JP2010085398A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 検査基板の配線パターンのバンプに接触させて該検査基板の配線パターンを検査するための先端部と、測定装置に接続される後端部とを有する複数の検査用プローブを保持する基板検査用の検査治具であって、
   前記複数の検査用プローブの後端部を保持するためのベースプレートと、
   前記複数の検査用プローブの先端部が挿通される孔を有していて前記配線パターンのバンプに該先端部を導くためのヘッド部と、を有し、
   前記ヘッド部は前記ヘッド部の孔の軸線方向に移動可能であり、前記検査基板に対向する前面において前記バンプを収納するための凹部を有し、
   前記ヘッド部が前記検査基板に接触した状態で前記ベースプレートに近づく方向に一体的に移動するとき、前記ヘッド部の凹部に前記バンプが配置され前記検査用プローブの先端部が前記バンプに接触した状態で前記検査用プローブが湾曲することを特徴とする基板検査用の検査治具。
2. 請求項１の基板検査用の検査治具において、前記検査基板が前記待機位置にある場合には、前記複数の検査用プローブの先端部が、前記ヘッド部の凹部にて前記ヘッド部の孔より突出していることを特徴とする基板検査用の検査治具。
3. 請求項１の基板検査用の検査治具において、
   さらに、前記ヘッド部を可動に支持する支持手段に付勢装置を備えていて、該付勢装置が、前記ヘッド部を前記ベースプレートから離れる方向に付勢する、基板検査用の検査治具。
4. 検査基板の配線パターンのバンプに接触させて該検査基板の配線パターンを検査するための先端部と、測定装置に接続される後端部とを有する複数の検査用プローブと、前記複数の検査用プローブの後端部を保持するためのベースプレートと、前記複数の検査用プローブの先端部が挿通される孔と前記検査基板に対向する前面において前記孔の周囲に形成された凹部とを有していて前記配線パターンのバンプに該先端部を導くためのヘッド部とを備え、前記ヘッド部が前記ヘッド部の孔の軸線方向に移動可能な、基板検査用の検査治具と、
   前記複数の検査用プローブの後端部に接続されていて、検査基板の検査のための信号を制御及び処理する装置とを備える基板検査装置において、
   前記ヘッド部が前記検査基板に接触した状態で前記ベースプレートに近づく方向に一体的に移動するとき、前記ヘッド部の凹部に前記バンプが配置され前記検査用プローブの先端部が前記バンプに接触した状態で前記検査用プローブが湾曲することを特徴とする基板検査装置。