JPH08236848A - 第2高調波発生装置 - Google Patents

第2高調波発生装置

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JPH08236848A
JPH08236848A JP8008992A JP899296A JPH08236848A JP H08236848 A JPH08236848 A JP H08236848A JP 8008992 A JP8008992 A JP 8008992A JP 899296 A JP899296 A JP 899296A JP H08236848 A JPH08236848 A JP H08236848A
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laser diode
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harmonic generation
harmonic
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Shinko Ri
振 鎬 李
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 精密な温度調整で安定した第2高調波の発振
が行われる第2高調波発生装置を提供する。 【解決手段】 レーザダイオード110を内蔵するレー
ザダイオードマウント200と、レーザダイオード11
0から出射する励起光から第2高調波を発生する共振器
500と、共振器500とレーザダイオードマウント2
00を相互に連結する連結ナット400と、共振器50
0の温度を制御する熱電冷却素子800と、共振器50
0を収容しレーザダイオードマウント200に結合され
るハウジング300とを備え、熱電冷却素子800を介
してハウジング300と共振器500が熱的に接続され
て、熱的に無関係な要素を熱制御の経路から分離してい
るので共振器500の熱制御が迅速且つ精密に行われ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は第2高調波発生装置
に係り、特に精密な温度調整により安定した第2高調波
を発振することができる第2高調波発生装置に関する。
【0002】
【従来の技術】第2高調波発生によるオーディオ及びビ
デオディスク装置等の光学的記録及び再生技術は、既存
の半導体ダイオードによる800nm波長のレーザより
短い波長の光が必要とされている。このような要求に応
じて、第2高調波発生による青緑色についての研究が活
発に行われている。青緑色のレーザ装置の主要な方式は
内部共振器型であって、二つのミラーによって光学的に
囲まれた共振器内にNd:YAGまたはNd:ガラス等
の利得媒体とKTP(KTiOPO4 )等の非線形の単
結晶素子が備えられる。しかし、このような方式は利得
媒体と非線型の単結晶素子の温度変化により、共振器内
から発振する基本波の位相状態が変化され第2高調波の
出力が不安定になるという短所がある。そして、前述の
ような物質からなる利得媒体は高吸収バンドの809n
mの励起光を利用しているが、固体レーザの吸収バンド
の幅が数nmと小さく、光源である半導体ダイオードの
動作温度を精密に制御することは難しい。
【0003】図4は従来の第2高調波発生装置のパッケ
ージ構造の概略的な断面図である。第2高調波発生器
は、外形的にレーザダイオードマウント2と共振器ハウ
ジング3に大別される。レーザダイオードマウント2と
共振器ハウジング3は相互に長さ方向に接続されたもの
であり、各内部に光学部品が内蔵されている。
【0004】レーザダイオードマウント2は、同軸上の
円筒状の大径部21と小径部22よりなり、大径部21
にはレーザダイオード11が内蔵され、小径部22には
集束レンズ組立体12が内蔵される。レーザダイオード
11の後方にはこれを冷却させるための冷却板1が設置
されている。集束レンズ組立体12は状態の調整ができ
るようにその周囲の調節ネジ23によって小径部22の
内部の中央に位置されている。
【0005】共振器ハウジング3もまたレーザダイオー
ドマウント2のように大径部31と小径部32を備えて
いる。大径部31は小径部32に比べて拡大されてい
て、レーザダイオードマウント2の小径部22と共振器
5の一端部を連結する連結ナット4と集束レンズ組立体
12用の調節ネジ23が位置する空間を提供する。そし
て、ハウジング3の外側面の下部に適正な大きさの溝が
設けられていて、ここに熱電冷却素子16が設置されて
いる。小径部32の一端には、第2高調波が出射する貫
通孔8が備えられたカバー10が結合されている。共振
器5は連結ナット4によってレーザマウント2の小径部
22に結合されるもので、入力ミラー13、利得媒体1
4及び偏光素子15を内蔵する第1部材51と、非線形
の単結晶素子18とこれを冷却する熱電冷却素子17を
内蔵し、その一側に出力ミラー19が固定されている非
線形の単結晶素子マウント7を具備する。また、共振器
5は、第1部材51と長手方向に接続されるもので、第
1部材51との接続端の反対側に第2高調波が出射する
貫通孔53が形成された底部54を具備した円筒形の第
2部材52を備える。第2部材52は、底部54の近く
に隣接位置したビームスプリッタ61とこれを固定する
ビームスプリッタマウント9とこの下部に位置する光検
出器60及びこれを固定する光検出器組立体62を収容
する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】以上のような構造の従
来の第2高調波発生装置は、共振器5の第2部材52内
に温度調整を必要としないビームスプリッタ61や光検
出器60等が設置されているので、精密な温度調整にお
いて能率を落とすことになる。また、共振器ハウジング
3の一側にのみ熱電冷却素子16が備えられているた
め、共振器ハウジングの他の部位を通した熱の流動を完
全に防ぐことはできない。また、レーザダイオードマウ
ント2と共振器5の第1部材51が熱的に接触してお
り、レーザダイオード11と共振器5との間の熱の流れ
を制御しにくい。
【0007】従って、本発明は熱が一定の経路を通して
流れるようにすることにより、熱の流れを精密に効率よ
く制御することができる第2高調波発生装置を提供する
ことを目的とする。
【0008】また、本発明は安定した第2高調波を出力
することができる第2高調波発生装置を提供することを
目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに本発明の第2高調波発生装置は、レーザダイオード
を内蔵するレーザダイオードマウントと、レーザダイオ
ードから出射された励起光から第2高調波を発生する共
振器と、共振器とレーザダイオードマウントを相互に連
結する連結手段と、共振器の温度を制御する熱電冷却装
置を具備した熱制御手段と、共振器を収容しレーザダイ
オードマウントに結合されるハウジングと、共振器から
放出された第2高調波の一部を反射するビームスプリッ
タと、ビームスプリッタから分離された光を検知する光
検出器とを備えた第2高調波発生装置であって、ハウジ
ングと共振器が熱電冷却装置を介して熱的に接続されて
いることを特徴とする。
【0010】また、連結手段は共振器とレーザダイオー
ドマウントを熱的に絶縁する熱的絶縁物質からなること
が望ましい。そして、連結手段は、レーザダイオードマ
ウントにその一側が螺合される連結ナットと、連結ナッ
トの他側を共振器に結合する間隙調整用ナットを具備
し、共振器は、連結ナットの他側が間隙調整用ナットに
よって固定される雄ネジ部を備えることがさらに望まし
い。ハウジングは第2高調波が出射される貫通孔を有す
る底部を具備し、底部には貫通孔を通過する第2高調波
の一部を反射するビームスプリッタと、ここから反射さ
れた光を検知する光検出器が設置されるようにすること
がさらに望ましく、熱電冷却素子は4つの側面を有する
共振器の対向される両面に設置され、そして熱電冷却素
子が設置されない共振器の残り側面に断熱体が設置され
るようにすることが望ましい。また、共振器は中空筒状
の熱伝導体の内部に設置され、熱電冷却素子は熱伝導体
によって共振器と熱的に接続されることが望ましく、熱
伝導体は連結手段と結合され、連結手段は断熱体よりな
り熱伝導体とレーザダイオードマウントを熱的に絶縁す
ることが望ましい。
【0011】
【発明の実施の形態】図1は本発明に係る第2高調波発
生装置の断面図である。図1を参照すれば、本発明の第
2高調波発生装置は、従来の構造と同様に外形的にレー
ザダイオードマウント200と共振器ハウジング300
に大別される。レーザダイオードマウント200と共振
器ハウジング300は、相互に長手方向に接触されたも
のであり、各内部に後述の光学部品が内蔵されている。
【0012】レーザダイオードマウント200は同軸上
の円筒状の大径部210と小径部220を具備してい
て、大径部210にはレーザダイオード110が内蔵さ
れ、小径部220には集束レンズ組立体120が内蔵さ
れている。レーザダイオード110の後方にはこれを冷
却させるための冷却板100が設置されている。集束レ
ンズ組立体120は状態の調整ができるようにその周囲
の調節ネジ230によって小径部220の内部の中央に
置かれている。
【0013】共振器ハウジング300は従来の構造とは
異なり、一側に貫通孔102が形成されたカバー101
が固定されている単純な筒状体である。カバー101の
内面には貫通孔102の軸に対して所定の角度で傾斜し
たビームスプリッタ610とこのビームスプリッタ61
0の反射面に隣接した光検出器620及びこれを固定す
るための固定部630を備えている。また、符号900
はビームスプリッターマウントである。
【0014】そして、共振器500は、集束レンズ組立
体120に対向する中空ネジ部510と、ビームスプリ
ッタ610の方に向かう中空ボディ520を備える。ネ
ジ部510の内部には入力ミラー130と利得媒体14
0が同軸上に位置し、中空ボディ520には、偏光素子
マウント600に対して所定の角度で傾斜するように配
置された偏光素子150と、非線形の単結晶素子マウン
ト700に装着された非線形の単結晶素子180及びこ
の下部の熱電冷却素子170が位置する。非線形の単結
晶マウント700は、出力ミラー190を備え、貫通孔
701が形成された底部702を有する筒状体として中
空520の内部に挿入固定される。
【0015】以上のような構造の共振器500は、その
中空ボディ520を取囲む中空筒状体の熱伝導体160
と、この熱伝導体160の一端に挟まれる連結ナット4
00によってレーザダイオードマウント200の小直径
部220に結合される。
【0016】一方、熱伝導体160には熱電冷却素子8
00が備えられていて、この熱電冷却素子800の冷却
面は熱伝導体160に接触し、加熱面はハウジング30
0の内面に接触する。
【0017】図2及び図3はハウジング300の内側に
設置される共振器500と、共振器500の上下に設置
される熱電冷却素子800及び共振器500の左右に設
置される断熱体810の関係を示す斜視図及び平面図で
ある。
【0018】図2と図3を参照すれば、前述したように
熱伝導体160の上下に熱電冷却素子800が位置して
その左右には断熱体810が備えられる。この断熱体8
10はU字状に形成されていて、熱電冷却素子800が
接触しない部位、即ち、熱伝導体160の左右を取り囲
む。共振器500のネジ部に結合される連結ナット40
0は、共振器500をレーザダイオードマウント200
に結合するためのものである。この連結ナット400の
一端部は、ネジ部510に挟まれた状態で間隙調整用ナ
ット410を共振器500に結合させ、その他端はレー
ザダイオードマウントの小径部220に螺結合される。
【0019】間隙調節用ナット410は、共振器500
と集束レンズ組立体120との間隔を調節するためのも
のとして、連結ナット400によってレーザダイオード
マウント200の小径部220の先端部に圧着される。
上述の構造において連結ナット400と間隙調節用ナッ
ト410は、熱的絶縁体の断熱体として作用する。
【0020】以上のような構造は、熱的に無関係な要素
であるビームスプリッタ610と光検出器620をハウ
ジング300のカバー101に設置することにより、熱
制御の経路上から排除して、不要な熱制御の負担を軽減
することができる。また、上記の構造では熱の流れの経
路も共振器の上下のみとなり、一方のみに熱電冷却素子
が位置していて他の方向への熱の流れが許容されていた
従来の構造に比べて、効率的な熱の流れの制御が可能と
なる。即ち、本発明では、共振器500とレーザダイオ
ードマウント200が間隙調節用ナット410及び連結
ナット400によって熱的に絶縁されていて、また、ハ
ウジング300と熱伝導体160の間には断熱体810
が備えられているので、共振器500の熱制御は熱電冷
却素子800よってのみ行われる。従って、熱電冷却素
子800は共振器500のみを熱的に制御するので、制
御すべき熱容量が減少して、制御に対する負担が少なく
なり、制御が迅速に行われる。
【0021】以上のような本発明に係る装置を実際に作
成して実験した結果、室温で24時間使用した場合に
は、±1%未満の偏差を示す安定した第2高調波の出力
を得ることができ、外部温度が10℃乃至35℃の範囲
では、±2%の偏差を示す安定した第2高調波の出力を
得ることができた。
【0022】
【発明の効果】以上、詳述したように本発明の第2高調
波発生装置によれば、熱電冷却素子は共振器のみを熱的
に制御するので、制御すべき熱容量が減少して、制御に
対する負担が少なくなり、熱制御を迅速に行うことがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る第2高調波発生装置を概略的に示
す断面図である。
【図2】本発明に係る第2高調波発生装置の共振器の一
部を示す斜視図である。
【図3】図2に示された本発明に係る第2高調波発生装
置の共振器を示す平面図である。
【図4】従来の第2高調波発生装置を概略的に示す断面
図である。
【符号の説明】
100…冷却板 101…カバー 102…貫通孔 110…レーザダイオード 120…集束レンズ組立体 150…偏光素子 160…熱伝導体 170…熱電冷却素子 180…単結晶素子 200…レーザダイオードマウント 230…調節ネジ 300…共振器ハウジング 400…連結ナット 410…間隙調整用ナット 500…共振器 600…偏光素子マウント 610…ビームスプリッタ 620…光検出器 800…熱電冷却素子 810…断熱体

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザダイオードを内蔵するレーザダイ
    オードマウントと、前記レーザダイオードから出射され
    た励起光から第2高調波を発生する共振器と、前記共振
    器と前記レーザダイオードマウントを相互に連結する連
    結手段と、前記共振器の温度を制御する熱電冷却装置を
    具備した熱制御手段と、前記共振器を収容し前記レーザ
    ダイオードマウントに結合されるハウジングと、前記共
    振器から放出された第2高調波の一部を反射するビーム
    スプリッタと、前記ビームスプリッタから分離された光
    を検知する光検出器とを備える第2高調波発生装置であ
    って、 前記ハウジングと前記共振器が前記熱電冷却装置を介し
    て熱的に接続されていることを特徴とする第2高調波発
    生装置。
  2. 【請求項2】 前記連結手段は前記共振器と前記レーザ
    ダイオードマウントを熱的に絶縁する熱的絶縁物質より
    なることを特徴とする請求項1記載の第2高調波発生装
    置。
  3. 【請求項3】 前記連結手段は、前記レーザダイオード
    マウントにその一側が螺合される連結ナットと、前記連
    結ナットの他側を前記共振器に結合する間隔調整用ナッ
    トをさらに備え、前記共振器には前記連結ナットの他側
    が前記間隙調整用ナットによって固定される雄ネジ部が
    形成されていることを特徴とする請求項2記載の第2高
    調波発生装置。
  4. 【請求項4】 前記ハウジングは第2高調波が出射する
    貫通孔を有する底部を具備し、前記底部には前記貫通孔
    を通過する第2高調波の一部を反射するビームスプリッ
    タと該ビームスプリッタにより反射された光を検知する
    光検出器が設けられていることを特徴とする請求項1乃
    至請求項3のいずれかに記載の第2高調波発生装置。
  5. 【請求項5】 前記熱電冷却素子は前記共振器の対向す
    る両面に設けられることを特徴とする請求項4記載の第
    2高調波発生装置。
  6. 【請求項6】 前記熱電冷却素子が設けられていない前
    記共振の残りの側面に断熱体が設けられていることを特
    徴とする請求項5記載の第2高調波発生装置。
  7. 【請求項7】 前記熱電冷却素子は前記共振器の対向す
    る両面に設けられることを特徴とする請求項1乃至請求
    項3のいずれかに記載の第2高調波発生装置。
  8. 【請求項8】 前記熱電冷却素子が設けられていない前
    記共振器の残り側面に断熱体が設けられていることを特
    徴とする請求項7記載の第2高調波発生装置。
  9. 【請求項9】 前記共振器は中空筒状の熱伝導体の内部
    に設けられ、前記熱電冷却素子は前記熱伝導体によって
    前記共振器と熱的に接続されることを特徴とする請求項
    1記載の第2高調波発生装置。
  10. 【請求項10】 前記熱伝導体は前記連結手段と結合さ
    れ、前記連結手段は断熱体の材料よりなり、前記熱伝導
    体と前記レーザダイオードマウントを熱的に絶縁させる
    ことを特徴とする請求項9記載の第2高調波発生装置。
  11. 【請求項11】 前記連結手段は、前記レーザダイオー
    ドマウントにその一側が螺合される連結ナットと、前記
    連結ナットの他側を前記共振器に結合する間隔調整用ナ
    ットをさらに備え、前記共振器は前記連結ナットの他側
    が前記間隙調整用ナットによって固定される雄ネジ部を
    備えていることを特徴とする請求項10記載の第2高調
    波発生装置。
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