JPH09293920A - 半導体レーザ励起固体レーザ装置および受光装置 - Google Patents
半導体レーザ励起固体レーザ装置および受光装置Info
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- JPH09293920A JPH09293920A JP8102953A JP10295396A JPH09293920A JP H09293920 A JPH09293920 A JP H09293920A JP 8102953 A JP8102953 A JP 8102953A JP 10295396 A JP10295396 A JP 10295396A JP H09293920 A JPH09293920 A JP H09293920A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 環境温度変化や波長変化に依存しないで発振
光または非線形光の出力を精度よくモニタできるモニタ
光学系を備えた半導体レーザ励起固体レーザ装置を提供
する。また、コヒーレント光の出力を精度よく検出する
ことができる受光装置を提供する。 【解決手段】 固体レーザ装置は、励起光を放射する半
導体レーザ素子１２と、発振光を発生するレーザ媒質１
３と、発振光を非線形光に変換する非線形光学素子１４
と、モニタ用の非線形光を取り出すビームスプリッタ１
５と、非線形光の波長以外を除去するフィルタ２０と、
モニタ用の非線形光を検出する受光素子１６などで構成
される。受光素子１６の樹脂モールドおよび受光チップ
１７の各光学界面は互いに非平行になるように配置さ
れ、多重反射による干渉を防止している。
光または非線形光の出力を精度よくモニタできるモニタ
光学系を備えた半導体レーザ励起固体レーザ装置を提供
する。また、コヒーレント光の出力を精度よく検出する
ことができる受光装置を提供する。 【解決手段】 固体レーザ装置は、励起光を放射する半
導体レーザ素子１２と、発振光を発生するレーザ媒質１
３と、発振光を非線形光に変換する非線形光学素子１４
と、モニタ用の非線形光を取り出すビームスプリッタ１
５と、非線形光の波長以外を除去するフィルタ２０と、
モニタ用の非線形光を検出する受光素子１６などで構成
される。受光素子１６の樹脂モールドおよび受光チップ
１７の各光学界面は互いに非平行になるように配置さ
れ、多重反射による干渉を防止している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ媒質や非線
形光学素子を共振器内に配置し、半導体レーザでレーザ
媒質を励起して発振光や非線形光を発生するための半導
体レーザ励起固体レーザ装置に関する。また本発明は、
光を受光して電気信号に変換するための受光装置に関す
る。
形光学素子を共振器内に配置し、半導体レーザでレーザ
媒質を励起して発振光や非線形光を発生するための半導
体レーザ励起固体レーザ装置に関する。また本発明は、
光を受光して電気信号に変換するための受光装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＧａＡｌＡｓ等から成る半導体レ
ーザを用いて、共振器内に配置されたＮｄ：ＹＡＧ結晶
などのレーザ媒質を励起してレーザ発振を行って発振光
を利用する固体レーザ装置が知られている。
ーザを用いて、共振器内に配置されたＮｄ：ＹＡＧ結晶
などのレーザ媒質を励起してレーザ発振を行って発振光
を利用する固体レーザ装置が知られている。
【０００３】また、より短波長のレーザ光を得るため
に、レーザ媒質および非線形光学結晶を同じ共振器内に
配置して、レーザ媒質による発振光を第２高調波などの
非線形光に変換する固体レーザ装置が種々提案されてい
る（特開平４−２８３９７７号、実開平４−９７３７５
号、特開平６−６９５６７号など）。たとえば、レーザ
媒質としてＹＡＧ結晶を使用し、非線形光学結晶として
燐酸チタニルカリウムＫＴｉＯＰＯ4 （略称ＫＴＰ）を
使用すると、ＹＡＧ結晶による波長１０６４ｎｍの発振
光を半分の５３２ｎｍのグリーン光に変換することが可
能である。
に、レーザ媒質および非線形光学結晶を同じ共振器内に
配置して、レーザ媒質による発振光を第２高調波などの
非線形光に変換する固体レーザ装置が種々提案されてい
る（特開平４−２８３９７７号、実開平４−９７３７５
号、特開平６−６９５６７号など）。たとえば、レーザ
媒質としてＹＡＧ結晶を使用し、非線形光学結晶として
燐酸チタニルカリウムＫＴｉＯＰＯ4 （略称ＫＴＰ）を
使用すると、ＹＡＧ結晶による波長１０６４ｎｍの発振
光を半分の５３２ｎｍのグリーン光に変換することが可
能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】こうした固体レーザ装
置は、ペルチェ素子等の温度調整素子とともに１つのパ
ッケージに収納されて、単一の光源として利用し易いよ
うに構成される。パッケージの内部には、発振光または
非線形光の一部を反射するための光分岐手段と、分岐さ
れた発振光または非線形光をモニタするためのフォトダ
イオードが設けられ、フォトダイオードからのモニタ出
力はＡＰＣ(Automatic Power Control）回路に送られ
る。
置は、ペルチェ素子等の温度調整素子とともに１つのパ
ッケージに収納されて、単一の光源として利用し易いよ
うに構成される。パッケージの内部には、発振光または
非線形光の一部を反射するための光分岐手段と、分岐さ
れた発振光または非線形光をモニタするためのフォトダ
イオードが設けられ、フォトダイオードからのモニタ出
力はＡＰＣ(Automatic Power Control）回路に送られ
る。
【０００５】ところが、分岐された発振光または非線形
光は、モニタ用光学系の複数の光学界面で干渉するの
で、受光光学系の熱膨張などに起因する光学界面間の距
離変化や発振光または非線形光の波長変化に依存してフ
ォトダイオードの受光量が変動してしまう。そのため、
モニタ出力と実際の出力が線形に対応せず、ＡＰＣ動作
が不安定になる。
光は、モニタ用光学系の複数の光学界面で干渉するの
で、受光光学系の熱膨張などに起因する光学界面間の距
離変化や発振光または非線形光の波長変化に依存してフ
ォトダイオードの受光量が変動してしまう。そのため、
モニタ出力と実際の出力が線形に対応せず、ＡＰＣ動作
が不安定になる。
【０００６】本発明の目的は、環境温度変化や波長変化
に依存しないで発振光または非線形光の出力を精度よく
モニタできるモニタ光学系を備えた半導体レーザ励起固
体レーザ装置を提供することである。
に依存しないで発振光または非線形光の出力を精度よく
モニタできるモニタ光学系を備えた半導体レーザ励起固
体レーザ装置を提供することである。
【０００７】また本発明の目的は、コヒーレント光の出
力を精度よく検出することができる受光装置を提供する
ことである。
力を精度よく検出することができる受光装置を提供する
ことである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、励起光を放射
する半導体レーザと、共振器内に設けられ、励起光によ
って励起されて発振光を発生するレーザ媒質と、レーザ
媒質から出力される発振光を部分的に取り出すための光
分岐手段と、光分岐手段で取り出された発振光を受光し
て電気信号に変換する受光素子と、受光素子の光入射側
に設けられた窓部材とを備え、窓部材および受光素子の
各光学界面は互いに非平行になるように配置されている
ことを特徴とする半導体レーザ励起固体レーザ装置であ
る。 本発明に従えば、窓部材および受光素子の各光学界面は
互いに非平行であることによって、光学界面の間で多重
反射が生じた場合、その反射光は反射する毎に該光軸か
ら外れていくため干渉が生じない。したがって、受光光
量の波長依存性や温度依存性が解消され、その結果、受
光素子に入射する発振光のモニタ出力の変動を解消で
き、発振光の出力を精度よくモニタできる。
する半導体レーザと、共振器内に設けられ、励起光によ
って励起されて発振光を発生するレーザ媒質と、レーザ
媒質から出力される発振光を部分的に取り出すための光
分岐手段と、光分岐手段で取り出された発振光を受光し
て電気信号に変換する受光素子と、受光素子の光入射側
に設けられた窓部材とを備え、窓部材および受光素子の
各光学界面は互いに非平行になるように配置されている
ことを特徴とする半導体レーザ励起固体レーザ装置であ
る。 本発明に従えば、窓部材および受光素子の各光学界面は
互いに非平行であることによって、光学界面の間で多重
反射が生じた場合、その反射光は反射する毎に該光軸か
ら外れていくため干渉が生じない。したがって、受光光
量の波長依存性や温度依存性が解消され、その結果、受
光素子に入射する発振光のモニタ出力の変動を解消で
き、発振光の出力を精度よくモニタできる。
【０００９】本発明は、励起光を放射する半導体レーザ
と、共振器内に設けられ、励起光によって励起されて発
振光を発生するレーザ媒質と、共振器内に設けられ、該
発振光を非線形光に変換する非線形光学素子と、非線形
光学素子から出力される非線形光を部分的に取り出すた
めの光分岐手段と、光分岐手段で取り出された非線形光
を受光して電気信号に変換する受光素子と、受光素子の
光入射側に設けられた窓部材とを備え、窓部材および受
光素子の各光学界面は互いに非平行になるように配置さ
れていることを特徴とする半導体レーザ励起固体レーザ
装置である。 本発明に従えば、窓部材および受光素子の各光学界面は
互いに非平行であることによって、光学界面の間で多重
反射が生じた場合、その反射光は反射する毎に該光軸か
ら外れていくため干渉が生じない。したがって、受光光
量の波長依存性や温度依存性が解消され、その結果、受
光素子に入射する非線形光のモニタ出力の変動を解消で
き、非線形光の出力を精度よくモニタできる。
と、共振器内に設けられ、励起光によって励起されて発
振光を発生するレーザ媒質と、共振器内に設けられ、該
発振光を非線形光に変換する非線形光学素子と、非線形
光学素子から出力される非線形光を部分的に取り出すた
めの光分岐手段と、光分岐手段で取り出された非線形光
を受光して電気信号に変換する受光素子と、受光素子の
光入射側に設けられた窓部材とを備え、窓部材および受
光素子の各光学界面は互いに非平行になるように配置さ
れていることを特徴とする半導体レーザ励起固体レーザ
装置である。 本発明に従えば、窓部材および受光素子の各光学界面は
互いに非平行であることによって、光学界面の間で多重
反射が生じた場合、その反射光は反射する毎に該光軸か
ら外れていくため干渉が生じない。したがって、受光光
量の波長依存性や温度依存性が解消され、その結果、受
光素子に入射する非線形光のモニタ出力の変動を解消で
き、非線形光の出力を精度よくモニタできる。
【００１０】また本発明は、コヒーレント光を受光して
電気信号に変換する受光素子と、受光素子の光入射側に
設けられた窓部材とを備え、窓部材および受光素子の各
光学界面は互いに非平行になるように配置されているこ
とを特徴とする受光装置である。 本発明に従えば、窓部材および受光素子の各光学界面は
互いに非平行であることによって、コヒーレント光が入
射して光学界面の間で多重反射が生じた場合、その反射
光は反射する毎に該光軸から外れていくため干渉が生じ
ない。したがって、受光光量の波長依存性や温度依存性
が解消され、その結果、受光素子に入射するコヒーレン
ト光の出力を精度よく検出することができる。
電気信号に変換する受光素子と、受光素子の光入射側に
設けられた窓部材とを備え、窓部材および受光素子の各
光学界面は互いに非平行になるように配置されているこ
とを特徴とする受光装置である。 本発明に従えば、窓部材および受光素子の各光学界面は
互いに非平行であることによって、コヒーレント光が入
射して光学界面の間で多重反射が生じた場合、その反射
光は反射する毎に該光軸から外れていくため干渉が生じ
ない。したがって、受光光量の波長依存性や温度依存性
が解消され、その結果、受光素子に入射するコヒーレン
ト光の出力を精度よく検出することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の一形態を示
す構成図である。なお、光軸方向をＹ軸、図１の紙面垂
直方向をＸ軸、Ｘ軸およびＹ軸に垂直な方向をＺ軸とし
ている。
す構成図である。なお、光軸方向をＹ軸、図１の紙面垂
直方向をＸ軸、Ｘ軸およびＹ軸に垂直な方向をＺ軸とし
ている。
【００１２】ハウジング１１の内部には、半導体レーザ
１２、レーザ媒質１３、非線形光学素子１４、ビームス
プリッタ１５、フィルタ２０、保持部材１９および受光
素子１６が適切な固定手段で配置されている。ハウジン
グ１１には、非線形光を外部に取り出すための窓部材１
８が取付けられている。
１２、レーザ媒質１３、非線形光学素子１４、ビームス
プリッタ１５、フィルタ２０、保持部材１９および受光
素子１６が適切な固定手段で配置されている。ハウジン
グ１１には、非線形光を外部に取り出すための窓部材１
８が取付けられている。
【００１３】レーザ媒質１３には、たとえばＮｄ：ＹＶ
Ｏ4 結晶、非線形光学素子１４にはたとえばＫＴＰ（Ｋ
ＴｉＯＰＯ4 ）結晶が使用され、半導体レーザ１２は、
波長８０９ｎｍの励起光を放射する。
Ｏ4 結晶、非線形光学素子１４にはたとえばＫＴＰ（Ｋ
ＴｉＯＰＯ4 ）結晶が使用され、半導体レーザ１２は、
波長８０９ｎｍの励起光を放射する。
【００１４】レーザ媒質１３の励起光入射側の表面１３
ａには、レーザ媒質１３の発振波長である波長１０６４
ｎｍに対して反射率が９９．９％以上であって、かつ励
起光の波長８０９ｎｍに対して透過率が９５％以上とな
るコーティングが施されている。レーザ媒質１３および
非線形光学素子１４の対向する各表面１３ｂ、１４ａに
は、波長１０６４ｎｍに対して透過率が９９．９％以上
となるコーティングが施されている。非線形光学素子１
４の出射側表面１４ｂには、波長５３２ｎｍに対して透
過率が９５％以上、かつ波長１０６４ｎｍに対して反射
率が９９．９％以上となるコーティングが施されてい
る。こうしてレーザ媒質１３の入射側表面１３ａと非線
形光学素子１４の出射側表面１４ｂとの間で光共振器が
形成される。
ａには、レーザ媒質１３の発振波長である波長１０６４
ｎｍに対して反射率が９９．９％以上であって、かつ励
起光の波長８０９ｎｍに対して透過率が９５％以上とな
るコーティングが施されている。レーザ媒質１３および
非線形光学素子１４の対向する各表面１３ｂ、１４ａに
は、波長１０６４ｎｍに対して透過率が９９．９％以上
となるコーティングが施されている。非線形光学素子１
４の出射側表面１４ｂには、波長５３２ｎｍに対して透
過率が９５％以上、かつ波長１０６４ｎｍに対して反射
率が９９．９％以上となるコーティングが施されてい
る。こうしてレーザ媒質１３の入射側表面１３ａと非線
形光学素子１４の出射側表面１４ｂとの間で光共振器が
形成される。
【００１５】半導体レーザ１２から波長８０９ｎｍの励
起光が出力され、レーザ媒質１３を励起すると、光共振
器内で波長１０６４ｎｍのレーザ発振が起こり、この発
振光は非線形光学素子１４によって波長変換され、第２
高調波である波長５３２ｎｍのコヒーレントのレーザ光
（非線形光）ＬＡが発生する。この非線形光ＬＡは光軸
に沿って進行し、途中ビームスプリッタ１５によって一
部が反射され、フィルタ２０を通って受光素子１６に入
射するとともに、ビームスプリッタ１５を通過した大部
分の非線形光は窓部材１８を通過してハウジング１１の
外部に取り出される。
起光が出力され、レーザ媒質１３を励起すると、光共振
器内で波長１０６４ｎｍのレーザ発振が起こり、この発
振光は非線形光学素子１４によって波長変換され、第２
高調波である波長５３２ｎｍのコヒーレントのレーザ光
（非線形光）ＬＡが発生する。この非線形光ＬＡは光軸
に沿って進行し、途中ビームスプリッタ１５によって一
部が反射され、フィルタ２０を通って受光素子１６に入
射するとともに、ビームスプリッタ１５を通過した大部
分の非線形光は窓部材１８を通過してハウジング１１の
外部に取り出される。
【００１６】ビームスプリッタ１５は、たとえば合成石
英から成る厚み０．２５ｍｍの平行平板であって、非線
形光学素子１４から出てくる非線形光ＬＡを光軸に対し
て約９０°の方向に部分反射するために、その表面１５
ａは光軸に対して約４５°傾斜するように配置されてい
る。また、表面１５ａには、非線形光ＬＡの波長５３２
ｎｍにおいて４％程度の反射率となるようなコーティン
グが施される。裏面１５ｂには、非線形光ＬＡの波長５
３２ｎｍにおいて無反射となるコーティングが施され
る。
英から成る厚み０．２５ｍｍの平行平板であって、非線
形光学素子１４から出てくる非線形光ＬＡを光軸に対し
て約９０°の方向に部分反射するために、その表面１５
ａは光軸に対して約４５°傾斜するように配置されてい
る。また、表面１５ａには、非線形光ＬＡの波長５３２
ｎｍにおいて４％程度の反射率となるようなコーティン
グが施される。裏面１５ｂには、非線形光ＬＡの波長５
３２ｎｍにおいて無反射となるコーティングが施され
る。
【００１７】次に、本発明に係る受光装置について説明
する。受光素子１６は、フォトダイオードなどの受光チ
ップ１７を透明な樹脂モールドで包囲したものであり、
受光チップ１７の受光側表面は光学的に平滑な面に形成
されている。また、樹脂モールド自体は受光素子１６の
ハウジングと窓部材とを兼ねており、樹脂モールドの光
入射側の表面１６ａは、受光チップ１７の受光側表面に
対して非平行であって、たとえば３°〜２０°の範囲で
傾斜するように形成されている。こうした形状は、受光
素子１６の樹脂モールド表面を斜めに研磨加工すること
によって容易に実現できる。
する。受光素子１６は、フォトダイオードなどの受光チ
ップ１７を透明な樹脂モールドで包囲したものであり、
受光チップ１７の受光側表面は光学的に平滑な面に形成
されている。また、樹脂モールド自体は受光素子１６の
ハウジングと窓部材とを兼ねており、樹脂モールドの光
入射側の表面１６ａは、受光チップ１７の受光側表面に
対して非平行であって、たとえば３°〜２０°の範囲で
傾斜するように形成されている。こうした形状は、受光
素子１６の樹脂モールド表面を斜めに研磨加工すること
によって容易に実現できる。
【００１８】受光素子１６を保持する保持部材１９は、
遮光性材料から成る板材で形成され、中央に光通過用の
円形状の孔が穿設されている。こうして保持部材１９は
受光素子１６の受光開口を制限するアパーチャとしても
機能し、迷光の入射を防止している。保持部材１９の孔
の前面には、励起光および発振光をカットするフィルタ
２０が取付けられる。
遮光性材料から成る板材で形成され、中央に光通過用の
円形状の孔が穿設されている。こうして保持部材１９は
受光素子１６の受光開口を制限するアパーチャとしても
機能し、迷光の入射を防止している。保持部材１９の孔
の前面には、励起光および発振光をカットするフィルタ
２０が取付けられる。
【００１９】フィルタ２０は、励起光および発振光の波
長領域を吸収し、かつ非線形光の波長領域を透過する特
性を有するガラスフィルタであって、厚みはたとえば約
０．８ｍｍであり、その両面は平滑な光学界面に形成さ
れている。また、フィルタ２０の両面は、非線形光の波
長５３２ｎｍに対して透過率が９９．５％以上となるコ
ーティングが施されている。
長領域を吸収し、かつ非線形光の波長領域を透過する特
性を有するガラスフィルタであって、厚みはたとえば約
０．８ｍｍであり、その両面は平滑な光学界面に形成さ
れている。また、フィルタ２０の両面は、非線形光の波
長５３２ｎｍに対して透過率が９９．５％以上となるコ
ーティングが施されている。
【００２０】ビームスプリッタ１５の表面１５ａで反射
した光ＬＢのビーム直径は約７５μｍであり、フィルタ
２０、保持部材の孔、受光素子１６の樹脂モールドを順
に通過して、受光チップ１７に到達して電気信号に変換
される。
した光ＬＢのビーム直径は約７５μｍであり、フィルタ
２０、保持部材の孔、受光素子１６の樹脂モールドを順
に通過して、受光チップ１７に到達して電気信号に変換
される。
【００２１】モニタ用の光ＬＢの大部分は受光チップ１
７に吸収されるが、その一部は受光チップ１７の表面で
反射してしまい、樹脂モールドの表面１６やフィルタ２
０の両面の各光学界面で多重反射を引き起こしたとして
も、これらの反射光は光ＬＢの光軸から外れてしまうた
め、光の干渉が発生しない。したがって、波長変動や熱
膨張の影響を受けることなく、モニタ出力と実際の出力
との線形性を確保できる。
７に吸収されるが、その一部は受光チップ１７の表面で
反射してしまい、樹脂モールドの表面１６やフィルタ２
０の両面の各光学界面で多重反射を引き起こしたとして
も、これらの反射光は光ＬＢの光軸から外れてしまうた
め、光の干渉が発生しない。したがって、波長変動や熱
膨張の影響を受けることなく、モニタ出力と実際の出力
との線形性を確保できる。
【００２２】こうした配置を採用した半導体レーザ励起
固体レーザ装置では、連続動作中に受光素子１６のモニ
タ出力を計測しながら環境温度を変化させても、モニタ
出力はほとんど変化せず、特に熱膨張に起因した相互干
渉に伴う周期的な変動はない。
固体レーザ装置では、連続動作中に受光素子１６のモニ
タ出力を計測しながら環境温度を変化させても、モニタ
出力はほとんど変化せず、特に熱膨張に起因した相互干
渉に伴う周期的な変動はない。
【００２３】一方、図２に示すように、フィルタ２０、
樹脂モールドの表面１６ａおよび受光チップ１７の受光
側表面の各法線方向を、ビームスプリッタ１５の表面１
５ａで反射した光ＬＢの光軸に対して平行となるように
配置した半導体レーザ励起固体レーザ装置についてモニ
タ出力は環境温度変化に対して周期的変動を示し、光Ｌ
Ｂの干渉によってモニタ出力と実際の出力との線形性が
損なわれる。
樹脂モールドの表面１６ａおよび受光チップ１７の受光
側表面の各法線方向を、ビームスプリッタ１５の表面１
５ａで反射した光ＬＢの光軸に対して平行となるように
配置した半導体レーザ励起固体レーザ装置についてモニ
タ出力は環境温度変化に対して周期的変動を示し、光Ｌ
Ｂの干渉によってモニタ出力と実際の出力との線形性が
損なわれる。
【００２４】なお、以上の説明において、受光素子１６
が窓部材として樹脂モールドを使用したタイプの例を示
したが、容器とガラス窓を有するパッケージタイプや受
光チップ１７だけのベアチップタイプでも本発明は適用
可能である。
が窓部材として樹脂モールドを使用したタイプの例を示
したが、容器とガラス窓を有するパッケージタイプや受
光チップ１７だけのベアチップタイプでも本発明は適用
可能である。
【００２５】また、以上の説明において、レーザ媒質１
３および非線形光学素子１４から成る短波長光源の例を
示したが、非線形光学素子１４を省いてレーザ媒質１３
だけを使用する基本波レーザ光源にも本発明は適用可能
である。
３および非線形光学素子１４から成る短波長光源の例を
示したが、非線形光学素子１４を省いてレーザ媒質１３
だけを使用する基本波レーザ光源にも本発明は適用可能
である。
【００２６】
【発明の効果】以上詳説したように本発明の固体レーザ
装置によれば、窓部材および受光素子の各光学界面は互
いに非平行であることによって、光学界面の間で多重反
射が生じた場合、その反射光は反射する毎に該光軸から
外れていくため干渉が生じない。したがって、受光素子
に入射する発振光または非線形光の出力変動を解消で
き、発振光または非線形光の出力を精度よく検出でき
る。
装置によれば、窓部材および受光素子の各光学界面は互
いに非平行であることによって、光学界面の間で多重反
射が生じた場合、その反射光は反射する毎に該光軸から
外れていくため干渉が生じない。したがって、受光素子
に入射する発振光または非線形光の出力変動を解消で
き、発振光または非線形光の出力を精度よく検出でき
る。
【００２７】また、本発明の受光装置によれば、窓部材
および受光素子の各光学界面は互いに非平行であること
によって、コヒーレント光が入射して光学界面の間で多
重反射が生じた場合、その反射光は反射する毎に該光軸
から外れていくため干渉が生じない。したがって、受光
素子に入射するコヒーレント光の出力を精度よく検出で
きる。
および受光素子の各光学界面は互いに非平行であること
によって、コヒーレント光が入射して光学界面の間で多
重反射が生じた場合、その反射光は反射する毎に該光軸
から外れていくため干渉が生じない。したがって、受光
素子に入射するコヒーレント光の出力を精度よく検出で
きる。
【図１】本発明の実施の一形態を示す構成図である。
【図２】比較例を示す構成図である。
１１ ハウジング １２ 半導体レーザ １３ レーザ媒質 １４ 非線形光学素子 １５ ビームスプリッタ １６ 受光素子 １７ 受光チップ １８ 窓部材 １９ 保持部材 ２０ フィルタ
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｓ 3/109 Ｈ０１Ｓ 3/094 Ｓ
Claims (3)
- 【請求項１】 励起光を放射する半導体レーザと、 共振器内に設けられ、励起光によって励起されて発振光
を発生するレーザ媒質と、 レーザ媒質から出力される発振光を部分的に取り出すた
めの光分岐手段と、 光分岐手段で取り出された発振光を受光して電気信号に
変換する受光素子と、 受光素子の光入射側に設けられた窓部材とを備え、 窓部材および受光素子の各光学界面は互いに非平行にな
るように配置されていることを特徴とする半導体レーザ
励起固体レーザ装置。 - 【請求項２】 励起光を放射する半導体レーザと、 共振器内に設けられ、励起光によって励起されて発振光
を発生するレーザ媒質と、 共振器内に設けられ、該発振光を非線形光に変換する非
線形光学素子と、 非線形光学素子から出力される非線形光を部分的に取り
出すための光分岐手段と、 光分岐手段で取り出された非線形光を受光して電気信号
に変換する受光素子と、 受光素子の光入射側に設けられた窓部材とを備え、 窓部材および受光素子の各光学界面は互いに非平行にな
るように配置されていることを特徴とする半導体レーザ
励起固体レーザ装置。 - 【請求項３】 コヒーレント光を受光して電気信号に変
換する受光素子と、 受光素子の光入射側に設けられた窓部材とを備え、 窓部材および受光素子の各光学界面は互いに非平行にな
るように配置されていることを特徴とする受光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8102953A JPH09293920A (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 半導体レーザ励起固体レーザ装置および受光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8102953A JPH09293920A (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 半導体レーザ励起固体レーザ装置および受光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09293920A true JPH09293920A (ja) | 1997-11-11 |
Family
ID=14341182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8102953A Pending JPH09293920A (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 半導体レーザ励起固体レーザ装置および受光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09293920A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003158323A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Shimadzu Corp | 固体レーザ装置 |
| JP2006313928A (ja) * | 2006-07-14 | 2006-11-16 | Shimadzu Corp | 固体レーザ装置 |
-
1996
- 1996-04-24 JP JP8102953A patent/JPH09293920A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003158323A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Shimadzu Corp | 固体レーザ装置 |
| JP2006313928A (ja) * | 2006-07-14 | 2006-11-16 | Shimadzu Corp | 固体レーザ装置 |
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