JPH0237709B2 - - Google Patents
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- JPH0237709B2 JPH0237709B2 JP59147392A JP14739284A JPH0237709B2 JP H0237709 B2 JPH0237709 B2 JP H0237709B2 JP 59147392 A JP59147392 A JP 59147392A JP 14739284 A JP14739284 A JP 14739284A JP H0237709 B2 JPH0237709 B2 JP H0237709B2
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- reflecting mirror
- porous body
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- laser beam
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/0401—Arrangements for thermal management of optical elements being part of laser resonator, e.g. windows, mirrors, lenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明はレーザ光学部品の冷却装置に関し、よ
り詳しくはレーザ光線を反射する反射鏡を冷却す
るための冷却装置に関する。
り詳しくはレーザ光線を反射する反射鏡を冷却す
るための冷却装置に関する。
「従来の技術」
レーザ装置、特に大出力のレーザ装置において
は、レーザ光線を反射する反射鏡がレーザ光線に
よつて加熱されるため、それを冷却する必要があ
る。
は、レーザ光線を反射する反射鏡がレーザ光線に
よつて加熱されるため、それを冷却する必要があ
る。
従来、反射鏡を冷却する冷却装置として、反射
鏡の背面すなわちレーザ光線の反射面とは反対側
の面に多孔質体を接触させ、その多孔質体の端面
側から外周面側に冷却水を流通させて上記反射鏡
を冷却するようにしたものが知られている（実公
昭58−55662号公報）。また、反射鏡に直接冷却エ
アを吹付けて冷却するるることも行われている。
鏡の背面すなわちレーザ光線の反射面とは反対側
の面に多孔質体を接触させ、その多孔質体の端面
側から外周面側に冷却水を流通させて上記反射鏡
を冷却するようにしたものが知られている（実公
昭58−55662号公報）。また、反射鏡に直接冷却エ
アを吹付けて冷却するるることも行われている。
「発明が解決しようとする課題」
ところで、後者の冷却装置のように、反射鏡の
反射面に直接冷却エアを吹付けて冷却するように
した場合には、その冷却エアの吹き付けによつて
反射鏡の反射面を清浄な状態に維持できるという
利点があるが、一般に冷却能力が低いという欠点
がある。
反射面に直接冷却エアを吹付けて冷却するように
した場合には、その冷却エアの吹き付けによつて
反射鏡の反射面を清浄な状態に維持できるという
利点があるが、一般に冷却能力が低いという欠点
がある。
これに対し、前者の冷却装置においては高い冷
却能力を得ることができるが、冷却媒体として冷
却水を用いていること、並びに冷却水を反射鏡の
背面側に設けた多孔質体内に流通させるようにし
ていることから、該冷却装置を利用して反射鏡の
反射面を清浄することはできなかつた。
却能力を得ることができるが、冷却媒体として冷
却水を用いていること、並びに冷却水を反射鏡の
背面側に設けた多孔質体内に流通させるようにし
ていることから、該冷却装置を利用して反射鏡の
反射面を清浄することはできなかつた。
「課題を解決するための手段」
本発明はそのような事情に鑑み、ハウジング内
にレーザ光線を反射する反射鏡と、冷却エアの流
通を許容する熱伝導率の良い多孔質体とを収納し
てその多孔質体を上記反射鏡のレーザ光線の反射
面とは反対側の背面に接触させ、上記多孔質体
に、上記反射鏡によるレーザ光線の反射部のほぼ
中心部に一致させて、反射鏡と反対側の端面に開
口する穴を形成し、さらに上記多孔質体の穴内に
冷却エアを供給する流体通路を設けるとともに、
上記多孔質体の穴から多孔質体内部を介してその
外周面側に流通した冷却エアを、上記反射鏡の外
周面とハウジングの内周面との間に形成した間隙
を介して流通させ、かつ該冷却エアを上記反射鏡
の外周部から内方へ反射面に沿つて噴射させる排
出通路を設けたものである。
にレーザ光線を反射する反射鏡と、冷却エアの流
通を許容する熱伝導率の良い多孔質体とを収納し
てその多孔質体を上記反射鏡のレーザ光線の反射
面とは反対側の背面に接触させ、上記多孔質体
に、上記反射鏡によるレーザ光線の反射部のほぼ
中心部に一致させて、反射鏡と反対側の端面に開
口する穴を形成し、さらに上記多孔質体の穴内に
冷却エアを供給する流体通路を設けるとともに、
上記多孔質体の穴から多孔質体内部を介してその
外周面側に流通した冷却エアを、上記反射鏡の外
周面とハウジングの内周面との間に形成した間隙
を介して流通させ、かつ該冷却エアを上記反射鏡
の外周部から内方へ反射面に沿つて噴射させる排
出通路を設けたものである。
「作用」
上記構成によれば、上記反射鏡に接触させた多
孔質体により冷却エアと反射鏡との間の熱交換を
良好なものとしてその冷却能力の向上を図ること
ができると同時に、上記穴によりレーザ光線によ
つて最も加熱され易い反射鏡の反射部分に対する
冷却エアの流通量を増大させることができるの
で、その反射部分の冷却を良好に行うことができ
る。
孔質体により冷却エアと反射鏡との間の熱交換を
良好なものとしてその冷却能力の向上を図ること
ができると同時に、上記穴によりレーザ光線によ
つて最も加熱され易い反射鏡の反射部分に対する
冷却エアの流通量を増大させることができるの
で、その反射部分の冷却を良好に行うことができ
る。
そして、反射鏡の反射面外周部から内方に向け
てその反射面に沿つて流動される冷却エアは、そ
の反射面への塵俟の付着を防止するとともに結露
を防止するようになるので、反射面を長期間清浄
な状態に維持することが可能となる。
てその反射面に沿つて流動される冷却エアは、そ
の反射面への塵俟の付着を防止するとともに結露
を防止するようになるので、反射面を長期間清浄
な状態に維持することが可能となる。
特に上記レーザ光線の通過するレーザ通路を密
封するようにしたものにあつては、上記排出通路
から該レーザ通路内に排出される冷却エアによつ
てその内部の圧力を上昇させることができるの
で、外部の塵埃がレーザ通路内に侵入するのを防
止でき、したがつてレーザ通路内を清浄状態に維
持して上記反射面を一層期間清浄な状態に維持す
ることができる。
封するようにしたものにあつては、上記排出通路
から該レーザ通路内に排出される冷却エアによつ
てその内部の圧力を上昇させることができるの
で、外部の塵埃がレーザ通路内に侵入するのを防
止でき、したがつてレーザ通路内を清浄状態に維
持して上記反射面を一層期間清浄な状態に維持す
ることができる。
「実施例」
以下図示実施例について本発明を説明すると、
図において、１は断面三角形状のブラケツト、
２，３はこのブラケツト１の各辺に相互の所定の
角度をもたせて一体に連結固定したレーザ光線Ｌ
のレーザ通路、４は先端部を上記ブラケツト１の
残り辺にシール部材５により気密を保つて遊嵌合
した概略円筒形のハウジングで、このハウジング
４の軸部先端に反射鏡６を固定している。
図において、１は断面三角形状のブラケツト、
２，３はこのブラケツト１の各辺に相互の所定の
角度をもたせて一体に連結固定したレーザ光線Ｌ
のレーザ通路、４は先端部を上記ブラケツト１の
残り辺にシール部材５により気密を保つて遊嵌合
した概略円筒形のハウジングで、このハウジング
４の軸部先端に反射鏡６を固定している。
上記反射鏡６は一方のレーザ通路２の軸線上に
放射されたレーザ光線Ｌを他方のレーザ通路３の
軸線上に反射させるもので、そのような正確な反
射を行なわせるために、上記ハウジング４の傾斜
角度を適宜に調整する図示しない調整機構が設け
られている。
放射されたレーザ光線Ｌを他方のレーザ通路３の
軸線上に反射させるもので、そのような正確な反
射を行なわせるために、上記ハウジング４の傾斜
角度を適宜に調整する図示しない調整機構が設け
られている。
上記反射鏡６の背面には、円板状に形成され、
かつ冷却エアの流通を許容する熱伝導率の良い多
孔質体、例えば銅製の焼結金属７を接触させてあ
り、その反射鏡６と焼結金属７とは、焼結金属７
の背面に配設して上記ハウジング４に螺着したプ
ラグ８により一体にハウジング４に固定してい
る。
かつ冷却エアの流通を許容する熱伝導率の良い多
孔質体、例えば銅製の焼結金属７を接触させてあ
り、その反射鏡６と焼結金属７とは、焼結金属７
の背面に配設して上記ハウジング４に螺着したプ
ラグ８により一体にハウジング４に固定してい
る。
上記プラグ８および焼結金属７の軸部にはそれ
ぞれ冷却エアの流体通路９，１０を形成してあ
り、また焼結金属７とプラグ８との間に配設した
気密保持用のシール部材１１を利用してその焼結
金属７とプラグ８との間に間隙１２を形成し、こ
の間隙１２も冷却エアの流体通路とし利用してい
る。なお、上記プラグ８には図示しない導管を接
続してあり、その導管と図示しない冷却エアの供
給源に連通させている。
ぞれ冷却エアの流体通路９，１０を形成してあ
り、また焼結金属７とプラグ８との間に配設した
気密保持用のシール部材１１を利用してその焼結
金属７とプラグ８との間に間隙１２を形成し、こ
の間隙１２も冷却エアの流体通路とし利用してい
る。なお、上記プラグ８には図示しない導管を接
続してあり、その導管と図示しない冷却エアの供
給源に連通させている。
然して、上記ハウジング４の内周面に、上記焼
結金属７と反射鏡６との外周面に跨がる環状溝１
５を形成するとともに、上記環状溝１５の前方側
のハウジング４の内周面にその環状溝１５に連通
する軸方向溝１６を多数形成し、さらに、上記反
射鏡６がハウジング４から抜け出ないようにその
ハウジング４に形成した段部１７の内面すなわち
反射鏡６との接触面に、上記軸方向溝１６に連通
する半径方向溝１８を多数形成している。
結金属７と反射鏡６との外周面に跨がる環状溝１
５を形成するとともに、上記環状溝１５の前方側
のハウジング４の内周面にその環状溝１５に連通
する軸方向溝１６を多数形成し、さらに、上記反
射鏡６がハウジング４から抜け出ないようにその
ハウジング４に形成した段部１７の内面すなわち
反射鏡６との接触面に、上記軸方向溝１６に連通
する半径方向溝１８を多数形成している。
したがつて本実施例では、上記環状溝１５、軸
方向溝１６および半径方向溝１８によつて、上記
流体通路９，１０から供給された冷却エアを上記
エアを上記レーザ通路２，３内に排出する排出通
路が構成されている。
方向溝１６および半径方向溝１８によつて、上記
流体通路９，１０から供給された冷却エアを上記
エアを上記レーザ通路２，３内に排出する排出通
路が構成されている。
以上の構成によれば、プラグ８の流体通路９内
に供給された冷却エアは、その通路９から焼結金
属７の流体通路１０および間隙１２内に流入し、
それら流体通路１０よび間隙１２から焼結金属７
内を流通して環状溝１５内に流入する。そして環
状溝１５内に流入した冷却エアはハウジング４に
形成した軸方向の溝１６を流通し、さらに半径方
向の溝１８を介し、反射鏡６の反射面に沿つてそ
の中心に向けて流動してレーザ通路２，３内に排
出される。
に供給された冷却エアは、その通路９から焼結金
属７の流体通路１０および間隙１２内に流入し、
それら流体通路１０よび間隙１２から焼結金属７
内を流通して環状溝１５内に流入する。そして環
状溝１５内に流入した冷却エアはハウジング４に
形成した軸方向の溝１６を流通し、さらに半径方
向の溝１８を介し、反射鏡６の反射面に沿つてそ
の中心に向けて流動してレーザ通路２，３内に排
出される。
この際、上記反射鏡６に接触された焼結金属７
は銅製等の熱伝導率の良い材料から成つており、
かつその焼結金属７内に冷却エアを流通させてい
るので、反射鏡６の熱が良好に焼結金属７に伝達
されるとともに、焼結金属７と冷却エアとの大き
な接触面積により焼結金属７と冷却エアとの間で
良好な熱交換が行なわれ、したがつて反射鏡６は
冷却エアによつて効率良く冷却されるようにな
る。
は銅製等の熱伝導率の良い材料から成つており、
かつその焼結金属７内に冷却エアを流通させてい
るので、反射鏡６の熱が良好に焼結金属７に伝達
されるとともに、焼結金属７と冷却エアとの大き
な接触面積により焼結金属７と冷却エアとの間で
良好な熱交換が行なわれ、したがつて反射鏡６は
冷却エアによつて効率良く冷却されるようにな
る。
これに加えて、上記焼結金属７には上記反射鏡
６によるレーザ光線Ｌの反射部の中心部に一致さ
せて穴１０を形成しているので、その反射部を有
効に冷却することができる。すなわち上記穴１０
がない場合には、上記間隙１２内に流入した冷却
エアの多くは流路抵抗の少ない焼結金属７の外周
部分から環状溝１５に流入するようになるので、
特にレーザ光線Ｌによつて加熱され易い上記反射
の中心部の冷却が不足するが、上記穴１０を設け
るとその反射部分の流路抵抗が減少するのでその
部分における冷却エアの流通量を増大させること
ができ、したがつてその反射部を有効に冷却する
ことができるようになる。
６によるレーザ光線Ｌの反射部の中心部に一致さ
せて穴１０を形成しているので、その反射部を有
効に冷却することができる。すなわち上記穴１０
がない場合には、上記間隙１２内に流入した冷却
エアの多くは流路抵抗の少ない焼結金属７の外周
部分から環状溝１５に流入するようになるので、
特にレーザ光線Ｌによつて加熱され易い上記反射
の中心部の冷却が不足するが、上記穴１０を設け
るとその反射部分の流路抵抗が減少するのでその
部分における冷却エアの流通量を増大させること
ができ、したがつてその反射部を有効に冷却する
ことができるようになる。
また、反射鏡６の反射面外周部から中心に向け
てその反射面に沿つて流動される冷却エアは、そ
の反射面への塵俟の付着を防止するとともに結露
を防止するようになるので、反射面が長期間清浄
な状態に保持されるようになり、さらに、レーザ
通路２，３内に排出される冷却エアはその内部の
圧力を上昇させるので、外部の塵埃がレーザ通路
２，３内に侵入するのを防止するようにもなる。
てその反射面に沿つて流動される冷却エアは、そ
の反射面への塵俟の付着を防止するとともに結露
を防止するようになるので、反射面が長期間清浄
な状態に保持されるようになり、さらに、レーザ
通路２，３内に排出される冷却エアはその内部の
圧力を上昇させるので、外部の塵埃がレーザ通路
２，３内に侵入するのを防止するようにもなる。
なお、上記冷却エアとして、空気の他に窒素ガ
ス等を用いることができることは勿論である。
ス等を用いることができることは勿論である。
「発明の効果」
以上のように、本発明によれば、反射鏡に接触
させた多孔質体により冷却エアと反射鏡との間の
熱交換を良好なものとしてその冷却能力の向上を
図ることができると同時に、多孔質体に設けた穴
によりレーザ光線によつても最も加熱され易い反
射鏡の反射部分に対する冷却エアの流通量を増大
させることができるので、その反射部分の冷却を
良好に行うことができる。
させた多孔質体により冷却エアと反射鏡との間の
熱交換を良好なものとしてその冷却能力の向上を
図ることができると同時に、多孔質体に設けた穴
によりレーザ光線によつても最も加熱され易い反
射鏡の反射部分に対する冷却エアの流通量を増大
させることができるので、その反射部分の冷却を
良好に行うことができる。
そして、反射鏡の反射面外周部から内方に向け
てその反射面に沿つて冷却エアを流動させるよう
にしているので、その反射面への塵埃の付着を防
止するとともに結露を防止することができ、それ
によつて反射面を長期間清浄な状態に維持するこ
とができるという効果が得られる。
てその反射面に沿つて冷却エアを流動させるよう
にしているので、その反射面への塵埃の付着を防
止するとともに結露を防止することができ、それ
によつて反射面を長期間清浄な状態に維持するこ
とができるという効果が得られる。
図は本発明の一実施例を示す断面図である。
２，３……レーザ通路、４……ハウジング、６
……反射鏡、９，１０……流体通路、７……焼結
金属（多孔質体）、１２……間隙、１５……環状
溝（排出通路）、１６，１８……溝（排出通路）。
……反射鏡、９，１０……流体通路、７……焼結
金属（多孔質体）、１２……間隙、１５……環状
溝（排出通路）、１６，１８……溝（排出通路）。
Claims (1)
- １ ハウジング内にレーザ光線を反射する反射鏡
と、冷却エアの流通を許容する熱伝導率の良い多
孔質体とを収納してその多孔質体を上記反射鏡の
レーザ光線の反射面とは反対側の背面に接触さ
せ、上記多孔質体に、上記反射鏡によるレーザ光
線の反射部のほぼ中心部に一致させて、反射鏡と
反対側の端面に開口する穴を形成し、さらに上記
多孔質体の穴内に冷却エアを供給する流体通路を
設けるとともに、上記多孔質体の穴から多孔質体
内部を介してその外周面側に流通した冷却エア
を、上記反射鏡の外周面とハウジングの内周面と
の間に形成した間隙を介して流通させ、かつ該冷
却エアを上記反射鏡の外周縁から内方へ反射面に
沿つて噴射させる排出通路を設けたことを特徴と
するレーザ光学部品の冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14739284A JPS6126275A (ja) | 1984-07-16 | 1984-07-16 | レ−ザ光学部品の冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14739284A JPS6126275A (ja) | 1984-07-16 | 1984-07-16 | レ−ザ光学部品の冷却装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6126275A JPS6126275A (ja) | 1986-02-05 |
| JPH0237709B2 true JPH0237709B2 (ja) | 1990-08-27 |
Family
ID=15429225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14739284A Granted JPS6126275A (ja) | 1984-07-16 | 1984-07-16 | レ−ザ光学部品の冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6126275A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0486835U (ja) * | 1990-12-06 | 1992-07-28 | ||
| JP5169106B2 (ja) * | 2007-09-26 | 2013-03-27 | ウシオ電機株式会社 | 光照射式加熱処理装置 |
| JP2009216443A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ出力測定装置及びレーザ出力測定方法 |
| JP5249121B2 (ja) * | 2009-04-23 | 2013-07-31 | ニッコー株式会社 | 低温焼成高強度低熱膨張性磁器及びその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5460590A (en) * | 1977-10-24 | 1979-05-16 | Mitsubishi Electric Corp | Laser oscillator |
| JPS5855662U (ja) * | 1981-10-09 | 1983-04-15 | 株式会社コトブキ | ベンチ |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5849645Y2 (ja) * | 1978-01-17 | 1983-11-12 | 株式会社東芝 | レ−ザ用ミラ−マウント |
| JPS5970358U (ja) * | 1982-10-30 | 1984-05-12 | 株式会社東芝 | レ−ザ装置 |
-
1984
- 1984-07-16 JP JP14739284A patent/JPS6126275A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5460590A (en) * | 1977-10-24 | 1979-05-16 | Mitsubishi Electric Corp | Laser oscillator |
| JPS5855662U (ja) * | 1981-10-09 | 1983-04-15 | 株式会社コトブキ | ベンチ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6126275A (ja) | 1986-02-05 |
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