JPH0675200B2 - 露光装置用冷却構造 - Google Patents
露光装置用冷却構造Info
- Publication number
- JPH0675200B2 JPH0675200B2 JP2128649A JP12864990A JPH0675200B2 JP H0675200 B2 JPH0675200 B2 JP H0675200B2 JP 2128649 A JP2128649 A JP 2128649A JP 12864990 A JP12864990 A JP 12864990A JP H0675200 B2 JPH0675200 B2 JP H0675200B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- pipe
- reflecting mirror
- mirror
- heat
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/181—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
- G02B7/1815—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation with cooling or heating systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光源に対する反射鏡および露光装置用のコール
ドミラーなどの熱吸収手段に関するものである。
ドミラーなどの熱吸収手段に関するものである。
〔従来の技術〕 プリント配線基板の露光焼付装置の従来例としては、添
付図面の第３図に示した装置が知られている。この装置
の光源32は、紫外線発光管型と称する水銀ランプを使用
し、曲面の反射鏡31を具備している。この反射鏡31の背
面には、放熱フイン13を有するアルミニウム素材からな
る引抜成形物の反射鏡ベース14が圧着され、この放熱フ
イン13は突出して放熱面を形成している。この放熱フイ
ン13と、パイプ止め15をもって冷却パイプ16を挟持して
いる。この冷却パイプ16内には冷却液を流通し、放熱フ
イン13を冷却し、光源32より発生する熱を吸収する。反
射鏡31の表面には薄い高純度のアルミニウムで形成した
交換反射鏡17を反射膜として使用する。しかしながら、
この反射膜は長時間の使用によると反射能力が低下する
ので交換する必要がある。
付図面の第３図に示した装置が知られている。この装置
の光源32は、紫外線発光管型と称する水銀ランプを使用
し、曲面の反射鏡31を具備している。この反射鏡31の背
面には、放熱フイン13を有するアルミニウム素材からな
る引抜成形物の反射鏡ベース14が圧着され、この放熱フ
イン13は突出して放熱面を形成している。この放熱フイ
ン13と、パイプ止め15をもって冷却パイプ16を挟持して
いる。この冷却パイプ16内には冷却液を流通し、放熱フ
イン13を冷却し、光源32より発生する熱を吸収する。反
射鏡31の表面には薄い高純度のアルミニウムで形成した
交換反射鏡17を反射膜として使用する。しかしながら、
この反射膜は長時間の使用によると反射能力が低下する
ので交換する必要がある。
第３図に示したものを２個合わせると第４図に示す交換
反射鏡17aとなり、さらにこの交換反射鏡17aを筐体27に
収納した状態を第５図に示す。この交換反射鏡17aは開
口部18よりエヤーを取入れて、排気口19より排出して筐
体27の内部を冷却する。なお、20は鏡体ベースである。
反射鏡17aとなり、さらにこの交換反射鏡17aを筐体27に
収納した状態を第５図に示す。この交換反射鏡17aは開
口部18よりエヤーを取入れて、排気口19より排出して筐
体27の内部を冷却する。なお、20は鏡体ベースである。
以上説明した従来例の構成においては、次のような問題
点が発生していた。
点が発生していた。
構造が複雑で製作費が嵩む。
反射鏡面などは光源から発生した熱に対して冷却す
るような手段がなかった。
るような手段がなかった。
露光室内の温度上昇を防止するために室内の空気を
室外に排出しようとすると室内に塵埃が舞い上り、その
微粉体が露光フイルム面に落下して精密画像の再現がで
きず、製品汚染が多発するに拘わらず、その防止手段が
困難であった。
室外に排出しようとすると室内に塵埃が舞い上り、その
微粉体が露光フイルム面に落下して精密画像の再現がで
きず、製品汚染が多発するに拘わらず、その防止手段が
困難であった。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもの
で、冷却液を循環流通させる冷却パイプと、上記冷却パ
イプを挟持すべく金属板を折り曲げると共に底面をも形
成したパイプ止めと、上記パイプ止めの底面外側が接着
剤により耐熱性弾性体を固着された固定部材とによりヒ
ートシンクを形成し、上記ヒートシンクの冷却パイプの
外表面に、露光装置用の平らなコールドミラーの背面，
曲面を有するコールドミラーの背面，透光性の窓の背面
を圧接固定して構成することを特徴とする。
で、冷却液を循環流通させる冷却パイプと、上記冷却パ
イプを挟持すべく金属板を折り曲げると共に底面をも形
成したパイプ止めと、上記パイプ止めの底面外側が接着
剤により耐熱性弾性体を固着された固定部材とによりヒ
ートシンクを形成し、上記ヒートシンクの冷却パイプの
外表面に、露光装置用の平らなコールドミラーの背面，
曲面を有するコールドミラーの背面，透光性の窓の背面
を圧接固定して構成することを特徴とする。
本発明は上記の構成によって、コールドミラーが冷却パ
イプに圧接しているために、吸収した赤外線による熱
は、冷却パイプ内の循環冷却液に吸収され、かつ露光室
外に流出される。従って、露光室内の温度は上昇するこ
となく、従来例におけるような露光室内の温度上昇によ
る製品の歩止りの悪化を除去できる。また露光室内の空
気を排除する必要がないので、露光フイルムに塵埃も附
着しない。
イプに圧接しているために、吸収した赤外線による熱
は、冷却パイプ内の循環冷却液に吸収され、かつ露光室
外に流出される。従って、露光室内の温度は上昇するこ
となく、従来例におけるような露光室内の温度上昇によ
る製品の歩止りの悪化を除去できる。また露光室内の空
気を排除する必要がないので、露光フイルムに塵埃も附
着しない。
以下に、本発明の実施例を図面に従って説明する。第１
図は、本発明の反射鏡１の縦断面図である。第２図は露
光装置を構成する反射鏡，光源，コールドミラーなどの
配置説明図である。同図において、１は反射鏡,2は紫外
線発光管形と称される水銀ランプを備えて両面焼付け可
能とするもので、29はコールドミラー,28は平面鏡,21は
露光される例えば銅張り積層板,22はフライアイレンズ,
26はハーフミラー,23は反射鏡１を空冷する送風器,24,2
5は送風器23への流入，排出空気の方向を示し、流入お
よび排出の空気量は送風器の空気吸引力に依存するの
で、露光室内の塵埃を舞い上らせることはない。光源２
に対向する反射鏡１の背面には、第１図に示すように、
冷却パイプ３を蛇行配列し、しかもその冷却パイプ３を
アルミニウム金属などを折り曲げると共に底面を成形し
たパイプ止め４によって挟持する。冷却パイプ３はゴム
管または、プラスチック製のパイプであって、繊維など
を使用したホース類は冷却効果の点で適当でない。また
反射鏡１の中央部分は、周辺部分より焼付露光の強さが
大なので、冷却パイプ３の配設は中央部に密に、周辺部
が疎になるようにすると冷却が均一に効果的である。パ
イプ止め４の底面外側にはシリコンゴムのような耐熱性
弾性体５を接着して固定部材７としての塩ビ樹脂、また
は金属板に固定させる。前記冷却パイプ３と、パイプ止
め４と、パイプ止め４の底面が接着剤により前記耐熱性
弾性体５を介して固着された固定部材７とによりヒート
シンクを形成し、上記ヒートシンクの冷却パイプの外表
面は前記反射鏡１の背面に圧接固定されている。また、
冷却パイプ３の配設は反射鏡１の背面の他に、露光装置
を構成している平面コールドミラー，曲面コールドミラ
ーなどの背面に同様に圧接させてもよい。さらに、11は
反射鏡１の開口部に付設した円形のガラス製窓である
が、この窓11の外周縁に前記ヒートシンクを圧着させて
もよい。すなわち具体的には、窓11の外周縁11aには２
組の円形の冷却パイプ8a,8bが設けられ、この冷却パイ
プはアルミニューム板を折り曲げて形成したパイプ止め
４に挟持され、このハイプ止め４に形成した底面はシリ
コンゴムのような耐熱性弾性体５を接着して金属板部材
９に固定されている。この金属板部材９はガラス製窓11
を挿通したボルト10と蝶ねじ12とによって窓11に締め付
け保持されている。なお、13は強制空冷路である。
図は、本発明の反射鏡１の縦断面図である。第２図は露
光装置を構成する反射鏡，光源，コールドミラーなどの
配置説明図である。同図において、１は反射鏡,2は紫外
線発光管形と称される水銀ランプを備えて両面焼付け可
能とするもので、29はコールドミラー,28は平面鏡,21は
露光される例えば銅張り積層板,22はフライアイレンズ,
26はハーフミラー,23は反射鏡１を空冷する送風器,24,2
5は送風器23への流入，排出空気の方向を示し、流入お
よび排出の空気量は送風器の空気吸引力に依存するの
で、露光室内の塵埃を舞い上らせることはない。光源２
に対向する反射鏡１の背面には、第１図に示すように、
冷却パイプ３を蛇行配列し、しかもその冷却パイプ３を
アルミニウム金属などを折り曲げると共に底面を成形し
たパイプ止め４によって挟持する。冷却パイプ３はゴム
管または、プラスチック製のパイプであって、繊維など
を使用したホース類は冷却効果の点で適当でない。また
反射鏡１の中央部分は、周辺部分より焼付露光の強さが
大なので、冷却パイプ３の配設は中央部に密に、周辺部
が疎になるようにすると冷却が均一に効果的である。パ
イプ止め４の底面外側にはシリコンゴムのような耐熱性
弾性体５を接着して固定部材７としての塩ビ樹脂、また
は金属板に固定させる。前記冷却パイプ３と、パイプ止
め４と、パイプ止め４の底面が接着剤により前記耐熱性
弾性体５を介して固着された固定部材７とによりヒート
シンクを形成し、上記ヒートシンクの冷却パイプの外表
面は前記反射鏡１の背面に圧接固定されている。また、
冷却パイプ３の配設は反射鏡１の背面の他に、露光装置
を構成している平面コールドミラー，曲面コールドミラ
ーなどの背面に同様に圧接させてもよい。さらに、11は
反射鏡１の開口部に付設した円形のガラス製窓である
が、この窓11の外周縁に前記ヒートシンクを圧着させて
もよい。すなわち具体的には、窓11の外周縁11aには２
組の円形の冷却パイプ8a,8bが設けられ、この冷却パイ
プはアルミニューム板を折り曲げて形成したパイプ止め
４に挟持され、このハイプ止め４に形成した底面はシリ
コンゴムのような耐熱性弾性体５を接着して金属板部材
９に固定されている。この金属板部材９はガラス製窓11
を挿通したボルト10と蝶ねじ12とによって窓11に締め付
け保持されている。なお、13は強制空冷路である。
本実施例は上記構成によって、冷却パイプ３および8a,8
bに冷却液を循環流通させると、冷却パイプ3,8a,8bがそ
れぞれ付設された反射鏡１、反射鏡の窓11が冷却され
る。また、耐熱性弾性体５はパイプ止め４からの熱を吸
収するので、耐熱性で且つ弾性を有するシリコンゴムの
ような素材を使用することにより熱による老化を防止で
きる。
bに冷却液を循環流通させると、冷却パイプ3,8a,8bがそ
れぞれ付設された反射鏡１、反射鏡の窓11が冷却され
る。また、耐熱性弾性体５はパイプ止め４からの熱を吸
収するので、耐熱性で且つ弾性を有するシリコンゴムの
ような素材を使用することにより熱による老化を防止で
きる。
本発明は、光源に対向する反射鏡の背面，平らなコール
ドミラーの背面，曲面を有するコールドミラーの背面，
透光性の窓の背面に冷却液を循環流通する冷却パイプを
蛇行配設し、パイプ止めをもって挟持し、この挟持部材
としてのパイプ止めの底面に耐熱性弾性体のシリコンゴ
ムを接着し固定部材に固定してヒートシンクを形成し、
赤外線の熱を透過する反射鏡や、紫外線のみを反射する
コールドミラー類の背面にヒートシンクの冷却パイプの
外表面を圧接し、冷却パイプ中には冷却液が流通するた
め、従来例に比し、冷却装置の製作費が安価になり、且
つまた、従来の冷却手段の無かった反射鏡の鏡面の冷却
を可能とした。またこのような冷却構造を、乾燥器や、
露光装置に使用しても、強制空冷などのように塵埃発生
もなく、プリント基板の露光や、乾燥にも大きい実用的
な効果を奏する。
ドミラーの背面，曲面を有するコールドミラーの背面，
透光性の窓の背面に冷却液を循環流通する冷却パイプを
蛇行配設し、パイプ止めをもって挟持し、この挟持部材
としてのパイプ止めの底面に耐熱性弾性体のシリコンゴ
ムを接着し固定部材に固定してヒートシンクを形成し、
赤外線の熱を透過する反射鏡や、紫外線のみを反射する
コールドミラー類の背面にヒートシンクの冷却パイプの
外表面を圧接し、冷却パイプ中には冷却液が流通するた
め、従来例に比し、冷却装置の製作費が安価になり、且
つまた、従来の冷却手段の無かった反射鏡の鏡面の冷却
を可能とした。またこのような冷却構造を、乾燥器や、
露光装置に使用しても、強制空冷などのように塵埃発生
もなく、プリント基板の露光や、乾燥にも大きい実用的
な効果を奏する。
第１図は本発明に係わる反射鏡の縦断面図、第２図は本
発明に係わる露光装置を構成する反射鏡、光源，コール
ドミラーなどの配設説明図、第３図は従来の曲面反射鏡
の部分縦断面図であり、第４図は従来方式の反射鏡の一
例の縦断面図、第５図は従来方式の筐体に収納された反
射鏡の一部破断断面図である。 １……反射鏡、２……光源 ３……冷却パイプ、４……パイプ止め ５……耐熱性弾性体、６……鏡面 ７……固定部材 8a,8b……冷却パイプ ９……金属板部材、10……ボルト 11……窓、12……蝶ねじ
発明に係わる露光装置を構成する反射鏡、光源，コール
ドミラーなどの配設説明図、第３図は従来の曲面反射鏡
の部分縦断面図であり、第４図は従来方式の反射鏡の一
例の縦断面図、第５図は従来方式の筐体に収納された反
射鏡の一部破断断面図である。 １……反射鏡、２……光源 ３……冷却パイプ、４……パイプ止め ５……耐熱性弾性体、６……鏡面 ７……固定部材 8a,8b……冷却パイプ ９……金属板部材、10……ボルト 11……窓、12……蝶ねじ
Claims (1)
- 【請求項１】冷却液を循環流通させる冷却パイプと、上
記冷却パイプを挟持すべく金属板を折り曲げると共に底
面をも形成したパイプ止めと、上記パイプ止めの底面外
側が接着剤により耐熱性弾性体を介して固着された固定
部材とによりヒートシンクを形成し、上記ヒートシンク
の冷却パイプの外表面に、露光装置用の平らなコールド
ミラーの背面，曲面を有するコールドミラーの背面，透
光性の窓の背面を圧接固定して構成することを特徴とす
る露光装置用冷却構造。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2128649A JPH0675200B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 露光装置用冷却構造 |
| US07/699,617 US5150253A (en) | 1990-05-18 | 1991-05-15 | Reflective mirror having cooling unit attached thereto |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2128649A JPH0675200B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 露光装置用冷却構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0422958A JPH0422958A (ja) | 1992-01-27 |
| JPH0675200B2 true JPH0675200B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=14990035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2128649A Expired - Lifetime JPH0675200B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 露光装置用冷却構造 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5150253A (ja) |
| JP (1) | JPH0675200B2 (ja) |
Families Citing this family (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH06331812A (ja) * | 1993-05-18 | 1994-12-02 | Ekuesutorian:Kk | 冷却反射鏡装置 |
| US5696623A (en) * | 1993-08-05 | 1997-12-09 | Fujitsu Limited | UV exposure with elongated service lifetime |
| AU5001396A (en) * | 1995-03-15 | 1996-10-02 | Andreasen, Knud | A method for activating photoinitiators in photosensitive substrates and an apparatus for curing such substrates |
| JP3094902B2 (ja) * | 1996-03-27 | 2000-10-03 | ウシオ電機株式会社 | 紫外線照射装置 |
| JPH09281060A (ja) * | 1996-04-08 | 1997-10-31 | Ekuesu Torian:Kk | 携帯用反射鏡の固定カバー装置 |
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| JP2005175187A (ja) * | 2003-12-11 | 2005-06-30 | Canon Inc | 光学部材、冷却方法、冷却装置、露光装置、デバイス製造方法、及びデバイス |
| FR2871622B1 (fr) * | 2004-06-14 | 2008-09-12 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de generation de lumiere dans l'extreme ultraviolet et application a une source de lithographie par rayonnement dans l'extreme ultraviolet |
| DE102004038592A1 (de) | 2004-08-06 | 2006-03-16 | Ist Metz Gmbh | Bestrahlungsaggregat |
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1990
- 1990-05-18 JP JP2128649A patent/JPH0675200B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-05-15 US US07/699,617 patent/US5150253A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5150253A (en) | 1992-09-22 |
| JPH0422958A (ja) | 1992-01-27 |
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