JP2012038789A - 半導体レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体レーザの光出力を安定化させるため出力光をモニタリングしているが、出力光を直接ビームスプリッタで分岐させ検出したり、出力光の一部の光路を変更し光学フィルタを通して検出したりしている。ここでの、部品点数が増えて小型化の妨げになったり、光軸を合わせるのが難しいと言う問題を解決する。
【解決手段】基本波を出射する半導体レーザ素子1と、基本波の入射を受け、基本波の波長を変換した波長変換光を出射する変換素子2と、波長変換光の所望の波長領域である波長領域光を選択的に透過させるフィルタ4と、フィルタを透過した前記波長領域光の入射を受け、波長領域光の一部を正反射し波長領域光の残部を実質的に透過する透光部材6を有するとともに、半導体レーザ素子を封止する封止部材5と、透光部材から正反射した正反射光を受光する受光素子3と、を有した構成とする。
【選択図】図3
【解決手段】基本波を出射する半導体レーザ素子1と、基本波の入射を受け、基本波の波長を変換した波長変換光を出射する変換素子2と、波長変換光の所望の波長領域である波長領域光を選択的に透過させるフィルタ4と、フィルタを透過した前記波長領域光の入射を受け、波長領域光の一部を正反射し波長領域光の残部を実質的に透過する透光部材6を有するとともに、半導体レーザ素子を封止する封止部材5と、透光部材から正反射した正反射光を受光する受光素子3と、を有した構成とする。
【選択図】図3
Description
本発明は、半導体レーザの発光する光の波長を変換する半導体レーザ装置に関し、特に、光記録装置、計測器、事務機器等に使用される半導体レーザ装置に関するものである。
近年、半導体レーザは、小型、高効率、高い指向性等の特徴を生かし、光記録装置、計測器、プリンタ、医療機器、事務機器等、幅広い分野で応用されている。特に、小型化や高い指向性が必要とされるレーザポインタへの適用が従来から良く知られている。特許文献1では、従来から一般に利用されている赤色よりも比視感度が高い波長領域のレーザ光を用いたレーザポインタが提案されている。図6に示すように、レーザポインタ800は、半導体レーザ801が発振した光により励起される固体レーザ媒質803と、固体レーザ媒質803の励起によって発生した光を波長変換する非線形光学素子804とで光共振器807を形成して、赤色よりも波長の短いレーザ光を取り出している。
しかしながら、半導体レーザ801と固体レーザ媒質803と非線形光学素子804とによる波長変換方式では、その発光効率が温度に大きく依存するため、自己発熱や外部環境の影響により、レーザ出力の安定がされないと言う課題があった。そのため、特許文献1では、図6に示すように、光共振器807から出力された出力光の一部をビームスプリッタ806で反射して検出器810に入射させ、検出器810の出力に基づいて光出力を安定化させるフィードバック機構を有するAPC(Auto Power Control)回路811を備え、光の出力を安定化する事ができるとしている。
従来のAPC機能の出力光のモニタリングでは、端面発光の半導体レーザの場合は後方への漏れ出射光をモニタリング光にしていて(例えば特開2008−275505号公報)、後方への漏れ出射光のない面発光の半導体レーザの場合はレーザ出射口にあるカバーガラスに反射して戻ってきた乱反射光をモニタリングしたりしている(例えば特開2007−185850号公報)。しかし、半導体レーザを基本波として変換素子を用いて波長変換している場合は、変換素子による発光効率の温度依存性が一様でないので、半導体レーザの出射光をモニタリングしていては正確な出力光の制御が出来ないと言う課題があった。そのため、特許文献1では、変換素子で変換された変換光をモニタリングする様にしている。
また、従来技術として、特許文献4では、ビームスプリッタを用いない方法が提案されている。図7に示すように、レーザ発光モジュール900は、レーザダイオード904が発振した光により励起される固体レーザ媒質905と、固体レーザ媒質905の励起によって発生した光を波長変換する非線形光学素子906とで光共振器956を形成して、赤色よりも波長の短いレーザ光を取り出している。
APC機能のための出力光のモニタリングは、光共振器956から出力された出力光の一部をレーザ出射口にある光学フィルタ907に反射させ、その正反射した正反射光をさらにウィンドウキャップ953に保持された反射鏡909で反射させ、光学フィルタ908を通しヘッダー901に搭載されたフォトダイオード911に入射させる事により行っている。この事により、光共振器956から出射した光は、光学フィルタ907および光学フィルタ908により、レーザダイオード904の基本波及び固体レーザ媒質905で励起された励起波をカットしているので、フォトダイオード911に到達する光は所望の変換波のみとなる。そのため、APC機能により、レーザダイオード904を正確に制御することができ、窓部903から出射する所望の変換波を効率よく発光させ、変換波の出力を安定させる事ができるとしている。
従来から知られている特許文献1の技術では、光共振器807から出力された出力光を直接ビームスプリッタ806で分岐させ検出器810に入射させているので、入射された出力光には、所望の変換波以外に半導体レーザ801の基本波と固体レーザ媒質803で励起された励起波が混在している。そのため、その混在波が検出器810のノイズとなり、APC機能に誤信号を送付する等の悪影響を与えると言う課題があった。また、光共振器807とビームスプリッタ806の間に混在波をカットするフィルタを入れる方法もとれるが、部品点数が増えてコストアップになるばかりでなく、小型化の妨げになると言う課題もあった。
また、従来から知られている特許文献4の技術では、光共振器956から出力された出力光の一部の光路を変更して、光学フィルタ907および光学フィルタ908を通しながら、所望の変換波のみをフォトダイオード911に入射させている。しかしながら、出力光の一部の光路を変更するために、ウィンドウキャップ953の形状を複雑にしているので、ウィンドウキャップ953とヒートシンクのフランジ状部分952の接合の際に、光軸を合わせるため、前後方向の位置合わせに加え回転方向の位置合わせをしなければいけないと言う課題があった。また、完全に混在波をカットするために追加の光学フィルタ908を用い、後方に反射させるために反射鏡909を用いており、部品点数が増えてコストアップになると言う課題もあった。
本発明は、上述した課題を解決するもので、APC機能の出力光のモニタリングのために、部品点数を増やすことなく、小型のしかも光軸を合わせやすい構造の半導体レーザ装置を提供することを目的とする。
この課題を解決するために、本発明の半導体レーザ装置は、基本波を出射する半導体レーザ素子と、前記基本波の入射を受け、前記基本波の波長を変換した波長変換光を出射する変換素子と、前記波長変換光の所望の波長領域である波長領域光を選択的に透過させるフィルタと、前記フィルタを透過した前記波長領域光の入射を受け、前記波長領域光の一部を正反射し前記波長領域光の残部を実質的に透過する透光部材を有するとともに、前記半導体レーザ素子を封止する封止部材と、前記透光部材から正反射した正反射光を受光する受光素子と、を有していることを特徴としている。
これによれば、本発明の半導体レーザ装置は、フィルタを透過した波長領域光の一部が透光部材に正反射し、その正反射光を受光素子で受光しているので、APC機能への出力光のモニタリングのために、ビームスプリッタのような部品を新たに追加する必要がない。また、封止部材の一部である透光部材とフィルタを利用して出力光のモニタリングをしているので、反射ミラーを幾つか組み合わせて出力光をモニタリングする場合と比較して、複雑な形状にする必要がなく、小型化もはかれ、さらに、受光素子へ入射させる正反射光の光軸も合わせやすい。また、フィルタを透過した所望の波長領域光をモニタリングしているので、基本波や波長変換光の中で所望しない波長等が混在していなく、モニタリング精度を向上させることができる。
本発明の半導体レーザ装置は、前記半導体レーザ素子から出射された前記基本波の一部は、前記変換素子で前記波長変換光に変換され、前記波長変換光は、前記フィルタを透過後前記透光部材に至り、前記透光部材は、前記フィルタを透過した前記波長領域光の一部を正反射し第一の反射光とするとともに、前記波長領域光の残部を実質的に透過し、前記フィルタは、前記第一の反射光を正反射し第二の反射光とするとともに、前記受光素子は前記第二の反射光を受光していることを特徴としている。
これによれば、フィルタを透過した波長領域光の一部が透光部材に正反射した第一の反射光をフィルタで正反射し、その第二の反射光を受光素子で受光しモニタリングしているので、乱反射光をモニタリングする場合と比較して、充分な光量が得られ、モニタリング精度を向上させることができる。
本発明の半導体レーザ装置は、前記フィルタが、前記波長領域光が出射する出射側面の法線方向と、前記波長領域光の光軸方向とが平行とならないように配置されることを特徴としている。
これによれば、フィルタを波長領域光の光軸に対して傾斜して配置しているので、第一の反射光を正反射した第二の反射光を受光する受光素子をフィルタの近傍に配置することができる。この事により、小型化がはかれ、受光素子の配線の取り出しも容易になる。
本発明の半導体レーザ装置は、前記透光部材が、前記波長領域光が前記透光部材に入射する入射側面の法線方向と、前記波長領域光の光軸とが平行となるように配置されることを特徴としている。
これによれば、透光部材を波長領域光の光軸に対して垂直に配置しているので、透光部材を複雑な形状にする必要がない上、封止部材も複雑な形状にする必要がなく、第一の反射光をフィルタに確実に戻すことができる。この事により、小型化もはかれ、さらに、受光素子へ入射させる正反射光の光軸も合わせやすい。
本発明の半導体レーザ装置は、前前記変換素子が、前記基本波の入射をうけて所望の波長を出射する固体レーザと、前記固体レーザの出射光の入射をうけて高調波を発生する非線形光学素子と、を有することを特徴としている。
これによれば、基本波の変換素子に固体レーザと非線形光学素子を用いているので、所望の波長領域光の高い出力が得られるため、第一の反射光及び第二の反射光の光量が多くなる。この事により、受光素子への充分な光量が得られ、モニタリング精度を向上させることができる。
本発明の半導体レーザ装置は、前記フィルタが、前記フィルタの前記変換素子側面に、前記波長変換光の反射を防止するための反射防止層を有していることを特徴としている。
これによれば、フィルタの変換素子側面に波長変換光の反射防止層を設けているので、変換素子からの波長変換光がフィルタの変換素子側面で反射することなくフィルタに入射するため、フィルタを透過した波長領域光の光量が増加する。この事により、第一の反射光及び第二の反射光の光量が多くなり、受光素子への充分な光量が得られ、モニタリング精度を向上させることができる。
本発明の半導体レーザ装置は、前記封止部材が、前記半導体レーザと前記変換素子と前記フィルタと前記受光素子とが載せられた基材と、前記基材及び前記透光部材と接合し前記半導体レーザを封止するケースとを有しており、前記基材は、前記フィルタの前記出射側面の法線方向と、前記波長領域光の光軸とが平行にならないように配置する傾斜部を有していることを特徴としている。
これによれば、基材に傾斜部を設けることで、フィルタを傾斜させるとともに固定できるので、フィルタの位置決めと傾斜角度の設定とを容易にかつ精度良く行うことができる。また、フィルタの傾斜角度と透光部材との位置関係が、封止を行う際の基材と封止部材との接合の精度で決まるので、波長領域光に対する透光部材の回転角度の精度は必要なく、フィルタと透光部材との距離の精度も確保でき、波長領域光に対する透光部材の法線方向の角度精度のみが必要になる。この事により、受光素子へ入射させる正反射光の光軸合わせを、基材と封止部材との接合時に容易に行うことができ、受光素子への充分な光量が得られ、モニタリング精度を向上させることができる。
これによれば、本発明の半導体レーザ装置は、フィルタを透過した波長領域光の一部が透光部材に正反射し、その正反射光を受光素子で受光しているので、APC機能への出力光のモニタリングのために、ビームスプリッタのような部品を新たに追加する必要がない。また、封止部材の一部である透光部材とフィルタを利用して出力光のモニタリングをしているので、反射ミラーを幾つか組み合わせて出力光をモニタリングする場合と比較して、複雑な形状にする必要がなく、小型化もはかれ、さらに、受光素子へ入射させる正反射光の光軸も合わせやすい。また、フィルタを透過した所望の波長領域光をモニタリングしているので、基本波や波長変換光の中で所望しない波長等が混在していなく、モニタリング精度を向上させることができる。したがって、本発明の半導体レーザ装置は、APC機能の出力光のモニタリングのために、部品点数を増やすことなく、小型のしかも光軸が合わせやすい構造の半導体レーザ装置を提供できる。
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
[第1実施形態]
図1は、本発明の第1実施形態の半導体レーザ装置19の構成を説明するための斜視図である。図1では、説明を容易にするため、封止部材5を構成しているケース8の一部を省略している。図2は、本発明の第1実施形態の半導体レーザ装置19の変換素子2とフィルタ4と受光素子3の部分を拡大した斜視図である。図2も同様に、説明を容易にするため、透光部材6及びケース8を省略している。図3は、本発明の第1実施形態の半導体レーザ装置19における光の経路を説明する模式図である。図3も同様に、説明を容易にするため、基材7の一部を省略している。
図1は、本発明の第1実施形態の半導体レーザ装置19の構成を説明するための斜視図である。図1では、説明を容易にするため、封止部材5を構成しているケース8の一部を省略している。図2は、本発明の第1実施形態の半導体レーザ装置19の変換素子2とフィルタ4と受光素子3の部分を拡大した斜視図である。図2も同様に、説明を容易にするため、透光部材6及びケース8を省略している。図3は、本発明の第1実施形態の半導体レーザ装置19における光の経路を説明する模式図である。図3も同様に、説明を容易にするため、基材7の一部を省略している。
図1ないし図3に示す様に、半導体レーザ装置19は、基本波Fを出射する半導体レーザ素子1と、基本波Fの入射を受け基本波Fの波長を変換し波長変換光WLCを出射する変換素子2と、波長変換光WLCの所望の波長領域である波長領域光WLZを選択的に透過させるフィルタ4と、フィルタ4を透過した波長領域光WLZの入射を受け波長領域光WLZの一部を正反射し波長領域光WLZの残部を実質的に透過させる透光部材6と、透光部材6から正反射した正反射光Rを受光する受光素子3と、を備え、透光部材6と封止部材5とによって、半導体レーザ素子1と変換素子2とフィルタ4と受光素子3とを封止するよう構成されている。
まず、本発明の第1実施形態の半導体レーザ装置19における光の経路を説明する。図3に示す様に、半導体レーザ装置19は、先ず、半導体レーザ素子1から出射された基本波Fが固体レーザ2Sに入射され、その入射を受けた固体レーザ2Sが励起される。次に、この励起によって発生した基本波変換光は非線形光学素子2Hによって、第2高調波のレーザ光に変換され、第2高調波のレーザ光が変換素子2から出射されている。次に、変換素子2から出射された波長変換光WLCは、所望の波長領域光WLZである第2高調波のレーザ光以外に、基本波Fや基本波変換光や高次の高調波を含んでいるので、フィルタ4によって、所望の波長領域光WLZである第2高調波のみが透過されている。そして、フィルタ4を透過した波長領域光WLZは、透光部材6を通過して半導体レーザ装置19外に出射されている。また、フィルタ4を透過した波長領域光WLZの一部は、透光部材6によって正反射され、透光部材6から正反射した正反射光Rである第一の反射光R1となっていて、更に、第一の反射光R1は、フィルタ4によって正反射され、正反射光Rである第二の反射光R2となっている。そして、第二の反射光R2を受光できる位置に受光素子3が配置されている。なお、図中の基本波F、波長変換光WLC、波長領域光WLZ、第一の反射光R1及び第二の反射光R2については、光の経路を示したもので、光の全てを表したものではない。本発明の他の実施形態に係る図も同様である。
半導体レーザ素子1は、基本波Fとして、青色、例えば445nmの波長等や、赤色、例えば670nmの波長等の可視光の場合や、赤外の波長、例えば808nmの波長や、1064nm波長等の光を出射する素子が好適に用いられる。また、その半導体レーザ素子1には、図3に示すように、Al2O3/Si、SiO2/Ta2O5等の絶縁材料の多層膜を用いた基本波Fの低反射コーティングが、基本波Fを透過させるため、固体レーザ2Sと対向する側の端面1aに施され、反対側の端面1bには、基本波Fを反射させるため、同様にAl2O3/Si、SiO2/Ta2O5等の多層膜を用いた基本波Fの高反射コーティングが施されている。基本波Fを高反射させるか低反射させるかは、コーティング膜の組み合わせ、膜厚、層数等の設計によって変えられる。
変換素子2は、図3に示すように、固体レーザ2Sと非線形光学素子2Hとからなり、基材7A上に配置されている。図1及び図2では、変換素子2は、変換素子2の冷却機能を備えたホルダHDによって覆われるように固定されているので、変換素子2の一部のみ示されている。固体レーザ2Sは、基本波Fの入射を受けて励起され、この励起によって発生した1064nmの波長や946nmの波長などの基本波変換光を出射している。例えば、固体レーザ2SにNd:YAG結晶等を用いた場合、固体レーザ2Sは、808nmの基本波Fの入射を受けて、1064nmの基本波変換光を出射している。
非線形光学素子2Hは、固体レーザ2Sから出射された基本波変換光を、第2高調波のレーザ光に変換し、変換素子2から出射させている。非線形光学素子2Hは、LiNbO3、LiTaO3、KNbO3、KTiOPO4(KTP)、LiB3O5(LBO)、BaB2O4(BBO)等を用いることができる。中でもLiNbO3、LiTaO3、KTiOPO4(KTP)は、分極反転構造を持たせることにより、非常に大きな非線形光学定数を得られるため、高い波長変換効率が得られる。例えば、808nmの基本波Fの入射を受けて、Nd:YAG結晶を用いた固体レーザ2Sが励起され、この励起によって発生した1064nmの基本波変換光が出射された場合、KTiOPO4(KTP)を用いた非線形光学素子2Hは、1064nmの基本波変換光を所望の波長領域光WLZである532nmの第2高調波に変換し、532nmの第2高調波を変換素子2から出射している。この緑色の532nmの波長の光は視認性が良いので、レーザポインタや画像表示装置の光源等に好適に用いられる。また、緑色の光は、半導体レーザ素子で発振させることが難しいので、非線形光学素子を用いたSHG(Second harmonic generation)を用いて作製する場合が多い。また、基本波Fの変換素子2に固体レーザ2Sと非線形光学素子2Hを用いると、所望の波長領域光WLZの高い出力を得ることができる。
また、その非線形光学素子2Hには、図3に示すように、フィルタ4と対向する側の端面2Haに、SiO2/TiO2、SiO2/Ta2O5等の多層膜のコーティングが施され、その多層膜のコーティングは、基本波F及び基本波変換光を高反射させ非線形光学素子2Hに戻していて、第2高調波を高透過させている。半導体レーザ素子1の端面1bと非線形光学素子2Hの端面2Ha間で、反射が繰り返され共振器構造が作られている。基本波Fを高反射させ、第2高調波を高透過させるのは、コーティング膜の組み合わせ、膜厚、層数等の設計によって変えられる。
フィルタ4は、図3に示すように、変換素子2の波長変換光WLCの出射側に配置され、図1ないし図3に示すように、基材7Aの傾斜面7kと基材7Aと一体に作られた傾斜部7sとに支えられ、傾斜して配置されている。図1ないし図3に示されたフィルタ4は、30°傾斜させている。フィルタ4は、傾斜して配置されているので、図3に示すように、波長領域光WLZが出射する出射側面4pの法線方向D1と、波長領域光WLZの光軸方向とが平行とならなく、透光部材6から正反射した第一の反射光R1を正反射し第二の反射光R2としている。また、フィルタ4の傾斜角度は、受光素子3を基材7A側に配置した場合、基材7Aの許容長さや受光素子3の実装のし易さ等を考慮して、10°〜80°好ましくは30°〜60°が好適である。これによれば、フィルタ4を波長領域光WLZの光軸に対して傾斜して配置しているので、第一の反射光R1を正反射した第二の反射光R2を受光する受光素子3をフィルタ4の近傍に配置することができる。
また、フィルタ4は、変換素子2から出射された、第2高調波や基本波Fや基本波変換光や高次の高調波を含んでいる波長変換光WLCの内、所望の波長領域光WLZである第2高調波のみを透過させている。例えば、所望の波長領域光WLZである532nmの第2高調波のみを透過し、808nmの基本波Fや1064nmの基本波変換光をカットするようなフィルタの場合、フィルタ4は、波長532nmの緑の波長範囲の光を中心に比較的狭い帯状の波長領域を透過させるバンドパスフィルタを用いる。所望の波長領域光WLZが他の波長の場合、その波長に合わせたフィルタをその都度選択するようになる。フィルタ4を透過した所望の波長領域光WLZの正反射光Rを受光素子3で受光しているので、基本波Fや基本波変換光や高次の高調波等が正反射光Rに混在していなく、APC機能への出力光のモニタリングを精度良く行うことができる。
また、フィルタ4として、光学ガラスの組成を調整した色ガラスフィルタを用いているが、誘電体を用いたタイプや多層膜をコーティングしたタイプ等、様々なタイプを用いることができる。
また、フィルタ4は、フィルタ4の変換素子側面4aに、SiO2/Ta2O5等の多層膜のコーティングが施された反射防止層を有している。この反射防止層は、波長変換光WLCの反射を0.2%以下に抑えているので、波長変換光WLCがフィルタ4の変換素子側面4aで反射することなくフィルタ4に入射されるため、フィルタ4を透過した波長領域光WLZの光量が増加する。
透光部材6は、図3に示すように、波長領域光WLZが透光部材6に入射する入射側面6pの法線方向D2と、波長領域光WLZの光軸とが平行となるように配置されていて、フィルタ4を透過した波長領域光WLZの1%から5%を正反射し第一の反射光R1とするとともに、波長領域光WLZの95%から99%を透過している。また、法線方向D2と波長領域光WLZの光軸とが平行となっているので、透光部材6を複雑な形状にする必要がない上、封止部材5も複雑な形状にする必要がなく、第一の反射光R1をフィルタ4に確実に戻すことができる。
また、透光部材6は、半導体レーザ素子1と変換素子2とフィルタ4と受光素子3とを封止するため、K2O-PbO-SiO2系やBi2O3−B2O3系等の低融点ガラスにより、ケース8と接着している。また、透光部材6とケース8との接着の際には、受光素子3で受光される正反射光R(第一の反射光R1及び第二の反射光R2)の光軸を合わせるために、法線方向D2と波長領域光WLZの光軸とが平行となるように調整するが、予め位置決め部(図示しない)をケース8に設けて位置決めすると、精度良く光軸を合わせることができる。また、透光部材6は、硼珪酸系のガラスを用いているが、特に硼珪酸系のガラスに限るものではない。
受光素子3は、図2及び図3に示すように、フィルタ4の出射側面4p側の基材7A上に配置され、第一の反射光R1の1%から5%を正反射した第二の反射光R2を受光できる位置に配置している。また、受光素子3は、フォトダイオード等を用いていて、受光した光量の情報を基材7に設けた配線(図示しない)と電極9を介して、APC機能(図示しない)に送信している。
また、フィルタ4を透過した波長領域光WLZの一部が透光部材6に正反射し、その第一の反射光R1をフィルタ4で正反射し、その第二の反射光R2を受光素子3で受光し、モニタリングしているので、特許文献1のビームスプリッタのような新たな部品を追加せずに、APC機能への出力光のモニタリングを行うことができる。
封止部材5は、図1及び図3に示すように、基材7とケース8とを有している。基材7は、鉄や鉄合金、黄銅等の金属材料で作製されていて、変換素子2とフィルタ4と受光素子3とが載せられた基材7Aと、半導体レーザ素子1が載せられた基材7Bとから構成されている。基材7Aは、フィルタ4を30°傾斜して配置するために、30°傾斜した傾斜面7kと、60°傾斜した面を持つ傾斜部7sとが設けられ、傾斜部7sは、フィルタ4の片側を支持するよう基材7Aと一体に作られている。傾斜部7sは、基材7Aの先端の片側にのみ設けているが、波長領域光WLZや第一の反射光R1や第二の反射光R2の光路の妨げにならなければ、両側に設けても良いし、図1及び図3に示すような形状に限るものではない。また、フィルタ4は、基材7Aの傾斜面7kと基材7Aと一体に作られた傾斜部7sとに支えられて傾斜し配置しているので、フィルタ4の位置決めと傾斜角度の設定とを容易にかつ精度良く行うことができる。
基材7Bは、電力の供給や信号の送信、受信のための電極9と接合しているとともに、基材7Bのシール面7bとケース8のくびれ部8bとを抵抗溶接することによって、ケース8と接合している。基材7Bとケース8との接合は、製造の容易さや機密性の確保の点から抵抗溶接を好適に用いているが、接着材による接合等の他の方法を用いても良い。また、基材7は、基材7Aと基材7Bとで構成されているが、一体で構成されても良いし、更に構成部品が増えても構わない。
また、ケース8は、図1及び図3に示すように、透光部材6を透過した波長領域光WLZが半導体レーザ装置19外に出射できるように開口部8cを有している。ケース8は、基材7と同様に、鉄や鉄合金、黄銅等の金属材料で作製されている。封止部材5の一部である透光部材6とフィルタ4を利用して出力光のモニタリングをしているので、特許文献4の反射ミラーを幾つか組み合わせて出力光をモニタリングする場合と比較して、ケース8を複雑な形状にする必要がなく、小型化もはかれ、さらに、受光素子3へ入射させる正反射光Rの光軸も合わせやすい。
また、APC機能への出力光のモニタリングを精度良く行うためには、受光素子3で受光されるモニタリング光の光量を多くすることが最も効果的で、そのためには、精度よくモニタリング光を受光させる機構が必要である。本発明の半導体レーザ装置19は、フィルタ4の位置決めと傾斜角度の設定は基材7Aで精度良く決められ、フィルタ4と透光部材6との位置関係は、封止を行う際の基材7と封止部材5との接合の精度で決められている。そのため、波長領域光WLZに対する透光部材6の回転角度の精度は必要なく、フィルタ4と透光部材6との距離の精度も確保でき、波長領域光WLZに対する透光部材6の法線方向の角度精度のみが必要となっている。この事は、特許文献4のように光軸を合わせるため、前後方向の位置合わせに加え回転方向の位置合わせをしなければいけないと言う課題を解決している。
以上により、本発明の半導体レーザ装置19は、フィルタ4を透過した波長領域光WLZの一部が透光部材6に正反射し、その第一の反射光R1をフィルタ4で正反射し、その第二の反射光R2を受光素子3で受光しているので、APC機能への出力光のモニタリングのために、ビームスプリッタのような部品を新たに追加する必要がない。また、封止部材5の一部である透光部材6とフィルタ4を利用して出力光のモニタリングをしているので、反射ミラーを幾つか組み合わせて出力光をモニタリングする場合と比較して、複雑な形状にする必要がなく、小型化もはかれ、さらに、受光素子3へ入射させる正反射光R(第一の反射光R1及び第二の反射光R2)の光軸も合わせやすい。また、フィルタ4を透過した所望の波長領域光WLZをモニタリングしているので、基本波Fや基本波変換光や高次の高調波等が混在していなく、モニタリング精度を向上させることができる。また、乱反射光をモニタリングする場合と比較して、充分な光量が得られ、モニタリング精度を向上させることができる。
また、フィルタ4を波長領域光WLZの光軸に対して傾斜して配置しているので、第一の反射光R1を正反射した第二の反射光R2を受光する受光素子3をフィルタ4の近傍に配置することができる。この事により、小型化がはかれ、受光素子3の配線の取り出しも容易になる。
また、透光部材6を波長領域光WLZの光軸に対して垂直に配置しているので、透光部材6を複雑な形状にする必要がない上、封止部材5も複雑な形状にする必要がなくなる。この事により、小型化もはかれ、さらに、受光素子3へ入射させる正反射光Rの光軸も合わせやすい。
また、基本波Fの変換素子2に固体レーザ2Sと非線形光学素子2Hを用いているので、所望の波長領域光WLZの高い出力が得られるため、第一の反射光R1及び第二の反射光R2の光量が多くなる。この事により、受光素子3への充分な光量が得られ、モニタリング精度を向上させることができる。
また、フィルタ4の変換素子側面4aに波長変換光WLCの反射防止層を設けているので、変換素子2からの波長変換光WLCがフィルタ4の変換素子側面4aで反射することなくフィルタ4に入射するため、フィルタ4を透過した波長領域光WLZの光量が増加する。この事により、第一の反射光R1及び第二の反射光R2の光量が多くなり、受光素子3への充分な光量が得られ、モニタリング精度を向上させることができる。
また、基材7に傾斜面7k及び傾斜部7sを設けることで、フィルタ4を傾斜させるとともに固定できるので、フィルタ4の位置決めを容易にかつ精度良く行うことができる。また、フィルタ4の傾斜角度と透光部材6との位置関係が、封止を行う際の基材7と封止部材5との接合の精度で決まるので、波長領域光WLZに対する透光部材6の回転角度の精度は必要なく、フィルタ4と透光部材6との距離の精度も確保でき、波長領域光WLZに対する透光部材6の法線方向D2の角度精度のみが必要になる。この事により、受光素子3へ入射させる正反射光Rの光軸合わせを、基材7と封止部材5との接合時に容易に行うことができ、受光素子3への充分な光量が得られ、モニタリング精度を向上させることができる。
したがって、本発明の半導体レーザ装置19は、APC機能の出力光のモニタリングのために、部品点数を増やすことなく、小型のしかも光軸が合わせやすい構造の半導体レーザ装置を提供できる。
[第2実施形態]
図4は、本発明の第2実施形態の半導体レーザ装置29の構成を説明する模式図である。本発明の第2実施形態の半導体レーザ装置29は、第1実施形態の半導体レーザ装置19に対し、透光部材26と基材27とフィルタ24とが異なっている。また、説明を容易にするため、基材27Aに設けられたフィルタ24の固定部分は省略している。なお、第1実施形態と同じ部材は同じ符号を付しており、説明を省略する。
図4は、本発明の第2実施形態の半導体レーザ装置29の構成を説明する模式図である。本発明の第2実施形態の半導体レーザ装置29は、第1実施形態の半導体レーザ装置19に対し、透光部材26と基材27とフィルタ24とが異なっている。また、説明を容易にするため、基材27Aに設けられたフィルタ24の固定部分は省略している。なお、第1実施形態と同じ部材は同じ符号を付しており、説明を省略する。
図4に示す様に、半導体レーザ装置29は、先ず、半導体レーザ素子1から出射された基本波Fが固体レーザ2Sに入射され、その入射を受けた固体レーザ2Sが励起される。次に、この励起によって発生した基本波変換光は非線形光学素子2Hによって、第2高調波のレーザ光に変換され、第2高調波のレーザ光が変換素子2から出射されている。基本波Fとして用いる波長によっては、例えば1064nmの波長の半導体レーザ素子の場合、非線形光学素子2Hは、固体レーザ2Sを用いなく、1064nmの基本波Fを所望の波長領域光WLZである532nmの第2高調波に直接変換することができる。
次に、変換素子2から出射された波長変換光WLCは、所望の波長領域光WLZである第2高調波のレーザ光以外に、基本波Fや基本波変換光や高次の高調波を含んでいるので、フィルタ24によって、所望の波長領域光WLZである第2高調波のみが透過されている。そして、フィルタ24を透過した波長領域光WLZは、透光部材26を通過して半導体レーザ装置29外に出射されている。また、フィルタ24を透過した波長領域光WLZの一部は、透光部材26の傾斜面26sによって正反射され、その正反射光Rを受光できる位置に受光素子3が配置されている。
半導体レーザ装置29は、波長領域光WLZの一部を傾斜面26sで正反射し、その正反射した正反射光Rを受光素子3で直接受光しているので、第1実施形態の半導体レーザ装置19と比較して、透光部材26の形状を工夫して設計すれは、APC機能の出力光のモニタリングのために受光するモニタリングの光量をより多くできる。
以上により、本発明の半導体レーザ装置29は、フィルタ24を透過した波長領域光WLZの一部が透光部材26の傾斜面26sに正反射し、その正反射光Rを受光素子3で受光しているので、APC機能への出力光のモニタリングのために、ビームスプリッタのような部品を新たに追加する必要がない。また、封止部材25の一部である透光部材26を利用して出力光のモニタリングをしているので、反射ミラーを幾つか組み合わせて出力光をモニタリングする場合と比較して、複雑な形状にする必要がなく、小型化もはかれ、さらに、受光素子3へ入射させる正反射光Rの光軸も合わせやすい。また、フィルタ24を透過した所望の波長領域光WLZをモニタリングしているので、基本波Fや基本波変換光や高次の高調波等が混在していなく、モニタリング精度を向上させることができる。また、乱反射光をモニタリングする場合と比較して、充分な光量が得られ、モニタリング精度を向上させることができる。
[第3実施形態]
図5は、本発明の第3実施形態の半導体レーザ装置39の構成を説明する模式図である。本発明の第3実施形態の半導体レーザ装置39は、第1実施形態の半導体レーザ装置19に対し、フィルタ34の傾斜角度と基材37と透光部材36とが異なっている。また、説明を容易にするため、基材37Aに設けられたフィルタ34の固定部分は省略している。なお、第1実施形態と同じ部材は同じ符号を付しており、説明を省略する。
図5に示す様に、半導体レーザ装置39は、フィルタ34の傾斜角度を60°にしている。そのため、半導体レーザ装置39は、第1実施形態の半導体レーザ装置19と比較して、第一の反射光R1がフィルタ4で正反射して第二の反射光R2として正反射される角度が異なるので、より変換素子2側に受光素子3が配置される。この事により、受光素子3を配置するための基材37Aの先端部37aを短くすることができ、半導体レーザ装置39をより小型化にすることができる。
以上により、本発明の半導体レーザ装置39は、フィルタ34を透過した波長領域光WLZの一部が透光部材36に正反射し、その第一の反射光R1をフィルタ34で正反射し、その第二の反射光R2を受光素子3で受光しているので、APC機能への出力光のモニタリングのために、ビームスプリッタのような部品を新たに追加する必要がない。また、封止部材35の一部である透光部材36とフィルタ34を利用して出力光のモニタリングをしているので、反射ミラーを幾つか組み合わせて出力光をモニタリングする場合と比較して、複雑な形状にする必要がなく、小型化もはかれ、さらに、受光素子3へ入射させる正反射光R(第一の反射光R1及び第二の反射光R2)の光軸も合わせやすい。また、フィルタ34を透過した所望の波長領域光WLZをモニタリングしているので、基本波Fや基本波変換光や高次の高調波等が混在していなく、モニタリング精度を向上させることができる。また、乱反射光をモニタリングする場合と比較して、充分な光量が得られ、モニタリング精度を向上させることができる。
本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。
1 半導体レーザ素子
2 変換素子
2S 固体レーザ
2H 非線形光学素子
3 受光素子
4、24、34 フィルタ
4a 変換素子側面
4p 出射側面
5、25、35 封止部材
6、26、36 透光部材
6p 入射側面
7、7A、7B、27、27A、27B、37、37A、37B 基材
7s 傾斜部
8 ケース
19、29、39 半導体レーザ装置
D1 出射側面の法線方向
D2 入射側面の法線方向
R 正反射光
R1 第一の反射光
R2 第二の反射光
F 基本波
WLC 波長変換光
WLZ 波長領域光
2 変換素子
2S 固体レーザ
2H 非線形光学素子
3 受光素子
4、24、34 フィルタ
4a 変換素子側面
4p 出射側面
5、25、35 封止部材
6、26、36 透光部材
6p 入射側面
7、7A、7B、27、27A、27B、37、37A、37B 基材
7s 傾斜部
8 ケース
19、29、39 半導体レーザ装置
D1 出射側面の法線方向
D2 入射側面の法線方向
R 正反射光
R1 第一の反射光
R2 第二の反射光
F 基本波
WLC 波長変換光
WLZ 波長領域光
Claims (7)
- 基本波を出射する半導体レーザ素子と、
前記基本波の入射を受け、前記基本波の波長を変換した波長変換光を出射する変換素子と、
前記波長変換光の所望の波長領域である波長領域光を選択的に透過させるフィルタと、
前記フィルタを透過した前記波長領域光の入射を受け、前記波長領域光の一部を正反射し前記波長領域光の残部を実質的に透過させる透光部材を有するとともに、前記半導体レーザ素子を封止する封止部材と、
前記透光部材から正反射した正反射光を受光する受光素子と、を有していることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 前記半導体レーザ素子から出射された前記基本波の一部は、前記変換素子で前記波長変換光に変換され、前記波長変換光は、前記フィルタを透過後前記透光部材に至り、前記透光部材は、前記フィルタを透過した前記波長領域光の一部を正反射し第一の反射光とするとともに、前記波長領域光の残部を実質的に透過し、前記フィルタは、前記第一の反射光を正反射し第二の反射光とするとともに、前記受光素子は前記第二の反射光を受光していることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ装置。
- 前記フィルタは、前記波長領域光が出射する出射側面の法線方向と、前記波長領域光の光軸方向とが平行とならないように配置されることを特徴とする請求項2に記載の半導体レーザ装置。
- 前記透光部材は、前記波長領域光が前記透光部材に入射する入射側面の法線方向と、前記波長領域光の光軸とが平行となるように配置されることを特徴とする請求項3に記載の半導体レーザ装置
- 前記変換素子は、前記基本波の入射をうけて所望の波長を出射する固体レーザと、前記固体レーザの出射光の入射をうけて高調波を発生する非線形光学素子と、を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ装置。
- 前記フィルタは、前記フィルタの前記変換素子側面に、前記波長変換光の反射を防止するための反射防止層を有していることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ装置。
- 前記封止部材は、前記半導体レーザと前記変換素子と前記フィルタと前記受光素子とが載せられた基材と、前記基材及び前記透光部材と接合し前記半導体レーザを封止するケースとを有しており、
前記基材は、前記フィルタの前記出射側面の法線方向と、前記波長領域光の光軸とが平行にならないように配置する傾斜部を有していることを特徴とする請求項4に記載の半導体レーザ装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018173407A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-08 | 株式会社ミツトヨ | 位置検出器を用いた線形変位センサー |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015050404A (ja) * | 2013-09-04 | 2015-03-16 | 日本電気株式会社 | レーザ光源 |
GB2537768B (en) * | 2014-02-18 | 2020-09-23 | Halliburton Energy Services Inc | Imaging systems for optical computing devices |
CN107561689B (zh) * | 2017-10-23 | 2020-02-07 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于音圈电机驱动的kdp晶体面形控制装置 |
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Family Cites Families (14)
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---|---|---|---|---|
US5436920A (en) * | 1993-05-18 | 1995-07-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laser device |
JP3123345B2 (ja) | 1994-05-31 | 2001-01-09 | 株式会社日立製作所 | イオン打込み装置 |
KR100322691B1 (ko) * | 1995-01-27 | 2002-05-13 | 윤종용 | 제2고조파발생장치 |
KR100269710B1 (ko) * | 1996-01-23 | 2000-10-16 | 윤종용 | 광출력장치 및 이를 채용한 광픽업장치 |
US6031856A (en) * | 1997-10-30 | 2000-02-29 | Motorola, Inc. | Method, article of manufacture, and optical package for eliminating tilt angle between a header and an optical emitter mounted thereon |
JP3741108B2 (ja) | 2003-03-18 | 2006-02-01 | ソニー株式会社 | レーザー発光モジュール |
JP2004334129A (ja) * | 2003-05-12 | 2004-11-25 | Sony Corp | レンズ、光照射装置及びレーザポインタ |
US7003006B2 (en) * | 2004-01-26 | 2006-02-21 | Li-Ning You | Green diode laser |
JP5080008B2 (ja) | 2006-01-12 | 2012-11-21 | 株式会社リコー | 光源装置、光走査装置及びこれを用いる画像形成装置 |
US7817176B2 (en) | 2005-12-26 | 2010-10-19 | Ricoh Company, Ltd. | Light source device, optical scanning device, and image forming apparatus |
US8052308B2 (en) * | 2007-04-18 | 2011-11-08 | Seiko Epson Corporation | Light source having wavelength converter and wavelength separating member for reflecting converted light |
JP4893456B2 (ja) | 2007-05-01 | 2012-03-07 | オムロン株式会社 | 位置寸法測定装置 |
KR20090040590A (ko) * | 2007-10-22 | 2009-04-27 | 삼성전기주식회사 | 레이저 모듈 패키지 및 이를 이용한 디스플레이 장치 |
KR100950277B1 (ko) * | 2008-01-28 | 2010-03-31 | 광주과학기술원 | 녹색광원 생성장치 및 이를 이용한 레이저 프로젝션디스플레이를 구비하는 휴대용 전자기기 |
-
2010
- 2010-08-04 JP JP2010174973A patent/JP2012038789A/ja not_active Withdrawn
-
2011
- 2011-08-04 US US13/198,443 patent/US8385377B2/en active Active
Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2018173407A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-08 | 株式会社ミツトヨ | 位置検出器を用いた線形変位センサー |
JP7093208B2 (ja) | 2017-03-30 | 2022-06-29 | 株式会社ミツトヨ | 位置検出器を用いた線形変位センサー |
Also Published As
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