CN113917650B - 一种改善反射镜热变形和振动稳定性的冷却结构及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种改善反射镜热变形和振动稳定性的冷却结构及方法。本发明的冷却结构包括用于设置于反射镜体上下侧边的上‑冷却结构和下‑冷却结构;其中,上‑冷却结构包括凹槽、凸板冷却管;该凹槽用于设置在该反射镜体的上侧边且开口朝上;该凹槽中设有液态金属;该凸板冷却管位于该凹槽上方,该凸板冷却管的凸起部分浸润于该凹槽内的液态金属中且与该凹槽非接触;所述下‑冷却结构包括凹槽冷却管、凸板;该凸板用于设置在该反射镜体下侧边且凸起部分朝下;该凹槽冷却管的凹槽结构中设有液态金属;该凹槽冷却管位于凸板下方,该凸板的凸起部分浸润于该凹槽冷却管的液态金属中且与该凹槽冷却管非接触。本发明可实现上下双边均能冷却和振动解耦。
Description
技术领域
本发明属于同步辐射技术领域,涉及一种改善X射线反射镜的热变形和振动稳定性的冷却结构及方法。
背景技术
对于第四代同步辐射或衍射极限光源,其发射度相对于目前已有三代光源将显著提升(约提高了3个量级),这将从根本上对光学元件提出苛刻要求,主要表现:
1)极高的镜子面形精度,如正在建造中我国第一台高能同步辐射光源(HEPS),其高性能线站中镜子面形斜率误差要求好于0.05μrad RMS,面形高度误差要求好于0.1nmRMS。
2)极低的热变形要求,发射度的显著减小使投射到光学元件表面的热负载功率密度等显著增大,加剧了热变形问题。更何况是针对如此高面形精度的镜子其变形要求更为苛刻的情况下,其热问题尤其为突出。
3)极高的振动稳定性,先进光源典型值要求好于25nrad RMS。
这些技术要求相对于三代光源均有量级上的提升,诚然也逼近甚至超过现有工程技术的极限或临界,进一步地,以上三者通常存在强相关或强相互耦合作用,使现有技术难以满足要求。
调研表明,目前针对白光镜(水平反射式)冷却技术主要有两类:第一类,是夹持边冷法,即将冷却管道紧贴镜体单边或上下两边即边冷法,它通过在管道和镜子之间界面交界处设置铟片(箔)来保证界面充分接触即降低接触热阻,此外,适当的夹持力也是非常关键的因素。虽然该方法可以有效解决冷却所带来的热变形即面形精度影响问题,但却存在管道内流体振动的影响从而导致镜子振动稳定性问题,研究表明,一般管道流体振动RMS可达数十个纳弧度(nrad),显然,这对于更高振动要求的场合是极为不利的。因此,人们提出了第二类即基于铟镓振动解耦的槽式冷却法,即在镜体上边加工设置有凹槽,将铟镓溶液注入其中,然后将冷却铜板浸入该溶液中进行热交换,而铜板与冷却管道为一体,为此,镜体上热量通过铟镓溶液传递给铜板及冷却管道从而实现镜体冷却和面形控制,与此同时,由于铟镓溶液是软连接,管道流体振动传递却被其切断和抑制,避免传递到镜体上导致镜体振动问题,这种能够传递热却抑制振动传递的冷却方式即称之为振动解耦的冷却方法,具有较好应用前景受到同行关注。
但是,对于水平反射镜,由于重力场的方向性使然,其在上下结构上并不完全对称,即镜体上边可加工凹槽注入铟镓溶液,若在镜体下边的话则其凹槽开口向下,铟镓溶液由于重力无法继续置于其中,因此,该法通常仅为单边铟镓溶液槽式冷却,为当前同步辐射(光源)反射镜热变形控制的主要技术之一。
显然,X射线(水平)反射镜冷却是高精度光学元件的核心技术之一,它不仅直接决定了极低热变形的大小,还影响着(冷却结构)振动稳定性的水平。目前,现有技术主要两类:夹持边冷法和基于铟镓溶液槽式冷却法。
图1为X射线反射镜的工作示意图,当光照射到镜面上由于光和热被镜体吸收沉积后,反射镜则受热膨胀而产生热变形从而影响镜工作表面的面形精度。
图2为夹持边冷法结构示意图(截面图),在反射镜两侧靠近着光面的区域设置有2个冷却铜管,以冷却水为介质形成循环水路,可将镜面上沉积的热量带走从而实现热变形的抑制(参考文献:L.Zhang,ThermoMechanics and applications,Lecture,北航中法工程师学院,2012)。它可以有效地获得较好的热变形控制,但是,由于需要保证良好的界面热接触(低接触热阻)所要求较大的夹持力,使得流体及管道振动直接传递到镜体从而影响了反射镜的振动稳定性。这对于稳定性要求极高的第四代同步辐射光源显然不可忽视。
图3为单边铟镓溶液槽式冷却法结构示意图(截面图)。从结构示意图可知,在镜面的上边沿设置基于铟镓溶液的槽式冷却结构,它主要由反射镜上边的槽,位于槽中的铟镓溶液,浸润溶液中的铜板及铜管等部分组成。显然,由于重力作用,反射镜下边无法对称设置冷却结构,因此,其为单边冷却方式。(参考文献:IDT_Product_guide,2015Instrument Design Technology Ltd.Ver.0615,http://www.idtnet.co.uk/downloads.html)
同样地,图4为美国SLAC国家实验室设计的一种单边铟镓溶液冷却方式,与图3类似的结构。不同的是它设计考虑了匹配热负载的热变形优化后的另一个槽,同时对开槽位置进行了优化设计。由于其仍为反射镜上边的单边冷却设置,依然存在上下结构不对称问题(参考文献:C.Hardin,V.N.Srinivasan,L.Amores,N.M.Kelez,D.S.Morton,P.M.Stefan,and D.Cocco.Optimizing x-ray mirror thermal perfaormance using variablelength cooling for high-repetition-rate FELs,MEDSI(ALBA,Barcelona,Spain),Oralreport,2016.8.)。
显然,对于第一类即夹持边冷法,虽然可以实现较好的热变形抑制,但其所带来的流体及管道的振动问题却是十分棘手,难以满足第四代同步辐射光源高稳定性的技术要求。
对于第二类即基于铟镓溶液槽式冷却法,虽然能够很好地解决流体及管道振动的影响,但是由于重力场的方向性使然,其存在镜体(上下双边)冷却非对称问题,即镜体上边可加工凹槽注入铟镓溶液,若在镜体下边的话则其凹槽开口向下,铟镓溶液由于重力无法继续置于其中。因此,现有这类方法及技术主要为单边冷却结构,虽然可降低振动影响但却一定程度上牺牲了冷却性能,存在如需更大流量、热负载变化的适当性差等问题。
综上所述,目前X射线反射镜的热变形和振动稳定性问题是同步辐射装置(光源)领域公认的技术挑战。随着第四代同步辐射光源或先进极限光源的发射度越来越小,其对X射线反射镜/光学元件的面形精度要求越来越高,达到近乎苛刻完美程度。显然,极高面形精度特点也表明其对热变形、振动稳定性等也提出了更严格的要求。因此,X射线反射镜的冷却问题日趋凸显:一方面,光源发射度越小,相应的热负载或功率密度则越大,热变形越难以控制;另一方面,面形精度越高,对热变形及振动的容忍度越小即要求越高。换而言之,如何实现既能有效地冷却镜体以确保极低热变形、且又能对冷却中流体及管道振动进行解耦抑制以确保高振动稳定性,尤其对于水平反射镜,这将是关键而亟待解决的技术问题。
发明内容
为了解决上述问题,本发明提出一种上下双边铟镓溶液槽式振动解耦冷却方式,旨克服现有方法单边冷却非对称的难题,实现上下双边均能冷却和振动解耦,获得更为优异的冷却效果和面形精度控制性能,从而形成一种改善X射线反射镜的热变形和振动稳定性的冷却结构及方法。这样,它对不同能量点或变化的热负载的适应性将更强,即不同热负载情况下其热变形及面形精度将更小更优,为解决第四代光源所面临的极高冷却面形及振动控制等技术挑战提供一种有效途径。
一种改善X射线反射镜的热变形和振动稳定性的冷却结构及方法,具体表现为:
1)上-冷却结构和下-冷却结构形成的上下对称槽式冷却方案及结构。
2)对于下-冷却结构,它主要由凹槽铜管、液态金属(一般为铟镓溶液)、凸板三部分组成;凸板设置在反射镜体上,位于反射镜体下侧边且向下凸出;凹槽铜管位于凸板正下方,形成凹凸配合关系但非接触;铟镓溶液被盛于凹槽铜管中;凸板浸润于铟镓溶液中,与凹槽铜管之间设置有一定间距。
3)对于上-冷却结构中的铜管与凸板构成的凸板铜管、下-冷却结构中的铜管与凹槽构成的凹槽铜管,当铜管较短(≤500mm)时可以是一体式加工;对于铜管较长(≥500mm)时则可以通过装配后钎焊的方式实现,由半圆凹槽与圆柱铜管配合后钎焊,为了防止焊料高温溢出,设计半圆凹槽切面倾斜以保证铜管正下方被包围处减小溢出现象的发生。
4)反射镜体上下两侧边对称设置有宽槽,用于抑制镜面的热变形,该宽槽的尺寸及位置可以根据不同能量下光的热负载进行针对性匹配热变形优化设计确定。
5)由上-冷却结构、下-冷却结构、冷却循环水等构成冷却循环闭合水路,它是可以一路循环水路,也可以是两路独立循环水路。
本发明还提供一种反射镜结构,其特征在于,包括反射镜体,该反射镜体上侧边设置上-冷却结构,该反射镜体下侧边设置下-冷却结构;其中,
所述上-冷却结构包括凹槽、凸板冷却管;该凸板冷却管包括一冷却管,该冷却管的一侧设有凸起部分,该冷却管用于与冷却循环系统连接;该凹槽设置在该反射镜体的上侧边且开口朝上;该凹槽中设有液态金属;该凸板冷却管位于该凹槽上方,该凸板冷却管的凸起部分浸润于该凹槽内的液态金属中且与该凹槽非接触;
所述下-冷却结构包括凹槽冷却管、凸板;该凹槽冷却管包括一冷却管,该冷却管的一侧设有一凹槽结构,该冷却管用于与冷却循环系统连接;该凸板设置在该反射镜体下侧边且凸起部分朝下;该凹槽冷却管的凹槽结构中设有液态金属;该凹槽冷却管位于凸板下方,该凸板的凸起部分浸润于该凹槽冷却管的液态金属中且与该凹槽冷却管非接触。
本发明还提供一种反射镜冷却方法,当光照射到反射镜上,镜面受热时启动冷却循环系统;该反射镜体上的热量经上侧边的凹槽中液态金属、凸板冷却管传递给冷却循环系统带走;以及该反射镜体上的热量经下侧边的凸板、凹槽结构中液态金属传递给冷却循环系统带走。
本发明还提供另一种改善反射镜热变形和振动稳定性的冷却结构,其特征在于,包括用于设置于反射镜体上侧边的上-冷却结构和用于设置于反射镜体下侧边的下-冷却结构;其中,所述上-冷却结构包括凹槽、凸板冷却管;该凸板冷却管包括一冷却管,该冷却管的一侧设有凸起部分,该冷却管用于与冷却循环系统连接;该凹槽用于设置在该反射镜体的上侧边且开口朝上;该凹槽中设有液态金属;该凸板冷却管位于该凹槽上方,该凸板冷却管的凸起部分浸润于该凹槽内的液态金属中且与该凹槽非接触;所述下-冷却结构包括一冷却管,该冷却管用于与冷却循环系统连接;该冷却管通过铜辫子与该反射镜体下侧边连接。
本发明的优点如下:
克服现有水平反射镜基于铟镓溶液槽式单边冷却法的非对称问题,提出了上下双边对称冷却方案,从而改善X射反射镜的热变形和振动稳定性,尤其对不同能量点或变化的热负载情况的冷却需求具有更好的适应性。
以某光源在9keV能量点热负载情况下分别以单、双边槽冷结构进行匹配热变形的几何镜体优化设计,使其变形引起的面形斜率误差均较小且相当,视为固定能量点时两者均可实现较优的冷却效果作为对比前提;接着,将两种优化后的冷却结构分别其在19keV和24keV两个能量点热负载情况下进行数值计算分别求解其热变形引起的斜率误差,以便对比。由于子午相比弧矢方向面形要求更严苛,虽然双边冷却比单边冷却在弧矢方向也具优势,但在此仅对比子午斜率误差。最后,对镜面子午方向上(中心线)各位置的面形斜率误差进行统计与曲线绘制。如图12所示,近似水平且重合的两条线分别为单、双冷却在9keV能量下优化结构设计后的变形结果;而19keV对应的单、双边冷却下的曲线表明,当能量点变化时热变形也随之受影响而变大,但对比之下双边冷却变形影响相对小,比单边冷却最大变形改善提升了约20~30%;同样地,24keV所对应的单、双边冷却下的曲线也表明同样的趋势。总之,理论计算初步表明双边冷却比单边冷却在多能量点负载情况下具有更优的适应性。
附图说明
图1为X射线反射镜的工作示意图。
图2为夹持边冷法结构示意图。
图3为英国IDT公司的单边铟镓溶液槽式冷却法结构示意图。
图4为单边铟镓溶液槽式冷却法结构示意图。
图5为本发明整体方案结构原理图。
图6为本发明横截面。
图7为上-冷却结构原理图。
图8为下-冷却结构原理图。
图9为圆柱铜管与凸板之间的装配钎焊结构图。
图10为本发明工作流程图。
图11为倒凹槽和一字形冷却板装配或焊接形成“凸板”结构示意图。
图12为优化后单、双边槽冷结构分别在其他能量点的热变形斜率误差对比曲线。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进行进一步详细描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。
一、主要技术方案及结构:
1)在水平反射镜体上下两侧边都设置有冷却结构,即上-冷却结构和下-冷却结构,使镜体上下冷却呈对称布局,如图5和6所示。
2)对于上-冷却结构,它主要由凹槽、铟镓溶液、凸板铜管三部分组成;凹槽设置在反射镜体上,位于反射镜体上侧边且开口朝上;铟镓溶液则被盛于该凹槽中;凸板铜管位于凹槽正上方且浸润于铟镓溶液中使凹槽和凸板铜管形成凹凸配合关系但非接触;凸板铜管与凹槽之间设置有一定间距。如图7所示。
3)对于下-冷却结构,它主要由凹槽铜管、铟镓溶液、凸板三部分组成;凸板设置在反射镜体上,位于反射镜体下侧边且向下凸出;凹槽铜管位于凸板正下方,形成凹凸配合关系但非接触;铟镓溶液被盛于凹槽铜管中;凸板浸润于铟镓溶液中,与凹槽铜管之间设置有一定间距。如图8所示。
4)对于上-冷却结构和下-冷却结构中的铜管与凸板或凹槽的结构,对于铜管较短(≤500mm)时可以是一体是加工;对于铜管较长(≥500mm)时则可以通过装配后钎焊的方式实现,由半圆凹槽与圆柱铜管配合后钎焊,为了防止焊料高温溢出,设计半圆凹槽切面倾斜以保证铜管正下方被包围出减小溢出现象的发生。如图9所示。
5)反射镜体上下两侧边对称设置有宽槽,用于抑制镜面的热变形,如图5所示。
6)由上-冷却结构、下-冷却结构、冷却循环水等构成冷却循环闭合水路,它是可以一路循环水路,也可以是两路独立循环水路。
二、工作原理及流程:
当(水平)反射镜的镜面被某能量的光照射时,沉积在镜面的热量将使反射镜温度升高,由于温升的不均匀性使镜面受热发生变形,从而影响面形精度。当镜体上下两侧边对称设置有上-冷却结构和下-冷却结构时,沉积在镜面处的热量将经镜体-铟镓溶液-铜管的路径由循环冷却水带走,从而实现了对反射镜的冷却,抑制了热变形。此外,为了更好地抑制变形,在镜体上下两侧边对称设置有宽槽,用于阻断和优化镜体内部热流路径,使镜体热分布更加均衡。一般地,当入射光的能量发生变化,相应的总功率及功率分布均发生变化,即热功率负载发生变化时,上-冷却结构和下-冷却结构及对称宽槽均能够发挥相应的冷却和均衡负载的作用,达到极小热变形控制的目的。
对于上-冷却结构,它主要由凹槽、铟镓溶液、凸板铜管三部分组成;凹槽设置在反射镜体上,位于反射镜体上侧边且开口朝上;铟镓溶液则被盛于该凹槽中;凸板铜管位于凹槽正上方且浸润于铟镓溶液中使凹槽和凸板铜管形成凹凸配合关系但非接触;凸板铜管与凹槽之间设置有一定间距。如图7所示。一旦镜面有热沉积,热量经镜体传递到上侧边凹槽、再传递到铟镓溶液、接到传递到凸板铜管,由铜管内冷却水将热量循环带走,以保证热平衡。
对于下-冷却结构,它主要由凹槽铜管、铟镓溶液、凸板三部分组成;凸板设置在反射镜体上,位于反射镜体下侧边且向下凸出;凹槽铜管位于凸板正下方,形成凹凸配合关系但非接触;铟镓溶液被盛于凹槽铜管中;凸板浸润于铟镓溶液中,与凹槽铜管之间设置有一定间距。如图8所示。一旦镜面有热沉积,热量经镜体传递到下侧边凸板,再经铟镓溶液、传递到凹槽铜管,由铜管内冷却水将热量循环带走,以保证热平衡。
显然,无论是上-冷却结构还是下-冷却结构,由于铜管与反射镜始终保证间距即非接触,故流体及管道的振动被铟镓溶液阻隔而不能够直接传递到镜体上,称为振动解耦。因此,本发明所提结构及方法能够提供一种振动解耦的双边对称冷却,具有更优的对称性和热变形控制能力。
本发明技术方案及工作流程图,如图10所示。
第一、当光照射到(水平)反射镜上,其镜面受热;
第二、沉积在反射镜上的热量使镜体温度升高引起温升变化,易引发受力不均致热变形从而影响镜面的面形精度;
第三、设置在镜体上下两侧边的上-冷却结构和下-冷却结构将与相应的冷却水循环一起发挥作用,镜体上的热量经镜体上下两侧边对应的凹槽/凸板——铟镓溶液——凸板铜管/凹槽铜管的路径被冷却循环水带走,使镜体得到冷却,从而抑制热变形。
第四、冷却水循环经铟镓溶液不但可以带走镜体上的热量,而且由于铟镓溶液的液态和软连接的特点使其流体及管道的振动被阻隔,实现振动解耦。
第五、进一步地,镜体上设置有宽槽阻断和优化镜体内部热流路径,使镜体受热均衡,从而进一步抑制热变形。
为了克服现有水平反射镜基于铟镓溶液槽式单边冷却法的非对称问题,上述由凹槽铜管、铟镓溶液、凸板组成的下-冷却结构仅是典型方案之一或举例之一;下-冷却结构也可以是凹槽铜管、铟镓溶液、一字形冷却板、倒凹槽组成,其中倒凹槽设置于反射镜体上,与一字形冷却板进行装配连接或者焊接,从而形成举例中所述的“凸板”,如图11所示。进一步地,基于相对柔软的铜辫子的冷却结构即铜管与反射镜体之间由铜辫子替代铟镓溶液连接的结构也可以作为下-冷却结构,它既可以减小下-冷却结构的复杂性,也可以平衡反射镜上下两侧边冷却从而实现冷却布局准对称性,也为本发明的举例之一。
尽管为说明目的公开了本发明的具体实施例,其目的在于帮助理解本发明的内容并据以实施,本领域的技术人员可以理解:在不脱离本发明及所附的权利要求的精神和范围内,各种替换、变化和修改都是可能的。因此,本发明不应局限于最佳实施例所公开的内容,本发明要求保护的范围以权利要求书界定的范围为准。
Claims (8)
1.一种反射镜结构,其特征在于,包括反射镜体,该反射镜体上侧边设置上-冷却结构,该反射镜体下侧边设置下-冷却结构;所述上-冷却结构和所述下-冷却结构对称设置于反射镜体的上下侧边;其中,
所述上-冷却结构包括凹槽、凸板冷却管;该凸板冷却管包括一冷却管,该冷却管的一侧设有凸起部分,该冷却管用于与冷却循环系统连接;该凹槽设置在该反射镜体的上侧边且开口朝上;该凹槽中设有液态金属;该凸板冷却管位于该凹槽上方,该凸板冷却管的凸起部分浸润于该凹槽内的液态金属中且与该凹槽非接触;
所述下-冷却结构包括凹槽冷却管、凸板;该凹槽冷却管包括一冷却管,该冷却管的一侧设有一凹槽结构,该冷却管用于与冷却循环系统连接;该凸板设置在该反射镜体下侧边且凸起部分朝下;该凹槽冷却管的凹槽结构中设有液态金属;该凹槽冷却管位于凸板下方,该凸板的凸起部分浸润于该凹槽冷却管的液态金属中且与该凹槽冷却管非接触。
2.如权利要求1所述的反射镜结构,其特征在于,所述上-冷却结构中的冷却管与凸起部分为一体加工;所述下-冷却结构中的冷却管与凹槽结构为一体式加工。
3.如权利要求1所述的反射镜结构,其特征在于,所述上-冷却结构中的冷却管与凸起部分通过装配后钎焊的方式连接,其中首先选取或制备一带半圆凹槽的凸板,将冷却管装配到该半圆凹槽内进行焊接,该半圆凹槽切面倾斜以保证冷却管正下方被包围;所述下-冷却结构中的冷却管与凹槽结构通过装配后钎焊的方式连接,其中凹槽结构的一侧设有半圆凹槽,将冷却管装配到该半圆凹槽内进行焊接,该半圆凹槽切面倾斜以保证冷却管正下方被包围。
4.如权利要求1所述的反射镜结构,其特征在于,所述反射镜体的上下两侧边对称设置有一宽槽。
5.如权利要求1所述的反射镜结构,其特征在于,所述冷却循环系统为循环水路;所述液态金属为铟镓溶液;所述冷却管为铜管,所述凸板冷却管为凸板铜管;所述凹槽冷却管为凹槽铜管。
6.如权利要求1所述的反射镜结构,其特征在于,该凸板为一字型冷却板,该反射镜体下侧边设有一与该凸板匹配的倒凹槽,该凸板一侧与该倒凹槽连接,使得该凸板设置于该反射镜体下侧边且凸起部分朝下。
7.一种基于权利要求1所述反射镜结构的改善反射镜热变形和振动稳定性的方法,其特征在于,当光照射到反射镜上,镜面受热时启动冷却循环系统;该反射镜体上的热量经上侧边的凹槽中液态金属、凸板冷却管传递给冷却循环系统带走;以及该反射镜体上的热量经下侧边的凸板、凹槽结构中液态金属传递给冷却循环系统带走。
8.一种反射镜结构,其特征在于,包括反射镜体,该反射镜体上侧边设置上-冷却结构,该反射镜体下侧边设置下-冷却结构;所述上-冷却结构和所述下-冷却结构对称设置于反射镜体的上下侧边;其中,
所述上-冷却结构包括凹槽、凸板冷却管;该凸板冷却管包括一冷却管,该冷却管的一侧设有凸起部分,该冷却管用于与冷却循环系统连接;该凹槽用于设置在该反射镜体的上侧边且开口朝上;该凹槽中设有液态金属;该凸板冷却管位于该凹槽上方,该凸板冷却管的凸起部分浸润于该凹槽内的液态金属中且与该凹槽非接触;
所述下-冷却结构包括一冷却管,该冷却管用于与冷却循环系统连接;该冷却管通过铜辫子与该反射镜体下侧边连接。
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