JPH11209105A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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- JPH11209105A JPH11209105A JP1218798A JP1218798A JPH11209105A JP H11209105 A JPH11209105 A JP H11209105A JP 1218798 A JP1218798 A JP 1218798A JP 1218798 A JP1218798 A JP 1218798A JP H11209105 A JPH11209105 A JP H11209105A
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- ozone
- electrode
- voltage
- ozone generator
- ground electrode
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 空隙部１７を介して対向配設された高圧側電
極８および接地側電極１６間に、インパルス電源９から
急峻で且つパルス幅の短い急峻・短パルス電圧を印加
し、前記空隙部１７内に流通させた原料ガス中にオゾン
を発生させるオゾン発生装置において、放電管の電極径
を小型化して放電空間の冷却性を高め、これによってオ
ゾンの熱分解を抑止し高濃度オゾンの生成を可能とす
る。 【解決手段】 接地側電極１６をガラス等の誘電体で構
成する。またインパルス電源９の電圧は、高圧側電極８
と、接地側電極１６を冷却するための冷却水１０の間に
印加し、冷却水１０をアース側電極として利用する。こ
の構成によれば、放電電流の集中が抑制されアーク放電
への移行が防止されるため、接地側電極１６の径を小さ
くすることができる。また放電空間の冷却性が高められ
るので、オゾンの熱分解が抑止され濃度の高いオゾンを
生成することができる。
極８および接地側電極１６間に、インパルス電源９から
急峻で且つパルス幅の短い急峻・短パルス電圧を印加
し、前記空隙部１７内に流通させた原料ガス中にオゾン
を発生させるオゾン発生装置において、放電管の電極径
を小型化して放電空間の冷却性を高め、これによってオ
ゾンの熱分解を抑止し高濃度オゾンの生成を可能とす
る。 【解決手段】 接地側電極１６をガラス等の誘電体で構
成する。またインパルス電源９の電圧は、高圧側電極８
と、接地側電極１６を冷却するための冷却水１０の間に
印加し、冷却水１０をアース側電極として利用する。こ
の構成によれば、放電電流の集中が抑制されアーク放電
への移行が防止されるため、接地側電極１６の径を小さ
くすることができる。また放電空間の冷却性が高められ
るので、オゾンの熱分解が抑止され濃度の高いオゾンを
生成することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水処理や屎尿処理
等に利用されるオゾン発生装置に関する。
等に利用されるオゾン発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】オゾンは極めて強い酸化力を有し、殺
菌、脱臭、脱色等の上下水処理や屎尿処理などに利用さ
れている。工業的には高濃度で大量のオゾンが要求され
るため、現在は無声放電式による生成が最も広く用いら
れている。その原理は、原料ガス（空気または酸素）か
ら電気化学的にオゾンを生成するものであり、図６に示
すように、空隙に対向する誘電体電極（片側金属極でも
可）にＡＣまたは高周波の高電圧を印加した際に生ずる
微小放電柱の集合体（無声放電）をオゾン生成に利用し
ている。
菌、脱臭、脱色等の上下水処理や屎尿処理などに利用さ
れている。工業的には高濃度で大量のオゾンが要求され
るため、現在は無声放電式による生成が最も広く用いら
れている。その原理は、原料ガス（空気または酸素）か
ら電気化学的にオゾンを生成するものであり、図６に示
すように、空隙に対向する誘電体電極（片側金属極でも
可）にＡＣまたは高周波の高電圧を印加した際に生ずる
微小放電柱の集合体（無声放電）をオゾン生成に利用し
ている。
【０００３】図６において高電圧電極１と接地電極２
は、両者間に空隙部（放電ギャップ）３が形成されるよ
うに誘電体４を介在させて並設されている。５は前記電
極１，２間に、例えばＡＣ電圧を印加する交流電源であ
り、空隙部３で無声放電を発生させ、原料ガス（空気ま
たは酸素）をこの空隙部３に通すことによりオゾンを発
生させている。
は、両者間に空隙部（放電ギャップ）３が形成されるよ
うに誘電体４を介在させて並設されている。５は前記電
極１，２間に、例えばＡＣ電圧を印加する交流電源であ
り、空隙部３で無声放電を発生させ、原料ガス（空気ま
たは酸素）をこの空隙部３に通すことによりオゾンを発
生させている。
【０００４】前記無声放電式は工業的に利用されている
最も有効な方法であるが、それでもオゾン生成効率が悪
く、オゾンのコストを押し上げている。単位オゾンを得
るに必要な電力（放電消費電力）は、理論値が１．２ｋ
Ｗｈ／ｋｇＯ3であるのに対して、現状は１４ｋＷｈ／
ｋｇＯ3程度必要であり、電力の数％がオゾン生成に使
われているに過ぎず、電力の大部分は排熱に消えてい
る。
最も有効な方法であるが、それでもオゾン生成効率が悪
く、オゾンのコストを押し上げている。単位オゾンを得
るに必要な電力（放電消費電力）は、理論値が１．２ｋ
Ｗｈ／ｋｇＯ3であるのに対して、現状は１４ｋＷｈ／
ｋｇＯ3程度必要であり、電力の数％がオゾン生成に使
われているに過ぎず、電力の大部分は排熱に消えてい
る。
【０００５】オゾン生成効率は、反応空間における放電
エネルギー、放電の形状、温度、圧力に大きく依存する
ので、（１）電極及び誘電体の形状、（２）印加電圧及
び周波数、（３）反応空間の冷却を最適化する工夫が、
従来から行われてきている。しかしながら飛躍的な放電
消費電力の向上は見られていない。
エネルギー、放電の形状、温度、圧力に大きく依存する
ので、（１）電極及び誘電体の形状、（２）印加電圧及
び周波数、（３）反応空間の冷却を最適化する工夫が、
従来から行われてきている。しかしながら飛躍的な放電
消費電力の向上は見られていない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】近年、立ち上がりが急
峻で持続時間の短いパルスをオゾン発生器に供給するパ
ルス・パワー電源を用いた新方式のオゾン発生装置が提
案されている。このパルスは、例えば 立ち上がり時間：１００ｎｓｅｃ パルス幅：３００ｎｓｅｃ パルス数：１０００ｐｐｓ（ｐｕｌｓ ｐｅｒ ｓｅｃ
ｏｎｄ） のパルスを用いる。このようにオゾン発生器にインパル
スを印加すると、放電空間に均一な非平衡プラズマ放電
が形成される。
峻で持続時間の短いパルスをオゾン発生器に供給するパ
ルス・パワー電源を用いた新方式のオゾン発生装置が提
案されている。このパルスは、例えば 立ち上がり時間：１００ｎｓｅｃ パルス幅：３００ｎｓｅｃ パルス数：１０００ｐｐｓ（ｐｕｌｓ ｐｅｒ ｓｅｃ
ｏｎｄ） のパルスを用いる。このようにオゾン発生器にインパル
スを印加すると、放電空間に均一な非平衡プラズマ放電
が形成される。
【０００７】工業的に要求される高濃度オゾンを得るた
めには、オゾンの生成を増すと同時に分解を減らして平
衡状態でのオゾン濃度を引き上げる必要がある。オゾン
生成には、第一反応として酸素分子を解離してＯ原子を
生成する必要があり、それに十分なエネルギーの電子が
まず必要である。続いてＯ原子からオゾンを生成する反
応と生成されたオゾンが再び分解する反応は同時に進行
するが、ともに温度依存性を持った反応である。そして
温度が低い方が、化学平衡がオゾン生成側に傾くので高
濃度オゾンが生成できる。つまりガス温度が低いことが
必要である。
めには、オゾンの生成を増すと同時に分解を減らして平
衡状態でのオゾン濃度を引き上げる必要がある。オゾン
生成には、第一反応として酸素分子を解離してＯ原子を
生成する必要があり、それに十分なエネルギーの電子が
まず必要である。続いてＯ原子からオゾンを生成する反
応と生成されたオゾンが再び分解する反応は同時に進行
するが、ともに温度依存性を持った反応である。そして
温度が低い方が、化学平衡がオゾン生成側に傾くので高
濃度オゾンが生成できる。つまりガス温度が低いことが
必要である。
【０００８】このような条件を満たすのが非平衡プラズ
マである。非平衡プラズマでは、質量の小さい電子のみ
が電界から高エネルギーを得ている（電子温度が高い）
が、分子・イオンは電界の急激な変化を追随できないた
め低エネルギー（ガス温度が低い）の状態にある。した
がって非平衡プラズマを利用することで、効率良くオゾ
ンを生成できる。
マである。非平衡プラズマでは、質量の小さい電子のみ
が電界から高エネルギーを得ている（電子温度が高い）
が、分子・イオンは電界の急激な変化を追随できないた
め低エネルギー（ガス温度が低い）の状態にある。した
がって非平衡プラズマを利用することで、効率良くオゾ
ンを生成できる。
【０００９】従来の無声放電式も非平衡プラズマを利用
しているのであるが、無声放電は微小ストリーマ放電の
集合であるので、電子密度が均一ではない。そのためエ
ネルギーが注入されているスポットでは、Ｏ原子生成に
必要な電子密度が集中しているが、同時にガス温度もス
ポット的に高くなっているため、化学平衡がオゾン生成
に大きく傾きにくい。そのため全体としてのオゾン生成
効率が向上しない。
しているのであるが、無声放電は微小ストリーマ放電の
集合であるので、電子密度が均一ではない。そのためエ
ネルギーが注入されているスポットでは、Ｏ原子生成に
必要な電子密度が集中しているが、同時にガス温度もス
ポット的に高くなっているため、化学平衡がオゾン生成
に大きく傾きにくい。そのため全体としてのオゾン生成
効率が向上しない。
【００１０】パルス・パワーを使った放電は反応空間に
均一に起こり、ガス温度の高いスポットは存在しないの
で、非平衡プラズマの特性を有効に利用することができ
る。そのため放電消費電力を低く押さえることができ
る。
均一に起こり、ガス温度の高いスポットは存在しないの
で、非平衡プラズマの特性を有効に利用することができ
る。そのため放電消費電力を低く押さえることができ
る。
【００１１】前記パルス・パワーを使ったオゾナイザに
は、例えば図７の装置のようにコロナ放電を利用するこ
とが多い。図７において６は円筒型の接地側電極（金属
製）であり、該電極６の同軸内周には空隙部７を介して
高圧側電極８（金属製）が配設されている。９は立ち上
がりが急峻で持続時間の短いパルスを前記電極６，８間
に印加するインパルス電源である。
は、例えば図７の装置のようにコロナ放電を利用するこ
とが多い。図７において６は円筒型の接地側電極（金属
製）であり、該電極６の同軸内周には空隙部７を介して
高圧側電極８（金属製）が配設されている。９は立ち上
がりが急峻で持続時間の短いパルスを前記電極６，８間
に印加するインパルス電源である。
【００１２】しかし図７のようなタイプの電極構造で
は、電極間の距離（放電ギャップ長）を小さくすると放
電電流が集中し、アークに移行し易くなる。このためア
ークの発生を抑えて非平衡プラズマを安定に生成するた
めに、概して接地側電極６の径が大きくなり、反応容器
が大型化してしまう。これではオゾン生成が集中する高
圧側電極８周辺の空間の冷却が難しい。
は、電極間の距離（放電ギャップ長）を小さくすると放
電電流が集中し、アークに移行し易くなる。このためア
ークの発生を抑えて非平衡プラズマを安定に生成するた
めに、概して接地側電極６の径が大きくなり、反応容器
が大型化してしまう。これではオゾン生成が集中する高
圧側電極８周辺の空間の冷却が難しい。
【００１３】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
その目的は、放電管の電極径を小型化して放電空間の冷
却性を高め、これによってオゾンの熱分解を抑止し高濃
度オゾンを生成することができるオゾン発生装置を提供
することにある。
その目的は、放電管の電極径を小型化して放電空間の冷
却性を高め、これによってオゾンの熱分解を抑止し高濃
度オゾンを生成することができるオゾン発生装置を提供
することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は、放電ギャップ
を介して対向配設された高圧電極および接地電極間に、
急峻で且つパルス幅の短い急峻・短パルス電圧をパルス
印加電源から印加し、前記放電ギャップ内に流通させた
原料ガス中にオゾンを発生させるオゾン発生装置におい
て、（１）前記接地電極を誘電体で構成するとともに、
該接地電極と前記パルス印加電源とのアース導通をとる
ために前記接地電極に接触する冷却水を用いたことを特
徴とし、（２）前記接地電極を、誘電体と該誘電体の前
記放電ギャップとは反対側に対向する面に設けられた導
電性部材とで構成し、前記高圧電極および導電性部材間
に、前記急峻・短パルス電圧を印加することを特徴と
し、（３）前記導電性部材は金属体から成ることを特徴
とし、（４）前記誘電体はガラス又はセラミックから成
ることを特徴とし、（５）前記誘電体は、前記金属体の
前記放電ギャップに対向する面にガラスコーティングを
施して構成されていることを特徴とし、（６）前記導電
性部材は導電性ペースト又は導電性塗料から成ることを
特徴とし、（７）前記高圧電極および接地電極は各々同
軸円筒構造に構成されていることを特徴とし、（８）前
記誘電体はアルミナ等のセラミックから成ることを特徴
とし、（９）前記導電性部材はアルミ等の蒸着体から成
ることを特徴とし、（１０）前記導電性部材はステンレ
スから成ることを特徴としている。
を介して対向配設された高圧電極および接地電極間に、
急峻で且つパルス幅の短い急峻・短パルス電圧をパルス
印加電源から印加し、前記放電ギャップ内に流通させた
原料ガス中にオゾンを発生させるオゾン発生装置におい
て、（１）前記接地電極を誘電体で構成するとともに、
該接地電極と前記パルス印加電源とのアース導通をとる
ために前記接地電極に接触する冷却水を用いたことを特
徴とし、（２）前記接地電極を、誘電体と該誘電体の前
記放電ギャップとは反対側に対向する面に設けられた導
電性部材とで構成し、前記高圧電極および導電性部材間
に、前記急峻・短パルス電圧を印加することを特徴と
し、（３）前記導電性部材は金属体から成ることを特徴
とし、（４）前記誘電体はガラス又はセラミックから成
ることを特徴とし、（５）前記誘電体は、前記金属体の
前記放電ギャップに対向する面にガラスコーティングを
施して構成されていることを特徴とし、（６）前記導電
性部材は導電性ペースト又は導電性塗料から成ることを
特徴とし、（７）前記高圧電極および接地電極は各々同
軸円筒構造に構成されていることを特徴とし、（８）前
記誘電体はアルミナ等のセラミックから成ることを特徴
とし、（９）前記導電性部材はアルミ等の蒸着体から成
ることを特徴とし、（１０）前記導電性部材はステンレ
スから成ることを特徴としている。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態を説明する。 （１）実施の形態１ 接地極にガラス等の誘電体を用い
た構造 請求項１、３、１０に記載の発明では、図１に示すよう
に円筒型の接地側電極１６をガラス等の誘電体で構成し
た。また電源とのアースの導通は、接地側電極１６を冷
却するための冷却水１０が電極を兼用している。すなわ
ちインパルス電源９の電圧は、高圧側電極８と冷却水１
０の間に印加される。尚図中１７は空隙部である。
の実施の形態を説明する。 （１）実施の形態１ 接地極にガラス等の誘電体を用い
た構造 請求項１、３、１０に記載の発明では、図１に示すよう
に円筒型の接地側電極１６をガラス等の誘電体で構成し
た。また電源とのアースの導通は、接地側電極１６を冷
却するための冷却水１０が電極を兼用している。すなわ
ちインパルス電源９の電圧は、高圧側電極８と冷却水１
０の間に印加される。尚図中１７は空隙部である。
【００１６】図１のように構成することにより、放電電
流の集中を抑制してアーク放電への移行を防止すること
ができる。したがって接地側電極１６の径は、従来の例
えば図７の装置の接地側電極６の径よりも大幅に小さく
することができる。このため放電管を収納するためのオ
ゾン発生容器を小型に構成することができる。また放電
空間の冷却性が高められるので、オゾンの熱分解が抑止
され濃度の高いオゾンを生成することができる。
流の集中を抑制してアーク放電への移行を防止すること
ができる。したがって接地側電極１６の径は、従来の例
えば図７の装置の接地側電極６の径よりも大幅に小さく
することができる。このため放電管を収納するためのオ
ゾン発生容器を小型に構成することができる。また放電
空間の冷却性が高められるので、オゾンの熱分解が抑止
され濃度の高いオゾンを生成することができる。
【００１７】（２）実施の形態２ 誘電体の外側に導電
性塗料を塗布した構造 請求項２、３、６、１０に記載の発明では接地性を高め
るため、図２に示すように接地側電極１６の外周面、す
なわち誘電体外側表面に均一に導電性のペーストまたは
導電性塗料２１を塗布した。また導電性塗料２１と本体
アースを接触させて導通を確保した。すなわちインパル
ス電源９の電圧は、高圧側電極８と導電性塗料２１の間
に印加される。
性塗料を塗布した構造 請求項２、３、６、１０に記載の発明では接地性を高め
るため、図２に示すように接地側電極１６の外周面、す
なわち誘電体外側表面に均一に導電性のペーストまたは
導電性塗料２１を塗布した。また導電性塗料２１と本体
アースを接触させて導通を確保した。すなわちインパル
ス電源９の電圧は、高圧側電極８と導電性塗料２１の間
に印加される。
【００１８】図２のように構成することにより、図１の
場合と同様に放電電流の集中が抑制されアーク放電への
移行が防止される。このため図１の構成と同様に接地側
電極１６の径を小さくすることができ、また放電空間の
冷却性が高められるので、オゾンの熱分解が抑止され濃
度の高いオゾンを生成することができる。
場合と同様に放電電流の集中が抑制されアーク放電への
移行が防止される。このため図１の構成と同様に接地側
電極１６の径を小さくすることができ、また放電空間の
冷却性が高められるので、オゾンの熱分解が抑止され濃
度の高いオゾンを生成することができる。
【００１９】（３）実施の形態３ 金属接地極の内側に
ガラス等の誘電体を挿入した構造 前記実施の形態１、２において誘電体としてガラスを用
いると、破損しないよう支持する必要があり、その支持
法が難しい。そこで請求項２、３、８、１０に記載の発
明では、図３に示すように、金属円筒管（金属接地極）
３６の内周に、前記図１、図２の接地側電極１６と同様
に円筒型に形成されたガラス誘電体から成る接地側電極
２６を挿入した。
ガラス等の誘電体を挿入した構造 前記実施の形態１、２において誘電体としてガラスを用
いると、破損しないよう支持する必要があり、その支持
法が難しい。そこで請求項２、３、８、１０に記載の発
明では、図３に示すように、金属円筒管（金属接地極）
３６の内周に、前記図１、図２の接地側電極１６と同様
に円筒型に形成されたガラス誘電体から成る接地側電極
２６を挿入した。
【００２０】このように金属円筒管（金属接地極）３６
を使用することにより、ガラス誘電体ではなく、この金
属円筒管３６をスペーサ等により支持することができる
ため、ガラス誘電体から成る接地側電極２６を破損する
恐れが無くなる。
を使用することにより、ガラス誘電体ではなく、この金
属円筒管３６をスペーサ等により支持することができる
ため、ガラス誘電体から成る接地側電極２６を破損する
恐れが無くなる。
【００２１】図３のように構成することにより、図１、
図２の場合と同様に放電電流の集中が抑制されアーク放
電への移行が防止される。このため図１、図２の構成と
同様に接地側電極２６の径を小さくすることができ、ま
た放電空間の冷却性が高められるので、オゾンの熱分解
が抑止され濃度の高いオゾンを生成することができる。
図２の場合と同様に放電電流の集中が抑制されアーク放
電への移行が防止される。このため図１、図２の構成と
同様に接地側電極２６の径を小さくすることができ、ま
た放電空間の冷却性が高められるので、オゾンの熱分解
が抑止され濃度の高いオゾンを生成することができる。
【００２２】
【実施例】前記実施の形態１、２における誘電体は、ガ
ラスに限らずアルミナ等のセラミックを用いても良い。
このように誘電体としてセラミックを用いると、前記ガ
ラスの場合のような破損の問題は生じない。尚誘電体と
してガラスを用いるとコスト的には最も安価となる。
ラスに限らずアルミナ等のセラミックを用いても良い。
このように誘電体としてセラミックを用いると、前記ガ
ラスの場合のような破損の問題は生じない。尚誘電体と
してガラスを用いるとコスト的には最も安価となる。
【００２３】また前記実施の形態２において、導電性塗
料を塗布する代わりに、誘電体外表面にアルミ等を蒸着
しても良い。
料を塗布する代わりに、誘電体外表面にアルミ等を蒸着
しても良い。
【００２４】また前記実施の形態３において、金属円筒
管（金属接地極）３６に用いる材料としては、導電性が
あり耐食性の良いステンレスが最も適している。
管（金属接地極）３６に用いる材料としては、導電性が
あり耐食性の良いステンレスが最も適している。
【００２５】また前記実施の形態３において、金属円筒
管（金属接地極）３６の内周にガラス誘電体から成る接
地側電極２６を挿入する代わりに、金属円筒管３６の内
周面にガラスコーティングを施しても良い。
管（金属接地極）３６の内周にガラス誘電体から成る接
地側電極２６を挿入する代わりに、金属円筒管３６の内
周面にガラスコーティングを施しても良い。
【００２６】
【発明の効果】本発明のようにガラス等の誘電体を接地
電極として用いると、例えばコロナ放電電極の構造（同
軸円筒構造）を持つオゾン発生器において、電極間の距
離（ギャップ長）を小さくしても図４に示すようにアー
クに移行し難くなる。
電極として用いると、例えばコロナ放電電極の構造（同
軸円筒構造）を持つオゾン発生器において、電極間の距
離（ギャップ長）を小さくしても図４に示すようにアー
クに移行し難くなる。
【００２７】図４はオゾン濃度比と印加電圧比の関係を
示しており、この図から本発明の電極のほうが従来の電
極に比べてアークに移行し難いのがわかる。
示しており、この図から本発明の電極のほうが従来の電
極に比べてアークに移行し難いのがわかる。
【００２８】また高電圧極近傍の電界が強くなるので、
従来型よりも低い印加電圧でオゾンが生成できる。
従来型よりも低い印加電圧でオゾンが生成できる。
【００２９】また冷却性が向上するので、放電空間の温
度上昇も抑えることができ、オゾンの熱分解を抑止し
て、より高濃度なオゾンを生成することができる。
度上昇も抑えることができ、オゾンの熱分解を抑止し
て、より高濃度なオゾンを生成することができる。
【００３０】また生成オゾン濃度比と放電消費電力比の
関係は、図５のようになる。図５の特性曲線は、それぞ
れオゾン濃度に対する放電消費電力を、従来型オゾン発
生器の運転条件を１．０にして規格化して表している。
この特性図によれば、本発明を利用することにより、従
来型に比べて１０％高濃度のオゾンを９０％の電力で生
成できることがわかる。
関係は、図５のようになる。図５の特性曲線は、それぞ
れオゾン濃度に対する放電消費電力を、従来型オゾン発
生器の運転条件を１．０にして規格化して表している。
この特性図によれば、本発明を利用することにより、従
来型に比べて１０％高濃度のオゾンを９０％の電力で生
成できることがわかる。
【図１】本発明の一実施例を示す要部構成図。
【図２】本発明の他の実施例を示す要部構成図。
【図３】本発明の他の実施例を示す要部構成図。
【図４】生成オゾン濃度比と印加電圧比の関係を表す特
性図。
性図。
【図５】放電消費電力比と生成オゾン濃度比の関係を表
す特性図。
す特性図。
【図６】無声放電法によるオゾン生成の原理を示す説明
図。
図。
【図７】従来のオゾン発生装置の一例を示す要部構成
図。
図。
８…高圧側電極 ９…インパルス電源 １０…冷却水 １６，２６…接地側電極 １７…空隙部 ２１…導電性塗料 ３６…金属円筒管
Claims (7)
- 【請求項１】 放電ギャップを介して対向配設された高
圧電極および接地電極間に、急峻で且つパルス幅の短い
急峻・短パルス電圧をパルス印加電源から印加し、前記
放電ギャップ内に流通させた原料ガス中にオゾンを発生
させるオゾン発生装置において、 前記接地電極を誘電体で構成するとともに、該接地電極
と前記パルス印加電源とのアース導通をとるために前記
接地電極に接触する冷却水を用いたことを特徴とするオ
ゾン発生装置。 - 【請求項２】 放電ギャップを介して対向配設された高
圧電極および接地電極間に、急峻で且つパルス幅の短い
急峻・短パルス電圧を印加し、前記放電ギャップ内に流
通させた原料ガス中にオゾンを発生させるオゾン発生装
置において、 前記接地電極を、誘電体と該誘電体の前記放電ギャップ
とは反対側に対向する面に設けられた導電性部材とで構
成し、前記高圧電極および導電性部材間に、前記急峻・
短パルス電圧を印加することを特徴とするオゾン発生装
置。 - 【請求項３】 前記導電性部材は金属体から成ることを
特徴とする請求項２に記載のオゾン発生装置。 - 【請求項４】 前記誘電体はガラス又はセラミックから
成ることを特徴とする請求項１又は２又は３に記載のオ
ゾン発生装置。 - 【請求項５】 前記誘電体は、前記金属体の前記放電ギ
ャップに対向する面にガラスコーティングを施して構成
されていることを特徴とする請求項３に記載のオゾン発
生装置。 - 【請求項６】 前記導電性部材は導電性ペースト又は導
電性塗料から成ることを特徴とする請求項２又は４に記
載のオゾン発生装置。 - 【請求項７】 前記高圧電極および接地電極は各々同軸
円筒構造に構成されていることを特徴とする請求項１又
は２又は３又は４又は５又は６に記載のオゾン発生装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1218798A JPH11209105A (ja) | 1998-01-26 | 1998-01-26 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1218798A JPH11209105A (ja) | 1998-01-26 | 1998-01-26 | オゾン発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11209105A true JPH11209105A (ja) | 1999-08-03 |
Family
ID=11798415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1218798A Pending JPH11209105A (ja) | 1998-01-26 | 1998-01-26 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11209105A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6599486B1 (en) | 2000-09-15 | 2003-07-29 | Ozonator, Ltd. | Modular ozone generator system |
| US6726885B2 (en) | 1999-03-05 | 2004-04-27 | Ozonator Limited | Ozone generator and a method for generation of ozone |
| CN100335404C (zh) * | 2005-09-20 | 2007-09-05 | 江苏大学 | 一种发生臭氧的放电管元件 |
| JP2009102177A (ja) * | 2007-10-19 | 2009-05-14 | Metawater Co Ltd | オゾン発生電極及びオゾン発生装置 |
| CN106115628A (zh) * | 2016-06-24 | 2016-11-16 | 袁野 | 高压电弧臭氧机 |
-
1998
- 1998-01-26 JP JP1218798A patent/JPH11209105A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6726885B2 (en) | 1999-03-05 | 2004-04-27 | Ozonator Limited | Ozone generator and a method for generation of ozone |
| US6599486B1 (en) | 2000-09-15 | 2003-07-29 | Ozonator, Ltd. | Modular ozone generator system |
| CN100335404C (zh) * | 2005-09-20 | 2007-09-05 | 江苏大学 | 一种发生臭氧的放电管元件 |
| JP2009102177A (ja) * | 2007-10-19 | 2009-05-14 | Metawater Co Ltd | オゾン発生電極及びオゾン発生装置 |
| CN106115628A (zh) * | 2016-06-24 | 2016-11-16 | 袁野 | 高压电弧臭氧机 |
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