JP2008064666A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 枠状のステージに基板を載置して、該基板の検査を行う外観検査装置の基板保持装置において、
   前記基板の裏面周縁部を保持する枠状のステージと、
   前記ステージの開口部内で基板の裏面を支持する支持部材と、
   前記ステージの対向する一対の枠状部の間に移動可能に設けられ、前記支持部材が取り付けられる保持部材と、
   前記保持部材をステージの開口部内の所定位置に移動させる作動部材と、
   を備える外観検査装置用の基板保持機構。
   
2. 前記外観検査装置は、前記枠状のステージ上に保持された基板を拡大観察するために該基板に対して移動する拡大検査部を有し、
   前記拡大検査部の座標位置に基づいて前記保持部材を移動させる制御手段を更に備えた請求項１に記載の外観検査装置用の基板保持機構。
   
3. 前記保持部材は、前記ステージの開口部を跨ぐように架け渡された一本の支持バーからなり、該支持バーの長手方向に前記支持部材を移動可能に設け、この支持部材を基板上の欠陥に対応する座標位置の近傍に移動させる請求項１または２に記載の外観検査装置用の基板保持機構。
   
4. 前記支持部材を前記ステージの開口部を跨ぐように架け渡された前記保持部材の長手方向に移動可能に設け、前記保持部材と前記支持部材とを移動させ該支持部材をＸ−Ｙ方向に移動させる請求項１または２に記載の外観検査装置用の基板保持機構。
   
5. 前記保持部材は、ステージ裏面側の対向する一対の枠状部にそれぞれ設けられた直線アクチュエータにより前記ステージの開口部内に移動可能に設けられる請求項１乃至４に記載の外観検査装置用の基板保持機構。
   
6. 前記保持部材は、前記ステージの開口部内からステージの枠状部に移動して退避する請求項１乃至５に記載の外観検査用の基板保持機構。
   
7. 前記支持部材は、基板の裏面に当接して基板を支える支持位置と下方の退避位置とで進退するピン部材を有するアクチュエータである請求項１または３に記載の外観検査装置用の基板保持機構。
   
8. 矩形枠状のステージに基板を載置して、基板の検査を行う外観検査装置の基板保持装置において、
   基板の裏面周縁部を保持する枠状のステージと、
   ステージの対向する一対の枠状部の間に架設された桟と、
   前記桟に設けられ基板の裏面を支持する支持部材と、
   支持部材を基板の裏面に当接して基板を支える支持位置と下方の退避位置とを選択的に取らせる進退手段と、
   を備える外観検査装置用の基板保持機構。
   
9. 進退手段は、桟に対して支持部材を支持位置と下方の退避位置との間で回動させる回動機構である請求項８に記載の外観検査装置用の基板保持機構。
   
10. 進退手段は、桟に対して回動可能に連結されたアームを有し、アームを基板２と平行な支持位置と桟の下方に垂下した退避位置に取らせ、アームの先端で支持部材をささえるようにした請求項８に記載の外観検査装置用の基板保持機構。