JPH07261100A

JPH07261100A - 形状可変鏡

Info

Publication number: JPH07261100A
Application number: JP6046774A
Authority: JP
Inventors: Yuji Ichinose; 祐治一ノ瀬
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1994-03-17
Filing date: 1994-03-17
Publication date: 1995-10-13

Abstract

(57)【要約】【目的】形状可変鏡の応答性を高め、ミラー面の冷却を
可能にする形状可変鏡の構造を提供する。【構成】円筒形レーザビーム９が入射するミラー１の下
部にピン２を介してアクチュエータ３を複数個取付け、
ミラー１と複数個のアクチュエータ３は鏡筒４に固定す
る。各アクチュエータ３にそれぞれ駆動電圧を与えて円
筒形レーザビーム９の波面を制御できる。ミラー１の周
辺部に冷却材５を循環させる空間を設け、ミラー１の中
央部下面には冷却用ピン８に冷却材５を循環させる空間
を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レーザビーム及び光の
光学的な歪を補正する補償光学装置の形状可変鏡に係
り、特に、形状可変鏡の応答性を低下させずに高出力レ
ーザビームによる形状可変鏡の熱歪を抑えるミラー面冷
却装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】補償光学装置は、光学的な歪を検出し形
状可変鏡でその歪を補正するものである。この補償光学
装置を用いて、高出力レーザ発振器から出力されるレー
ザビームの歪を補正することによりビーム品質を改善す
ることが可能である。このとき形状可変鏡では、ミラー
面がレーザビームを吸収することにより熱歪がミラー面
に生じる恐れが有る。そこで上記用途に供するために、
形状可変鏡のミラー面を冷却する機能を有したものが考
案されている。その形状可変鏡の構造については、例え
ば、米国特許第4674848号，第4657358号が挙げられる。
いずれもミラー裏面に冷却材（気体，液体）を循環させ
る空間を設け、その後段にアクチュエータを取付けたも
のである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
は形状可変鏡のミラー面の冷却効率のみを考慮してお
り、ミラー面下部に冷却材を循環させる空間を設けたこ
とによるミラー剛性の向上によるアクチュエータの駆動
電圧に対するミラー面変位に関する応答性の低下に関し
ては考慮されていない。

【０００４】本発明の目的は、形状可変鏡の上記課題を
解決する装置を提供し、この形状可変鏡を用いた補償光
学装置、その補償光学装置を適用することにより性能を
向上させることのできるレーザ発振器，レーザ加工機，
レーザ同位体分離装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】形状可変鏡の基本構造
は、光を反射するミラー面にその凹凸を変えるためのア
クチュエータを２次元的に複数個取付たものである。ア
クチュエータは、印加電圧に比例して変位する圧電素子
を複数枚積層しそれぞれを電気的に直列に接続した積層
型圧電素子が応答性の点で優れており多く使用されてい
る。形状可変鏡の応答性を高めるには、ミラー面から圧
電素子の底面までの長さを短くすれば良い。圧電素子の
全長は、最大変位量に比例するため形状可変鏡の要求性
能により決まるため短くすることはできない。そこでミ
ラー面厚み及びミラーと圧電素子の接続部を短くすれば
良い。一方、ミラー面を冷却する構造はミラー面下部に
冷却材を循環させる空間を設けるのではなく、ミラー面
の熱をミラー周辺部に逃がすようにすれば良い。

【０００６】

【作用】形状可変鏡の応答性は上述したように、ミラー
面厚み及びミラーと圧電素子の接続部を短くすれば、応
答速度は速くなる。レーザビームにより発生する熱は、
ミラー周辺部に冷却材を循環させる空間を設けることに
より吸収する。このようにすれば、形状可変鏡の応答性
を低下させずに、ミラー面の冷却が可能となる。また、
一般にレーザ発振器から出力されるレーザビームの形状
は円形であるが、本発明の対象となるような高出力レー
ザ発振器、特に気体レーザの場合、円筒状のレーザビー
ムが出力されるため、ミラー周辺部だけでなくミラー中
央部にも冷却材を循環させる空間を設けることが可能と
なる。このような構造にすることにより、高い応答性を
持ちミラー面の冷却が可能な形状可変鏡が可能となる。

【０００７】

【実施例】図１，図２を用いて本発明の一実施例を説明
する。図１には本発明の一実施例である形状可変鏡の構
造を示すが、１はミラー、２は各アクチュエータ３ａ…
３ｄの変位量をミラー１に伝えるピン、４は鏡筒、図１
の斜線部は冷却材５を循環させる空間、６は冷却材５を
循環させるための流入口、７は冷却材５を循環させるた
めの流出口、８はミラー１の中央部を冷却するための冷
却用ピンである。形状可変鏡は補償光学装置の重要な構
成要素の一つであり、波面の乱れたレーザビームを形状
可変鏡に入射し、形状可変鏡の各アクチュエータ３に駆
動電圧を与えることによりミラー面に凹凸をつけること
により、反射されるレーザビームの波面を制御するもの
である。図１は円筒形レーザビーム９の波面を制御する
形状可変鏡についての本発明の一実施例を示している。
ミラー１はピン２を介してアクチュエータ３と連結して
おり、各アクチュエータ３に駆動電圧を与えることによ
り円筒形レーザビーム９の波面を制御できる。ミラー１
で反射される円筒形レーザビーム９の一部はミラー１に
吸収されるため、ミラー１の温度が上昇しミラー面に温
度分布が生じることによりミラー面が熱変形する恐れが
有る。ミラー１の周辺部に冷却材５を循環させる空間を
設け、ミラー１の中央部下面には冷却用ピン８に冷却材
５を循環させる空間を設けることによりミラー１の円筒
形レーザビーム９が入射された領域で生じる熱を吸収す
ることができる。冷却材５を循環させる空間に、冷却材
５を流入させる入り口６ａ，６ｂ及び出口７ａ，７ｂに
より冷却材５を循環させることで冷却効果を高める。図
１の形状可変鏡を円筒形レーザビーム９から見た図が、
図２である。上述したように円筒形レーザビーム９の波
面を制御するために設けられる各アクチュエータ３の接
続されるミラー面以外のミラー１の中央部及び周辺部
に、冷却材５を循環させる。図１に示すように、薄いミ
ラー１にピン２とアクチュエータ３が連結された構造
は、形状可変鏡の機能を満たす上で最も単純な構造であ
り、形状可変鏡の応答性を高めることができる。さらに
冷却機構も同時に設けてあるために、高出力レーザによ
るミラー面の熱変形を抑えることができる。

【０００８】本発明の実施例を実現するためのアクチュ
エータ３は、印加電圧に比例して変位する圧電素子，積
層型の圧電素子，油圧駆動素子，磁歪素子及びリニアア
クチュエータ等で実現できる。またミラー１の材質とし
てはガラスでも実現できるが、熱伝達率の高い金属材料
を用いた方が効率の良い冷却が可能である。さらに冷却
材５は、液体の他気体を用いても実現でき、液体の方が
冷却効率が高い。

【０００９】図３は本発明の一実施例である形状可変鏡
のミラー１と冷却材５を循環させる空間の構造を示す。
ミラー１は周辺部が厚く、中央部（アクチュエータ３を
接続する領域）が薄い構造を持ち、冷却材５を循環させ
る部分をくり抜いた構造にする。そして側板１０は円筒
形で、ミラー１と側板１０にねじの雄、雌山を設けるこ
とにより、双方を接続できかつ冷却材５を循環させる閉
空間をミラー周辺部に実現できる。そして側板１０の外
周上の二ヶ所に冷却材５を流入させる入り口６ａ及び出
口７ａを設けることで本発明を実現できる。次にミラー
１の中央部を冷却する冷却用ピン８について説明する。
図３に示すように、冷却用ピン８の中央部をくり抜き、
そこに冷却材５を循環させる。上板１１と冷却用ピン８
にねじの雄、雌山を設けることにより、双方を接続でき
かつ冷却材５を循環させる閉空間を実現できる。そして
上板１１の二ヶ所に冷却材５を流入させる入り口６ｂ及
び出口７ｂを設けることで本発明を実現できる。図３を
用いた本発明の一実施例では冷却材５を循環させる空間
を実現する構造について述べたが、空間における冷却材
５と接触する面積は広ければ広いほど冷却能力は高くな
る。そこで図３に示した構造だけでなく、面積を大きく
する構造は、壁面に凹凸を設ける方法、空間に仕切り板
を設けるなどの構造が考えられる。

【００１０】実施例では円筒形レーザビームの場合につ
いて述べたが、次に円形レーザビームの場合の本発明の
一実施例を図４を用いて説明する。図４は形状可変鏡の
断面を示したものである。図において、円形レーザビー
ムの波面を制御するためにはミラー１の下部に二次元的
に配列したピン２とアクチュエータ３を設け、ミラー１
の冷却はその周辺部に設けた冷却材５を循環させる空間
により実現すれば良い。本発明によれば、形状可変鏡の
応答性を高めることができ、さらに冷却機構も同時に設
けてあるために、高出力レーザによるミラー面の熱変形
を抑えることができる。これまで円筒形レーザビームと
円形レーザビームの場合の本発明の実施例を説明した
が、その他の形状のレーザビームの場合にも本発明を実
現することができる。

【００１１】図５は円形レーザビームの波面を制御する
ための本発明の一実施例の形状可変鏡の断面を示したも
のであるが、ミラー１の下部に二次元的に配列したピン
２とアクチュエータ３を設け、ミラー１の冷却はペルチ
ェ素子１２を用いて実現するものである。ペルチェ素子
１２は電気エネルギを熱に変換するものであり、ペルチ
ェ素子１２にペルチェ素子用電源１３から電気エネルギ
を供給することにより、ミラー１に生じた熱を吸収する
ことができる。実施例は円形レーザビームの場合である
が、円筒状レーザビームの場合にはミラー中央部の下面
にペルチェ素子１２を設けた構造にすれば良い。

【００１２】次に図６を用いて本発明の一実施例を説明
する。図６は本発明の一実施例である形状可変鏡の断面
構造を示したものであるが、ミラー周辺部に冷却材５を
循環させる空間を設け、さらにミラー１の裏面とアクチ
ュエータ２に冷却用ガスを送風することによりミラー１
及びアクチュエータ２を冷却するものである。このよう
な構造にすることにより、ミラー１の剛性を増やすこと
なくミラーの冷却能力を向上させることができる。実施
例では、ミラー周辺部に冷却材５を循環させる空間を設
けた本発明の他の実施例と組み合わせたものであるが、
同様に図１から図５を用いて説明した本発明の他の実施
例と組み合わることが出来る。

【００１３】図７は本発明の一実施例の形状可変鏡の断
面を示したものであるが、ミラー１の下面にアクチュエ
ータ３を取付けるための雌ねじを設け、アクチュエータ
３の一端には緩衝材４２とそれと接続された雄ねじを持
つピン２を連結し、他端には鏡筒４に固定するために雄
ねじを設けた台座１５を連結した構造であり、ボルト４
１により鏡筒４に固定することができる。アクチュエー
タ３は圧電素子等の駆動電圧により変位するものであ
り、そのリード線１４は台座１５の中を通している。こ
のような構造にすることにより、アクチュエータ３の部
分とミラー１及び鏡筒４を接続がいずれもねじ式になっ
ているため、形状可変鏡の組立て及び分解が容易にな
る。また、緩衝材４２にセラミック等の熱伝達率の悪い
材料を用いることで、ミラー１に発生した熱がアクチュ
エータ３に伝達されることによってアクチュエータ３の
機能が低下するのを抑えることができる。本実施例によ
れば、形状可変鏡の組立て及び分解が容易になり、また
アクチュエータ３の熱による機能低下を抑えることがで
きる。

【００１４】本発明の一実施例であるアクチュエータと
ミラー及び鏡筒との接続構造は、図１から図６を用いて
説明した本発明の他の実施例と組合わせて実施できる。
そしてこのような構造の形状可変鏡にすることにより、
応答性，組立効率，冷却性に優れた形状可変鏡を実現す
ることができる。

【００１５】次にこれらを用いた本発明の一実施例であ
る補償光学装置及び補償光学装置をいろいろな光学装置
に適用した例について説明する。本発明の一実施例であ
る形状可変鏡を用いて構成する補償光学装置は、レーザ
及び光の波面歪を補正できるため、いろいろな光学装置
に適用してその波面歪による性能の劣化を抑えることが
できる。

【００１６】図８に本発明の一実施例であるマルチディ
ザー方式補償光学装置の基本的構成を示す。レーザ及び
光の波面検出方式の違いによりいろいろな方式の補償光
学装置が提案されており、マルチディザー方式もその一
つである。図８において、歪みのあるレーザ波面１７ａ
を持つ入射レーザビーム１６は上述した本発明の一実施
例である形状可変鏡１８に入射され、そこで入射レーザ
ビーム１６は位相変調と波面補正が実施される。位相変
調は、形状可変鏡１８にある複数のアクチュエータをレ
ーザ波長の数十分の一の振幅で異なる周波数で駆動する
ことにより実現される。このため形状可変鏡１８は、ア
クチュエータの数が多ければ多いほど高い応答性が要求
される。形状可変鏡１８から出たレーザビームはビーム
スプリッタ１９で分割され、一方は出射レーザビーム３
０となり、他方はレンズ２０で集光されレンズ２０の焦
点位置に置かれた光検出器２１でその光信号２２が検出
される。光信号２２には形状可変鏡１８のアクチュエー
タ数と同数の位相変調信号が含まれており、波面制御装
置２３では光信号２２から複数の位相変調信号を分離検
出する。位相変調信号は形状可変鏡１８で位相変調され
た領域のレーザビームの位相に比例するため、各位相変
調信号の強度分布がレーザ位相の分布、すなわち、レー
ザ波面である。波面制御装置２３では検出したレーザ波
面から形状可変鏡１８の指令値２４を決定し、駆動電源
２５で駆動電圧２６に増幅され、形状可変鏡１８が制御
される。なお、波面制御装置２３で決定される指令値２
４は、形状可変鏡１８のアクチュエータ数と同数であ
り、各指令値２４には位相変調のための駆動信号が重畳
されている。マルチディザー方式補償光学装置は、高出
力レーザビームの波面歪を補正する場合にも、形状可変
鏡の応答性を高めることができ、ミラー面の熱変形を抑
えることができるため、高性能の補償光学装置を実現で
きる。

【００１７】次に本発明の一実施例である他の方式の補
償光学装置について説明する。図９において、１６は入
射レーザビーム、１７ａはレーザ波面、１８は形状可変
鏡、１９はビームスプリッタ、２７は波面検出器、２３
は波面制御装置、２５は駆動電源である。入射レーザビ
ーム１６は形状可変鏡１８で波面補正された後、ビーム
スプリッタ１９により一方は波面検出器２７へ、他方は
出射レーザビーム３０に分けられる。波面検出器２７で
は、ハルトマン方式及びシェアリング干渉方式のいずれ
の方式を用いても検出可能である。波面検出器２７で検
出される波面信号２８は、ハルトマン方式及びシェアリ
ング干渉方式のいずれの方式を用いてもレーザ波面の傾
き、すなわち、波面の微分値であり、波面制御装置２３
では波面信号２８を、例えば、積分演算することにより
レーザ波面を求め形状可変鏡１８の指令値２４を決定
し、駆動電源２５で駆動電圧２６に増幅され、形状可変
鏡１８が制御される。補償光学装置は、高出力レーザビ
ームの波面歪を補正する場合にも、形状可変鏡の応答性
を高めることができ、ミラー面の熱変形を抑えることが
できるため、高性能の補償光学装置を実現できる。

【００１８】本発明の一実施例である補償光学装置は、
図１０に示すように補償光学装置３１に歪みのあるレー
ザ波面１７ａを持つ入射レーザビーム１６を入射し、歪
の無いレーザ波面１７ｂに変換しレーザビーム３０を出
射するものである。従って、高出力レーザ発振器から出
力されるレーザビームを本発明の補償光学装置に入射す
ることにより、高出力レーザ発振器内で生じたレーザ波
面の歪を補正し、高品質のレーザビームを得ることがで
きる。

【００１９】次に本発明の一実施例であるレーザ加工機
について説明する。図１１は本発明の一実施例であるレ
ーザ加工機であり、３２はレーザ発振器、３１は補償光
学装置、３３は凹面鏡、３４は加工材である。レーザ加
工機は、レーザエネルギによって加工材３４を切断した
り、溶接したりするものである。レーザビームは凹面鏡
３３により絞ることができるため、バイト（刃物）を用
いる従来の切断加工機と比較してより正確な加工が可能
である。そして、レーザエネルギが高いほど、加工時間
は短くて済む。ところが高出力レーザ発振器から出力さ
れるレーザビームに波面歪があると、凹面鏡３３により
レーザビームを絞ることができなくなるため、加工材３
４に照射するレーザエネルギ密度が低下したり、切断部
の面積が大きくなるなどの問題が発生する。そこで図１
１に示すように、レーザ発振器３２から出力されたレー
ザビーム１６を補償光学装置３１に入射し、補償光学装
置３１でレーザ波面を補正したレーザビーム３０を常に
凹面鏡３３に供給できるため、高性能のレーザ加工機を
実現できる。

【００２０】次に本発明の一実施例であるレーザ同位体
分離装置について説明する。図１２にレーザ同位体分離
装置４０の基本的構成を示す。分離する同位体を含んだ
物質を容器３７の中に入れ加熱して気化させる。蒸気３
８となった物質に、分離したい同位体のみをイオン化さ
せるために特定の波長を持つレーザビーム３５を照射す
る。イオン化した同位体は、回収電極３９に付着させて
抽出することができる。レーザ発振器３２から出力され
るレーザビーム３５を効率良く蒸気３８に照射するため
に、折返しミラー３６を複数個用いて蒸気３８を広い領
域にわたり照射する。このときレーザビーム３５が蒸気
中を伝搬するときに波面歪が生じ、レーザビーム３５が
拡散したり曲がったりして伝搬させることができなくな
る問題が発生する。これを解決するためには、補償光学
装置をレーザ同位体分離装置４０に適用すれば良い。

【００２１】図１３はレーザ同位体分離装置４０に補償
光学装置を適用した本発明の一実施例を示すが、レーザ
発振器３２から出力されるレーザビーム３５は形状可変
鏡１８ａで反射され、ビームスプリッター１９ａを介し
て一方は形状可変鏡１８ｂへ、他方は波面検出器２７ａ
へ入力される。波面検出器２７ａで検出された波面歪に
より制御装置２３ａで形状可変鏡１８ａの指令値を決定
し、波面歪を補正する。以下同様の動作で、形状可変鏡
１８ｂにより波面歪を補正することにより、レーザビー
ム３５を蒸気中で伝搬させることが可能となる。なお、
図１３の実施例では、レーザビーム３５は形状可変鏡１
８とビームスプリッタ１９のみで折り返しているが、こ
れらの代りにいくつの場所に折返しミラー３６を用いて
も問題は無い。

【００２２】

【発明の効果】本発明によれば、薄いミラーにピンとア
クチュエータが連結された構造でミラー面を駆動する形
状可変鏡であるため形状可変鏡の応答性を高めることが
でき、さらに冷却機構も同時に設けてあるために高出力
レーザによるミラー面の熱変形を抑えることができる。

【００２３】本発明によれば、アクチュエータの一端に
伝熱を抑制する緩衝材とねじ付きピンを接続し、他端に
ねじ付き台座を接続し、アクチュエータとミラー及び鏡
筒との接続をねじにより可能にした構造であるため、ア
クチュエータが取外し可能な構造でミラーに発生した熱
がアクチュエータに伝わりにくいため、メンテナンス性
が高く信頼性の高い形状可変鏡を提供できる。

【００２４】本発明によれば、レーザあるいは光の波面
歪を補正する補償光学装置において、応答性，ミラー面
冷却性，メンテナンス性及び信頼性に優れた形状可変鏡
を用いるために高性能の補償光学装置を提供できる。

【００２５】本発明によれば、レーザ発振器，レーザ加
工機及びレーザ同位体分離装置に上述の高性能の補償光
学装置を適用できるため、高品質のレーザ発振器，高精
度のレーザ加工機及び高効率のレーザ同位体分離装置を
提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す形状可変鏡の説明図。

【図２】本発明の一実施例を示す形状可変鏡の上面図。

【図３】本発明の一実施例を示す形状可変鏡のミラー部
分の説明図。

【図４】本発明の第二実施例を示す形状可変鏡の断面
図。

【図５】本発明の第三実施例を示す形状可変鏡の断面
図。

【図６】本発明の第四実施例を示す形状可変鏡の断面
図。

【図７】本発明の第五実施例を示す形状可変鏡の断面
図。

【図８】本発明の一実施例を示すマルチディザー方式補
償光学装置の説明図。

【図９】本発明の一実施例を示す補償光学装置の説明
図。

【図１０】補償光学装置の説明図。

【図１１】本発明の一実施例を示すレーザ加工機の説明
図。

【図１２】レーザ同位体分離装置の説明図。

【図１３】本発明の一実施例を示すレーザ同位体分離装
置の説明図。

【符号の説明】

１…ミラー、２…ピン、３…アクチュエータ、４…鏡
筒、５…冷却材、６…冷却材入口、７…冷却材出口、８
…冷却用ピン、９…支柱。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レーザビームを入射して反射するミラーと
前記ミラーの裏面に複数のアクチュエータを有し、前記
複数のアクチュエータに任意の信号を与えることにより
前記ミラーの凹凸を変えることのできる形状可変鏡にお
いて、前記ミラーの前記レーザビームが入射される部分
の裏面以外のミラーに冷却材を循環させる空間を設け、
前記空間に冷却材を循環させる手段を設けたことを特徴
とする形状可変鏡。
【請求項２】レーザビームを入射して反射するミラーと
前記ミラーの裏面に複数のアクチュエータを有し、前記
複数のアクチュエータに任意の信号を与えることにより
前記ミラーの凹凸を変えることのできる形状可変鏡にお
いて、前記ミラーの前記レーザビームが入射される部分
の裏面以外のミラー裏面に、冷却材を循環させる空間を
設けた構造物を取付け、前記空間に冷却材を循環させる
手段を設けたことを特徴とする形状可変鏡。
【請求項３】請求項１または２において、前記ミラーに
冷却材を循環させる空間を設け、前記ミラー裏面に冷却
材を循環させる空間を設けた構造物を取付けた形状可変
鏡。
【請求項４】レーザビームを入射して反射するミラーと
前記ミラーの裏面に複数のアクチュエータを有し、前記
複数のアクチュエータに任意の信号を与えることにより
前記ミラーの凹凸を変えることのできる形状可変鏡にお
いて、前記ミラーの前記レーザビームが入射される部分
の裏面以外のミラー裏面に、ペルチェ素子を取付け、前
記ペルチェ素子に駆動電圧を与える手段を設けたことを
特徴とする形状可変鏡。
【請求項５】請求項１または４において、前記ミラーに
冷却材を循環させる空間を設け、前記ミラー裏面に、ペ
ルチェ素子を取付け、前記ペルチェ素子に駆動電圧を与
える手段を設けた形状可変鏡。
【請求項６】請求項１，２，３，４または５において、
前記形状可変鏡の前記ミラー裏面及び前記アクチュエー
タに冷却用ガスを送風し、前記冷却用ガスを循環させる
手段を設けた形状可変鏡。
【請求項７】レーザビームを入射して反射するミラーと
前記ミラーの裏面に複数のアクチュエータを有し、前記
複数のアクチュエータに任意の信号を与えることにより
前記ミラーの凹凸を変えることのできる形状可変鏡にお
いて、前記ミラーの裏面に雌ねじを設け、前記アクチュ
エータの一端に熱伝達率の低い材料から成る緩衝材を接
続し該緩衝材に雄ねじを持つ構造物を接続し、前記アク
チュエータの他端に雄ねじを持つ台座を接続し前記台座
の中を前記アクチュエータを駆動するための信号線を通
す手段を設けたことを特徴とする形状可変鏡。
【請求項８】請求項１，２，３，４，５，６または７に
おいて、前記ミラーの裏面に雌ねじを設け、前記アクチ
ュエータの一端に熱伝達率の低い材料から成る緩衝材を
接続し前記緩衝材に雄ねじを持つ構造物を接続し、前記
アクチュエータの他端に雄ねじを持つ台座を接続し前記
台座の中を前記アクチュエータを駆動するための信号線
を通す手段を設けた形状可変鏡。
【請求項９】請求項１，２，３，４，５，６，７または
８において、前記ミラーを熱伝達率のよい材質で作る形
状可変鏡。
【請求項１０】請求項１，２，３，４，５，６，７また
は８において、前記ミラーは金属材料で作る形状可変
鏡。
【請求項１１】請求項１，２，３，４，５，６，７，
８，９または１０において、前記レーザビームの波面を
補正する形状可変鏡と前記レーザビームの波面の検出手
段と検出値により形状可変鏡の複数のアクチュエータの
駆動量を決定する手段からなる補償光学装置。
【請求項１２】請求項１１において、前記補償光学装置
でレーザ発振器から出力されるレーザビームの波面を補
正するレーザ発振器。
【請求項１３】請求項１１において、レーザ発振器と前
記レーザビームを集光させ加工材の所定の位置に照射す
る光学系及び制御装置からなるレーザ加工機。
【請求項１４】物質の中に含まれている同位体を取り出
すことのできるレーザ同位体分離装置において、レーザ
発振器から出力されたレーザビームを前記物質を気化し
たものに繰返し照射するために形状可変鏡とビームスプ
リッタとミラーを複数個設け、前記ビームスプリッタで
分けられたレーザビームをレーザ波面検出器に入射し前
記レーザ波面検出器の検出値から前記形状可変鏡のアク
チュエータの駆動量を決定する波面制御装置を設けたこ
とを特徴とするレーザ同位体分離装置。