JPH09255308A - オゾン発生方法およびオゾナイザー - Google Patents
オゾン発生方法およびオゾナイザーInfo
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- JPH09255308A JPH09255308A JP6754696A JP6754696A JPH09255308A JP H09255308 A JPH09255308 A JP H09255308A JP 6754696 A JP6754696 A JP 6754696A JP 6754696 A JP6754696 A JP 6754696A JP H09255308 A JPH09255308 A JP H09255308A
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- ozone
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- ozone concentration
- oxygen flow
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】所要オゾン濃度に達するまでの時間の短かいオ
ゾナイザーを提供する。 【解決手段】放電空間５側に誘電体層３が密着した接地
電極２と、この接地電極に放電空間を隔てて対向する高
圧電極４とに高周波電源７により交流電力を投入して酸
素を含む原料ガスをオゾン化し、大容積のオゾン出口空
間１５を経て、オゾンを含むガスを吐出し、吐出ガスの
オゾン濃度をオゾン濃度計１３でモニターするオゾン発
生方法において、所要のオゾン濃度を維持できる電力と
酸素流量をそれぞれ第１の電力と第１の酸素流量とする
とき、酸素流量は第１の酸素流量に保持しておき、オゾ
ン濃度の飽和値が所要オゾン濃度である第１の電力より
も高い第２の電力を初期投入し、以降電力を下げ、オゾ
ン濃度が所要オゾン濃度に達っしたとき以降の電力を第
１の電力にする。１４はコントロラである。
ゾナイザーを提供する。 【解決手段】放電空間５側に誘電体層３が密着した接地
電極２と、この接地電極に放電空間を隔てて対向する高
圧電極４とに高周波電源７により交流電力を投入して酸
素を含む原料ガスをオゾン化し、大容積のオゾン出口空
間１５を経て、オゾンを含むガスを吐出し、吐出ガスの
オゾン濃度をオゾン濃度計１３でモニターするオゾン発
生方法において、所要のオゾン濃度を維持できる電力と
酸素流量をそれぞれ第１の電力と第１の酸素流量とする
とき、酸素流量は第１の酸素流量に保持しておき、オゾ
ン濃度の飽和値が所要オゾン濃度である第１の電力より
も高い第２の電力を初期投入し、以降電力を下げ、オゾ
ン濃度が所要オゾン濃度に達っしたとき以降の電力を第
１の電力にする。１４はコントロラである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は水処理などに用いる
オゾンを発生する、オゾナイザーとオゾン発生方法に関
する。
オゾンを発生する、オゾナイザーとオゾン発生方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来用いられているオゾナイザーの典型
例は二重管型オゾナイザーである。図９は二重管型オゾ
ナイザー模式図であり、（ａ）は二重管型オゾナイザー
を側面から見た断面図であり、（ｂ）（ａ）の中央部の
直角方向の断面図である。この二重管型オゾナイザーは
円筒形のステンレス鋼製の筐体１を有し、筐体１の内部
にステンレス鋼製の円筒形の接地電極２が同心状に配置
され、接地電極２の内面には誘電体層３として例えばガ
ラスを密着してあり、これら接地電極２、誘電体層３も
両端部が筐体１に固定されている。さらに接地電極２の
中心部には、円筒形のステンレス鋼製の高圧電極４が誘
電体層３の表面と放電空間５を隔てて同心状に配置され
ており、その一部に取り付けた高周波電源接続部は筐体
１の外部まで延び、ブッシング６を通して高周波電源７
を経て筐体１の一端に接続される。高圧電極４の両端
は、矢印で示した冷却水８を流すための筐体１に固定さ
れている細管に絶縁チューブ９を会して保持されてい
る。また、冷却水８は筐体１の一部からも流通させ接地
電極２を冷却する。通常、接地電極２ないし高圧電極４
の対をオゾン放電管と言い、１０ないし１００本のオー
ダーのオゾン放電管が筐体１内に配列されている。その
ため出口空間１５は絶縁チューブ９等の配管系を納める
必要があり、その容積は放電空間５の容積よりはるかに
大きい。
例は二重管型オゾナイザーである。図９は二重管型オゾ
ナイザー模式図であり、（ａ）は二重管型オゾナイザー
を側面から見た断面図であり、（ｂ）（ａ）の中央部の
直角方向の断面図である。この二重管型オゾナイザーは
円筒形のステンレス鋼製の筐体１を有し、筐体１の内部
にステンレス鋼製の円筒形の接地電極２が同心状に配置
され、接地電極２の内面には誘電体層３として例えばガ
ラスを密着してあり、これら接地電極２、誘電体層３も
両端部が筐体１に固定されている。さらに接地電極２の
中心部には、円筒形のステンレス鋼製の高圧電極４が誘
電体層３の表面と放電空間５を隔てて同心状に配置され
ており、その一部に取り付けた高周波電源接続部は筐体
１の外部まで延び、ブッシング６を通して高周波電源７
を経て筐体１の一端に接続される。高圧電極４の両端
は、矢印で示した冷却水８を流すための筐体１に固定さ
れている細管に絶縁チューブ９を会して保持されてい
る。また、冷却水８は筐体１の一部からも流通させ接地
電極２を冷却する。通常、接地電極２ないし高圧電極４
の対をオゾン放電管と言い、１０ないし１００本のオー
ダーのオゾン放電管が筐体１内に配列されている。その
ため出口空間１５は絶縁チューブ９等の配管系を納める
必要があり、その容積は放電空間５の容積よりはるかに
大きい。
【０００３】このような構成を持つ装置の放電空間５の
一端から、矢印で示した空気または酸素の原料ガス１０
を供給し、放電空間５の他端に設けた排気バルブ１１を
調整してガス圧力を例えば絶対圧力１．６気圧として、
高周波電源７により接地電極２と高圧電極４の間に交流
電圧を印加すると無声放電が生じてオゾンを発生するこ
とが出来る。発生したオゾンの濃度は、オゾン濃度計１
３でモニターしており、オゾン濃度に対応する電気信号
を出力することができる。
一端から、矢印で示した空気または酸素の原料ガス１０
を供給し、放電空間５の他端に設けた排気バルブ１１を
調整してガス圧力を例えば絶対圧力１．６気圧として、
高周波電源７により接地電極２と高圧電極４の間に交流
電圧を印加すると無声放電が生じてオゾンを発生するこ
とが出来る。発生したオゾンの濃度は、オゾン濃度計１
３でモニターしており、オゾン濃度に対応する電気信号
を出力することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上の二重管型オゾナ
イザーにおいて、オゾンを発生しようとして電力を投入
したとき所要オゾン濃度に達するまで時間がかかるとい
う問題があった。図１０は電力および酸素流量が一定の
場合のオゾン濃度の時間変化のグラフである。オゾナイ
ザーに電力Ｗ０を投入すると放電が生じ、オゾン濃度は
直線的に増加した後時間ｔ０で、飽和値（平衡値）Ｃ０
に達する。従来はこの飽和値を所要オゾン濃度としてい
た。飽和値に達するまでに時間を要するのは、オゾン出
口空間（図９の１５）がオゾンで置換されるためであ
る。置換時間はオゾン出口空間の容積を酸素流量で除し
た値の数倍かかり、その係数は流量が小さいほど大きい
（置換時間が長い）ことが実験で確認されている。その
ため、オゾン濃度の応答性が悪くなる。
イザーにおいて、オゾンを発生しようとして電力を投入
したとき所要オゾン濃度に達するまで時間がかかるとい
う問題があった。図１０は電力および酸素流量が一定の
場合のオゾン濃度の時間変化のグラフである。オゾナイ
ザーに電力Ｗ０を投入すると放電が生じ、オゾン濃度は
直線的に増加した後時間ｔ０で、飽和値（平衡値）Ｃ０
に達する。従来はこの飽和値を所要オゾン濃度としてい
た。飽和値に達するまでに時間を要するのは、オゾン出
口空間（図９の１５）がオゾンで置換されるためであ
る。置換時間はオゾン出口空間の容積を酸素流量で除し
た値の数倍かかり、その係数は流量が小さいほど大きい
（置換時間が長い）ことが実験で確認されている。その
ため、オゾン濃度の応答性が悪くなる。
【０００５】本発明の目的は、所要オゾン濃度に達する
までの時間の短かいオゾナイザーを提供することにあ
る。
までの時間の短かいオゾナイザーを提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、放電空間側に誘電体層が密着した接地電極と、こ
の接地電極に放電空間を隔てて等距離に対向する高圧電
極とに高周波電源により交流電力を投入して酸素を含む
原料ガスをオゾン化し、放電空間より大容積のオゾン出
口空間を経て、オゾンを含むガスを吐出し、吐出ガスの
オゾン濃度をオゾン濃度計でモニターするオゾン発生方
法において、所要のオゾン濃度を維持できる電力と酸素
流量をそれぞれ第１の電力と第１の酸素流量とすると
き、酸素流量は第１の酸素流量に保持しておき、オゾン
濃度の飽和値が所要オゾン濃度である第１の電力よりも
高い第２の電力を初期投入し、以降電力を連続的または
不連続的に下げ、オゾン濃度が所要オゾン濃度に達っし
たとき以降の電力を第１の電力にすることとする。
めに、放電空間側に誘電体層が密着した接地電極と、こ
の接地電極に放電空間を隔てて等距離に対向する高圧電
極とに高周波電源により交流電力を投入して酸素を含む
原料ガスをオゾン化し、放電空間より大容積のオゾン出
口空間を経て、オゾンを含むガスを吐出し、吐出ガスの
オゾン濃度をオゾン濃度計でモニターするオゾン発生方
法において、所要のオゾン濃度を維持できる電力と酸素
流量をそれぞれ第１の電力と第１の酸素流量とすると
き、酸素流量は第１の酸素流量に保持しておき、オゾン
濃度の飽和値が所要オゾン濃度である第１の電力よりも
高い第２の電力を初期投入し、以降電力を連続的または
不連続的に下げ、オゾン濃度が所要オゾン濃度に達っし
たとき以降の電力を第１の電力にすることとする。
【０００７】あるいは、放電空間側に誘電体層が密着し
た接地電極と、この接地電極に放電空間を隔てて等距離
に対向する高圧電極とに高周波電源により交流電力を投
入して酸素を含む原料ガスをオゾン化し、放電空間より
大容積のオゾン出口空間を経て、オゾンを含むガスを吐
出し、吐出ガスのオゾン濃度をオゾン濃度計でモニター
するオゾン発生方法において、所要のオゾン濃度を維持
できる電力と酸素流量をそれぞれ第１の電力と第１の酸
素流量とするとき、電力は第１の電力に保持しておき、
オゾン濃度の増加速度が、飽和値が所要オゾン濃度であ
る第１の酸素流量時のオゾン濃度の増加速度よりも高い
第２の酸素流量で初期供給し、以降そのときの酸素流量
の飽和オゾン濃度に到達毎に酸素流量を連続的または不
連続的に下げ、オゾン濃度が所要オゾン濃度に達したと
き以降の酸素流量を第１の酸素流量とすることとする。
た接地電極と、この接地電極に放電空間を隔てて等距離
に対向する高圧電極とに高周波電源により交流電力を投
入して酸素を含む原料ガスをオゾン化し、放電空間より
大容積のオゾン出口空間を経て、オゾンを含むガスを吐
出し、吐出ガスのオゾン濃度をオゾン濃度計でモニター
するオゾン発生方法において、所要のオゾン濃度を維持
できる電力と酸素流量をそれぞれ第１の電力と第１の酸
素流量とするとき、電力は第１の電力に保持しておき、
オゾン濃度の増加速度が、飽和値が所要オゾン濃度であ
る第１の酸素流量時のオゾン濃度の増加速度よりも高い
第２の酸素流量で初期供給し、以降そのときの酸素流量
の飽和オゾン濃度に到達毎に酸素流量を連続的または不
連続的に下げ、オゾン濃度が所要オゾン濃度に達したと
き以降の酸素流量を第１の酸素流量とすることとする。
【０００８】あるいは、放電空間側に誘電体層が密着し
た接地電極と、この接地電極に放電空間を隔てて等距離
に対向する高圧電極とに高周波電源により交流電力を投
入して酸素を含む原料ガスをオゾン化し、放電空間より
大容積のオゾン出口空間を経て、オゾンを含むガスを吐
出し、吐出ガスのオゾン濃度をオゾン濃度計でモニター
するオゾン発生方法において、所要のオゾン濃度を維持
できる電力と酸素流量をそれぞれ第１の電力と第１の酸
素流量とするとき、オゾン濃度の飽和値が所要オゾン濃
度である第１の電力よりも高い第２の電力を初期投入
し、またオゾン濃度の増加速度が、飽和値が所要オゾン
濃度である第１の酸素流量時のオゾン濃度の増加速度よ
りも高い第２の酸素流量で初期供給し、電力を連続的ま
たは不連続的に下げ、また酸素流量はそのときの酸素流
量の飽和オゾン濃度に到達毎に酸素流量を連続的または
不連続的に下げ、オゾン濃度が所要オゾン濃度に達した
とき以降電力は第１の電力であり酸素流量は第１の酸素
流量とすることとする。
た接地電極と、この接地電極に放電空間を隔てて等距離
に対向する高圧電極とに高周波電源により交流電力を投
入して酸素を含む原料ガスをオゾン化し、放電空間より
大容積のオゾン出口空間を経て、オゾンを含むガスを吐
出し、吐出ガスのオゾン濃度をオゾン濃度計でモニター
するオゾン発生方法において、所要のオゾン濃度を維持
できる電力と酸素流量をそれぞれ第１の電力と第１の酸
素流量とするとき、オゾン濃度の飽和値が所要オゾン濃
度である第１の電力よりも高い第２の電力を初期投入
し、またオゾン濃度の増加速度が、飽和値が所要オゾン
濃度である第１の酸素流量時のオゾン濃度の増加速度よ
りも高い第２の酸素流量で初期供給し、電力を連続的ま
たは不連続的に下げ、また酸素流量はそのときの酸素流
量の飽和オゾン濃度に到達毎に酸素流量を連続的または
不連続的に下げ、オゾン濃度が所要オゾン濃度に達した
とき以降電力は第１の電力であり酸素流量は第１の酸素
流量とすることとする。
【０００９】また、放電空間側に誘電体層が密着した接
地電極と、この接地電極に放電空間を隔てて等距離に対
向する高圧電極とに高周波電源により交流電力を投入し
て原料ガスをオゾン化し、放電空間より大容積のオゾン
出口空間を経て、オゾンを含むガスを吐出し、吐出ガス
のオゾン濃度をオゾン濃度計でモニターするオゾナイザ
ーであって、さらにオゾン濃度計から出力されたオゾン
濃度信号を入力し、設定レベルと比較、演算し、その結
果により高周波電源の出力電力と酸素流量のうちの少な
くとも一方を制御するコントロラを備えるものとする。
地電極と、この接地電極に放電空間を隔てて等距離に対
向する高圧電極とに高周波電源により交流電力を投入し
て原料ガスをオゾン化し、放電空間より大容積のオゾン
出口空間を経て、オゾンを含むガスを吐出し、吐出ガス
のオゾン濃度をオゾン濃度計でモニターするオゾナイザ
ーであって、さらにオゾン濃度計から出力されたオゾン
濃度信号を入力し、設定レベルと比較、演算し、その結
果により高周波電源の出力電力と酸素流量のうちの少な
くとも一方を制御するコントロラを備えるものとする。
【００１０】本発明によれば、初期電力を従来のオゾン
濃度の飽和を待つ場合の電力より高くするので、オゾン
放電管中のオゾン発生量が多くなりオゾン濃度の高いガ
スがオゾン出口空間に流入しする。または、初期酸素流
量を従来のオゾン濃度の飽和を待つ場合の酸素流量より
大きくするので、飽和値は低くなるがオゾン出口空間の
ガス置換速度は早くなり、オゾン濃度の上昇は早い。あ
るいは、これらの２方法を組み合わせ初期電力および初
期酸素流量を従来のそれらより大きくする場合も同じ作
用である。
濃度の飽和を待つ場合の電力より高くするので、オゾン
放電管中のオゾン発生量が多くなりオゾン濃度の高いガ
スがオゾン出口空間に流入しする。または、初期酸素流
量を従来のオゾン濃度の飽和を待つ場合の酸素流量より
大きくするので、飽和値は低くなるがオゾン出口空間の
ガス置換速度は早くなり、オゾン濃度の上昇は早い。あ
るいは、これらの２方法を組み合わせ初期電力および初
期酸素流量を従来のそれらより大きくする場合も同じ作
用である。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下本発明を実施例に基づき詳細
に説明する。 実施例１ 図１は本発明に係る実施例の二重管型オゾナイザーの側
面断面図である。図８に示した従来の二重管型オゾン発
生装置と基本的な構造は全く同じである。各部の符号は
既出なので説明は省略する。異なるところは本発明に係
るオゾナイザーはオゾン濃度計１３でモニターしたオゾ
ン濃度に応じてコントローラ１４により、高周波電源７
に電力の減少を指示する点である。
に説明する。 実施例１ 図１は本発明に係る実施例の二重管型オゾナイザーの側
面断面図である。図８に示した従来の二重管型オゾン発
生装置と基本的な構造は全く同じである。各部の符号は
既出なので説明は省略する。異なるところは本発明に係
るオゾナイザーはオゾン濃度計１３でモニターしたオゾ
ン濃度に応じてコントローラ１４により、高周波電源７
に電力の減少を指示する点である。
【００１２】図２は本発明に係る実施例の二重管型オゾ
ン発生装置の電力の制御のタイムチャートである。所要
オゾン濃度Ｃ０すなわち従来の飽和オゾン濃度に必要で
あった電力Ｗ０より大きい初期電力Ｗ１を投入してから
時間ｔｗ後に、電力を不連続にＷ０まで減少させる。但
し原料ガスの供給流量は従来の飽和オゾン濃度Ｃ０が得
られる供給流量Ｑ０に保持した。これらの制御手順は全
てコントローラ１４に記憶させ、コントローラ１４に制
御させた。図３は本発明に係る電力制御によるオゾン濃
度の時間変化のグラフである。従来の電力Ｗ０に対する
オゾン濃度の変化はカーブａであり、所要オゾン濃度Ｃ
０に達するまでに要する時間はｔ０である。電力Ｗ１に
対するオゾン濃度の変化はカーブｂであり、飽和オゾン
濃度Ｃｗに達するまでに要する時間は同じくｔ０であ
り。Ｃｗ＞Ｃ０である。従って、電力Ｗ１でのオゾン濃
度増加速度は大きく、オゾン濃度Ｃ０に達する時間ｔｗ
はｔ０より短い。時間ｔｗで電力をＷ０に切り換えれ
ば、この時のオゾン濃度は電力Ｗ０に対する飽和オゾン
濃度であるから、時間ｔｗ以降はこの濃度が保たれる。
ン発生装置の電力の制御のタイムチャートである。所要
オゾン濃度Ｃ０すなわち従来の飽和オゾン濃度に必要で
あった電力Ｗ０より大きい初期電力Ｗ１を投入してから
時間ｔｗ後に、電力を不連続にＷ０まで減少させる。但
し原料ガスの供給流量は従来の飽和オゾン濃度Ｃ０が得
られる供給流量Ｑ０に保持した。これらの制御手順は全
てコントローラ１４に記憶させ、コントローラ１４に制
御させた。図３は本発明に係る電力制御によるオゾン濃
度の時間変化のグラフである。従来の電力Ｗ０に対する
オゾン濃度の変化はカーブａであり、所要オゾン濃度Ｃ
０に達するまでに要する時間はｔ０である。電力Ｗ１に
対するオゾン濃度の変化はカーブｂであり、飽和オゾン
濃度Ｃｗに達するまでに要する時間は同じくｔ０であ
り。Ｃｗ＞Ｃ０である。従って、電力Ｗ１でのオゾン濃
度増加速度は大きく、オゾン濃度Ｃ０に達する時間ｔｗ
はｔ０より短い。時間ｔｗで電力をＷ０に切り換えれ
ば、この時のオゾン濃度は電力Ｗ０に対する飽和オゾン
濃度であるから、時間ｔｗ以降はこの濃度が保たれる。
【００１３】このようにして、初期電力を大きくして、
所要オゾン濃度に達する迄の時間をｔ０−ｔｗだけ短縮
できた。上記の方法において、初期電力Ｗ１から定常電
力Ｗ０への減少方法は不連続に段階的であっても連続的
であっても、従来より短時間でオゾン濃度Ｃ０に到達さ
せる得ることは明らかである。 実施例２ 図４は本発明に係る他の実施例の二重管型オゾナイザー
の側面断面図である。この実施例の二重管型オゾン発生
装置は、基本的な構造は全く同じである。各部の符号は
既出なので説明は省略する。異なるところは本実施例で
はオゾン濃度計１３でモニターしたオゾン濃度に応じて
コントローラ１４により、酸素流量調整器１６に酸素流
量の減少を指示する点である。
所要オゾン濃度に達する迄の時間をｔ０−ｔｗだけ短縮
できた。上記の方法において、初期電力Ｗ１から定常電
力Ｗ０への減少方法は不連続に段階的であっても連続的
であっても、従来より短時間でオゾン濃度Ｃ０に到達さ
せる得ることは明らかである。 実施例２ 図４は本発明に係る他の実施例の二重管型オゾナイザー
の側面断面図である。この実施例の二重管型オゾン発生
装置は、基本的な構造は全く同じである。各部の符号は
既出なので説明は省略する。異なるところは本実施例で
はオゾン濃度計１３でモニターしたオゾン濃度に応じて
コントローラ１４により、酸素流量調整器１６に酸素流
量の減少を指示する点である。
【００１４】図５は本発明に係る他の実施例の酸素流量
制御のタイムチャートである。初期酸素流量Ｑ１を飽和
オゾン濃度Ｃｑに達した時間ｔｑで不連続にＱ０まで減
少させる。但し電力は従来の飽和オゾン濃度Ｃ０が得ら
れる電力Ｗ０に保持した。これらの制御手順は全てコン
トローラ１４に記憶させ、コントローラ１４に制御させ
た。
制御のタイムチャートである。初期酸素流量Ｑ１を飽和
オゾン濃度Ｃｑに達した時間ｔｑで不連続にＱ０まで減
少させる。但し電力は従来の飽和オゾン濃度Ｃ０が得ら
れる電力Ｗ０に保持した。これらの制御手順は全てコン
トローラ１４に記憶させ、コントローラ１４に制御させ
た。
【００１５】図６は本発明に係る他の実施例の酸素制御
の場合のオゾン濃度の時間変化のグラフである。従来の
酸素流量Ｑ０のとき、所要オゾン濃度Ｃ０に達するまで
の時間はｔ０である（カーブａ）。酸素流量Ｑ１をＱ０
より大きくした場合（カーブｃ）はオゾン出口空間の置
換速度が増し、濃度が飽和に達するまでの時間ｔ１は酸
素流量Ｑ０の場合にオゾン濃度Ｃｑに達する迄の時間ｔ
２より短いが、このときのオゾン濃度飽和値Ｃｑは酸素
流量Ｑ０に対する飽和値Ｃ０より低い。そこで、時間ｔ
１で酸素流量をＱ１からＱ０まで減少させると、以降オ
ゾン濃度は濃度Ｃ１以降の酸素流量Ｑ０に対する時間変
化（カーブａの傾斜部）に切り換わり、さらに時間ｔ０
−ｔ２後に所要オゾン濃度Ｃ０に達する。全所要時間は
ｔ１＋（ｔ０−ｔ２）である。このように初期酸素流量
を増すことにより、ｔ２−ｔ１だけ所要時間を短縮でき
る。
の場合のオゾン濃度の時間変化のグラフである。従来の
酸素流量Ｑ０のとき、所要オゾン濃度Ｃ０に達するまで
の時間はｔ０である（カーブａ）。酸素流量Ｑ１をＱ０
より大きくした場合（カーブｃ）はオゾン出口空間の置
換速度が増し、濃度が飽和に達するまでの時間ｔ１は酸
素流量Ｑ０の場合にオゾン濃度Ｃｑに達する迄の時間ｔ
２より短いが、このときのオゾン濃度飽和値Ｃｑは酸素
流量Ｑ０に対する飽和値Ｃ０より低い。そこで、時間ｔ
１で酸素流量をＱ１からＱ０まで減少させると、以降オ
ゾン濃度は濃度Ｃ１以降の酸素流量Ｑ０に対する時間変
化（カーブａの傾斜部）に切り換わり、さらに時間ｔ０
−ｔ２後に所要オゾン濃度Ｃ０に達する。全所要時間は
ｔ１＋（ｔ０−ｔ２）である。このように初期酸素流量
を増すことにより、ｔ２−ｔ１だけ所要時間を短縮でき
る。
【００１６】上記の方法において、初期酸素流量Ｑ１か
ら酸素流量Ｑ０への減少方法は不連続に複数の段階的で
あっても連続的であっても、従来より短時間でオゾン濃
度Ｃ０に到達させる得ることは明らかである。 実施例３ 図７は本発明に係る別の実施例の二重管型オゾナイザー
の側面断面図である。この場合コントローラ１４は高周
波電源７および酸素流量調整器１６に制御指示を出し、
両者を独立にまた同時に制御することができる。各部の
符号は既出なので説明は省略する。
ら酸素流量Ｑ０への減少方法は不連続に複数の段階的で
あっても連続的であっても、従来より短時間でオゾン濃
度Ｃ０に到達させる得ることは明らかである。 実施例３ 図７は本発明に係る別の実施例の二重管型オゾナイザー
の側面断面図である。この場合コントローラ１４は高周
波電源７および酸素流量調整器１６に制御指示を出し、
両者を独立にまた同時に制御することができる。各部の
符号は既出なので説明は省略する。
【００１７】図８は本発明に係る別の実施例の電力およ
び酸素流量制御の場合のオゾン濃度の時間変化のグラフ
である。この実施例は実施例１と実施例２を組み合わせ
た場合である。先ず、初期電力および初期酸素流量をそ
れぞれ実施例１および２の初期値Ｗ１およびＱ１とし
た。Ｗ１、Ｑ１を維持したときのオゾン濃度変化はカー
ブｄであり、飽和オゾン濃度Ｃｑｗには酸素流量Ｑ０、
電力Ｗ１に対するカーブｃと同じ時間ｔ１で達し、以降
Ｃｑｗにとどまる。そこで、飽和オゾン濃度Ｃｑｗに達
した時間ｔ１で、酸素流量のみをＱ０に切り換え、電力
Ｗ１のカーブｂの傾きにのせた。つぎに飽和オゾン濃度
Ｃ０に達したとき、電力のみをＷ０に切り換え、以降こ
の電力Ｗ０、酸素流量Ｑ０を保持し、オゾン濃度Ｃ０を
維持した。オゾン濃度の２つの増加域での増加速度はい
ずれも実施例１、２のそれよりも大きいので、オゾン濃
度がＣ０に達するまでの時間は実施例１、２のいずれよ
りも短かくすることができた。これらの制御手順は全て
コントローラに記憶させ、コントローラに制御させた。
び酸素流量制御の場合のオゾン濃度の時間変化のグラフ
である。この実施例は実施例１と実施例２を組み合わせ
た場合である。先ず、初期電力および初期酸素流量をそ
れぞれ実施例１および２の初期値Ｗ１およびＱ１とし
た。Ｗ１、Ｑ１を維持したときのオゾン濃度変化はカー
ブｄであり、飽和オゾン濃度Ｃｑｗには酸素流量Ｑ０、
電力Ｗ１に対するカーブｃと同じ時間ｔ１で達し、以降
Ｃｑｗにとどまる。そこで、飽和オゾン濃度Ｃｑｗに達
した時間ｔ１で、酸素流量のみをＱ０に切り換え、電力
Ｗ１のカーブｂの傾きにのせた。つぎに飽和オゾン濃度
Ｃ０に達したとき、電力のみをＷ０に切り換え、以降こ
の電力Ｗ０、酸素流量Ｑ０を保持し、オゾン濃度Ｃ０を
維持した。オゾン濃度の２つの増加域での増加速度はい
ずれも実施例１、２のそれよりも大きいので、オゾン濃
度がＣ０に達するまでの時間は実施例１、２のいずれよ
りも短かくすることができた。これらの制御手順は全て
コントローラに記憶させ、コントローラに制御させた。
【００１８】上記の方法において、初期電力Ｗ１から電
力Ｗ０への減少方法および初期酸素流量Ｑ１から酸素流
量Ｑ０への減少方法は不連続に複数の段階的であっても
連続的であっても、従来より短時間でオゾン濃度Ｃ０に
到達させる得ることは明らかである。
力Ｗ０への減少方法および初期酸素流量Ｑ１から酸素流
量Ｑ０への減少方法は不連続に複数の段階的であっても
連続的であっても、従来より短時間でオゾン濃度Ｃ０に
到達させる得ることは明らかである。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、放電空間側に誘電体層
が密着した接地電極と、この接地電極に放電空間を隔て
て等距離に対向する高圧電極とに高周波電源により交流
電力を投入して酸素を含む原料ガスをオゾン化し、放電
空間より大容積のオゾン出口空間を経て、オゾンを含む
ガスを吐出し、吐出ガスのオゾン濃度をオゾン濃度計で
モニターするオゾン発生方法において、所要のオゾン濃
度を維持できる電力と酸素流量をそれぞれ第１の電力と
第１の酸素流量とするとき、初期電力および初期酸素流
量のいずれかあるいは両者を第１の電力と第１の酸素流
量より大きい第２の電力と第２の酸素流量とし、以降こ
れらを連続的または不連続的に下げ、オゾン濃度が所要
オゾン濃度に達っしたとき以降第１の電力および第１の
酸素流量とするようにしたため、所要オゾン濃度に達す
るまでの時間を従来方法に較べて短縮することができ
る。そのため、オゾナイザーを利用する水処理装置など
の稼働状況は改善される。
が密着した接地電極と、この接地電極に放電空間を隔て
て等距離に対向する高圧電極とに高周波電源により交流
電力を投入して酸素を含む原料ガスをオゾン化し、放電
空間より大容積のオゾン出口空間を経て、オゾンを含む
ガスを吐出し、吐出ガスのオゾン濃度をオゾン濃度計で
モニターするオゾン発生方法において、所要のオゾン濃
度を維持できる電力と酸素流量をそれぞれ第１の電力と
第１の酸素流量とするとき、初期電力および初期酸素流
量のいずれかあるいは両者を第１の電力と第１の酸素流
量より大きい第２の電力と第２の酸素流量とし、以降こ
れらを連続的または不連続的に下げ、オゾン濃度が所要
オゾン濃度に達っしたとき以降第１の電力および第１の
酸素流量とするようにしたため、所要オゾン濃度に達す
るまでの時間を従来方法に較べて短縮することができ
る。そのため、オゾナイザーを利用する水処理装置など
の稼働状況は改善される。
【００２０】また、電力および酸素流量の制御をオゾン
濃度計をモニターするコントローラを介して行うことに
したため、安定したオゾン濃度を得ることができる。
濃度計をモニターするコントローラを介して行うことに
したため、安定したオゾン濃度を得ることができる。
【図１】本発明に係る実施例の二重管型オゾナイザーの
側面断面図
側面断面図
【図２】本発明に係る実施例の二重管型オゾナイザーの
電力制御のタイムチャート
電力制御のタイムチャート
【図３】本発明に係る電力制御によるオゾン濃度の時間
変化のグラフ
変化のグラフ
【図４】本発明に係る他の実施例の二重管型オゾナイザ
ーの側面断面図
ーの側面断面図
【図５】本発明に係る他の実施例の酸素流量制御のタイ
ムチャート
ムチャート
【図６】本発明に係る他の実施例の酸素制御の場合のオ
ゾン濃度の時間変化のグラフ
ゾン濃度の時間変化のグラフ
【図７】本発明に係る別の実施例の二重管型オゾナイザ
ーの側面断面図
ーの側面断面図
【図８】本発明に係る別の実施例の電力および酸素流量
制御の場合のオゾン濃度の時間変化のグラフ
制御の場合のオゾン濃度の時間変化のグラフ
【図９】従来のオゾナイザーの模式図、（ａ）側面断面
図、（ｂ）垂直断面図
図、（ｂ）垂直断面図
【図１０】従来の二重管型オゾナイザーのオゾン濃度の
時間変化のグラフ
時間変化のグラフ
１ 筐体 ２ 接地電極 ３ 誘電体層 ４ 高圧電極 ５ 放電空間 ６ ブッシング ７ 高周波電源 ８ 冷却水 ９ 絶縁チューブ １０ 原料ガス １１ 排気バルブ １２ オゾン １３ オゾン濃度計 １４ コントローラ １５ オゾン出口空間 １６ 酸素流量調整器
Claims (4)
- 【請求項１】放電空間側に誘電体層が密着した接地電極
と、この接地電極に放電空間を隔てて等距離に対向する
高圧電極とに高周波電源により交流電力を投入して酸素
を含む原料ガスをオゾン化し、放電空間より大容積のオ
ゾン出口空間を経て、オゾンを含むガスを吐出し、吐出
ガスのオゾン濃度をオゾン濃度計でモニターするオゾン
発生方法において、所要のオゾン濃度を維持できる電力
と酸素流量をそれぞれ第１の電力と第１の酸素流量とす
るとき、酸素流量は第１の酸素流量に保持しておき、オ
ゾン濃度の飽和値が所要オゾン濃度である第１の電力よ
りも高い第２の電力を初期投入し、以降電力を連続的ま
たは不連続的に下げ、オゾン濃度が所要オゾン濃度に達
っしたとき以降の電力を第１の電力にすることを特徴と
するオゾン発生方法。 - 【請求項２】放電空間側に誘電体層が密着した接地電極
と、この接地電極に放電空間を隔てて等距離に対向する
高圧電極とに高周波電源により交流電力を投入して酸素
を含む原料ガスをオゾン化し、放電空間より大容積のオ
ゾン出口空間を経て、オゾンを含むガスを吐出し、吐出
ガスのオゾン濃度をオゾン濃度計でモニターするオゾン
発生方法において、所要のオゾン濃度を維持できる電力
と酸素流量をそれぞれ第１の電力と第１の酸素流量とす
るとき、電力は第１の電力に保持しておき、オゾン濃度
の増加速度が、飽和値が所要オゾン濃度である第１の酸
素流量時のオゾン濃度の増加速度よりも高い第２の酸素
流量で初期供給し、以降そのときの酸素流量の飽和オゾ
ン濃度に到達毎に酸素流量を連続的または不連続的に下
げ、オゾン濃度が所要オゾン濃度に達したとき以降の酸
素流量を第１の酸素流量とすることを特徴とするオゾン
発生方法。 - 【請求項３】放電空間側に誘電体層が密着した接地電極
と、この接地電極に放電空間を隔てて等距離に対向する
高圧電極とに高周波電源により交流電力を投入して酸素
を含む原料ガスをオゾン化し、放電空間より大容積のオ
ゾン出口空間を経て、オゾンを含むガスを吐出し、吐出
ガスのオゾン濃度をオゾン濃度計でモニターするオゾン
発生方法において、所要のオゾン濃度を維持できる電力
と酸素流量をそれぞれ第１の電力と第１の酸素流量とす
るとき、オゾン濃度の飽和値が所要オゾン濃度である第
１の電力よりも高い第２の電力を初期投入し、またオゾ
ン濃度の増加速度が、飽和値が所要オゾン濃度である第
１の酸素流量時のオゾン濃度の増加速度よりも高い第２
の酸素流量で初期供給し、電力を連続的または不連続的
に下げ、また酸素流量はそのときの酸素流量の飽和オゾ
ン濃度に到達毎に酸素流量を連続的または不連続的に下
げ、オゾン濃度が所要オゾン濃度に達したとき以降電力
は第１の電力であり酸素流量は第１の酸素流量とするこ
とを特徴とするオゾン発生方法。 - 【請求項４】放電空間側に誘電体層が密着した接地電極
と、この接地電極に放電空間を隔てて等距離に対向する
高圧電極とに高周波電源により交流電力を投入して原料
ガスをオゾン化し、放電空間より大容積のオゾン出口空
間を経て、オゾンを含むガスを吐出し、吐出ガスのオゾ
ン濃度をオゾン濃度計でモニターするオゾナイザーであ
って、さらにオゾン濃度計から出力されたオゾン濃度信
号を入力し、設定レベルと比較、演算し、その結果によ
り高周波電源の出力電力と酸素流量のうちの少なくとも
一方を制御するコントロラを備えることを特徴とするオ
ゾナイザー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6754696A JPH09255308A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | オゾン発生方法およびオゾナイザー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6754696A JPH09255308A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | オゾン発生方法およびオゾナイザー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09255308A true JPH09255308A (ja) | 1997-09-30 |
Family
ID=13348077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6754696A Withdrawn JPH09255308A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | オゾン発生方法およびオゾナイザー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09255308A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6599486B1 (en) | 2000-09-15 | 2003-07-29 | Ozonator, Ltd. | Modular ozone generator system |
| US6726885B2 (en) | 1999-03-05 | 2004-04-27 | Ozonator Limited | Ozone generator and a method for generation of ozone |
| KR102529051B1 (ko) * | 2022-09-01 | 2023-05-04 | 주식회사 엔비인사이트 | 오존 생성기의 구동 제어시스템 및 그 제어방법 |
-
1996
- 1996-03-25 JP JP6754696A patent/JPH09255308A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6726885B2 (en) | 1999-03-05 | 2004-04-27 | Ozonator Limited | Ozone generator and a method for generation of ozone |
| US6599486B1 (en) | 2000-09-15 | 2003-07-29 | Ozonator, Ltd. | Modular ozone generator system |
| KR102529051B1 (ko) * | 2022-09-01 | 2023-05-04 | 주식회사 엔비인사이트 | 오존 생성기의 구동 제어시스템 및 그 제어방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050118 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050222 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
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