JP2003344294A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. ベースと、
   前記ベース上に設けられ大型基板を保持する基板ホルダと、
   前記基板ホルダを前方に起き上がるように前記ベースの前側縁部に設けられた回転支点を中心に回転させると共に、前記基板ホルダを起き上がらせたときに該基板ホルダの下端側が前記ベース上面の前記前側縁部よりも前方にせり出させる揺動機構と、
   を具備したことを特徴とする基板保持装置。
2. 前記揺動機構は、前記基板ホルダを起き上がらせた状態で該基板ホルダを左右方向に回動させる別方向揺動機構を有することを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
3. 前記揺動機構は、前記基板ホルダを水平状態と略垂直状態起きあげ角度範囲内で回動させることを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
4. 前記揺動機構は、前記ホルダの両側に設けられた直線ガイドと、前記ベースの前側両端部に設けられた前記揺動支点と、該揺動支点を支点にして前記基板ホルダを起き上がらせるジャッキを有し、前記揺動支点に対して前記直線ガイドをスライド移動させることにより前記基板ホルダを前方にせり出させることを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
5. 前記ジャッキは、一端を前記ベースの水平梁に回転可能に連結され、他端を前記基板ホルダの後方側と前記ベースの前方側との間を連結するリンクに回転可能に連結連結されることを特徴とする請求項４記載の基板保持装置。
6. 前記ジャッキは、前記基板ホルダの両側に設けられ、両方のジャッキを同期させて一方向に伸縮させることにより前記基板ホルダを所定の角度に起き上がらせ、両方のジャッキを同期させて上下方向に伸縮を繰り返すことにより前記基板ホルダを前後方向に揺動させることを特徴とする請求項４記載の基板保持装置。
7. 前記リンクの長さは、該リンクの一端が連結される前記基板ホルダの支点と前記揺動支点との間隔より短く、かつ前記揺動支点と該リンクの他端が連結される前記ベースの支点との間隔より長いことを特徴とする請求項５記載の基板保持装置。
8. 前記別方向揺動機構は、前記基板ホルダの起き上げ方向の揺動軸方向に対して垂直な軸方向に回転可能に前記ベース上に設けられた回転支持部と、該回転支持部の両端に前記基板ホルダを起き上げ方向に揺動自在に支持する揺動支点を設けたことを特徴とする請求項２記載の基板保持装置。
9. ベースと、
   前記ベース上に設けられ大型基板を保持する基板ホルダと、
   前記ベースの前側縁部を揺動支点を支点にして前記基板ホルダを前方に起き上がるように回動させると共に、前記基板ホルダを起き上がらせたときに該基板ホルダの前側端部が前記ベース上面の前側縁部より下降するように前記ホルダを前方にせり出させる揺動機構とを有し、
   前記揺動機構により前記基板ホルダを略垂直に起き上がらて該基板ホルダの前側を前記ベースより下降させた状態で前記基板ホルダ上に前記大型基板を載せ換えて搬送することを特徴とする基板保持装置。
10. 前記基板ホルダの前記前側縁部に設けられたローラ付基準ピンと、前記基板ホルダの横側端部に設けられた基準ピンと、前記基準ピンを設けた前記基板ホルダの横側端部と対向する前記基板ホルダの横側端部に設けられた押付けピンとを有し、
    前記大型基板を前記ローラ付基準ピンに載せた状態で前記押付けピンにより前記大型基板を前記基準ピンに押し付けて前記大型基板を位置決めすることを特徴とする請求項９記載の基板保持装置。
11. ベースと、
    前記ベース上に設けられ大型基板を保持する基板ホルダと、
    前記ベースの前側縁部に設けられた揺動支点を支点にして前記基板ホルダを前方に起き上がるように回動させると共に、前記基板ホルダを起き上がらせたときに該基板ホルダの 前側端部が前記ベース上面の前側縁部より下降するように前記ホルダを前方にせり出させる揺動機構と、
    前記基板ホルダに保持された前記大型基板の表面にマクロ照明光を照射するマクロ照明装置とを具備したことを特徴とする基板検査装置。
12. 前記前記揺動機構は、前記ホルダの両側に設けられた直線ガイドと、前記ベースの前側両端部に設けられた前記揺動支点と、該揺動支点を支点にして前記基板ホルダを起き上がらせるジャッキを有し、前記ジャッキの伸縮させて前記基板ホルダをマクロ観察しやすい角度に起き上がらせた状態でマクロ検査することを特徴とする請求項１１記載の基板検査装置。
13. 前記ジャッキは、前記基板ホルダをマクロ観察しやすい角度に起き上がらせた状態で伸縮動作を繰り返すことにより前記大型基板を連続的に揺動させることを特徴とする請求項１２記載の基板検査装置。
14. 前記基板ホルダが前記ベース上に水平に載置された状態で該基板ホルダに保持された前記大型基板の両側に沿って移動可能に設けられた門型アームと、この門型アームの水平アームに沿って移動可能に設けられた顕微鏡と、前記門型アームと前記顕微鏡をＸＹ方向に移動制御する制御部とを更に備えたことを特徴とする請求項１１記載の基板検査装置。
15. 前記制御部は、前記マクロ検査により特定された大型基板上の欠陥部分の座標データをインプットし、前記基板ホルダを水平に設置した状態で前記座標データに基づき前記前記門型アームと前記顕微鏡をＸＹ方向に移動制御することを特徴とする請求項１４記載の基板検査装置。