JPH08211210A - 高出力レーザ用反射ミラーの冷却装置 - Google Patents
高出力レーザ用反射ミラーの冷却装置Info
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- JPH08211210A JPH08211210A JP7039367A JP3936795A JPH08211210A JP H08211210 A JPH08211210 A JP H08211210A JP 7039367 A JP7039367 A JP 7039367A JP 3936795 A JP3936795 A JP 3936795A JP H08211210 A JPH08211210 A JP H08211210A
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- Lasers (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 冷媒の圧力による高出力レーザ用反射ミラー
の変形を防ぐ。 【構成】 金属ミラー１の裏面１ｂに螺旋状のパイプ５
を熱伝導性及び伸縮性の高い充填材６を介して埋設する
ことにより、冷媒Ｒを金属ミラー１の裏面１ｂに直接供
給せず、パイプ５を介して間接的に金属ミラー１の裏面
１ｂに供給するようにしたので、冷媒Ｒによる金属ミラ
ー１の腐食を防ぐことができるとともに、冷媒Ｒの圧力
によって金属ミラー１が変形するのを防ぐことができ、
金属ミラー１の高い面精度を維持することができる。
の変形を防ぐ。 【構成】 金属ミラー１の裏面１ｂに螺旋状のパイプ５
を熱伝導性及び伸縮性の高い充填材６を介して埋設する
ことにより、冷媒Ｒを金属ミラー１の裏面１ｂに直接供
給せず、パイプ５を介して間接的に金属ミラー１の裏面
１ｂに供給するようにしたので、冷媒Ｒによる金属ミラ
ー１の腐食を防ぐことができるとともに、冷媒Ｒの圧力
によって金属ミラー１が変形するのを防ぐことができ、
金属ミラー１の高い面精度を維持することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は高出力レーザ用反射ミ
ラーの冷却装置に関し、特に高出力レーザ用の金属ミラ
ーのレーザ光吸収による温度上昇を防ぐ高出力レーザ用
反射ミラーの冷却装置に関する。
ラーの冷却装置に関し、特に高出力レーザ用の金属ミラ
ーのレーザ光吸収による温度上昇を防ぐ高出力レーザ用
反射ミラーの冷却装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の高出力レーザ用反射ミラー
の冷却装置を示す断面図である。
の冷却装置を示す断面図である。
【０００３】高出力レーザ（数百Ｗ以上のレーザ光）用
の反射ミラー１０１はホルダ１０２に保持され、反射ミ
ラー１０１の裏面１０１ｂと対向するホルダ１０２のミ
ラー対向部１０２ａとの間には冷媒収容室１０５が形成
されている。ホルダ１０２のミラー対向部１０２ａには
冷媒供給口１１０及び冷媒排出口１１１がそれぞれ設け
られている。冷媒供給口１１０には冷媒供給側継手１１
２が、冷媒排出口１１１には冷媒排出側継手１１３がそ
れぞれ挿着され、冷媒供給側継手１１２には図示しない
冷媒供給側チューブが、冷媒排出側継手１１３には図示
しない冷媒排出側チューブがそれぞれ接続される。
の反射ミラー１０１はホルダ１０２に保持され、反射ミ
ラー１０１の裏面１０１ｂと対向するホルダ１０２のミ
ラー対向部１０２ａとの間には冷媒収容室１０５が形成
されている。ホルダ１０２のミラー対向部１０２ａには
冷媒供給口１１０及び冷媒排出口１１１がそれぞれ設け
られている。冷媒供給口１１０には冷媒供給側継手１１
２が、冷媒排出口１１１には冷媒排出側継手１１３がそ
れぞれ挿着され、冷媒供給側継手１１２には図示しない
冷媒供給側チューブが、冷媒排出側継手１１３には図示
しない冷媒排出側チューブがそれぞれ接続される。
【０００４】空気や水等の冷媒Ｒは冷媒供給側チューブ
から冷媒供給側継手１１２を通じて冷媒収容室１０５内
に流入し、冷媒排出側継手１１３を通じて冷媒排出側チ
ューブへ排出される。このとき冷媒Ｒによって反射ミラ
ー１０１の熱が奪われ、反射ミラー１０１が冷却され
る。このようにして高出力レーザ用の反射ミラー１０１
のレーザ光吸熱による温度上昇が抑制される。
から冷媒供給側継手１１２を通じて冷媒収容室１０５内
に流入し、冷媒排出側継手１１３を通じて冷媒排出側チ
ューブへ排出される。このとき冷媒Ｒによって反射ミラ
ー１０１の熱が奪われ、反射ミラー１０１が冷却され
る。このようにして高出力レーザ用の反射ミラー１０１
のレーザ光吸熱による温度上昇が抑制される。
【０００５】図４は従来の他の高出力レーザ用反射ミラ
ーの冷却装置を示す断面図、図５は図４の高出力レーザ
用反射ミラーの裏面を示す平面図である。
ーの冷却装置を示す断面図、図５は図４の高出力レーザ
用反射ミラーの裏面を示す平面図である。
【０００６】高出力レーザ用の反射ミラー２０１の裏面
２０１ｂには複数のスクロール状の冷媒溝２０５が設け
られ、各冷媒溝２０５の終端部２０５ｂは反射ミラー２
０１の裏面２０１ｂの中心部に設けられた排出穴２１４
と連通している。反射ミラー２０１の裏面２０１ｂには
円板状のカバー部材２１５が嵌合され、カバー部材２１
５と冷媒溝２０５及び排出穴２１４とで、カバー部材２
１５と反射ミラー２０１との間に冷媒流路が形成され
る。カバー部材２１５には、各冷媒溝２０５の始端部２
０５ａと対向する複数の冷媒供給口２１０と、排出穴２
１４と対向する冷媒排出口２１１とがそれぞれ設けられ
ている。冷媒供給口２１０には冷媒供給側継手２１２
が、冷媒排出口２１１には冷媒排出側継手２１３がそれ
ぞれ挿着され、冷媒供給側継手２１２には図示しない冷
媒供給側チューブが、冷媒排出側継手２１３には図示し
ない冷媒排出側チューブがそれぞれ接続されている。
２０１ｂには複数のスクロール状の冷媒溝２０５が設け
られ、各冷媒溝２０５の終端部２０５ｂは反射ミラー２
０１の裏面２０１ｂの中心部に設けられた排出穴２１４
と連通している。反射ミラー２０１の裏面２０１ｂには
円板状のカバー部材２１５が嵌合され、カバー部材２１
５と冷媒溝２０５及び排出穴２１４とで、カバー部材２
１５と反射ミラー２０１との間に冷媒流路が形成され
る。カバー部材２１５には、各冷媒溝２０５の始端部２
０５ａと対向する複数の冷媒供給口２１０と、排出穴２
１４と対向する冷媒排出口２１１とがそれぞれ設けられ
ている。冷媒供給口２１０には冷媒供給側継手２１２
が、冷媒排出口２１１には冷媒排出側継手２１３がそれ
ぞれ挿着され、冷媒供給側継手２１２には図示しない冷
媒供給側チューブが、冷媒排出側継手２１３には図示し
ない冷媒排出側チューブがそれぞれ接続されている。
【０００７】冷媒Ｒは、各冷媒供給側チューブから冷媒
供給側継手２１２を通じて冷媒溝２０５に流入し、冷媒
溝２０５の終端部２０５ｂから排出穴２１４に流入し、
排出穴２１４から冷媒排出側継手２１３を通じて冷媒排
出側チューブへ排出される。
供給側継手２１２を通じて冷媒溝２０５に流入し、冷媒
溝２０５の終端部２０５ｂから排出穴２１４に流入し、
排出穴２１４から冷媒排出側継手２１３を通じて冷媒排
出側チューブへ排出される。
【０００８】図３の冷却装置と同様に、冷媒Ｒによって
反射ミラー２０１の熱が奪われて反射ミラー２０１が冷
却され、高出力レーザ用の反射ミラー２０１のレーザ光
吸熱による温度上昇が抑制される。
反射ミラー２０１の熱が奪われて反射ミラー２０１が冷
却され、高出力レーザ用の反射ミラー２０１のレーザ光
吸熱による温度上昇が抑制される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図３及び図
４に示す従来の冷却装置のいずれも反射ミラー１０１，
２０１の裏面１０１ｂ，２０１ｂに直接冷媒Ｒを供給す
ることによって反射ミラー１０１，２０１の冷却を行う
構成を採用しているので、供給される冷媒Ｒによって腐
食したり、冷媒Ｒの圧力によって反射ミラー１０１，２
０１の表面１０１ａ，２０１ａが変形し、その面精度が
劣化するという問題があった。例えば、高出力レーザ送
信光学系において反射ミラー１０１，２０１の表面１０
１ａ，２０１ａが変形すると、集光ビームパターンが乱
れてしまう。
４に示す従来の冷却装置のいずれも反射ミラー１０１，
２０１の裏面１０１ｂ，２０１ｂに直接冷媒Ｒを供給す
ることによって反射ミラー１０１，２０１の冷却を行う
構成を採用しているので、供給される冷媒Ｒによって腐
食したり、冷媒Ｒの圧力によって反射ミラー１０１，２
０１の表面１０１ａ，２０１ａが変形し、その面精度が
劣化するという問題があった。例えば、高出力レーザ送
信光学系において反射ミラー１０１，２０１の表面１０
１ａ，２０１ａが変形すると、集光ビームパターンが乱
れてしまう。
【００１０】また、従来の冷却装置のいずれも単に反射
ミラー１０１，２０１の裏面１０１ｂ，２０１ｂを直接
一定流量の冷媒Ｒを供給して冷却するに過ぎないので、
反射ミラー１０１，２０１が設置される環境温度によっ
ては反射ミラー１０１，２０１が冷やされ過ぎ、反射ミ
ラー１０１，２０１の表面１０１ａ，２０１ａに結露が
生じたり、変形したり、反対に冷却不足により反射ミラ
ー１０１，２０１が変形するという問題があった。
ミラー１０１，２０１の裏面１０１ｂ，２０１ｂを直接
一定流量の冷媒Ｒを供給して冷却するに過ぎないので、
反射ミラー１０１，２０１が設置される環境温度によっ
ては反射ミラー１０１，２０１が冷やされ過ぎ、反射ミ
ラー１０１，２０１の表面１０１ａ，２０１ａに結露が
生じたり、変形したり、反対に冷却不足により反射ミラ
ー１０１，２０１が変形するという問題があった。
【００１１】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は冷媒の圧力による高出力レーザ用
反射ミラーの変形や、冷媒そのものによる反射ミラーの
腐食や、冷却過多や冷却不足による結露や変形を防ぐこ
とができる高出力レーザ用反射ミラーの冷却装置を提供
することである。
たもので、その課題は冷媒の圧力による高出力レーザ用
反射ミラーの変形や、冷媒そのものによる反射ミラーの
腐食や、冷却過多や冷却不足による結露や変形を防ぐこ
とができる高出力レーザ用反射ミラーの冷却装置を提供
することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明の高出力レーザ用反射ミラーの冷
却装置は、高出力レーザ用反射ミラーのレーザ光吸熱に
よる温度上昇を抑制する冷却装置において、冷媒を循環
させるパイプが、前記高出力レーザ用反射ミラーの裏面
に設けられている。
め請求項１記載の発明の高出力レーザ用反射ミラーの冷
却装置は、高出力レーザ用反射ミラーのレーザ光吸熱に
よる温度上昇を抑制する冷却装置において、冷媒を循環
させるパイプが、前記高出力レーザ用反射ミラーの裏面
に設けられている。
【００１３】また、請求項２記載の発明の高出力レーザ
用反射ミラーの冷却装置は、前記高出力レーザ用反射ミ
ラーの温度を検出する温度検出手段と、前記温度検出手
段からの検出信号に基づいて前記冷媒の流量あるいは温
度を調整して前記高出力レーザ用反射ミラーの温度を制
御する制御手段とを備えている。
用反射ミラーの冷却装置は、前記高出力レーザ用反射ミ
ラーの温度を検出する温度検出手段と、前記温度検出手
段からの検出信号に基づいて前記冷媒の流量あるいは温
度を調整して前記高出力レーザ用反射ミラーの温度を制
御する制御手段とを備えている。
【００１４】更に、請求項３記載の発明の高出力レーザ
用反射ミラーの冷却装置は、前記パイプは、熱伝導性及
び伸縮性の高い充填材を介して前記高出力レーザ用反射
ミラーの裏面に埋設されている。
用反射ミラーの冷却装置は、前記パイプは、熱伝導性及
び伸縮性の高い充填材を介して前記高出力レーザ用反射
ミラーの裏面に埋設されている。
【００１５】
【作用】請求項１記載の発明の高出力レーザ用反射ミラ
ーの冷却装置では、冷媒を高出力レーザ用反射ミラーの
裏面に直接供給せず、パイプを介して間接的に高出力レ
ーザ用反射ミラーの裏面に供給する構成を採用したの
で、冷媒による高出力レーザ用反射ミラーの腐食を防ぐ
ことができるとともに、冷媒の圧力によって高出力レー
ザ用反射ミラーが変形するのを防ぐことができ、高出力
レーザ用反射ミラーの高い面精度を維持することができ
る。
ーの冷却装置では、冷媒を高出力レーザ用反射ミラーの
裏面に直接供給せず、パイプを介して間接的に高出力レ
ーザ用反射ミラーの裏面に供給する構成を採用したの
で、冷媒による高出力レーザ用反射ミラーの腐食を防ぐ
ことができるとともに、冷媒の圧力によって高出力レー
ザ用反射ミラーが変形するのを防ぐことができ、高出力
レーザ用反射ミラーの高い面精度を維持することができ
る。
【００１６】また、請求項２記載の発明の高出力レーザ
用反射ミラーの冷却装置では、高出力レーザ用反射ミラ
ーを温度や湿度が大きく変動する環境に設置したとき、
高出力レーザ用反射ミラーは環境温度に応じた温度に維
持され、冷却過多や冷却不足によって生じる高出力レー
ザ用反射ミラー表面の結露や変形を防ぐことができる。
用反射ミラーの冷却装置では、高出力レーザ用反射ミラ
ーを温度や湿度が大きく変動する環境に設置したとき、
高出力レーザ用反射ミラーは環境温度に応じた温度に維
持され、冷却過多や冷却不足によって生じる高出力レー
ザ用反射ミラー表面の結露や変形を防ぐことができる。
【００１７】更に、請求項３記載の発明の高出力レーザ
用反射ミラーの冷却装置では、冷媒の圧力によりパイプ
の外径が変動したとしても、その変動に応じて充填材が
伸縮するので、高出力レーザ用反射ミラーの変形を招か
ないとともに、高出力レーザ用反射ミラーとパイプ間に
隙間が生じないため、熱交換効率も悪化しない。
用反射ミラーの冷却装置では、冷媒の圧力によりパイプ
の外径が変動したとしても、その変動に応じて充填材が
伸縮するので、高出力レーザ用反射ミラーの変形を招か
ないとともに、高出力レーザ用反射ミラーとパイプ間に
隙間が生じないため、熱交換効率も悪化しない。
【００１８】
【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１９】図１はこの発明の一実施例に係る高出力レ
ーザ用反射ミラーの冷却装置を示す断面図、図２は図１
の冷却装置の平面図である。
ーザ用反射ミラーの冷却装置を示す断面図、図２は図１
の冷却装置の平面図である。
【００２０】金属ミラー（高出力レーザ用反射ミラー）
１は押さえ板４ａ，４ｂを介してホルダ２に保持されて
いる。押さえ板４ａは、金属ミラー１の裏面１ｂと対向
するホルダ２のミラー対向部２ａに、周方向に一定間隔
おきに配設されている。押さえ板４ｂは、金属ミラー１
の側面１ｃを包囲するホルダ２の円筒部２ｂに、周方向
に一定間隔おきに配設されている。ホルダ２の円筒部２
ｂの端面には、金属ミラー１の表面１ａの外周縁を支持
する環状部材３がねじ９で結合されている。
１は押さえ板４ａ，４ｂを介してホルダ２に保持されて
いる。押さえ板４ａは、金属ミラー１の裏面１ｂと対向
するホルダ２のミラー対向部２ａに、周方向に一定間隔
おきに配設されている。押さえ板４ｂは、金属ミラー１
の側面１ｃを包囲するホルダ２の円筒部２ｂに、周方向
に一定間隔おきに配設されている。ホルダ２の円筒部２
ｂの端面には、金属ミラー１の表面１ａの外周縁を支持
する環状部材３がねじ９で結合されている。
【００２１】金属ミラー１の裏面１ｂには、螺旋状のパ
イプ５が熱伝導性及び伸縮性の高い充填材６（例えばシ
リコン系のコンパウンド）を介して埋設されている。ホ
ルダ２のミラー対向部２ａには冷媒供給口１０及び冷媒
排出口１１が設けられ、冷媒供給口１０を通じてパイプ
５の始端部５ａがホルダ２の外部に突出し、冷媒排出口
１１を通じてパイプ５の終端部５ｂがホルダ２の外部に
突出している。パイプ５の始端部５ａには図示しない冷
媒供給側チューブが、パイプ５の終端部５ｂには図示し
ない冷媒排出側チューブがそれぞれ接続される。
イプ５が熱伝導性及び伸縮性の高い充填材６（例えばシ
リコン系のコンパウンド）を介して埋設されている。ホ
ルダ２のミラー対向部２ａには冷媒供給口１０及び冷媒
排出口１１が設けられ、冷媒供給口１０を通じてパイプ
５の始端部５ａがホルダ２の外部に突出し、冷媒排出口
１１を通じてパイプ５の終端部５ｂがホルダ２の外部に
突出している。パイプ５の始端部５ａには図示しない冷
媒供給側チューブが、パイプ５の終端部５ｂには図示し
ない冷媒排出側チューブがそれぞれ接続される。
【００２２】金属ミラー１には、熱伝導性及び伸縮性の
高い充填材８（例えばシリコン系のコンパウンド）を介
して温度センサ（温度検出手段）７が埋設され、温度セ
ンサ７の出力端は図示しないハイブリッドレコーダや流
量あるいは温度コントローラ等で構成される流量あるい
は温度コントローラ系（制御手段）に接続されている。
高い充填材８（例えばシリコン系のコンパウンド）を介
して温度センサ（温度検出手段）７が埋設され、温度セ
ンサ７の出力端は図示しないハイブリッドレコーダや流
量あるいは温度コントローラ等で構成される流量あるい
は温度コントローラ系（制御手段）に接続されている。
【００２３】空気や水等の冷媒Ｒは冷媒供給側チューブ
からパイプ５の始端部５ａに流入し、パイプ５内を旋回
した後、パイプ５の終端部５ｂから冷媒排出側チューブ
へ排出される。このとき冷媒Ｒによって金属ミラー１の
熱が奪われ、金属ミラー１が冷却される。なお、冷媒Ｒ
の流入と排出は逆転しても何ら問題ない。このようにこ
の実施例では、冷媒Ｒを金属ミラー１の裏面１ｂに直接
供給せず、すなわち冷媒Ｒをパイプ５を介して間接的に
金属ミラー１の裏面１ｂに供給する構成を採用したの
で、冷媒Ｒによる金属ミラー１の腐食を防ぐことができ
るとともに、冷媒Ｒの圧力によって金属ミラー１が変形
するのを防ぐことができ、金属ミラー１の高い面精度を
維持することができる。その結果、高出力のレーザ光
（数百Ｗ以上のレーザ光）を安定して遠距離に最小集光
径になるよう集光させることができる。
からパイプ５の始端部５ａに流入し、パイプ５内を旋回
した後、パイプ５の終端部５ｂから冷媒排出側チューブ
へ排出される。このとき冷媒Ｒによって金属ミラー１の
熱が奪われ、金属ミラー１が冷却される。なお、冷媒Ｒ
の流入と排出は逆転しても何ら問題ない。このようにこ
の実施例では、冷媒Ｒを金属ミラー１の裏面１ｂに直接
供給せず、すなわち冷媒Ｒをパイプ５を介して間接的に
金属ミラー１の裏面１ｂに供給する構成を採用したの
で、冷媒Ｒによる金属ミラー１の腐食を防ぐことができ
るとともに、冷媒Ｒの圧力によって金属ミラー１が変形
するのを防ぐことができ、金属ミラー１の高い面精度を
維持することができる。その結果、高出力のレーザ光
（数百Ｗ以上のレーザ光）を安定して遠距離に最小集光
径になるよう集光させることができる。
【００２４】また、パイプ５は熱伝導性及び伸縮性の高
い充填材６を介して埋設されているので、温度変化や冷
媒圧力によりパイプ５の外径が変動したとしても、その
変動に応じて充填材６が伸縮し、金属ミラー１の変形を
招かないとともに、熱交換効率も悪化せず、レーザ光吸
収による金属ミラー１の熱変形を確実に防ぐことができ
る。
い充填材６を介して埋設されているので、温度変化や冷
媒圧力によりパイプ５の外径が変動したとしても、その
変動に応じて充填材６が伸縮し、金属ミラー１の変形を
招かないとともに、熱交換効率も悪化せず、レーザ光吸
収による金属ミラー１の熱変形を確実に防ぐことができ
る。
【００２５】更に、金属ミラー１には温度センサ７が埋
設され、流量コントローラ系によって温度センサ７の検
出温度に応じて冷媒Ｒの流量あるいは温度を制御するよ
うにしたので、例えば金属ミラー１を温度や湿度が大き
く変動する環境に設置したとしても、金属ミラー１を環
境温度に応じた温度に維持することができる。例えば環
境温度に対する金属ミラー１の温度が低すぎるときは冷
媒流量を減らしたり、冷媒温度を上げたりし、環境温度
に対する金属ミラー１の温度が高すぎるときは冷媒流量
を増やしたり、冷媒温度を下げたりする。その結果、冷
却過多による金属ミラー１の表面１ａの結露や変形を防
いだり、冷却不足による金属ミラー１の変形を防ぐこと
ができ、高出力レーザ光の反射という金属ミラー１の機
能を一層安定させることができる。
設され、流量コントローラ系によって温度センサ７の検
出温度に応じて冷媒Ｒの流量あるいは温度を制御するよ
うにしたので、例えば金属ミラー１を温度や湿度が大き
く変動する環境に設置したとしても、金属ミラー１を環
境温度に応じた温度に維持することができる。例えば環
境温度に対する金属ミラー１の温度が低すぎるときは冷
媒流量を減らしたり、冷媒温度を上げたりし、環境温度
に対する金属ミラー１の温度が高すぎるときは冷媒流量
を増やしたり、冷媒温度を下げたりする。その結果、冷
却過多による金属ミラー１の表面１ａの結露や変形を防
いだり、冷却不足による金属ミラー１の変形を防ぐこと
ができ、高出力レーザ光の反射という金属ミラー１の機
能を一層安定させることができる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の発明
の高出力レーザ用反射ミラーの冷却装置によれば、冷媒
による高出力レーザ用反射ミラーの腐食を防ぐことがで
きるとともに、冷媒の圧力によって高出力レーザ用反射
ミラーが変形するのを防ぐことができるので、高出力レ
ーザ用反射ミラーの高い面精度を維持することができ、
高出力のレーザ光を安定して遠距離に最小集光径になる
よう集光させることができる。
の高出力レーザ用反射ミラーの冷却装置によれば、冷媒
による高出力レーザ用反射ミラーの腐食を防ぐことがで
きるとともに、冷媒の圧力によって高出力レーザ用反射
ミラーが変形するのを防ぐことができるので、高出力レ
ーザ用反射ミラーの高い面精度を維持することができ、
高出力のレーザ光を安定して遠距離に最小集光径になる
よう集光させることができる。
【００２７】また、請求項２記載の発明の高出力レーザ
用反射ミラーの冷却装置によれば、高出力レーザ用反射
ミラーを温度や湿度が大きく変動する環境に設置したと
き、高出力レーザ用反射ミラーは環境温度に応じた温度
に維持されるので、冷却過多や冷却不足によって生じる
高出力レーザ用反射ミラー表面の結露や変形を防ぐこと
ができ、高出力レーザ光の反射という高出力レーザ用反
射ミラーの機能を一層安定させることができる。
用反射ミラーの冷却装置によれば、高出力レーザ用反射
ミラーを温度や湿度が大きく変動する環境に設置したと
き、高出力レーザ用反射ミラーは環境温度に応じた温度
に維持されるので、冷却過多や冷却不足によって生じる
高出力レーザ用反射ミラー表面の結露や変形を防ぐこと
ができ、高出力レーザ光の反射という高出力レーザ用反
射ミラーの機能を一層安定させることができる。
【００２８】更に、請求項３記載の発明の高出力レーザ
用反射ミラーの冷却装置によれば、温度変化によりパイ
プの外径が変動したとしても、その変動に応じて充填材
が伸縮するので、高出力レーザ用反射ミラーの変形を招
かないとともに、熱交換効率も悪化せず、レーザ光吸収
による高出力レーザ用反射ミラーの変形を確実に防ぐこ
とができる。
用反射ミラーの冷却装置によれば、温度変化によりパイ
プの外径が変動したとしても、その変動に応じて充填材
が伸縮するので、高出力レーザ用反射ミラーの変形を招
かないとともに、熱交換効率も悪化せず、レーザ光吸収
による高出力レーザ用反射ミラーの変形を確実に防ぐこ
とができる。
【図１】図１はこの発明の一実施例に係る高出力レーザ
用反射ミラーの冷却装置を示す断面図である。
用反射ミラーの冷却装置を示す断面図である。
【図２】図２は図１の冷却装置の平面図である。
【図３】図３は従来の高出力レーザ用反射ミラーの冷却
装置を示す断面図である。
装置を示す断面図である。
【図４】図４は従来の他の高出力レーザ用反射ミラーの
冷却装置を示す断面図である。
冷却装置を示す断面図である。
【図５】図５は図４の高出力レーザ用反射ミラーの裏面
を示す平面図である。
を示す平面図である。
１ 金属ミラー １ｂ 金属ミラーの裏面 ５ パイプ ６ 充填材 ７ 温度センサ Ｒ 冷媒
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｓ 3/04 3/08 (72)発明者 牛田 勝 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内 (72)発明者 渡部 正造 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内
Claims (3)
- 【請求項１】 高出力レーザ用反射ミラーのレーザ光吸
熱による温度上昇を抑制する冷却装置において、 冷媒を循環させるパイプが、前記高出力レーザ用反射ミ
ラーの裏面に設けられていることを特徴とする高出力レ
ーザ用反射ミラーの冷却装置。 - 【請求項２】 前記高出力レーザ用反射ミラーの温度を
検出する温度検出手段と、前記温度検出手段からの検出
信号に基づいて前記冷媒の流量あるいは温度を調整して
前記高出力レーザ用反射ミラーの温度を制御する制御手
段とを備えていることを特徴とする請求項１記載の高出
力レーザ用反射ミラーの冷却装置。 - 【請求項３】 前記パイプは、熱伝導性及び伸縮性の高
い充填材を介して前記高出力レーザ用反射ミラーの裏面
に埋設されていることを特徴とする請求項１又は２記載
の高出力レーザ用反射ミラーの冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3936795A JP2920168B2 (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 高出力レーザ用反射ミラーの冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3936795A JP2920168B2 (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 高出力レーザ用反射ミラーの冷却装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08211210A true JPH08211210A (ja) | 1996-08-20 |
| JP2920168B2 JP2920168B2 (ja) | 1999-07-19 |
Family
ID=12551094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3936795A Expired - Lifetime JP2920168B2 (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 高出力レーザ用反射ミラーの冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2920168B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003172858A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-20 | Nikon Corp | 光学部品保持装置及び露光装置 |
| US6992306B2 (en) | 2003-04-15 | 2006-01-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Temperature adjustment apparatus, exposure apparatus having the same, and device fabricating method |
| CN112987321A (zh) * | 2021-03-22 | 2021-06-18 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种生成高功率涡旋激光的方法和装置 |
| CN113917650A (zh) * | 2021-10-19 | 2022-01-11 | 中国科学院高能物理研究所 | 一种改善反射镜热变形和振动稳定性的冷却结构及方法 |
| CN116699791A (zh) * | 2023-08-01 | 2023-09-05 | 长春长光智欧科技有限公司 | 一种主动冷却椭球反射镜及其制造方法 |
-
1995
- 1995-02-03 JP JP3936795A patent/JP2920168B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
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| JP2003172858A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-20 | Nikon Corp | 光学部品保持装置及び露光装置 |
| US6992306B2 (en) | 2003-04-15 | 2006-01-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Temperature adjustment apparatus, exposure apparatus having the same, and device fabricating method |
| US7250616B2 (en) | 2003-04-15 | 2007-07-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Temperature adjustment apparatus, exposure apparatus having the same, and device fabricating method |
| CN112987321A (zh) * | 2021-03-22 | 2021-06-18 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种生成高功率涡旋激光的方法和装置 |
| CN112987321B (zh) * | 2021-03-22 | 2022-08-02 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种生成高功率涡旋激光的方法和装置 |
| CN113917650A (zh) * | 2021-10-19 | 2022-01-11 | 中国科学院高能物理研究所 | 一种改善反射镜热变形和振动稳定性的冷却结构及方法 |
| CN113917650B (zh) * | 2021-10-19 | 2022-09-09 | 中国科学院高能物理研究所 | 一种改善反射镜热变形和振动稳定性的冷却结构及方法 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2920168B2 (ja) | 1999-07-19 |
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