルで穿設する
ようにしている。
【0012】また複数のブロック10aの外面に平坦部
10cを形成する。このように加工した複数のブロック
10aを合体させたとき、内面に弧状の曲面部10bを
形成すると共に、この複数のブロック10aの組合わせ
により反射鏡本体10を形成する。この反射鏡本体10
の外面上部に形成する平坦面10cに冷却タンク20の
平面部20cを密接させ、さらにこの冷却タンク20を
反射鏡本体10に固定する固定部材30で押さえるよう
にしている。すなわちこの固定部材30には複数の小孔
30aを穿設してあり、この小孔30aにネジ1を挿入
し反射鏡本体10のネジ孔(不図示)に螺着するように
している。
10cを形成する。このように加工した複数のブロック
10aを合体させたとき、内面に弧状の曲面部10bを
形成すると共に、この複数のブロック10aの組合わせ
により反射鏡本体10を形成する。この反射鏡本体10
の外面上部に形成する平坦面10cに冷却タンク20の
平面部20cを密接させ、さらにこの冷却タンク20を
反射鏡本体10に固定する固定部材30で押さえるよう
にしている。すなわちこの固定部材30には複数の小孔
30aを穿設してあり、この小孔30aにネジ1を挿入
し反射鏡本体10のネジ孔(不図示)に螺着するように
している。
【0013】すなわちこの固定部材30には複数の小孔
30aを穿設してあり、この小孔30aにネジ1を挿入
し反射鏡本体10のネジ孔(不図示)に螺着するように
している。また反射鏡本体10の底面には、矩形の枠体
40を螺着し反射鏡本体10の反射がこの枠体40から
透光できるように光源部2を配設している。さらに反射
鏡本体10の側面に補助部材3を、ネジ(不図示)によ
り螺着するようにしているので各ブロック10aの接合
面の外れをさらに防止することができる。
30aを穿設してあり、この小孔30aにネジ1を挿入
し反射鏡本体10のネジ孔(不図示)に螺着するように
している。また反射鏡本体10の底面には、矩形の枠体
40を螺着し反射鏡本体10の反射がこの枠体40から
透光できるように光源部2を配設している。さらに反射
鏡本体10の側面に補助部材3を、ネジ(不図示)によ
り螺着するようにしているので各ブロック10aの接合
面の外れをさらに防止することができる。
【0014】図2ないし図4は本発明の冷却反射鏡Aに
おける他の実施例であり、詳しく説明すると前記と同じ
ように複数のブロック10aは、アルミニウムや真鍮ま
たは耐熱樹脂等の材料等を使用し、また反射鏡本体10
の反射鏡面10dとなる鍍金層は、この反射鏡本体10
の曲面部10bの微小な粗面を被覆し平滑にするニッケ
ル鍍金屑と、このニッケル鍍金層を被覆する光沢鍍金層
と、この熱線吸収層を被覆し熱線を透過させる反射熱線
透過層とを順次重積形成している。
おける他の実施例であり、詳しく説明すると前記と同じ
ように複数のブロック10aは、アルミニウムや真鍮ま
たは耐熱樹脂等の材料等を使用し、また反射鏡本体10
の反射鏡面10dとなる鍍金層は、この反射鏡本体10
の曲面部10bの微小な粗面を被覆し平滑にするニッケ
ル鍍金屑と、このニッケル鍍金層を被覆する光沢鍍金層
と、この熱線吸収層を被覆し熱線を透過させる反射熱線
透過層とを順次重積形成している。
【0015】さらに複数のブロック10aの内面に形成
する曲面部10bを、自動制御工作加工機械(不図示)
に設けた切削ドリルで穿設する。また複数のブロック1
0aの外面に平坦部10cを形成する。このように加工
した複数のブロック10aを合体させたとき、内面に弧
状の曲面部10bを形成すると共に、この複数のブロッ
ク10aをそれぞれ組合わせることにより反射鏡本体1
0を形成する。
する曲面部10bを、自動制御工作加工機械(不図示)
に設けた切削ドリルで穿設する。また複数のブロック1
0aの外面に平坦部10cを形成する。このように加工
した複数のブロック10aを合体させたとき、内面に弧
状の曲面部10bを形成すると共に、この複数のブロッ
ク10aをそれぞれ組合わせることにより反射鏡本体1
0を形成する。
【0016】また複数のブロック10aの外面に平坦部
10cを形成する。このように加工した複数のブロック
10aを合体させたとき、内面に弧状の曲面部10bを
形成すると共に、この複数のブロック10aの組合わせ
により、反射鏡本体10を形成する。この反射鏡本体1
0の外面の片側または両側に形成する平坦面10cに、
冷却タンク20の平面部20cを密接させている。
10cを形成する。このように加工した複数のブロック
10aを合体させたとき、内面に弧状の曲面部10bを
形成すると共に、この複数のブロック10aの組合わせ
により、反射鏡本体10を形成する。この反射鏡本体1
0の外面の片側または両側に形成する平坦面10cに、
冷却タンク20の平面部20cを密接させている。
【0017】さらに冷却タンク20を反射鏡本体10に
押さえるように固定部材30で固定している。この固定
部材30は複数の小孔30aを穿設してあり、この小孔
30aに、ネジ1を挿入し反射鏡本体10のネジ孔(不
図示)に螺着するようにしている。また反射鏡本体10
の底面には、矩形の枠体40を螺着し反射鏡本体10の
反射光が、この枠体40から透光できるように光源部2
を配設している。さらに反射鏡本体10の側面に補助部
材3をネジ(不図示)により螺着している。
押さえるように固定部材30で固定している。この固定
部材30は複数の小孔30aを穿設してあり、この小孔
30aに、ネジ1を挿入し反射鏡本体10のネジ孔(不
図示)に螺着するようにしている。また反射鏡本体10
の底面には、矩形の枠体40を螺着し反射鏡本体10の
反射光が、この枠体40から透光できるように光源部2
を配設している。さらに反射鏡本体10の側面に補助部
材3をネジ(不図示)により螺着している。
【0018】したがって各ブロック10aの接合面の外
れをさらに防止することができる。前記固定部材30は
冷却タンク20の周囲を押さえるようにした枠体状また
は冷却タンク20の全面を覆うように目隠しの板状の何
れであってもよい。また図5ないし図6に図示する冷却
タンク20は、反射鏡本体10の長手方向に沿って、密
接している。したがって冷却タンク20は矩形の筐体状
に形成し、この冷却タンク20の両側に1本ないし数本
の供給パイプ20a、20bを設けるようにしている。
またこの供給パイプ20a、20bの両側の他端は、別
に設ける冷却装置本体(不図示)に接続され、冷却液を
常時冷却するように循環流通させている。
れをさらに防止することができる。前記固定部材30は
冷却タンク20の周囲を押さえるようにした枠体状また
は冷却タンク20の全面を覆うように目隠しの板状の何
れであってもよい。また図5ないし図6に図示する冷却
タンク20は、反射鏡本体10の長手方向に沿って、密
接している。したがって冷却タンク20は矩形の筐体状
に形成し、この冷却タンク20の両側に1本ないし数本
の供給パイプ20a、20bを設けるようにしている。
またこの供給パイプ20a、20bの両側の他端は、別
に設ける冷却装置本体(不図示)に接続され、冷却液を
常時冷却するように循環流通させている。
【0019】
【発明の効果】本発明は以上の如く、肉厚を有する複数
のブロック形態により、内面に弧状の曲面部を形成する
反射鏡本体と、かつこの反射鏡本体の外面の平坦部に沿
って密接する冷却タンクとを設け、前記曲面部は光を反
射する鍍金を施し、かつ平面部を形成する冷却タンクの
両側に、冷却液を供給する供給パイプを連設すると共
に、この供給パイプに流れる冷却液が冷却タンクに溜り
ながら、循環させることにより反射鏡本体を冷却するの
で、長時間の使用においても冷却の効力が低下すること
なく、しかも製品の歩留まりが向上するなど実益があ
り、極めて大きい効果を奏するものである。
のブロック形態により、内面に弧状の曲面部を形成する
反射鏡本体と、かつこの反射鏡本体の外面の平坦部に沿
って密接する冷却タンクとを設け、前記曲面部は光を反
射する鍍金を施し、かつ平面部を形成する冷却タンクの
両側に、冷却液を供給する供給パイプを連設すると共
に、この供給パイプに流れる冷却液が冷却タンクに溜り
ながら、循環させることにより反射鏡本体を冷却するの
で、長時間の使用においても冷却の効力が低下すること
なく、しかも製品の歩留まりが向上するなど実益があ
り、極めて大きい効果を奏するものである。
図は本発明の冷却反射鏡Aの一実施例である。
【図1】本発明の冷却反射鏡の斜視図
【図2】本発明の冷却反射鏡装置の他の実施例を図示し
た斜視図
た斜視図
【図3】本発明の冷却反射鏡装置の他の実施例を図示し
た斜視図
た斜視図
【図4】本発明の冷却反射鏡装置の他の実施例を図示し
た斜視図
た斜視図
【図5】本発明の冷却反射鏡装置の冷却タンクの斜視図
【図6】本発明の冷却反射鏡装置の冷却タンクの斜視図
A…冷却反射鏡装置 1…ネジ 2…光源部 3…補助部材 10…反射鏡本体 10a…ブロック 10b…曲面部 10c…平坦面 10d…鏡面 20…冷却タンク 20a…供給パイプ 20b…供給パイプ 20c…平面部 30…固定部材 30a…小孔 40…枠体
Claims (1)
- 【請求項1】肉厚を有する複数のブロック形態により、
内面に弧状の曲面部を形成する反射鏡本体と、かつこの
反射鏡本体の外面の平坦部に沿って密接する冷却タンク
とから構成され、前記曲面部の反射鏡面は光を反射する
鍍金を施し、かつ平面部を形成する冷却タンクの両側
に、冷却液を供給する供給パイプを連設すると共に、こ
の供給パイプに流れる冷却液が冷却タンクに溜りなが
ら、循環させることにより反射鏡本体を冷却することを
特徴とする冷却反射鏡装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5151002A JPH06331812A (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 冷却反射鏡装置 |
US08/097,184 US5444576A (en) | 1993-05-18 | 1993-07-27 | Cooled reflective mirror apparatus |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5151002A JPH06331812A (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 冷却反射鏡装置 |
US08/097,184 US5444576A (en) | 1993-05-18 | 1993-07-27 | Cooled reflective mirror apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06331812A true JPH06331812A (ja) | 1994-12-02 |
Family
ID=26480402
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5151002A Pending JPH06331812A (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 冷却反射鏡装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5444576A (ja) |
JP (1) | JPH06331812A (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3094902B2 (ja) * | 1996-03-27 | 2000-10-03 | ウシオ電機株式会社 | 紫外線照射装置 |
JPH09281060A (ja) * | 1996-04-08 | 1997-10-31 | Ekuesu Torian:Kk | 携帯用反射鏡の固定カバー装置 |
JP4532835B2 (ja) * | 2003-02-13 | 2010-08-25 | キヤノン株式会社 | 冷却装置、それを有する光学部材並びに露光装置 |
JP2005175187A (ja) * | 2003-12-11 | 2005-06-30 | Canon Inc | 光学部材、冷却方法、冷却装置、露光装置、デバイス製造方法、及びデバイス |
DE102004038592A1 (de) | 2004-08-06 | 2006-03-16 | Ist Metz Gmbh | Bestrahlungsaggregat |
JP5946612B2 (ja) * | 2010-10-08 | 2016-07-06 | ギガフォトン株式会社 | ミラー、ミラー装置、レーザ装置および極端紫外光生成装置 |
USD729969S1 (en) * | 2013-03-14 | 2015-05-19 | Lsi Industries, Inc. | Lighting |
CN113917650B (zh) * | 2021-10-19 | 2022-09-09 | 中国科学院高能物理研究所 | 一种改善反射镜热变形和振动稳定性的冷却结构及方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3482185A (en) * | 1966-10-25 | 1969-12-02 | Us Air Force | Low impedance thermal joint |
US3966308A (en) * | 1974-05-01 | 1976-06-29 | Infrarodteknik Ab | Device for reflecting radiant energy |
US4096450A (en) * | 1977-04-22 | 1978-06-20 | Hughes Aircraft Company | Conductively cooled flashlamp |
JPH0727168B2 (ja) * | 1989-06-21 | 1995-03-29 | 株式会社オーク製作所 | 放電灯の冷却液循環システム |
JPH0675200B2 (ja) * | 1990-05-18 | 1994-09-21 | 株式会社オーク製作所 | 露光装置用冷却構造 |
US5321595A (en) * | 1992-09-04 | 1994-06-14 | Amjo Infra Red Dryers, Inc. | Double bulb mercury vapor lamp apparatus |
-
1993
- 1993-05-18 JP JP5151002A patent/JPH06331812A/ja active Pending
- 1993-07-27 US US08/097,184 patent/US5444576A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5444576A (en) | 1995-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6954238B2 (en) | Backlight module for homogenizing the temperature of a flat panel display device | |
JP5291892B2 (ja) | 撮像素子モジュール、撮像素子モジュールを用いたレンズユニット及び携帯用電子機器 | |
US7928358B2 (en) | Imaging device module and portable electronic apparatus utilizing the same | |
JPH0675200B2 (ja) | 露光装置用冷却構造 | |
JPH06331812A (ja) | 冷却反射鏡装置 | |
JPH0324533A (ja) | 放電灯の冷却液循環システム | |
JP6994543B2 (ja) | 脱毛器及び半導体冷却片 | |
JP2008227939A (ja) | 撮像素子モジュール及びそれを用いた電子機器 | |
JPH07248480A (ja) | 液晶プロジェクタの冷却装置 | |
JP2004158814A (ja) | 発熱体の放熱実装構造 | |
JPH0423456A (ja) | 部品冷却装置 | |
JPS6217214B2 (ja) | ||
JP6631799B2 (ja) | 光照射装置 | |
JPH1078578A (ja) | バックライト装置 | |
JPH11312883A (ja) | 電子装置 | |
JPS62156890A (ja) | レ−ザミラ−ホルダ | |
JP2005215022A (ja) | 光学要素用吸熱装置及びプロジェクタ装置 | |
JP2004095455A (ja) | 冷却装置およびそれを用いたプラズマディスプレイ装置 | |
CN220208071U (zh) | 一种车载摄像头 | |
JPH066330Y2 (ja) | 液晶表示装置 | |
JPH06283783A (ja) | レーザロッド冷却機構及び冷却用スリーブ | |
JPS634345Y2 (ja) | ||
JPH0310694Y2 (ja) | ||
JPH02214146A (ja) | ヒートシンクの取付構造 | |
JP2005091522A (ja) | 熱制御装置、定着装置及び画像形成装置 |