JP2002346784A - ミラー温度制御機構を有するレーザー加工機及びレーザー加工機のミラー温度制御方法 - Google Patents
ミラー温度制御機構を有するレーザー加工機及びレーザー加工機のミラー温度制御方法Info
- Publication number
- JP2002346784A JP2002346784A JP2001162711A JP2001162711A JP2002346784A JP 2002346784 A JP2002346784 A JP 2002346784A JP 2001162711 A JP2001162711 A JP 2001162711A JP 2001162711 A JP2001162711 A JP 2001162711A JP 2002346784 A JP2002346784 A JP 2002346784A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- cooling
- laser beam
- temperature
- reflection mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 水配管を必要最小限とし、反射ミラー等の光
学部品の水漏れによる損傷や、水配管による装置周りの
煩雑さを解消し、メンテナンス時の作業性を向上させ得
るミラー温度制御機構を有するレーザー加工機及びレー
ザー加工機のミラー温度制御方法の提供。 【解決手段】 レーザー光Ｌｅを反射する反射ミラーＭ
ｒにペルチェ効果を利用した冷却機構Ｋｃ、Ｋｃ′を具
備し、該冷却機構は、ペルチェ素子Ｐｅを用い、該素子
Ｐｅの低温側に反射ミラーＭｒを被着し、前記素子Ｐｅ
の高温側に放熱用の空冷フィンＦｉを設け、または空冷
フィンＦｉを設け、更にその外側に冷却用ファンＦａを
重設して放熱効果を高め、反射ミラーの冷却作用を促す
と共に、ミラー表面の結露防止機能をも備えたことを特
徴とする。
学部品の水漏れによる損傷や、水配管による装置周りの
煩雑さを解消し、メンテナンス時の作業性を向上させ得
るミラー温度制御機構を有するレーザー加工機及びレー
ザー加工機のミラー温度制御方法の提供。 【解決手段】 レーザー光Ｌｅを反射する反射ミラーＭ
ｒにペルチェ効果を利用した冷却機構Ｋｃ、Ｋｃ′を具
備し、該冷却機構は、ペルチェ素子Ｐｅを用い、該素子
Ｐｅの低温側に反射ミラーＭｒを被着し、前記素子Ｐｅ
の高温側に放熱用の空冷フィンＦｉを設け、または空冷
フィンＦｉを設け、更にその外側に冷却用ファンＦａを
重設して放熱効果を高め、反射ミラーの冷却作用を促す
と共に、ミラー表面の結露防止機能をも備えたことを特
徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ミラー温度制御
機構を有するレーザー加工機及びレーザー加工機のミラ
ー温度制御方法に関する。
機構を有するレーザー加工機及びレーザー加工機のミラ
ー温度制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザー光反射ミラーは、レーザー加工
機のレーザービーム伝送路中に、例えば、３〜９枚とい
うように複数枚設けられており、使用／設置個所は一箇
所に集中しておらず、冷却水用配管の設置しづらい個所
を含めて加工機の可動部分全体に亙っているのが普通で
ある。
機のレーザービーム伝送路中に、例えば、３〜９枚とい
うように複数枚設けられており、使用／設置個所は一箇
所に集中しておらず、冷却水用配管の設置しづらい個所
を含めて加工機の可動部分全体に亙っているのが普通で
ある。
【０００３】そして、レーザー加工機の反射ミラーや集
光レンズ等の光学部品は出来るだけ水等の液体から縁を
きるのが望ましい。
光レンズ等の光学部品は出来るだけ水等の液体から縁を
きるのが望ましい。
【０００４】また、レーザー光反射ミラーはメンテナン
ス時において、定期的にクリーニングを行う必要があ
る。
ス時において、定期的にクリーニングを行う必要があ
る。
【０００５】尚、特許第３０２９８６４号公報にミラー
の冷却方法として、ミラーの一方を水の循環等により冷
却する方法が提示されている。
の冷却方法として、ミラーの一方を水の循環等により冷
却する方法が提示されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、上述のメ
ンテナンス時において、水冷式の場合、冷却水配管は循
環回路となってチラー（Ｃｈｉｌｌｅｒ）に直列に接続
されており取り外すことが出来ない為、狭い場所でミラ
ーに傷を付けないように作業を行わなければならず、水
漏れの心配も無視できない。
ンテナンス時において、水冷式の場合、冷却水配管は循
環回路となってチラー（Ｃｈｉｌｌｅｒ）に直列に接続
されており取り外すことが出来ない為、狭い場所でミラ
ーに傷を付けないように作業を行わなければならず、水
漏れの心配も無視できない。
【０００７】レーザー光反射ミラーの冷却には、水冷方
式の他に空冷方式があるが、レーザー発振器の高出力化
に伴い空冷方式では、熱放出が間に合わず、冷却不足と
なって発振機能の低下、延いてはレーザー出力の低下を
招来することとなる。
式の他に空冷方式があるが、レーザー発振器の高出力化
に伴い空冷方式では、熱放出が間に合わず、冷却不足と
なって発振機能の低下、延いてはレーザー出力の低下を
招来することとなる。
【０００８】また、ミラーの冷却不足は、ミラー自体に
熱歪を誘起し、レーザー光路にズレを起こさせる為、高
精度加工には適応できないこととなる。
熱歪を誘起し、レーザー光路にズレを起こさせる為、高
精度加工には適応できないこととなる。
【０００９】この発明は、上述の点に着目して成された
もので、水配管を必要最小限とし、反射ミラー等の光学
部品の水漏れによる損傷や、水配管による装置周りの煩
雑さを解消し、メンテナンス時の作業性を向上させ得る
ミラー温度制御機構を有するレーザー加工機及びレーザ
ー加工機のミラー温度制御方法を提供することを目的と
する。
もので、水配管を必要最小限とし、反射ミラー等の光学
部品の水漏れによる損傷や、水配管による装置周りの煩
雑さを解消し、メンテナンス時の作業性を向上させ得る
ミラー温度制御機構を有するレーザー加工機及びレーザ
ー加工機のミラー温度制御方法を提供することを目的と
する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明は、下記構成を
備えることにより上記課題を解決できるものである。
備えることにより上記課題を解決できるものである。
【００１１】（１）レーザー光を反射する反射ミラーに
ペルチェ効果を利用した冷却機構及び温度検知装置を具
備して成ることを特徴とするミラー温度制御機構を有す
るレーザー加工機。
ペルチェ効果を利用した冷却機構及び温度検知装置を具
備して成ることを特徴とするミラー温度制御機構を有す
るレーザー加工機。
【００１２】（２）前記冷却機構は、ペルチェ素子を用
い、該素子の低温側に反射ミラーを被着し、前記素子の
高温側に放熱用の空冷フィンを設けた構成としたことを
特徴とする前項（１）記載のミラー温度制御機構を有す
るレーザー加工機。
い、該素子の低温側に反射ミラーを被着し、前記素子の
高温側に放熱用の空冷フィンを設けた構成としたことを
特徴とする前項（１）記載のミラー温度制御機構を有す
るレーザー加工機。
【００１３】（３）前記素子の高温側に設けた放熱用の
空冷フィンの外側に冷却用ファンを重設したことを特徴
とする前項（２）記載のミラー温度制御機構を有するレ
ーザー加工機。
空冷フィンの外側に冷却用ファンを重設したことを特徴
とする前項（２）記載のミラー温度制御機構を有するレ
ーザー加工機。
【００１４】（４）レーザー光を反射する反射ミラーの
背面にペルチェ素子を被着し、反射ミラー側を前記素子
の低温側とし、反対側の高温側に空冷フィンを設け、ま
たは前記空冷フィンを設け、更にその外側に冷却用ファ
ンを重設して放熱効果を高めると共に、反射ミラーの冷
却温度が周囲の空気の露点温度以下とならぬように温度
制御し、前記反射ミラーの冷却作用と同時に反射ミラー
表面の結露防止作用の二つの作用を両立可能な構成とし
たことを特徴とするレーザー加工機のミラー温度制御方
法。
背面にペルチェ素子を被着し、反射ミラー側を前記素子
の低温側とし、反対側の高温側に空冷フィンを設け、ま
たは前記空冷フィンを設け、更にその外側に冷却用ファ
ンを重設して放熱効果を高めると共に、反射ミラーの冷
却温度が周囲の空気の露点温度以下とならぬように温度
制御し、前記反射ミラーの冷却作用と同時に反射ミラー
表面の結露防止作用の二つの作用を両立可能な構成とし
たことを特徴とするレーザー加工機のミラー温度制御方
法。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に本発明に係るミラー温度制
御機構を有するレーザー加工機の実施の形態を説明す
る。
御機構を有するレーザー加工機の実施の形態を説明す
る。
【００１６】図１は、本発明に係る反射ミラーのペルチ
ェ素子を用いた冷却機構の要部構成を示す側断面図、
（ａ）は実施例１における説明図、（ｂ）は実施例２に
おける説明図、図２は、本発明に係るペルチェ素子を用
いたミラー温度制御機構を有するレーザー加工機の概略
構成ブロック図、図３は、従来例におけるチラーによる
冷却機構の概略構成を示す側面図である。
ェ素子を用いた冷却機構の要部構成を示す側断面図、
（ａ）は実施例１における説明図、（ｂ）は実施例２に
おける説明図、図２は、本発明に係るペルチェ素子を用
いたミラー温度制御機構を有するレーザー加工機の概略
構成ブロック図、図３は、従来例におけるチラーによる
冷却機構の概略構成を示す側面図である。
【００１７】図面を参照して以下に説明する。
【００１８】（実施例１）レーザー加工機のレーザービ
ーム伝送路中においては、反射ミラーＭｒは、３〜９個
所設けられるのが一般的であり、レーザー光Ｌｅを反射
して角度を変え、所望の経路に沿って前記レーザー光Ｌ
ｅを加工点まで導く。
ーム伝送路中においては、反射ミラーＭｒは、３〜９個
所設けられるのが一般的であり、レーザー光Ｌｅを反射
して角度を変え、所望の経路に沿って前記レーザー光Ｌ
ｅを加工点まで導く。
【００１９】図２には、レーザー発振器と集光レンズに
のみチラーを利用し、冷却配管を必要最小限に抑え、反
射ミラーＭｒ背面にペルチェ素子Ｐｅと温度センサＳｔ
を設け，ＮＣ装置内にペルチェ素子Ｐｅ用の直流電源及
び温度制御回路を設けた例をブロック図で示した。
のみチラーを利用し、冷却配管を必要最小限に抑え、反
射ミラーＭｒ背面にペルチェ素子Ｐｅと温度センサＳｔ
を設け，ＮＣ装置内にペルチェ素子Ｐｅ用の直流電源及
び温度制御回路を設けた例をブロック図で示した。
【００２０】反射ミラーＭｒにペルチェ効果を利用した
冷却機構Ｋｃを具備し、この冷却機構Ｋｃ（図１
（ａ））は、ペルチェ素子（Ｐｅｌｔｉｅｒ Ｄｅｖｉ
ｃｅ）Ｐｅを用い、該素子Ｐｅの低温側に反射ミラーＭ
ｒを被着し、前記素子Ｐｅの高温側に放熱用の空冷フィ
ンＦｉを設けると共に、反射ミラーＭｒの冷却温度が周
囲の空気の露点温度以下とならぬように温度制御し、前
記反射ミラーＭｒの冷却作用と同時に反射ミラーＭｒ表
面の結露防止作用の二つの作用を両立可能な構成として
ある。
冷却機構Ｋｃを具備し、この冷却機構Ｋｃ（図１
（ａ））は、ペルチェ素子（Ｐｅｌｔｉｅｒ Ｄｅｖｉ
ｃｅ）Ｐｅを用い、該素子Ｐｅの低温側に反射ミラーＭ
ｒを被着し、前記素子Ｐｅの高温側に放熱用の空冷フィ
ンＦｉを設けると共に、反射ミラーＭｒの冷却温度が周
囲の空気の露点温度以下とならぬように温度制御し、前
記反射ミラーＭｒの冷却作用と同時に反射ミラーＭｒ表
面の結露防止作用の二つの作用を両立可能な構成として
ある。
【００２１】反射ミラーＭｒ、ミラーホルダＨｍ、ペル
チェ素子Ｐｅ、温度センサＳｔ、空冷フィンＦｉ及びこ
れらを被覆する被覆体から形成されるミラーユニットＹ
ｍは、ケーブルコネクターを介して電源コードと着脱自
在に構成される。
チェ素子Ｐｅ、温度センサＳｔ、空冷フィンＦｉ及びこ
れらを被覆する被覆体から形成されるミラーユニットＹ
ｍは、ケーブルコネクターを介して電源コードと着脱自
在に構成される。
【００２２】ペルチェ素子Ｐｅに供給される電力は通常
ＤＣ５〜２４Ｖであり、ペルチェ素子Ｐｅの極性を有す
る２本のリード線に接続される。
ＤＣ５〜２４Ｖであり、ペルチェ素子Ｐｅの極性を有す
る２本のリード線に接続される。
【００２３】反射ミラーＭｒの近傍の温度上昇し易い個
所に温度センサＳｔを設け、所定の温度または露点温度
以下にならぬ様に温度制御を行うように構成されてい
る。
所に温度センサＳｔを設け、所定の温度または露点温度
以下にならぬ様に温度制御を行うように構成されてい
る。
【００２４】上述の構成に基づいて作用を説明する。
【００２５】レーザー発振器立ち上げと同時にペルチェ
素子Ｐｅに通電し、レーザー光Ｌｅの光路変更反射動作
に備える。
素子Ｐｅに通電し、レーザー光Ｌｅの光路変更反射動作
に備える。
【００２６】レーザー光Ｌｅの出力が大きく、反射ミラ
ーＭｒの温度上昇が大きい場合、または反射ミラーＭｒ
が過度に冷却されて結露する虞が感知される場合は、反
射ミラーＭｒの温度状況を監視している温度センサＳｔ
からの信号により、ペルチェ素子Ｐｅの電源ＯＮ／ＯＦ
Ｆ、電流量の加減調節（電圧調整）、等の制御操作によ
り、また冷却用ファンＦａのＯＮ／ＯＦＦ制御も加え
て、反射ミラーＭｒの温度を適正に保持するようになっ
ている。
ーＭｒの温度上昇が大きい場合、または反射ミラーＭｒ
が過度に冷却されて結露する虞が感知される場合は、反
射ミラーＭｒの温度状況を監視している温度センサＳｔ
からの信号により、ペルチェ素子Ｐｅの電源ＯＮ／ＯＦ
Ｆ、電流量の加減調節（電圧調整）、等の制御操作によ
り、また冷却用ファンＦａのＯＮ／ＯＦＦ制御も加え
て、反射ミラーＭｒの温度を適正に保持するようになっ
ている。
【００２７】尚、ＮＣ装置内には反射ミラーＭｒ周囲の
空気の露点温度を検出し、この検出値と温度センサＳｔ
から送られてくる温度値とを比較し、反射ミラーＭｒの
温度が露点温度以下とならぬように、前述の温度制御操
作を行うようになっている。
空気の露点温度を検出し、この検出値と温度センサＳｔ
から送られてくる温度値とを比較し、反射ミラーＭｒの
温度が露点温度以下とならぬように、前述の温度制御操
作を行うようになっている。
【００２８】また、反射ミラーＭｒのメンテナンス時等
でミラーユニットＹｍを外してレーザー加工機外へ持ち
出す場合は、ケーブルコネクターを外すことによって、
容易に実施することが出来る。
でミラーユニットＹｍを外してレーザー加工機外へ持ち
出す場合は、ケーブルコネクターを外すことによって、
容易に実施することが出来る。
【００２９】（実施例２）実施例２では、前述の実施例
１の構成に冷却用ファンＦａを付加した構成としたもの
で、ペルチェ素子Ｐｅの高温側に被着した空冷フィンＦ
ｉの外側に更に冷却用ファンＦａを重設して冷却機構Ｋ
ｃ′（図１（ｂ））を形成して放熱効果を更に高めると
共に、反射ミラーＭｒの冷却温度が周囲の空気の露点温
度以下とならぬように温度制御し、前記反射ミラーＭｒ
の冷却作用と同時に反射ミラーＭｒ表面の結露防止作用
の二つの作用を両立可能な構成としたものである。
１の構成に冷却用ファンＦａを付加した構成としたもの
で、ペルチェ素子Ｐｅの高温側に被着した空冷フィンＦ
ｉの外側に更に冷却用ファンＦａを重設して冷却機構Ｋ
ｃ′（図１（ｂ））を形成して放熱効果を更に高めると
共に、反射ミラーＭｒの冷却温度が周囲の空気の露点温
度以下とならぬように温度制御し、前記反射ミラーＭｒ
の冷却作用と同時に反射ミラーＭｒ表面の結露防止作用
の二つの作用を両立可能な構成としたものである。
【００３０】その他、作用等も含めて実施例１と同様で
あるので、以下の説明は省略する。
あるので、以下の説明は省略する。
【００３１】以上説明したように、レーザー光反射ミラ
ーの冷却にペルチェ素子を利用したことにより、空冷方
式よりも熱放出効率を良くし、水冷方式の問題点となる
水配管を複数箇所有る反射ミラーの部分から無くし、水
漏れ等の故障原因を無くし、更にメンテナンス時の作業
性を向上させ得る等の効果が期待できる。
ーの冷却にペルチェ素子を利用したことにより、空冷方
式よりも熱放出効率を良くし、水冷方式の問題点となる
水配管を複数箇所有る反射ミラーの部分から無くし、水
漏れ等の故障原因を無くし、更にメンテナンス時の作業
性を向上させ得る等の効果が期待できる。
【００３２】
【発明の効果】本発明によれば、水配管を必要最小限と
し、反射ミラー等の光学部品の水漏れによる損傷や、水
配管による装置周りの煩雑さを解消し、メンテナンス時
の作業性を向上させ、延いては冷却設備費の削減にも寄
与することが出来る、という効果を呈する。
し、反射ミラー等の光学部品の水漏れによる損傷や、水
配管による装置周りの煩雑さを解消し、メンテナンス時
の作業性を向上させ、延いては冷却設備費の削減にも寄
与することが出来る、という効果を呈する。
【図１】 本発明に係る反射ミラーのペルチェ素子を用
いた冷却機構の要部構成を示す側断面図、（ａ）は実施
例１における説明図、（ｂ）は実施例２における説明図
いた冷却機構の要部構成を示す側断面図、（ａ）は実施
例１における説明図、（ｂ）は実施例２における説明図
【図２】 本発明に係るペルチェ素子を用いたミラー温
度制御機構を有するレーザー加工機の概略構成ブロック
図
度制御機構を有するレーザー加工機の概略構成ブロック
図
【図３】 従来例におけるチラーによる冷却機構の概略
構成を示す側面図
構成を示す側面図
Ｌｅ レーザー光 Ｍｒ 反射ミラー Ｈｍ ミラーホルダ Ｐｅ ペルチェ素子 Ｓｔ 温度センサ Ｆｉ 空冷フィン Ｆａ 冷却用ファン Ｋｃ、Ｋｃ′ 冷却機構 Ｙｍ、Ｙｍ′ ミラーユニット Ｗ ワーク
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザー光を反射する反射ミラーにペル
チェ効果を利用した冷却機構及び温度検知装置を具備し
て成ることを特徴とするミラー温度制御機構を有するレ
ーザー加工機。 - 【請求項２】 前記冷却機構は、ペルチェ素子を用い、
該素子の低温側に反射ミラーを被着し、前記素子の高温
側に放熱用の空冷フィンを設けた構成としたことを特徴
とする請求項１記載のミラー温度制御機構を有するレー
ザー加工機。 - 【請求項３】 前記素子の高温側に設けた放熱用の空冷
フィンの外側に冷却用ファンを重設したことを特徴とす
る請求項２記載のミラー温度制御機構を有するレーザー
加工機。 - 【請求項４】 レーザー光を反射する反射ミラーの背面
にペルチェ素子を被着し、反射ミラー側を前記素子の低
温側とし、反対側の高温側に空冷フィンを設け、または
前記空冷フィンを設け、更にその外側に冷却用ファンを
重設して放熱効果を高めると共に、反射ミラーの冷却温
度が周囲の空気の露点温度以下とならぬように温度制御
し、前記反射ミラーの冷却作用と同時に反射ミラー表面
の結露防止作用の二つの作用を両立可能な構成としたこ
とを特徴とするレーザー加工機のミラー温度制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001162711A JP4667645B2 (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | ミラー温度制御機構を有するレーザー加工機及びレーザー加工機のミラー温度制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001162711A JP4667645B2 (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | ミラー温度制御機構を有するレーザー加工機及びレーザー加工機のミラー温度制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002346784A true JP2002346784A (ja) | 2002-12-04 |
| JP4667645B2 JP4667645B2 (ja) | 2011-04-13 |
Family
ID=19005798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001162711A Expired - Fee Related JP4667645B2 (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | ミラー温度制御機構を有するレーザー加工機及びレーザー加工機のミラー温度制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4667645B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012119723A (ja) * | 2012-02-14 | 2012-06-21 | Japan Steel Works Ltd:The | レーザ照射方法及びその装置 |
| CN107052574A (zh) * | 2015-11-18 | 2017-08-18 | 发那科株式会社 | 激光加工头 |
| KR101913481B1 (ko) * | 2013-11-22 | 2018-10-30 | 살바그니니 이탈리아 에스.피.에이. | 공작기계용 레이저 커팅 헤드 |
| CN113523607A (zh) * | 2021-08-04 | 2021-10-22 | 广东宏石激光技术股份有限公司 | 一种光学温控装置、激光切割头及激光加工方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101949088B1 (ko) * | 2018-07-24 | 2019-02-15 | 장규호 | 무동력팬이 적용된 조립형 공기순환기 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07261100A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-10-13 | Hitachi Ltd | 形状可変鏡 |
| JP2000164958A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ｌｄ励起レーザ発振方法とレーザ発振器、これによるレーザ加工装置 |
| JP2000334592A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-12-05 | Mitsubishi Electric Corp | 光学反射鏡および光学反射鏡の冷却方法 |
| JP2001007433A (ja) * | 1999-06-17 | 2001-01-12 | Sunx Ltd | レーザマーカ |
| JP2001013297A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Nikon Corp | 反射光学素子および露光装置 |
-
2001
- 2001-05-30 JP JP2001162711A patent/JP4667645B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07261100A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-10-13 | Hitachi Ltd | 形状可変鏡 |
| JP2000164958A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ｌｄ励起レーザ発振方法とレーザ発振器、これによるレーザ加工装置 |
| JP2000334592A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-12-05 | Mitsubishi Electric Corp | 光学反射鏡および光学反射鏡の冷却方法 |
| JP2001007433A (ja) * | 1999-06-17 | 2001-01-12 | Sunx Ltd | レーザマーカ |
| JP2001013297A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Nikon Corp | 反射光学素子および露光装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012119723A (ja) * | 2012-02-14 | 2012-06-21 | Japan Steel Works Ltd:The | レーザ照射方法及びその装置 |
| KR101913481B1 (ko) * | 2013-11-22 | 2018-10-30 | 살바그니니 이탈리아 에스.피.에이. | 공작기계용 레이저 커팅 헤드 |
| CN107052574A (zh) * | 2015-11-18 | 2017-08-18 | 发那科株式会社 | 激光加工头 |
| CN107052574B (zh) * | 2015-11-18 | 2019-09-06 | 发那科株式会社 | 激光加工头 |
| US10543568B2 (en) | 2015-11-18 | 2020-01-28 | Fanuc Corporation | Laser processing head including circulation path for circulating coolant |
| CN113523607A (zh) * | 2021-08-04 | 2021-10-22 | 广东宏石激光技术股份有限公司 | 一种光学温控装置、激光切割头及激光加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4667645B2 (ja) | 2011-04-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9667030B2 (en) | Laser apparatus in which laser oscillation part, air cooling machine and dehumidifier are cooled by common cooling water | |
| JP2014006369A (ja) | 映像表示装置および冷却システム | |
| JP4196983B2 (ja) | 冷却装置、プロジェクタ及び冷却方法 | |
| EP1328046B1 (en) | Method and apparatus for cooling a self-contained laser head | |
| US20170139164A1 (en) | Optical fiber connection unit having circulation path for allowing coolant to circulate | |
| JP2002346784A (ja) | ミラー温度制御機構を有するレーザー加工機及びレーザー加工機のミラー温度制御方法 | |
| US20090034192A1 (en) | Overheat Prevention Device | |
| JP2009192869A (ja) | 画像形成装置 | |
| JP2005121712A (ja) | プロジェクタ | |
| JP2017045753A (ja) | 保守作業用の温度管理機能を有するレーザ装置 | |
| JP2007225226A (ja) | 冷却装置の制御方法 | |
| JP2005152972A (ja) | レーザ加工装置 | |
| US9417510B2 (en) | Image projection device and method of controlling image projection device | |
| JP2006318354A (ja) | 電子機器及び電源制御装置 | |
| JP2001326410A (ja) | 半導体レーザ冷却装置 | |
| JPH05167283A (ja) | 電子機器ユニット | |
| JPH04146694A (ja) | 電子機器用冷却装置 | |
| JPH11277286A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2004150777A (ja) | ペルチェ式クーラの異常検出方法 | |
| KR102462316B1 (ko) | 열전소자를 이용한 전시기의 온도 제어 장치 | |
| KR100239323B1 (ko) | 차량의 냉각팬 제어 방법 | |
| KR970006514Y1 (ko) | 펠티에 소자를 이용한 냉각장치 | |
| KR0137909Y1 (ko) | 컴퓨터 시스템의 냉각 제어회로 | |
| JPH08317517A (ja) | 盤用熱交換器 | |
| KR20020001364A (ko) | 프로젝터의 과열 보호장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080415 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100615 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100617 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100729 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101214 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110112 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140121 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |